JPS6214684Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は半導体ウエハー表面へのフオトレジス
ト塗布及び現像後に使用するベークオーブンの改
良に関するものである。従来のベークオーブンに
おいては第１図イ，ロ，ハに示すように、半導体
ウエハー１はシリコンゴムベルト２によつて搬送
され、ウエハー温度を熱電対５によつて制御させ
ながらヒーター４の輻射熱によつて加熱されるよ
うになつている。オーブンカバー８は保温のため
断熱材６をその上部に備えており、オーブンの内
部を窒素雰囲気にするための窒素をパイプ３より
導入し、パイプ１０より窒素を外部に排気するよ
うにさせている。しかし、この構造ではヒーター
４の表面とウエハー１との距離が長くかつ室温の
窒素ガスをパイプ３より流すため熱効率が悪いも
のであつた。またオーブンに半導体ウエハー１を
搬入、搬出させるために設けた開口部９が広いた
め室温の空気がオーブン内に流れ込みやすくオー
ブン内の温度の安定性も悪いという欠点があつ
た。そこで、第１図のベークオーブンの欠点を解
決する第２図に示すようなベークオーブンが存在
している。このものにおいては、半導体ウエハー
２１はステンレス平ベルト２２によつて搬送さ
れ、ウエハ温度を熱電対２６によつて制御させな
がらヒーター２４、均熱板２５からの伝導熱によ
つて加熱されるようになつている。オーブンカバ
ー２０１は保温のため断熱材２９をその上部に備
えており、オーブンの内部を窒素雰囲気にするた
めの窒素をパイプ２７よりダクト２８内に導入
し、予熱した窒素をオーブンの入口および出口側
に設けたカーテン状の吹出し口２３から吹き出
し、その窒素をパイプ２０２から排気させてい
る。しかしこの構造では均熱板２５とステンレス
平ベルト２２とがこすれてゴミ等が発生し、しか
も摩擦によりステンレス平ベルト２２に発生する
熱により半導体ウエハーが反りを生じて搬送中に
ずれてしまいオーブン内で重なることもあつた。
さらに窒素がオーブン出・入口の吹出し口２３の
みからしか吹き出さないためオーブンの内部を完
全な窒素雰囲気にすることが困難であるという欠
点もあつた。本考案は前記問題点を解消するもの
で、ヒータと、その表面に備えた均熱板と、該均
熱板に沿つて半導体ウエハーを搬送する搬送ベル
トとを有し、その上方空間をオーブンカバーで覆
つたベークオーブンにおいて、前記均熱板の上面
に、前記搬送用ベルトを無接触で受け入れる溝を
設け、オーブンカバーの内面に窒素の予熱室を形
成する２室に区画されたダクトを配設し、オーブ
ンの入口および出口に対して下向きに、オーブン
内の両側に前記搬送ベルトのウエハー搬送ライに
向けてそれぞれ列状に配列したガス吹出し口を設
け、ダクトの一室を出入口の一方およびオーブン
内のガス吹出し口に、ダクトの他室を出入口の他
方のガス吹出し口にそれぞれ連通させ、両ダクト
をそれぞれ別系統の窒素供給配管に接続したこと
を特徴とするベークオーブンである。

次に本考案の実施例を図面によつて説明する。

第３図イ，ハに示すように、パネルヒータ３５
を水平方向に配設し、該パネルヒータ３５上に均
熱板３７を取付け、該均熱板３７にはウエハー温
度を制御させる熱電対３６を取付ける。均熱板３
７の上面にはその長さ方向に沿つて上部を開口し
た溝３０４を設け、均熱板３７の溝３０４内にシ
リコンゴムベルト３２を、その一部を均熱板３７
上方に露出させて無接触状態で収容し（第３図
ハ，ニ）、シリコンゴムベルト３２のたるみをな
くすローラ３０５を各ヒータ３５間に取付ける
（第３図ロ）。

３０２はオーブンカバーで、オーブンカバー３
０２の上部には断熱材３０１を取付け、その内側
には仕切板４８により仕切られたダクト３９及び
ダクト４０を取付け、オーブンの入口を横切る方
向に列状に配列した吹出し口４３（第４図ハ）に
ダクト４０を接続し、しかもオーブンの出口を横
切る方向に列状に配列した吹出し口４５（第４図
ハ）及びオーブンカバー３０２の内側下端に水平
方向に列状に配列した吹出し口４４にダクト３９
を接続する。各ダクト３９，４０はそれぞれ配管
４１，４２により窒素の供給源に接続する。３０
３はオーブン内を排気させるパイプであり、吹出
し口４３，４４と吹出し口４５とに向けた流路は
独立しているから、単独に流量を調節可能となつ
ている。

次に本考案の動作について説明する。半導体ウ
エハー３１はシリコンベルト３２によつてオーブ
ン内に搬送され、ヒータ３５、均熱板３７からの
輻射熱によつて加熱され、ウエハー温度は熱電対
３６により制御される。均熱板３７上のシリコン
ベルト３２が通る部分に、溝３０４が設けられて
いるから、溝３０４内をベルト３２を通過させる
ことにより半導体ウエハー３１を均熱板３７に接
近させることができ、熱効率が良くなる。しかも
半導体ウエハー３１と均熱板３７とを接近させて
もベルト３２と均熱板３７との接触が溝３０４に
より回避されることになる。

また、窒素は配管４１，４２からダクト３９，
４０に供給されて予熱され、予熱された窒素は吹
出し口４３，４４と吹出し口４５とに供給され
る。吹出し口４３，４５から吹出された窒素はオ
ーブンの入口、出口側にエアーカーテンを形成す
ることになるから、外気の混入を防ぎ、しかも水
平方向に配置した吹出し口４４から予熱された窒
素が供給されるので、オーブン内が十分に窒素雰
囲気に維持されることになる。

また、吹出し口４３，４４，４５から供給され
る窒素は予熱されているから、オーブン内の温度
に影響を及ぼすことがなく、熱効率を低下させる
ことがない。

以上のように本考案によれば均熱板上に搬送ベ
ルト通過用の溝を設けたので、搬送ベルトと均熱
板とを接近させることができ、熱効率を向上で
き、しかもベルトと均熱板との接触をなくすこと
ができ、ゴミの発生を防止できる。さらに、オー
ブンの出入口側及びその内側から窒素を供給する
ようにしたので、オーブン内部を十分窒素雰囲気
にすることができ、しかも、入口側と出口側の吹
出し口から流出する窒素の流量を個別に制御し、
ダクト内で予熱された窒素のエアカーテンを形成
して外気の混入も防止でき、安定した均熱長が得
られるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図イ，ロ，ハは従来のベークオーブンの構
成図であり、第１図イは主要部を断面した正面
図、第１図ロは第１図イの平面図、第１図ハは第
１図イの側面図、第２図イ，ロ，ハは従来のベー
クオーブンの構成図であり、第２図イは主要部を
断面した正面図、第２図ロは第２図イの平面図、
第２図ハは第２図イの側面図、第３図イ，ロ，
ハ，ニは本考案の実施例を示す構成図であり、第
３図イは主要部を断面した正面図、第３図ロは第
３図イの平面図、第３図ハは第３図イの側面図、
第３図ニは均熱板とベルとの関係を示す正面図、
第４図イ，ロ，ハ，ニはオーブンカバーを示すも
のであつて、第４図イは主要部を断面した正面
図、第４図ロは第４図イの平面図、第４図ハは第
４図イの底面図、第４図ニは第４図イのＡ−Ａ線
断面図である。 ３２……シリコンゴムベルト（搬送ベルト）、
３７……均熱板、３０４……溝、４３，４４，４
５……吹出し口。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ヒータと、その表面に備えた均熱板と、該均熱
   板に沿つて半導体ウエハーを搬送する搬送ベルト
   とを有し、その上方空間をオーブンカバーで覆つ
   たベークオーブンにおいて、前記均熱板の上面
   に、前記搬送用ベルトを無接触で受け入れる溝を
   設け、オーブンカバーの内面に窒素の予熱室を形
   成する２室に区画されたダクトを配設し、オーブ
   ンの入口および出口に対して下向きに、オーブン
   内の両側に前記搬送ベルトのウエハー搬送ライン
   に向けてそれぞれ列状に配列したガス吹出し口を
   設け、ダクトの一室を出入口の一方およびオーブ
   ン内のガス吹出し口に、ダクトの他室を出入口の
   他方のガス吹出し口にそれぞれ連通させ、両ダク
   トをそれぞれ別系統の窒素供給配管に接続したこ
   とを特徴とするベークオーブン。