JPS62138708A - 光学的活性材料ウエブ内の厚さ及び/又は配向の変化を測定する方法及び装置 - Google Patents

光学的活性材料ウエブ内の厚さ及び/又は配向の変化を測定する方法及び装置

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JPS62138708A
JPS62138708A JP61293603A JP29360386A JPS62138708A JP S62138708 A JPS62138708 A JP S62138708A JP 61293603 A JP61293603 A JP 61293603A JP 29360386 A JP29360386 A JP 29360386A JP S62138708 A JPS62138708 A JP S62138708A
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web
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film
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ヴオルフガング・ガヴリツシユ
トーマス・トルツエビイアトフスキー
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Hoechst AG
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、材料ウェブを透過る、光の強度を測定る、こ
とにより、光学的活性材料ウェブ内の厚さ及び/又は配
向変化を測定る、方法並びに該方法を実施る、装置に関
る、。
、従来の技術 熱可塑性材料からフィルムを製造る、際には、重合体ペ
レットが押出機及びスリットダイによって溶融フィルム
に成形される。このフィルムはチルロールと接触して凝
固して先駆フィルムを形成し、該先駆フィルムは次いで
延伸機により段階的に又は同時に延伸される。その際、
フィルム材料内の分子鎖の配向が生じ、該配向は主とし
て延伸工程によって惹起される。延伸工程はまず機械方
向又はそれに対して横方向(縦方向又は横方向)で、そ
れに引続き機械方向に対して横方向又は機械方向(横方
向又は縦方向)で行われる。横方向延伸は一般にフレー
ム内で実施される。延伸の終了後に、フィルムウェブは
熱処理にかけられ、該処理によってフィルム内の整列さ
れた分子鎖の熱固定、ひいてはフィルム材料の形態が維
持される。固定により、部分結晶質のかつ有利には二軸
方向に延伸されたフィルムが得られる。
フィルム内の配向は、屈折率nn 及びn31’   
 2 によって規定される法線楕円体(標形)によって表すこ
とができる。フィルム内の分子鎖の配向に相応して、相
互に垂直な6つの軸方向で異なった屈折率が生ずる。こ
の場合、機械方向に対して平行である屈折率はn で、
機械方向に対して直角方向の、フィルム面での屈折率は
n2でかつ該フィルム面に対で垂直な法線方向の屈折率
はn3で示される。二軸方向に配向されたフィルムを偏
光装置に導入る、と、光源の多色もしくは白色光は偏光
装置を透過した後にフィルムウェブの厚さ及び分子鎖の
配向て相当して特性的な干渉色及び強度を提供る、。
西独国特許第2338305号明細書から、光学的活性
材料の線状複屈折率を検出る、方法が公知であり、該方
法は材料に対して線状に偏光した光を透過させかつ射出
る、光を入射光の偏光面に対して垂直な偏光面で検出し
、その際記録された光が消滅される少なくとも1つの波
長を決定る、ことより成る。このために使用される測定
装置は光源を有し、該光源の光線が偏光子を透過し、該
偏元子内で必要な線状に偏光された波長が形成され、該
波長が測定すべきフィルムを透過しかつ検光子に達しか
つそこから検出器系に達る、。該検出器系はプリズムも
しくは格子として又は多数の検出器を有る、光学的マル
チチャンネル分析器として構成されていてもよい。光源
は単色光又は白色光を放出る、。
西独国特許出頭公開第3106818号明細書から、延
伸されたフィルム又はシートの多軸の配向状態をその主
複屈折率を介して連続的に測定る、方法が公知であり、
この場合には3つのレーず又は1つのレーデビームを3
つのサブビームに分割る、ことにより形成された3つの
レーずビーム路を使用し、そのうちの1つがフィルムを
垂直にかつ別の2つがフィルムを傾斜して透過し、該傾
斜面がフィルム面に対して垂直でありかつ両者の配向主
方向を包含る、ことより成る。レーずビーム強度の位相
差が、フィルム、四分の一波長板及び回転検光子の透過
後に連続的に測定される。3つの位相差から、傾斜した
レーずビームの両者の傾斜角度及び別法で測定されたフ
ィルム厚さを考冠して、フィルムの3つの主複屈折率が
連続的に測定される。
測定装置は3つのレーデを有し、該レーデはフィルムを
透過した後に適当なレンズ又は釦装置によって平向に配
向させる。1つのレーデのビームはフィルム面に垂直に
当り、一方その他の両者のレーデのビームはフィルム法
線に対して角度φで当り、その際1つのレーデのビーム
は、フィルムの法線及びフィルムの主延伸方向5を包含
る、面内金延び、一方その他のレーデのビームハ、フィ
ルムの法線及びフィルムの横方向の延伸方向によって規
定される面内にある。延伸されたフィルムの光学的異方
性により、レーデかも出発し、まず直線偏光されたビー
ムが楕円形に偏光される。フィルムの下の四の一波長板
は、3のレーデビームの楕円形偏光を直線偏光に変換る
、。四分−波長板の下の回転る、偏光フィルタは、その
偏光方向が偏光フィルタの偏光方向に対して垂直である
場合、ビームを消滅させる。レーデビームの強度は感光
性検出器によって、場合により位相シフトされた周期的
電気信号に変換される。この位相シフトは2つの位相メ
ータを用いて測定る、ことができ、その際第3番目の位
相シフトは別の両者の位相シフトを0°補充る、。測定
された位相シフトから、複屈折率を計算機で確認しかつ
二軸フィルム延伸方向のだめの測定値として直接的にフ
ィルム延伸装置を制御る、ために使用る、ことができる
この公知の測定装置は、3つのレーザ又は唯一のレーず
ビーム全3つのずプビームに分割る、た゛めの光学系を
使用る、ことによって構造が複雑である。
フィルムが機械方向又はそれに対して横方向の分子鎖の
配向又は厚さが周辺領域とは異なる領域を有る、場合に
は、D もしくはn又はフイルム厚さdが変化しかつそ
れからこの領域において別の位相格差p= (n、’−
n2)・dが生ずる。これと干渉色及び強度の変化が結
び付いている。
フィルム内の低いか又は高い配向の領域は、先駆フィル
ム内の局所的に制限された肉厚部又は肉薄部の結果とし
て生じることがある。延伸工程の間に、これらの領域は
著しく弱く又は強く変形せしめられる。先駆フィルム内
の肉厚部又は肉薄部が敢闘の幅及び数mまでの長さのた
てじまの形を有る、場合には、延伸工程後にもフィルム
は数mmの幅及び数mの長さの低いが又は高い配向のた
てじま状領域を有る、。配向にフィルムの機械的特性〔
弾性率(E)、δ5値〕が相関る、。従って、低いか又
は高い配向を有る、たてじまは、まだ低いか又は高い機
械的特性を有る、。従って、このようなたてじまの発生
は、即座に認識されねばならないフィルムの品質劣化を
惹起る、。
発明が解決しようとる、問題点 本発明の課題は、光学的活性材料ウェブの特定の領域に
おける厚及び/又は配向の、その周辺の材料ウェブに対
る、変化を連続的に検出しかつ該変化を明確に材料ウェ
ブ上に位置決めることであった。
問題点を解決するための手段 前記課題は、本発明により冒頭に記載した形式の方法に
おいて、交差した偏光子の間を通過る、材料ウェブに多
色光を透過させ、かつ振動方向が検光子の偏光面の方向
に対して平行に延びる偏光した光の成分を感光性検出器
に結像させ、強度解析にかけかつ所定の時間帯の範囲内
で数回再生させることにより解決される。
本発明による方法の1実施態様においては、検光子の偏
光面の振動力向に対して平行に延びる偏光した光を、材
料ウェブ上の位置、ひいては材料ウェブの幅及び走行距
離の関数として登録しかつ記録る、。このために、検出
器から電気信号に変換された光学的信号の強度解析のた
めに、予め選択可能な閾値高さを設定調整し、かつ閾値
高さを下回るか又は上回ると、無変化の材料ウェブと、
厚さ及び/又は配向が変化した材料ウェブとの間の差違
を表示る、。強度解析の多数回の再生のための所定の時
間帯は0.011rLseC〜i secである。材料
ウェブの透過及び厚さ及び/又は配向変化の測定は、連
続的に材料ウェブの生産過程中に行う。本発明による方
法によれば、連続的に測定された強度解析データで材料
ウェブの速度、加熱、縦及び横方向延伸のプロセス制御
を行う。
本発明による方法を実施る、装置は、材料ウェブの下と
上に、相互に交差して、偏光子と検光子とが検出器に向
かう光源の光路内に配置されており、検出器が検出器に
よって受信された材料ウェブの画像の強度解析のために
画像解析及び計算機ユニットが接続されており、かつ画
像解析及び計算機ユニットの解析された画像が結像する
ためのモニタ及び登録る、ための出力ユニットに供給さ
れることによって解決される。
本発明による装置の実施態様は、特許請求の範囲第7項
から第11項の特徴部の記載から明らかである。
本装置においては、2つの交差した偏光子の間の間を貫
通案内される、有利には二軸方向に延伸された材料ウェ
ブ、例えばフィルムウェブの干渉[!ii像が感光性検
出器を介して計算機ユニットに供給され、該計算機ユニ
ットは集積画像解析装置によって輝度値の評価を実施る
、。更に、計算機ユニットにはフィルムの幅及び走行速
度に関る、データが供給される。従って、フィルムウェ
ブ上のたてじまの位置関係の確認が可能でありかつ該位
置関係を出力ユニットで登録しかつ記録る、ことができ
る。
干渉画像の形成及びストリップの位置の規定はフィルム
ウェブの連続的生産中に行われる、すなわち本発明は二
軸方向に延伸されたフィルムウェブのオンライン制御を
可能にる、。
フィルムウェブを透過る、多色(白色)の偏光した光は
、2つの相互に垂直な偏光した波に分解され、該波はフ
ィルムウェブの透過後に一般に楕円形に偏光した波に合
せられ、該波から検光子方向に対して平行に偏光した成
分は検光子を透過せしめられかつその強度は、画像がラ
スク画像としての検出子の後方で検出器、例えばビデオ
カメラによって受信され、かつ該コントラストがフィル
ムウェブのたてじま不在の強度と明らかに異なった領域
を規定ために計算機で評価される。
本装置は、光源、フィルムを透過するための結像装置、
フィルムウェブを透過る、光の強度測定のだめの感光性
検出器から成る。拡散スクリンは光の均一化のため及び
フィルタはコントラスト上昇のために利用される。偏光
子は例えば二色性フィルムであシかっ検光子は複屈折る
、結晶から成る偏光プリズムであるか又は同様に偏光フ
ィルタの形態の二色性フィルムである。
感光性検出器はラスク画像を形成る、ビデオカメラでち
り、かつ計算機ユニットは同じ光強度の面積、ひいては
ラスク画像のコントラスト評価のための輪郭を検出る、
。該領域内の光強度が一定の予め設定された閾値よシも
高い場合には、これらの領域はたてじまとして登録され
かつ出力ユニットヲ介して、フィルムウェブ上の位置規
定が可能であるように出力る、。
効果 本発明によれば、たてすし、すなわち低いか又は高い配
向又は厚さが生産の進行中に認識されるという利点が達
成される。
実施例 次に図示の実施例につき本発明の詳細な説明る、。
第1a図及び第1b図には、法線楕円体につき、長手方
向/横方向延伸工程及び横方向/長手方向延伸工程に関
る、、二軸方向に延伸されたフィルムウェブの実際に所
望される理想的異方性状態が示されている。第1a図に
示すように、一般に操作パラメータに起因して、長手方
向もしくは機械方向MD及び横方向T、Dにおける異な
った配向状態が生ずる。フィルムをまず長手方向に、次
いで横方向に延伸させる製造工程では、機械方向MDと
最大屈折率n2を有る、主延伸方向とはウェブ中心部に
おいて相互に直行している。フィルムウェブをまず横方
向に、次いで長手方向に延伸る、製造法では、機械方向
MDと、最大の屈折率n□を有る、主配向方向は相互に
平行に整列される。
第2a図及び第2b図を参照して、走行る、光学的活性
材料ウェブ4、例えばポリエチレンテレフタレートから
成るフィルムウェブのたてすしを識別するための測定装
置の基本的構造を説明る、。
多色の、すなわち白色の光源1、偏光子3、偏光面が偏
光子3の偏光面に対して90’回転せしめられた検光子
5、及び感光性検出器7がも成る偏光装置は、材料ウェ
ブ4の両側に配置されている。機械方向MD、ひいては
屈折率n工の方向と、偏光子3並びにまた検光子5の偏
光面とが、第2b図に示すように、夫々45°の角度を
形成る、。その際、偏光子3の方向で直線偏光された光
は材料ウェブ4内で屈折率nユ及びn2の方向に偏光さ
れた2つの同じ強度の波に分解され、該波は材料ウェブ
4を種々異なった伝搬速度で透過し、従って時間的ずれ
をもってフィルムウェブから射出し、ひいては位相差r
 =(n 1  n 2)・dをもたらす、この場合d
はフィルム厚さを表わす。両者の光波はフィルムウェブ
の後方で一般に楕円偏光された波に合し、該光波のうち
の、振動方向が検光子5の偏向面の方向に対して平行で
ある成分のみが検光子5を透過せしめられる。
多色光源1の光線は拡散スクリン2によって平坦化され
、偏光子3によって、偏光子面の方向が機械方向MDに
対して45°の角度を有る、ように直線偏光される。偏
光した光はフィルムウェブ4内で屈折率n工及びn2の
方向に対して平行である、相互に垂直な2つの光線に分
割される。偏光子の偏光面に対して90°回転した検光
子5の偏向面に対して平行に振動方向が延びる楕円形に
偏光した光の成分は、偏光子を透過せしめられ、コント
ラスト上昇めるためにフィルタ6を透過しかつ感光性検
出器7、例えば感光素子として2次元的ダイオードマト
リックスを有る、ビデオカメラに達る、。特殊な画像解
析ユニット及び計算機ユニット8から、光学的に視覚可
能な画像はその点状輝度に基づき評価される。画像解析
及び計算ユニット8で、受信された光学信号に基づき感
光性検出器7に供給される電気信号のだめの選択可能な
閾値調整によって、強度解析及び引続いての、画像解析
及び計算機ユニット8と接続されたモニタ9の画像スク
リン上に、得られた二次元画像の結像が行われる。更に
、ユニット8の出力データは出力ユニット10に送られ
、該ユニットに登録されかつ記録される。この出力ユニ
ット10は、例えばドツト・マトリックスプリンタ、X
/yレコーダ又は同種の記録ユニットであってよい。更
に、出力データはフィルムウェブ4を製造る、際の速度
、加熱、長手方向及び横方向延伸率及びその他の操作パ
ラメータの連続的プロセス制御のために使用される。
たてじまを有る、PETフィルムの光学的回折画像は第
3図に略示されている。
第4a図〜第4C図は、画像解析及び計算機ユニット8
で解析された、静止したフィルムウェブ4におけるたて
じまの二次元的画像を示す。
該二次元画像は閾値高さを低下させながら、すなわち光
強度を高めながらモニタ9に結像させた。ii!ii像
分析及び計算機ユニット8における識別設定調整は、記
録の際に、スケール値185から5つのスケール分割の
ステップでスケール値175に低下させた。たてじま1
2は第4b図及び第4c図では、周囲のフィルムウェブ
4とは異なった配向を有る、個々の封入物11がも第4
a図において明らかに分離る、ことができることが認識
される。
第5図の左側の図には、フィルムウェブ4の静止状態で
モニタ9の画像スクリン上に種々異なった閾値高さもし
くは設定調整におけるたてじまの二次元画像が結像され
ており、この場合夫々画像回析及び計算機ユニット8に
おいて、鎖線13は例えば205の閾値設定調整に、一
点鎖線14は210の調整にかつ点線15は215の閾
値調整に相当る、。更に、走行方向又は機械方向MDに
対して垂直に時間線t 。
t2.t3が記入されており、この場合相応る、時間に
関しては、tlはt2よシも短くがっt2はt3よりも
短いと見なされるべきである。フィルムウェブ4の特定
のウェブ速度では、時間間隙1−1 及びt3〜t2は
0.01 m5ec〜1.0sec 、場合によりまた
2、Osecまで達る、ことがある。
第5図の右側には1、種々異なった閾値を有る、二次元
像における時間線tユ、t2.t3に沿った強度曲線が
走行方向、ひいてはたてじま方向に対して垂直に示され
ている。該図面から明らかなように、たてじまけ周囲の
フィルムウェブ4に対してより高い強度、すなわち低い
閾値によって際立っている。第5図の右側において時間
線t□に沿ってX印で示された個人物11は、二次元画
像から、適当な閾値を設定しかっ該閾値を一定の予め選
択可能な時間帯を介して位置の関数と観察る、ことによ
シ排除る、ことができる。この閾値が所定の時間帯で常
に同じ場所で上回られると、そこにたてすし、さもなけ
れば柄入物が存在る、ことになる。後者の場合には、閾
値を該封入物が二次元画像内にもはや出現しなくなるま
で低下させる。第5図の右側の画像から明らかなように
、閾値215で第4a図中の封入物11と、時間線t 
に沿ったま たてすしは、相互に明かに識別される。閾値210では
、封入物は二次元画像から排除されている。閾値設定値
205では、時間線t に沿って既にフィルムウェブ4
の微細構造を識別る、ことができる、従ってたてすしと
それを包囲る、フィルムウェブ4との間の区別が困難に
なる。この場合には、閾値の設定値を205よシ大きく
、215よりも小さい値、例えば210又は207.5
の値に調整る、のが適切である。
第6図には、包囲る、フィルムウェブに対る、高い光強
度の位置がX印によって示されている。
縦軸方向には、時間及びフィルムウェブ4の移動した走
行距離がかつ横軸方向にはフィルムウェブ4上のその都
度の位置が記入されている。
たてずじ不在のフィルム範囲に相当る、背影の僅かな強
度変動に基づ(妨害封入物をより良好に抑制できるよう
に、コントラストを高めるだめに第2a図示したフィル
タ6を使用る、ことができる。
第7図は、フィルムウェブ4を巻仰るための送込領域に
おける検出器7又はビデオカメラの測定位置を略示平面
図で示す。送込領域は、走行もしくは機械方向MDで熱
的固定領域に後続されている。ビデオカメラの測定位置
もしくは画像領域は、フィルムウェブ4の全幅に互って
延びる。それにより、フィルム全幅尾互るたですしの位
置を正確に表示る、ことが可能である。
それというのもフィルムウェブ4の縁部で楕円偏光した
光の消光が行われるからである。このためには第2a図
も参照される。該図面から同様に、ビデオカメラの画像
領域がフィルムウェブ4の幅よりも大きいことが明らか
である。それというのも、第2a図に鎖線で示された、
ビデオカメラの対物レンズの開き角度の円錐が一定の距
離でフィルムウェブ4の縁部を通過る、からである。偏
光子3と、それに対して交差した検光子5とは、少くな
くともビデオカメラの画像領域をカバーる、ので、それ
に伴いフィルムウェブ4の縁部の左側及び右側に、偏光
子3と検光子5の交差した位置に基づく完全な暗部の領
域が生ずる、すなわちフィルムウェブ4の縁部が通過る
、と、消光が生ずることに基づき光強度における強度飛
躍が発生る、。それにより、フィルムウェブ4の幅の正
確な対照並びにフィルムウェブ4の内部に生ずるたてじ
まの正確な位置決めが可能である。
第7図の下方部分には、生産装置において延伸されたフ
ィルムウェブ4を巻取る前の送込領域のロール16と1
7の間で、たてじまを連続的に識別するための偏光装置
及び測定装置の構造の配置が略示されている。
【図面の簡単な説明】
第1a図及び第1b図は、種々異なった二軸延伸フィル
ム内の屈折率の法線楕円体の位置を示す略示図、第2a
図及び第2b図は、夫々本発明による装置の側面図及び
平面図、第6図はたてじまを有る、ポリエチレンテレフ
タレート(P’ET)フィルムの光学的干渉画像を示す
A第4a図、第4b図及び第4c図は1、異った閾;7
2レート(PET)フィルムの、ビデオカメラで記録さ
れたモニタ画像を示す図、第5図は、異なった閾値設定
及び異なった時間で記録された、たてじまを有る、静止
ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの画像
の光強度を示す略示線図、第6図は、出力ユニットから
の印刷物の略示線図及び第7図は、オンライン法で延伸
ポリエチレンフィルムのたてじまを測定る、装置の構造
を示す略示図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、材料ウェブを透過した光を測定することにより、光
    学的活性材料ウェブの厚さ及び/又は配向の変化を測定
    する方法において、交差した偏光子の間を通過する材料
    ウェブに多色光を透過させ、かつ振動方向が検光子の偏
    光面の方向に対して平行に延びる偏光した光の成分を感
    光性検出器に結像させ、強度分析にかけかつ所定の時間
    帯の範囲内で数回再生させることを特徴とする、光学的
    活性材料ウェブ内の厚さ及び/又は配向の変化を測定す
    る方法。 2、検光子の偏光面の振動方向に対して平行に延びる偏
    光した光を材料ウェブ上の位置、ひいては材料ウェブの
    幅及び走行距離の関数として登録しかつ記録する、特許
    請求の範囲第1項記載の方法。 3、検光子から電気信号に変換された光学的信号の強度
    解析のために、予め選択可能な閾値高さを設定調整し、
    かつ閾値高さを下回るか又は上回ると、無変化の材料ウ
    ェブと、厚さ及び/又は配向の変化した材料ウェブとの
    間の差違を表示する、特許請求の範囲第1項記載の方法
    。 4、材料ウェブの透過並びに厚さ及び/又は配向変化の
    測定を、連続的に材料ウェブの生産の進行中に行う、特
    許請求の範囲第1項記載の方法。 5、連続的に測定された強度解析データを用いて、材料
    ウェブの速度、加熱及び種々の延伸工程に対して、多軸
    方向に配向されたフィルムを製造するためのプロセス制
    御を行う、特許請求の範囲第1項から第4項までのいず
    れか1項記載の方法。 6、交差した偏光子の間を通過する材料ウェブに多色光
    を透過させ、かつ振動方向が検光子の偏光面の方向に対
    して平行に延びる偏光した元の成分を感光性検出器に結
    像させ、強度分析にかけかつ所定の時間帯の範囲内で数
    回再生させることによる、光学的活性材料のウェブ範囲
    内の厚さ及び/又は配向の変化を測定する方法を実施す
    る装置において、材料ウェブ(4)の下と上に、相互に
    交差して、偏光子(3)と検光子(5)とが検出器(7
    )に向かう光源(1)の光路内に配置されており、検出
    器(7)が検出器によつて受信された材料ウェブ(4)
    の画像の強度解析のために画像解析及び計算機ユニット
    (8)が接続されており、かつ画像解析及び計算機ユニ
    ット(8)の解析された画像が結像するためのモニタ(
    9)及び登録するための出力ユニット(10)に供給さ
    れることを特徴とする、光学的活性材料ウェブ内の厚さ
    及び/又は配向の変化を測定する装置。 7、偏光子(3)と検光子(5)とが光源(1)の光路
    内に、それらのその都度の偏光面が材料ウェブの走行方
    向MDに対して有利には 45°の角度を有するように配置されており、かつモニ
    タ(9)のスクリン上で材料ウェブ(4)の画像が有利
    には点状輝度に相応してデイジタル画像として材料ウェ
    ブ(4)のx−y位置に依存して結像され、かつ出力ユ
    ニット(10)が、材料ウェブ(4)の厚さ及び/又は
    配向変化を有するたてじまの位置、ひいては材料ウェブ
    幅及び走行距離の関数として登録しかつ記録する、特許
    請求の範囲第6項記載の装置。 8、偏光した元から材料ウェブ(4)の干渉画像を形成
    するための光源(1)が多層光源であり、かつ拡散スク
    リン(2)が光源(1)のライトバリヤを閉鎖する、特
    許請求の範囲第6項記載の装置。 9、光源(1)、拡散スクリン(2)及び偏光子(3)
    が材料ウェブ(4)の一方側にかつ検光子(5)、フィ
    ルタ(6)及び感光性検出器(7)が材料ウェブ(4)
    の他方側に配置されている、特許請求の範囲第8項記載
    の装置。 10、検出器(7)がビデオカメラであり、該ビデオカ
    メラが感光素子として2次元的ダイオードマトリックス
    を有する、特許請求の範囲第9項記載の装置。 11、偏光子(3)と検光子(5)が相互に有利には9
    0°で交差しており、かつ材料ウェブ(4)の走行方向
    MDと偏光子(3)及び検光子(5)の偏光面とが有利
    には45°の角度を形成する、特許請求の範囲第9項記
    載の装置。
JP61293603A 1985-12-11 1986-12-11 光学的活性材料ウエブ内の厚さ及び/又は配向の変化を測定する方法及び装置 Pending JPS62138708A (ja)

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