JPS62131419A - 付着金属層を局部的に除去したメタライズドフイルム及びその製造法 - Google Patents
付着金属層を局部的に除去したメタライズドフイルム及びその製造法Info
- Publication number
- JPS62131419A JPS62131419A JP27176385A JP27176385A JPS62131419A JP S62131419 A JPS62131419 A JP S62131419A JP 27176385 A JP27176385 A JP 27176385A JP 27176385 A JP27176385 A JP 27176385A JP S62131419 A JPS62131419 A JP S62131419A
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- Japan
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- metal layer
- film
- metallized film
- locally
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- Pending
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野：
不発明は、基層フィルムＶＣ物理的又は化学的な変化を
与えること２＜、表面っけ層金属層（蒸着又／ｉ７０
ｒ（ｓとして貼着することにより形成した金属τ専層金
指し、以下同煽とする。）を除去し之メタライズドフィ
ルムに係るものｃめる。
与えること２＜、表面っけ層金属層（蒸着又／ｉ７０
ｒ（ｓとして貼着することにより形成した金属τ専層金
指し、以下同煽とする。）を除去し之メタライズドフィ
ルムに係るものｃめる。
発明の背景：
成る橿９コンデンナーは、絶鎌ＵＯ，ｆした祇の表面に
アルミニウム４ｒ真空蒸着してｌ古層・と形成し之もっ
て複数枚ｉｎで巻き付けてつくらル、Ｍ Ｐコンデンサ
ーと称されてさた。さらに、ドリフトが少く定格性にす
ぐルたものとしてフィルムコンデンサーが屑用化さ几た
。このも、Ｄは、上記１ｖＩＰコンデンサーに比べ体積
も小さく、絶嫌砥抗、耐熱性、周波数４註尋、有利な点
が多く広く使用されている。
アルミニウム４ｒ真空蒸着してｌ古層・と形成し之もっ
て複数枚ｉｎで巻き付けてつくらル、Ｍ Ｐコンデンサ
ーと称されてさた。さらに、ドリフトが少く定格性にす
ぐルたものとしてフィルムコンデンサーが屑用化さ几た
。このも、Ｄは、上記１ｖＩＰコンデンサーに比べ体積
も小さく、絶嫌砥抗、耐熱性、周波数４註尋、有利な点
が多く広く使用されている。
フィルムコンデンサーは、ポリエステル、ポリグロピＶ
ン、ポリカーボネイト等の基層フィルムにアルミニウム
を真空蒸着し、然る後、所要の静亀谷破にマツチさせ６
ために、予め蒸着アルミニウムと除去し、或いは告取り
終店前の所定部分に限って蒸着アルミニウムを除去する
ようになされている。
ン、ポリカーボネイト等の基層フィルムにアルミニウム
を真空蒸着し、然る後、所要の静亀谷破にマツチさせ６
ために、予め蒸着アルミニウムと除去し、或いは告取り
終店前の所定部分に限って蒸着アルミニウムを除去する
ようになされている。
従来技術：
このような４層フィルムｉ’ｃｆｉされ、・と付着金属
を除去するＶ′ｃは、殆んどの場合高圧放電、Ｃ工って
いた。こルは相対向する篭；祇の間に、金属付層フィル
ム目体し、付涜金７１４ケ除去せんとする個所に対応し
て電ｉに旨圧全かけ、放心により金属全４融し池数させ
るものである。しかし、この例にみる技術に、付置雀属
の・侭去個所を微細に選定するのに困難がめ９、さらに
クイｌレムの帯電の処理等の問題がうつ之。さらに電圧
によ一ノてはフィルム目体に極微な孔？生ずることもろ
り、紙圧の設定に制約金堂けることもｂつ死。また、他
の物理的・化学力手段による場合でも基５リフイルムが
損傷で受け、コンデンサー用としてはｅ、ｄ不良の原因
となっていた。
を除去するＶ′ｃは、殆んどの場合高圧放電、Ｃ工って
いた。こルは相対向する篭；祇の間に、金属付層フィル
ム目体し、付涜金７１４ケ除去せんとする個所に対応し
て電ｉに旨圧全かけ、放心により金属全４融し池数させ
るものである。しかし、この例にみる技術に、付置雀属
の・侭去個所を微細に選定するのに困難がめ９、さらに
クイｌレムの帯電の処理等の問題がうつ之。さらに電圧
によ一ノてはフィルム目体に極微な孔？生ずることもろ
り、紙圧の設定に制約金堂けることもｂつ死。また、他
の物理的・化学力手段による場合でも基５リフイルムが
損傷で受け、コンデンサー用としてはｅ、ｄ不良の原因
となっていた。
これらに対応する手段として、たとえば特開昭５４−１
２６９４６号公報又は、特開昭５７−１１ｄ６２２号公
報に＊るごとく、レーザビームＶＣよる付Ｍ金＠層？除
去り工提娯されている。この従来技術ばＣＯ２レーデ又
ＪまＹＡＧレーデに化２茨され、６通常１つレーデビー
ム全使用しＣいる。しかし、定常状ｙ夷の気体又はｉｉ
Ｉ！ｉＩ体ｊｈら生起するレーザビームはいわゆる熱レ
ーザで、／）す、付層金属とｎＤ格・浴数さＣると同時
：・こ基、１−ｊ部にも熱作用で及ぼし、居、・１４部
り材゛ａ１曲状によっては損娼の発生が透けられなかっ
た。
２６９４６号公報又は、特開昭５７−１１ｄ６２２号公
報に＊るごとく、レーザビームＶＣよる付Ｍ金＠層？除
去り工提娯されている。この従来技術ばＣＯ２レーデ又
ＪまＹＡＧレーデに化２茨され、６通常１つレーデビー
ム全使用しＣいる。しかし、定常状ｙ夷の気体又はｉｉ
Ｉ！ｉＩ体ｊｈら生起するレーザビームはいわゆる熱レ
ーザで、／）す、付層金属とｎＤ格・浴数さＣると同時
：・こ基、１−ｊ部にも熱作用で及ぼし、居、・１４部
り材゛ａ１曲状によっては損娼の発生が透けられなかっ
た。
発明の目的：
、＋：発明ｑよこのような問題点金纏犬ナベく、ケさ［
ｔたもので、付着金属層Ｃもコンデンサー、フレキシブ
ルプリント回路その池−子部品石しくは回路にＡ用さ７
′Ｌ６アルミニウム、亜鉛等を付着金属層としてもつ合
成樹脂フィルムについて、所要の梢５威ンデパメーンに
随って、付層省ｇ層のみ全表面かう除去したメタライズ
ドフィルムの提供？１的としくいる。
ｔたもので、付着金属層Ｃもコンデンサー、フレキシブ
ルプリント回路その池−子部品石しくは回路にＡ用さ７
′Ｌ６アルミニウム、亜鉛等を付着金属層としてもつ合
成樹脂フィルムについて、所要の梢５威ンデパメーンに
随って、付層省ｇ層のみ全表面かう除去したメタライズ
ドフィルムの提供？１的としくいる。
さりに、エキシマレーザの活用ンこより、基層フィルム
と損傷さぜることｌく、付着金属層のみを拡赦させ除去
する５去の提供り５今１つの目的であるＯ 元側の構成・実施例： エキシマレーザは、周知のごとく、励起状態コつ原子若
しくけ分子と基底状態の原子若しくは分子とが、結合し
てでさるエキ７７によるレーザ発振で、紫外１透を用い
る放心励起が汎用さルている。
と損傷さぜることｌく、付着金属層のみを拡赦させ除去
する５去の提供り５今１つの目的であるＯ 元側の構成・実施例： エキシマレーザは、周知のごとく、励起状態コつ原子若
しくけ分子と基底状態の原子若しくは分子とが、結合し
てでさるエキ７７によるレーザ発振で、紫外１透を用い
る放心励起が汎用さルている。
エキシマレーザの中でも、希ガス−ハライドエキシマて
発塵さするときは、その組合せの選択により波長を変え
ることが′Ｃきる特性バろ６゜本発明ｌまこの４性を利
用したものでめり、磁子回路又は部品ＶＣ充当−ｒる付
・ａ金゛ｔ４層をもつフィルムに、付着金輌でろるアル
ミニウム、唾鉛等の吹収波長に対応する発振波長ｆもつ
エキシマレーザを照射し、アルミニウム、亜鉛等のみを
選択的に拡散除去ｒるもので、エキシマレーザを斯かる
メタライズドフィルムの１甑歇細パターンの現出処理に
適用した例は報告されていない。
発塵さするときは、その組合せの選択により波長を変え
ることが′Ｃきる特性バろ６゜本発明ｌまこの４性を利
用したものでめり、磁子回路又は部品ＶＣ充当−ｒる付
・ａ金゛ｔ４層をもつフィルムに、付着金輌でろるアル
ミニウム、唾鉛等の吹収波長に対応する発振波長ｆもつ
エキシマレーザを照射し、アルミニウム、亜鉛等のみを
選択的に拡散除去ｒるもので、エキシマレーザを斯かる
メタライズドフィルムの１甑歇細パターンの現出処理に
適用した例は報告されていない。
欠に本発明の真木的なｌ実施例を挙げて説明する。
コンデンサーに使用されるメタライズドフィルム叫は、
基−フィルム（１）の表面にメタライズトリ図に拡大し
て示すとＰりである（ただし、除去部（３）の形状は理
解金ｇ’ｌｙとするため変形しＣめる。
基−フィルム（１）の表面にメタライズトリ図に拡大し
て示すとＰりである（ただし、除去部（３）の形状は理
解金ｇ’ｌｙとするため変形しＣめる。
）。基層フィルム（１）は、ポリエステル、ポリプロピ
レン、ポリカーボネイト等の材に２で、・Ｖさは１〜３
０μｍ程度でりも。′−！た、蒸、Ｎアルミニウム（２
）の形成ｉ疼享は２００〜５００オングストロームで６
る。そして蒸をアルミニウム（１）を所要パターンに合
致させて除去し、除去部（３）金杉成しである。この１
余去、′！！５（３）は最も多用さルる＋）、３〜１０
．ｎ ｘｚ （！： ｌ：ｒ、すことができ、在来手段
による二つも、侠の＋ｉＪが正確に除去さ几たメタライ
ズドフィルムａ＊’ｔ ４ることかできる。
レン、ポリカーボネイト等の材に２で、・Ｖさは１〜３
０μｍ程度でりも。′−！た、蒸、Ｎアルミニウム（２
）の形成ｉ疼享は２００〜５００オングストロームで６
る。そして蒸をアルミニウム（１）を所要パターンに合
致させて除去し、除去部（３）金杉成しである。この１
余去、′！！５（３）は最も多用さルる＋）、３〜１０
．ｎ ｘｚ （！： ｌ：ｒ、すことができ、在来手段
による二つも、侠の＋ｉＪが正確に除去さ几たメタライ
ズドフィルムａ＊’ｔ ４ることかできる。
この、Ａ−ｆアルミニウム（２） ？ｃ精緻なパターン
で５次去するには、エキシマレーザを用いる。すなわち
、アルミニウムの、吸収波長は１００〜３００ ｎｍ
にろる。従つＣ１この範囲に対応する波長？もつ媒体
を定損ガスとしたエキシマレーザを用い几１ブ、ポリエ
ステルとは入巾に１及収支長が異るアルミニウムに対し
てのみ光化学反応？生せしめることがでＡｒＦ及び２４
８ｎ７７＋の波長ｒもつＫｒＦが使用できる。
で５次去するには、エキシマレーザを用いる。すなわち
、アルミニウムの、吸収波長は１００〜３００ ｎｍ
にろる。従つＣ１この範囲に対応する波長？もつ媒体
を定損ガスとしたエキシマレーザを用い几１ブ、ポリエ
ステルとは入巾に１及収支長が異るアルミニウムに対し
てのみ光化学反応？生せしめることがでＡｒＦ及び２４
８ｎ７７＋の波長ｒもつＫｒＦが使用できる。
多くＤ実施例の結果からみればＫｒＦ （波長が２４８
圃）が好結果が得ら几た。その原因は基層されているア
ルミニウムの、及又波長が上限の３００ｎｍ近くにある
状、報となっているからであると通宝される。
圃）が好結果が得ら几た。その原因は基層されているア
ルミニウムの、及又波長が上限の３００ｎｍ近くにある
状、報となっているからであると通宝される。
ｌた、他の夷ｄ瓜例として極薄加工のアルミ店？、１寸
′７［！！ｆ金属７曽として用いたフィルムに対しても
同様の効果りＩｊｎた。
′７［！！ｆ金属７曽として用いたフィルムに対しても
同様の効果りＩｊｎた。
さらに、他の央４例１まアルミニウムと近似した吸収帯
域（１００〜７１１０ ｎｙｎ ｄ 、Ｌ ） ｋもつ
！鉛ｔｉｔｆ金属層とするフィルムでｂる。この場合も
ｌＩＪ］様に精緻なパターンに随つ之亜鉛の除去が可能
でろった０ 以上の各実施例を通じて、アルミニウム又ｄ亜鉛４の金
属’１１−、３ＱＱオングストローム程度り４鷺、身乃
至箔の貼着により付、１ｆ金金属としてＩμｍ〜１ｆｉ
ｌ草の基、ツフイルムに崩した被処理フィルム（で対し
、円滑な除去が行ｏまた。
域（１００〜７１１０ ｎｙｎ ｄ 、Ｌ ） ｋもつ
！鉛ｔｉｔｆ金属層とするフィルムでｂる。この場合も
ｌＩＪ］様に精緻なパターンに随つ之亜鉛の除去が可能
でろった０ 以上の各実施例を通じて、アルミニウム又ｄ亜鉛４の金
属’１１−、３ＱＱオングストローム程度り４鷺、身乃
至箔の貼着により付、１ｆ金金属としてＩμｍ〜１ｆｉ
ｌ草の基、ツフイルムに崩した被処理フィルム（で対し
、円滑な除去が行ｏまた。
エキシマレーザによりこのような刀ロエを行うには、破
迅埋フィルムのＸ軸−Ｙ軸寸動、レーザ発（辰ビームの
微ｐ逍妨又はこれらの徂合せ、／こより所要形状の除去
部と、見出できる。
迅埋フィルムのＸ軸−Ｙ軸寸動、レーザ発（辰ビームの
微ｐ逍妨又はこれらの徂合せ、／こより所要形状の除去
部と、見出できる。
発明７）作用・幼果：
たトエば、アルミニウムは上記のごとく１００〜３００
ｎｍ付近に一１ｆｆｌい吸収がめるつ）ら、エキシマ
レーザ、特Ｋ ＫｒＦエキシマレーザｔアルミニウム面
に条光すルば、アルミニウムのみがカロ熱され分解し、
拡故除去さルる。エキシマレーザによる加工は、彼／Ｊ
Ｄ工物、ｆ構成ｒる分子７つ債合乞、選択的ｖ′Ｃ直妾
切断することで行う光化学ツノ０工で、レーザビームが
照射さ几る局部のみが瞬間的に加工さル乙、本発明の方
法は、たとえば、蒸着アルミニウムのみを確実に除去加
工が・ノロ能となるので、蒸７・ｄアルミニウムの所定
部を除去して得つれ心メタライズドフィルムは、基、リ
フィ！レムに損湧が皆無である。従って、本定明のメタ
ライズドフィルムを用いたコンデンサーは容敏を規定１
直に保全する庁埋が容易となり、工程ｉ／（起因する絶
縁不良の消生を抑止できる。
ｎｍ付近に一１ｆｆｌい吸収がめるつ）ら、エキシマ
レーザ、特Ｋ ＫｒＦエキシマレーザｔアルミニウム面
に条光すルば、アルミニウムのみがカロ熱され分解し、
拡故除去さルる。エキシマレーザによる加工は、彼／Ｊ
Ｄ工物、ｆ構成ｒる分子７つ債合乞、選択的ｖ′Ｃ直妾
切断することで行う光化学ツノ０工で、レーザビームが
照射さ几る局部のみが瞬間的に加工さル乙、本発明の方
法は、たとえば、蒸着アルミニウムのみを確実に除去加
工が・ノロ能となるので、蒸７・ｄアルミニウムの所定
部を除去して得つれ心メタライズドフィルムは、基、リ
フィ！レムに損湧が皆無である。従って、本定明のメタ
ライズドフィルムを用いたコンデンサーは容敏を規定１
直に保全する庁埋が容易となり、工程ｉ／（起因する絶
縁不良の消生を抑止できる。
１之、本発明５去による場合には、エキシマレーザの発
振波長より岨れた吸収域をもつ材質からな、）／ヤドー
マスク全用いることにより、任意のパターンに会攻する
除去部全現出することがｏＴ能なことも・谷発明の仔利
な点でろり、産業上の利用性はきわめて大きい。
振波長より岨れた吸収域をもつ材質からな、）／ヤドー
マスク全用いることにより、任意のパターンに会攻する
除去部全現出することがｏＴ能なことも・谷発明の仔利
な点でろり、産業上の利用性はきわめて大きい。
４、１・ｊの間車な説明
第１図は本発明の１実−１例の要部拡大説明図で５；１
゜
゜
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 基層フィルムの表面に付着した金属層部域と、該金
属層をエキシマレーザにより所定のパターンに合致する
ように除去した部域をもつ構成としたことを特徴とする
付着金属層を局部的に除去したメタライズドフィルム。 ２ 基層フィルムの表面に付着金属層を形成してなる被
処理フィルムに、付着金属の吸収波長に対応するエキシ
マレーザを所要パターンに随つて照射し、基層フィルム
を損ずることなく付着金属のみを加熱・分解し、拡散・
除去するようにしたことを特徴とする付着金属層を局部
的に除去したメタライズドフィルムの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27176385A JPS62131419A (ja) | 1985-12-02 | 1985-12-02 | 付着金属層を局部的に除去したメタライズドフイルム及びその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27176385A JPS62131419A (ja) | 1985-12-02 | 1985-12-02 | 付着金属層を局部的に除去したメタライズドフイルム及びその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62131419A true JPS62131419A (ja) | 1987-06-13 |
Family
ID=17504498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27176385A Pending JPS62131419A (ja) | 1985-12-02 | 1985-12-02 | 付着金属層を局部的に除去したメタライズドフイルム及びその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62131419A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0494514U (ja) * | 1990-12-28 | 1992-08-17 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60170226A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | 松下電器産業株式会社 | 金属化フイルムの製造方法 |
-
1985
- 1985-12-02 JP JP27176385A patent/JPS62131419A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60170226A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | 松下電器産業株式会社 | 金属化フイルムの製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0494514U (ja) * | 1990-12-28 | 1992-08-17 |
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