JPS62137836A - 測温ウエハ - Google Patents
測温ウエハInfo
- Publication number
- JPS62137836A JPS62137836A JP27970685A JP27970685A JPS62137836A JP S62137836 A JPS62137836 A JP S62137836A JP 27970685 A JP27970685 A JP 27970685A JP 27970685 A JP27970685 A JP 27970685A JP S62137836 A JPS62137836 A JP S62137836A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- thermocouple
- wafer
- temperature
- temperature measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は温度を測定するためのウェハの構造に関するも
のである。
のである。
ランプアニール装置等においては、温度モニタ用のウェ
ハがあり、それより測定した温度にフィードバックをか
けてランプの電力コンｌ−ロールを行なっている。また
、レーザ、電子ビーム等によるアニール時のウェハの温
度測定においても、このような温度を測定するためのウ
ェハが用いられる。
ハがあり、それより測定した温度にフィードバックをか
けてランプの電力コンｌ−ロールを行なっている。また
、レーザ、電子ビーム等によるアニール時のウェハの温
度測定においても、このような温度を測定するためのウ
ェハが用いられる。
第４図は、従来の測温ウェハの縦断面図である。
図において、熱電対３０２は接着剤３０３によってウェ
ハ３０１に接着されている。熱電対３０２には測定温度
に応じて、銅・コンスタンタン、クロメル・アルメル、
白金・白金８７０ジウム１３など様々な種類の熱電対が
使用される。また、接着剤３０３は高温にも耐えられる
ような接着剤〔例えば住友化学工業（株）のスミセラム
（アルミナ・シリカ系）〕が望ましく、熱電対３０２と
ウェハ３０１が接触するように固定されている。実際に
ウェハ温度を測定する場合は熱電対３０２の両端の電圧
を測定し、電圧・温度変換表より温度を求める。
ハ３０１に接着されている。熱電対３０２には測定温度
に応じて、銅・コンスタンタン、クロメル・アルメル、
白金・白金８７０ジウム１３など様々な種類の熱電対が
使用される。また、接着剤３０３は高温にも耐えられる
ような接着剤〔例えば住友化学工業（株）のスミセラム
（アルミナ・シリカ系）〕が望ましく、熱電対３０２と
ウェハ３０１が接触するように固定されている。実際に
ウェハ温度を測定する場合は熱電対３０２の両端の電圧
を測定し、電圧・温度変換表より温度を求める。
［、発明か解決しようとする問題点〕
このような従来の測温ウェハでは、熱電対３゜２は細く
ても直径が０．１ｍｍであり、それ以上細くすると高温
加熱で素線が切れてしまう可能性がある。また、素線を
切れないように太くした場合はウェハから逃げるｐｆＪ
が大きくなり正確な温度測定が出来ない。同じように接
着剤３０Ｂについても小量の場合は剥れてしまう可能性
があり、多量の場合は正確な温度測定が出来ない。特に
過渡的温度測定の場合は、熱容量の関係で実際の温度と
かなり異なる温度になってしまうなど、従来の測温ウェ
ハはかなりの欠点を有していた。本発明の目的は、上記
欠点を除去し正確な温度測定が出来る測温ウェハを提供
することにある。
ても直径が０．１ｍｍであり、それ以上細くすると高温
加熱で素線が切れてしまう可能性がある。また、素線を
切れないように太くした場合はウェハから逃げるｐｆＪ
が大きくなり正確な温度測定が出来ない。同じように接
着剤３０Ｂについても小量の場合は剥れてしまう可能性
があり、多量の場合は正確な温度測定が出来ない。特に
過渡的温度測定の場合は、熱容量の関係で実際の温度と
かなり異なる温度になってしまうなど、従来の測温ウェ
ハはかなりの欠点を有していた。本発明の目的は、上記
欠点を除去し正確な温度測定が出来る測温ウェハを提供
することにある。
［問題点を解決するための手段〕
本発明の測温ウェハは、ウェハと、このウェハの上に熱
電対を構成する一方の材料で形成した厚さ５０ミクロン
以下の第一の薄膜と、前記ウェハの上に前記熱電対を構
成する他方の材料で形成し前記第一の薄１１１％の一部
と重複する厚さ５０ミクロン以トーの第二の薄膜とを具
ωｈし、前記第一の薄膜と第二の薄膜との重複部分の面
積が前記第一の薄膜と第二の薄膜との全面積。Ｌりも実
質的に小さくなるようにしたことを特徴とする。
電対を構成する一方の材料で形成した厚さ５０ミクロン
以下の第一の薄膜と、前記ウェハの上に前記熱電対を構
成する他方の材料で形成し前記第一の薄１１１％の一部
と重複する厚さ５０ミクロン以トーの第二の薄膜とを具
ωｈし、前記第一の薄膜と第二の薄膜との重複部分の面
積が前記第一の薄膜と第二の薄膜との全面積。Ｌりも実
質的に小さくなるようにしたことを特徴とする。
１′実施例゛Ｊ
以下、本発明の実施例について図面を参照して詳細に説
明する。第１図は、本発明の測温ウェハの一実施例を示
す平面ＩＡである。このＪｊｌ温ウェハは、ウェハ１０
１」−に、熱電対を構成する一方Ｊ）材ＩＪ＋で形成し
た薄膜１０２と、熱電対を構成する他方の材料で形成し
た薄膜１０３とを有する。これらの薄膜１０２．１０３
は厚さ５０ミクロン程度以下の薄膜であり、蒸着、スパ
ッタリング等の方法によって形成される。薄膜１０２と
薄膜１０３との重複部分１０４で２種類の熱電対材料が
接しており起電圧が発生する。実際にこの測温ウェハを
用いてウェハ温度を測定するには、薄膜１０２の熱電対
端部１０５と薄膜１０３の熱電対端部１０６からそれぞ
れ補償導線（図示せず）または、薄膜１０２．１０３と
それぞれ同じ熱電対材料の線（図示せず）を引き出しこ
れらの間の電圧を測定し、電圧・温度変換表より温度を
求める。
明する。第１図は、本発明の測温ウェハの一実施例を示
す平面ＩＡである。このＪｊｌ温ウェハは、ウェハ１０
１」−に、熱電対を構成する一方Ｊ）材ＩＪ＋で形成し
た薄膜１０２と、熱電対を構成する他方の材料で形成し
た薄膜１０３とを有する。これらの薄膜１０２．１０３
は厚さ５０ミクロン程度以下の薄膜であり、蒸着、スパ
ッタリング等の方法によって形成される。薄膜１０２と
薄膜１０３との重複部分１０４で２種類の熱電対材料が
接しており起電圧が発生する。実際にこの測温ウェハを
用いてウェハ温度を測定するには、薄膜１０２の熱電対
端部１０５と薄膜１０３の熱電対端部１０６からそれぞ
れ補償導線（図示せず）または、薄膜１０２．１０３と
それぞれ同じ熱電対材料の線（図示せず）を引き出しこ
れらの間の電圧を測定し、電圧・温度変換表より温度を
求める。
第２図は、第１図の測温ウェハのＡＡ′樅断面断面図る
。図において１０７は両薄膜１０２゜１０３が重複して
いる部分の重複幅である。
。図において１０７は両薄膜１０２゜１０３が重複して
いる部分の重複幅である。
ウェハ１０１としてはシリコン、ＧａＡｓ、サファイア
、ＳＯＩ等任意のウェハの使用が可能であり、また熱電
対材料としても銅・コンスタンタン、クロメル・アルメ
ル、白金・白金８７０ジウム１３など任意の熱電対用金
属材料の使用が可能であることは明白である。また、本
発明による測温ウェハの一実施例として第１図のような
パターン形状をもつ薄膜を示して説明したが、この形状
については任意である。
、ＳＯＩ等任意のウェハの使用が可能であり、また熱電
対材料としても銅・コンスタンタン、クロメル・アルメ
ル、白金・白金８７０ジウム１３など任意の熱電対用金
属材料の使用が可能であることは明白である。また、本
発明による測温ウェハの一実施例として第１図のような
パターン形状をもつ薄膜を示して説明したが、この形状
については任意である。
第３図は、熱電対材料による薄膜のパターン形状が第１
図と異なる、本発明の測温ウェハの他の実施例を示す平
面図である。この測温ウェハは、ウェハ２０１上に、熱
電対を構成する一方の材料で形成した薄膜２０２と、熱
電対を構成する他方の材料で形成した薄膜２０３とを有
する。これらの薄膜２０２，２０３は厚さ５０ミクロン
程度以下の薄膜であり、蒸着、スパッタリング等の方法
によって形成さ“れる。２０４は薄膜２０２と薄膜２０
３との重複部分である。
図と異なる、本発明の測温ウェハの他の実施例を示す平
面図である。この測温ウェハは、ウェハ２０１上に、熱
電対を構成する一方の材料で形成した薄膜２０２と、熱
電対を構成する他方の材料で形成した薄膜２０３とを有
する。これらの薄膜２０２，２０３は厚さ５０ミクロン
程度以下の薄膜であり、蒸着、スパッタリング等の方法
によって形成さ“れる。２０４は薄膜２０２と薄膜２０
３との重複部分である。
本発明による測温ウェハでは熱電対材料をスパッタリン
グ等によって付着させているため接着剤を用いておらず
、また薄Ｉ摸であるために熱容量も無視してよいほど小
さく正確な温度測定が可能である。
グ等によって付着させているため接着剤を用いておらず
、また薄Ｉ摸であるために熱容量も無視してよいほど小
さく正確な温度測定が可能である。
また、薄膜を形成する際に用いるマスクは１ミク、ロン
程度あるいはそれ以下の精度での作成が可能である。従
って、薄膜自体の寸法精度もこれと同程度のものが可能
であり、第１図の重複部分における線幅および第２図に
おける重複幅１０７も微細なものが製作可能である。こ
のように、先端の接触部分が微細である熱電対をもつ測
温ウェハを用いると、従来の測温ウェハでは加熱されて
いるスボッ１〜径が小さくて温度測定が不可能であっな
レーザ照射時のウェハ表面の過渡的温度分布の測定も可
能となる。
程度あるいはそれ以下の精度での作成が可能である。従
って、薄膜自体の寸法精度もこれと同程度のものが可能
であり、第１図の重複部分における線幅および第２図に
おける重複幅１０７も微細なものが製作可能である。こ
のように、先端の接触部分が微細である熱電対をもつ測
温ウェハを用いると、従来の測温ウェハでは加熱されて
いるスボッ１〜径が小さくて温度測定が不可能であっな
レーザ照射時のウェハ表面の過渡的温度分布の測定も可
能となる。
第１図は本発明の一実施例の平面図、第２図は第１図中
のＡ−Ａ’ ｉ断面図、第３図は本発明の池の実施例の
平面図、第４図は従来例の縦断面図である。 １０１．２０１．３０１・・・ウェハ、１０２，２０２
、 １０３ 、２０３・・・薄膜、１０４，２０４・
・重複部分、１０５・・・熱電対端部、１０６・・・熱
電対端部、１０７・・・重複幅、３０２・・・熱電対、
３０Ｂ・・接着剤。 Ｐ１図 第２ 図
のＡ−Ａ’ ｉ断面図、第３図は本発明の池の実施例の
平面図、第４図は従来例の縦断面図である。 １０１．２０１．３０１・・・ウェハ、１０２，２０２
、 １０３ 、２０３・・・薄膜、１０４，２０４・
・重複部分、１０５・・・熱電対端部、１０６・・・熱
電対端部、１０７・・・重複幅、３０２・・・熱電対、
３０Ｂ・・接着剤。 Ｐ１図 第２ 図
Claims (1)
- ウェハと、このウェハの上に熱電対を構成する一方の
材料で形成した厚さ５０ミクロン以下の第一の薄膜と、
前記ウェハの上に前記熱電対を構成する他方の材料で形
成し前記第一の薄膜の一部と重複する厚さ５０ミクロン
以下の第二の薄膜とを具備し、前記第一の薄膜と第二の
薄膜との重複部分の面積が前記第一の薄膜と第二の薄膜
との全面積よりも実質的に小さくなるようにしたことを
特徴とする測温ウェハ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27970685A JPS62137836A (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | 測温ウエハ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27970685A JPS62137836A (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | 測温ウエハ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62137836A true JPS62137836A (ja) | 1987-06-20 |
Family
ID=17614742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27970685A Pending JPS62137836A (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | 測温ウエハ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62137836A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06241913A (ja) * | 1993-02-16 | 1994-09-02 | Chubu Sukegawa Kogyo Kk | 熱電対温度センサ |
| US6238085B1 (en) * | 1998-12-31 | 2001-05-29 | Honeywell International Inc. | Differential thermal analysis sensor |
-
1985
- 1985-12-11 JP JP27970685A patent/JPS62137836A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06241913A (ja) * | 1993-02-16 | 1994-09-02 | Chubu Sukegawa Kogyo Kk | 熱電対温度センサ |
| US6238085B1 (en) * | 1998-12-31 | 2001-05-29 | Honeywell International Inc. | Differential thermal analysis sensor |
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