JPS62131391A - 配線パターンの検査方法およびその装置 - Google Patents
配線パターンの検査方法およびその装置Info
- Publication number
- JPS62131391A JPS62131391A JP60271444A JP27144485A JPS62131391A JP S62131391 A JPS62131391 A JP S62131391A JP 60271444 A JP60271444 A JP 60271444A JP 27144485 A JP27144485 A JP 27144485A JP S62131391 A JPS62131391 A JP S62131391A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野」
プリント基板等の回路パターンの欠陥を検出する方式に
関するものである。
関するものである。
〔発明の背ｔＪ
プリント基板のパターン欠陥の検出に当っては、２つの
パターンを互に比較して欠陥を検査する方法が特公昭５
９−０２４３６１号公報にされて因る。
パターンを互に比較して欠陥を検査する方法が特公昭５
９−０２４３６１号公報にされて因る。
この方法はプリント基板上の２つのパターンを比較し、
互に形状が異る部分を欠陥と判定するものである。
互に形状が異る部分を欠陥と判定するものである。
このように２つのパターンを比較する場合には。
パターンが１枚しかない場合は適用できない。この場合
、あらかじめパターンを記憶しておき、記憶したパター
ンと実物パターンを比較検査することが考えられる。
、あらかじめパターンを記憶しておき、記憶したパター
ンと実物パターンを比較検査することが考えられる。
仮に、パターンを記憶することを考えると、パターンの
大キさが５００ Ｘ ５００ｍｍのものの場合、これを
１０μｍの画素に分割して２値画像として記＝ ３１２
．５ Ｍ Ｂｙｔｅ となる。したがって、高性能の磁気テープを用いても記
憶容量は高々１４０ ＭＢｙｔｅであＱｌ このデータ
量は記憶不可能であって実用的でない。
大キさが５００ Ｘ ５００ｍｍのものの場合、これを
１０μｍの画素に分割して２値画像として記＝ ３１２
．５ Ｍ Ｂｙｔｅ となる。したがって、高性能の磁気テープを用いても記
憶容量は高々１４０ ＭＢｙｔｅであＱｌ このデータ
量は記憶不可能であって実用的でない。
を発明の目的）
本発明はパターンデータ量を低減（情報圧、縮）させる
ことによりパターンデータを記憶可能とすることで記憶
データとの比較により回路パターンの欠陥とパターン検
査方法を提供することを目的とするものである。
ことによりパターンデータを記憶可能とすることで記憶
データとの比較により回路パターンの欠陥とパターン検
査方法を提供することを目的とするものである。
〔発明の概要」
本発明上記目的を達成するために、パターンの端点２分
岐等のパターンの特異点等を抽出して記憶することによ
パターンの情報圧縮を実現し、かつこれらの情報を利用
することによシ、パターンの欠陥（断線、短絡欠陥）全
検出するものである。
岐等のパターンの特異点等を抽出して記憶することによ
パターンの情報圧縮を実現し、かつこれらの情報を利用
することによシ、パターンの欠陥（断線、短絡欠陥）全
検出するものである。
〔発明の実施例Ｊ
Ｗｃ１図（ａ）に記憶すべき回路パターンｇを示す。
第１図ｆｂｌは、欠陥を含む検査回路パターンｆである
。これらの回路パターンに対して細線化と言われる画像
処理を施こす。細線化はパターンの骨格だけを抽出する
処理であシ、Ｗｃ２図（ａｌに示すオペレータ１によっ
て実現できる。すなわち、第１の図形メモＩＪ Ｍ ＋
に記憶された２値図形はＴＶ倍信号走査と同様釦順番
に読出し、シフトレジスタに入れられ、そこで、３Ｘ３
のサブパターンを取出す。このパターンが第２図ｔｂｌ
〜ｔｅｌに示すマスクパターンのようにある関係を満足
する場合、その中心の′°１＃を°゛０”に置き換えて
；１６次第２の図形メモリＭ２に移す。これを全ての画
素１ｃついて一通シ行なうことにより画情報を圧縮して
記憶することができる。このように周知の細線化処理を
行い第１図（ａｌ 、 （ｂ）に示すパターンｇ、ｆの
骨格だけを抽出した細線化画像パターン２．３を第３図
（ａ）。
。これらの回路パターンに対して細線化と言われる画像
処理を施こす。細線化はパターンの骨格だけを抽出する
処理であシ、Ｗｃ２図（ａｌに示すオペレータ１によっ
て実現できる。すなわち、第１の図形メモＩＪ Ｍ ＋
に記憶された２値図形はＴＶ倍信号走査と同様釦順番
に読出し、シフトレジスタに入れられ、そこで、３Ｘ３
のサブパターンを取出す。このパターンが第２図ｔｂｌ
〜ｔｅｌに示すマスクパターンのようにある関係を満足
する場合、その中心の′°１＃を°゛０”に置き換えて
；１６次第２の図形メモリＭ２に移す。これを全ての画
素１ｃついて一通シ行なうことにより画情報を圧縮して
記憶することができる。このように周知の細線化処理を
行い第１図（ａｌ 、 （ｂ）に示すパターンｇ、ｆの
骨格だけを抽出した細線化画像パターン２．３を第３図
（ａ）。
ｔｂｌ Ｋ示す。つぎにこれら各パターンの特異点（端
点および分岐点）を抽出する。パターンの端点を抽出す
るには第４図（ａｔに示すオペレータ４すなわち（ａＯ
）＝１． Σ（ａｉ）＝１の場合パターンの端点とす
るアルゴリズムを使うことができる。パターン端点の抽
出例を第４図ｔｂｌ 、 ｔｅｌに示す。分岐点を抽出
するには、第５図（ａｌに示すオペレータ５を使用する
ことができる。ここで（ｂｌ）〜（ｂ８）が全て１でか
つ（ｃｌ）〜（ｃ５）のうちいずれかが１の場合（ｂ８
）が分岐点と判断され、抽出例を同図（ｂ）に示す。特
異点をパターンｆ１ｇから抽出した結果を第６図に示す
。
点および分岐点）を抽出する。パターンの端点を抽出す
るには第４図（ａｔに示すオペレータ４すなわち（ａＯ
）＝１． Σ（ａｉ）＝１の場合パターンの端点とす
るアルゴリズムを使うことができる。パターン端点の抽
出例を第４図ｔｂｌ 、 ｔｅｌに示す。分岐点を抽出
するには、第５図（ａｌに示すオペレータ５を使用する
ことができる。ここで（ｂｌ）〜（ｂ８）が全て１でか
つ（ｃｌ）〜（ｃ５）のうちいずれかが１の場合（ｂ８
）が分岐点と判断され、抽出例を同図（ｂ）に示す。特
異点をパターンｆ１ｇから抽出した結果を第６図に示す
。
つぎにこれらの特異点の座標Ｐｆ（Ｘｉ、Ｙｊ）および
Ｐｇ（Ｘｉ 、ｙｊ ）を記憶する。第６図（ａｔのＰ
ｆ（Ｘｉ、Ｙｊ）は検査パターンｆの特異点の座標、第
６図（ｂｌのＰｇ（Ｘｉ、Ｙｊ）は標準パターンｇの特
異点の座標である。
Ｐｇ（Ｘｉ 、ｙｊ ）を記憶する。第６図（ａｔのＰ
ｆ（Ｘｉ、Ｙｊ）は検査パターンｆの特異点の座標、第
６図（ｂｌのＰｇ（Ｘｉ、Ｙｊ）は標準パターンｇの特
異点の座標である。
欠陥の検出は、特異点Ｐｆ（Ｘｉ、Ｙｊ）およびＰｇ（
Ｘｉ、Ｙｊ）の存在を互に比較する。すなわち、特異点
Ｐｆ（Ｘユ、Ｙｊ）がパターン検査方法すると、他方の
パターンｇについて、％異点Ｐｇ（Ｘｉ、Ｙｊ）が位置
許容εの範囲内に存在すれば欠陥なし、εの範囲内に存
在しないときに欠陥があると判定する（パターンｆとｇ
とを交換して同様に判定を行う）この比較処理について
は、具体的回路が、特願昭５３−４０５２８号明細書に
示されている。
Ｘｉ、Ｙｊ）の存在を互に比較する。すなわち、特異点
Ｐｆ（Ｘユ、Ｙｊ）がパターン検査方法すると、他方の
パターンｇについて、％異点Ｐｇ（Ｘｉ、Ｙｊ）が位置
許容εの範囲内に存在すれば欠陥なし、εの範囲内に存
在しないときに欠陥があると判定する（パターンｆとｇ
とを交換して同様に判定を行う）この比較処理について
は、具体的回路が、特願昭５３−４０５２８号明細書に
示されている。
上述の比較処理を行うにとによってパターンを検査した
結果を第７図に６として示す。
結果を第７図に６として示す。
このように本発明によれば、パターンの特異点座標のみ
を記憶すれば良すので、パターン情報を記憶する場合、
大幅に記憶容量を低減できる。
を記憶すれば良すので、パターン情報を記憶する場合、
大幅に記憶容量を低減できる。
本欠陥検査法は、パターン情報を記憶して、これと実物
パターンを比較する手法のみでなく、直接２つのパター
ンの比較検量にも適用できる。また、本方法は、パター
ンを細線化して、パターンの形状を検査するので、パタ
ーンの太りａシに対して影響されにぐい特徴を持つので
、安定したパターン検査が実行可能である。
パターンを比較する手法のみでなく、直接２つのパター
ンの比較検量にも適用できる。また、本方法は、パター
ンを細線化して、パターンの形状を検査するので、パタ
ーンの太りａシに対して影響されにぐい特徴を持つので
、安定したパターン検査が実行可能である。
以上述べたように本発明は回路パターンからラインの端
点およびラインの分岐点等の特異点を抽出し、この特異
点の座標を記憶することによってパターン情報を記憶し
、つぎに記憶した特異点パターン情報を読出し、検査パ
ターンから抽出した特異点パターン情報と互に比較する
ことにより、両者のパターン形状の相異を欠陥として検
出するようにしたので、あらかじめパターン情報を記憶
し、これと実物パターンを比較検査する場合、パターン
情報を能率的に記憶装置に記憶でき、従って１時期に１
枚のみ生産される基板の検量も可能になると云う効果を
有する。
点およびラインの分岐点等の特異点を抽出し、この特異
点の座標を記憶することによってパターン情報を記憶し
、つぎに記憶した特異点パターン情報を読出し、検査パ
ターンから抽出した特異点パターン情報と互に比較する
ことにより、両者のパターン形状の相異を欠陥として検
出するようにしたので、あらかじめパターン情報を記憶
し、これと実物パターンを比較検査する場合、パターン
情報を能率的に記憶装置に記憶でき、従って１時期に１
枚のみ生産される基板の検量も可能になると云う効果を
有する。
第１図（ａｌ 、 ｆｂＪ乃至第７図はいずれも本発明
の一実施例を示すもので、第１図［ａｌは正常回路パタ
ーンのパターン構成図、第１図（ｂｌは欠陥回路パター
ンのパターン構成図、第２図（ａ７〜（ｅＪは細線化説
明結果を示す画像図、第７図は欠陥を検出した結果の欠
陥パターンと特異点との関係を示す図でおる。 ｇ・・・検査パターン、 ｆ・・・標準パターン。 １・・・細線化オペレータ。 ４・・・線端点抽出オペレータ。 ５・・・分岐点抽出オペレータ、６・・・欠陥検出個所
。 第 １ 図 （ｂ） 第 ２図 （α） 第 ５ 図 （α） （ｂ） 第４図 第５７ （ｂ） 第 ６図
の一実施例を示すもので、第１図［ａｌは正常回路パタ
ーンのパターン構成図、第１図（ｂｌは欠陥回路パター
ンのパターン構成図、第２図（ａ７〜（ｅＪは細線化説
明結果を示す画像図、第７図は欠陥を検出した結果の欠
陥パターンと特異点との関係を示す図でおる。 ｇ・・・検査パターン、 ｆ・・・標準パターン。 １・・・細線化オペレータ。 ４・・・線端点抽出オペレータ。 ５・・・分岐点抽出オペレータ、６・・・欠陥検出個所
。 第 １ 図 （ｂ） 第 ２図 （α） 第 ５ 図 （α） （ｂ） 第４図 第５７ （ｂ） 第 ６図
Claims (1)
- 回路パターンからラインの端点およびラインの分岐等
の特異点を抽出し、この特異点の座標を記憶することに
よってパターン情報を記憶し、つぎに記憶した特異点パ
ターン情報を読出し、検査パターンから抽出した特異点
パターン情報と互に比較することにより、両者のパター
ン形状の相異を欠陥として検出することを特徴とするパ
ターン検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60271444A JPH0610815B2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | 配線パターンの検査方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60271444A JPH0610815B2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | 配線パターンの検査方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62131391A true JPS62131391A (ja) | 1987-06-13 |
| JPH0610815B2 JPH0610815B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=17500106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60271444A Expired - Lifetime JPH0610815B2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | 配線パターンの検査方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610815B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0290372A (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-29 | Nec Corp | ブリッヂ検出回路 |
| JPH04138344A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配線パターン検査装置 |
| US5930382A (en) * | 1995-05-15 | 1999-07-27 | Hitachi, Ltd. | Wiring pattern inspecting method and system for carrying out the same |
| US6072899A (en) * | 1997-01-23 | 2000-06-06 | Hitachi, Ltd. | Method and device of inspecting three-dimensional shape defect |
| JP2001221824A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-17 | Oht Inc | 検査装置及び検査方法、検査ユニット |
| US6714671B1 (en) * | 1999-06-02 | 2004-03-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of detecting pattern defects |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5383767A (en) * | 1976-12-29 | 1978-07-24 | Fujitsu Ltd | Pattern detecttion |
| JPS5491025A (en) * | 1977-12-28 | 1979-07-19 | Fujitsu Ltd | Pattern inspection system through inflection-point comparison |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP60271444A patent/JPH0610815B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5383767A (en) * | 1976-12-29 | 1978-07-24 | Fujitsu Ltd | Pattern detecttion |
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|---|---|---|---|---|
| JPH0290372A (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-29 | Nec Corp | ブリッヂ検出回路 |
| JPH04138344A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配線パターン検査装置 |
| US5930382A (en) * | 1995-05-15 | 1999-07-27 | Hitachi, Ltd. | Wiring pattern inspecting method and system for carrying out the same |
| US6072899A (en) * | 1997-01-23 | 2000-06-06 | Hitachi, Ltd. | Method and device of inspecting three-dimensional shape defect |
| US6714671B1 (en) * | 1999-06-02 | 2004-03-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of detecting pattern defects |
| JP2001221824A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-17 | Oht Inc | 検査装置及び検査方法、検査ユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0610815B2 (ja) | 1994-02-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |