JPS62128414A - Ｃｔ装置用ｘ線検出器 - Google Patents
Ｃｔ装置用ｘ線検出器Info
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- JPS62128414A JPS62128414A JP60267928A JP26792885A JPS62128414A JP S62128414 A JPS62128414 A JP S62128414A JP 60267928 A JP60267928 A JP 60267928A JP 26792885 A JP26792885 A JP 26792885A JP S62128414 A JPS62128414 A JP S62128414A
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- Japan
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- electrode plates
- ray detector
- ray
- photosensitive glass
- electrode
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J47/00—Tubes for determining the presence, intensity, density or energy of radiation or particles
- H01J47/02—Ionisation chambers
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は、平行に配置される多数の電極板の端部を絶縁
性固定枠で固定するＣＴ’ｌ置用Ｘ線用Ｘ線検出器るも
のである。
性固定枠で固定するＣＴ’ｌ置用Ｘ線用Ｘ線検出器るも
のである。
［発明の技術的背景とその問題点］
通常のＸ線曜影装置によって得られる画像は、三次元物
体の二次元フィルムへの投影像であるため、画像の濃淡
はＸ線ビームが通過した厚さ方向の情報がすべて重ね合
されたものとなる。このため厚さ方向に病症が重なり合
っている場合には、正確な診断が困難になるという欠点
が存在している。
体の二次元フィルムへの投影像であるため、画像の濃淡
はＸ線ビームが通過した厚さ方向の情報がすべて重ね合
されたものとなる。このため厚さ方向に病症が重なり合
っている場合には、正確な診断が困難になるという欠点
が存在している。
この欠点を除くために、被検体の目的とする断面に直角
に、その回りを回転しながらＸ線ビームで操作し、得ら
れた多数の一次元測定値から二次元のＸ線断層像をコン
ピュータにより演障して作成するようにした、いわゆる
Ｘ線ＣＴ装置が提供されている。このＸ線ＣＴ装置は、
Ｘ線管、Ｘ線検出器及び画像演ｎ装置などから構成され
ており、特に被検体に依存したＸ線吸収量を測定するＸ
線検出器の性能は重要である。
に、その回りを回転しながらＸ線ビームで操作し、得ら
れた多数の一次元測定値から二次元のＸ線断層像をコン
ピュータにより演障して作成するようにした、いわゆる
Ｘ線ＣＴ装置が提供されている。このＸ線ＣＴ装置は、
Ｘ線管、Ｘ線検出器及び画像演ｎ装置などから構成され
ており、特に被検体に依存したＸ線吸収量を測定するＸ
線検出器の性能は重要である。
Ｘ線検出器は被検体を挟んでＸ線管と対向しながら回転
しており、ＸＩＩ管から放射されたＸ線ビームを検出す
るための多チャンネル（例えば５１２個）に分割された
検出素子を有している。これら検出素子は各々独立した
１個のＸ線検出器として動作可能に構成され、各々チャ
ンネルごとに平行に配置された２〜３枚の電極板から成
っている。
しており、ＸＩＩ管から放射されたＸ線ビームを検出す
るための多チャンネル（例えば５１２個）に分割された
検出素子を有している。これら検出素子は各々独立した
１個のＸ線検出器として動作可能に構成され、各々チャ
ンネルごとに平行に配置された２〜３枚の電極板から成
っている。
電極板はＸ線透過性が小でかつ加工し易い性質の材料か
）穴ばれ、例えばダンゲステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ
）、モリブデン（ＭＯ）などが選ばれる。このような多
数の電極板は連続的に平行に配置され、その両端は一対
の絶縁性固定枠によって固定される。平行電極板は容器
内に収納され、容器はギセノン（Ｘｅ）ガスのような希
ガスが封入される。
）穴ばれ、例えばダンゲステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ
）、モリブデン（ＭＯ）などが選ばれる。このような多
数の電極板は連続的に平行に配置され、その両端は一対
の絶縁性固定枠によって固定される。平行電極板は容器
内に収納され、容器はギセノン（Ｘｅ）ガスのような希
ガスが封入される。
このＪ：うな構造のＸ線検出器は上記電極板間に高電圧
が加えられた状態で、Ｘ線管と対向させられる。Ｘ線ビ
ームが放射されるとＸｅガスが電離し、この度合はＸ線
の通過経路に応じて変化するので、各々の電極板に流れ
る電離電流を測定することにより、被検体に依存したＸ
線吸収量を検出できることになる。
が加えられた状態で、Ｘ線管と対向させられる。Ｘ線ビ
ームが放射されるとＸｅガスが電離し、この度合はＸ線
の通過経路に応じて変化するので、各々の電極板に流れ
る電離電流を測定することにより、被検体に依存したＸ
線吸収量を検出できることになる。
ところで従来のＸ線検出器において、平行電極板を固定
している一対の絶縁性固定枠はエポキシ樹脂によって構
成されているので、次のような問題が存在している。
している一対の絶縁性固定枠はエポキシ樹脂によって構
成されているので、次のような問題が存在している。
（１）切削加工によって枠を製造するので、製造プロセ
スが複雑となるためコストアップが避けられない。
スが複雑となるためコストアップが避けられない。
（２）熱膨張係数か大きいため、温度の変化にλ１して
検出感度か影響される。
検出感度か影響される。
［発明の目的］
本発明は、検出感度に影響されない構成のＣＴ装置用Ｘ
線検出器を提供することを目的とするものである。
線検出器を提供することを目的とするものである。
［発明の概要］
上記目的を達成するための本発明の概要は、平行に配置
される多数の電極板の端部を絶縁性固定枠で固定するＣ
Ｔ’Ｈ置用Ｘ線用Ｘ線検出器て、上記絶縁性固定枠が感
光性ガラスから成り、１４の感光性ガラスには電極板の
端部を固定する溝がフ４トエッチングににり形成されて
いることを特徴とするものである。
される多数の電極板の端部を絶縁性固定枠で固定するＣ
Ｔ’Ｈ置用Ｘ線用Ｘ線検出器て、上記絶縁性固定枠が感
光性ガラスから成り、１４の感光性ガラスには電極板の
端部を固定する溝がフ４トエッチングににり形成されて
いることを特徴とするものである。
［発明の実施例］
以下図面を参照し本発明実施例を説明する。
第１図は本発明実施例ににるＣＴ装置用Ｘ線検出器を示
す斜視図である。１はＷ、Ｔａ、ＭＯなどから構成され
る電極板で０．１〜０．２ｍｍの厚ざに加工されたもの
である。多数の電極板１の両端部は感光性カラスから成
る一対の絶縁性固定枠２．３によって固定され、絶縁性
固定枠２，３の電極板１を固定する位置には各々溝２ａ
、３ａがフＡトエツヂングにより形成される。各々の電
極板１に対してはリード線（図示せず）が接続される。
す斜視図である。１はＷ、Ｔａ、ＭＯなどから構成され
る電極板で０．１〜０．２ｍｍの厚ざに加工されたもの
である。多数の電極板１の両端部は感光性カラスから成
る一対の絶縁性固定枠２．３によって固定され、絶縁性
固定枠２，３の電極板１を固定する位置には各々溝２ａ
、３ａがフＡトエツヂングにより形成される。各々の電
極板１に対してはリード線（図示せず）が接続される。
このようにして組み立てられた平行電極板は容器４内に
収容されると共に、容器４内にＸｅガスを封入すること
によりＸ線検出器が完成する。
収容されると共に、容器４内にＸｅガスを封入すること
によりＸ線検出器が完成する。
本実施例に用いられる絶縁性固定枠２，３は以下のよう
にして製造される。以下その製造方法を工程順に説明す
る。
にして製造される。以下その製造方法を工程順に説明す
る。
工程［Ａ］：第２図（ａ）のように、電極板の両端部を
固定するための溝の形状に相当した満パターン５を形成
したフォトマスク６を用意する。溝パターン５は周知の
エマルジョンまたはクロムによって形成することができ
る。
固定するための溝の形状に相当した満パターン５を形成
したフォトマスク６を用意する。溝パターン５は周知の
エマルジョンまたはクロムによって形成することができ
る。
工程［Ｂ］：第２図（ｂ）のＪ：うに、感光性ガラス２
を用意し、この表面に溝パターン５が接するようにフォ
トマスク６を感光性ガラス２に密着させる。次にフォト
マスク６の上部から紫外線を平行に照射することにより
露光処理を行う。
を用意し、この表面に溝パターン５が接するようにフォ
トマスク６を感光性ガラス２に密着させる。次にフォト
マスク６の上部から紫外線を平行に照射することにより
露光処理を行う。
工程［Ｃ］：第２図（Ｃ）のように、フォトマスク６を
除去後に、感光体ガラス２を醒を主成分とするエツチン
グ液内に浸すことによりエツチング処理を行う。これに
より、溝パターン５によりマスクされないで紫外線が照
射された感光性ガラスの部分がエツチングされて溝２ａ
が多数形成される。この溝２ａの形状は上記フォトマス
ク６の溝パターン５の形状に相当したものとなる。
除去後に、感光体ガラス２を醒を主成分とするエツチン
グ液内に浸すことによりエツチング処理を行う。これに
より、溝パターン５によりマスクされないで紫外線が照
射された感光性ガラスの部分がエツチングされて溝２ａ
が多数形成される。この溝２ａの形状は上記フォトマス
ク６の溝パターン５の形状に相当したものとなる。
工程［Ｄ］：第２図（ｄ）のにうに、感光性がラス２を
適当な条件で熱処理を行うことにより、物理的性質を変
えて機械的強度を向上させる。
適当な条件で熱処理を行うことにより、物理的性質を変
えて機械的強度を向上させる。
以上の工程によって、一方の絶縁性固定枠２を得ること
ができる。同様にして他方の絶縁性固定枠３を得ること
ができる。このようにして得られた一対の絶縁性固定枠
２，３の各々の溝２ａ、３ａに対して、必要な数の電極
板１の両端部を固定することにより、第３図のように目
的の平行電極板を組み立てることができる。
ができる。同様にして他方の絶縁性固定枠３を得ること
ができる。このようにして得られた一対の絶縁性固定枠
２，３の各々の溝２ａ、３ａに対して、必要な数の電極
板１の両端部を固定することにより、第３図のように目
的の平行電極板を組み立てることができる。
このＪこうにして得られる絶縁性固定枠は、フォトエツ
チングを利用して電極板を固定ずべき溝を高粘度に容易
に形成することかできる。
チングを利用して電極板を固定ずべき溝を高粘度に容易
に形成することかできる。
［発明の効果］
本発明によれば次のような効果が得られる。
（１）フォトエツチングによって絶縁性固定枠を製造す
るので、一枚標準となるフォトマスクを用意することに
より入射生産が可能となる。
るので、一枚標準となるフォトマスクを用意することに
より入射生産が可能となる。
（２）製造プロセスか簡単となるので、ロス１−ダウン
が図れる。
が図れる。
（３）感光性ガラスの熱膨張係数は小ざく、例えば１
Ｘ １０−５／°Ｃ程度でおり、５０’Ｃの温度変化に
対して長さは０．０５％しか変化しないので、検出感度
は温度変化の影響が少なくなる。
Ｘ １０−５／°Ｃ程度でおり、５０’Ｃの温度変化に
対して長さは０．０５％しか変化しないので、検出感度
は温度変化の影響が少なくなる。
なお実施例で示した電極板材料、希ガス材料としては一
例を示したものであり、希カスとしてはクリプトン（Ｋ
ｒ＞などの他の材料を用いることができる。
例を示したものであり、希カスとしてはクリプトン（Ｋ
ｒ＞などの他の材料を用いることができる。
第１図は本発明実施例によるＣＴ装置用Ｘ線検出器を示
ず斜視図、第２図（ａ＞乃至（ｄ）は平１１電（４４仮
の製造り法を示１Ｊ］［程図、第３図（Ｊ組み立てされ
た平行電極板を示づ１．ｚ１祝図て必る。 １・・・電極板、２，３・・・絶縁性固定枠、２ａ、３
ａ・・・？苫、４・・・容器、５・・・溝ノマクーン、
６・・・〕４トマスク。
ず斜視図、第２図（ａ＞乃至（ｄ）は平１１電（４４仮
の製造り法を示１Ｊ］［程図、第３図（Ｊ組み立てされ
た平行電極板を示づ１．ｚ１祝図て必る。 １・・・電極板、２，３・・・絶縁性固定枠、２ａ、３
ａ・・・？苫、４・・・容器、５・・・溝ノマクーン、
６・・・〕４トマスク。
Claims (1)
- 平行に配置される多数の電極板の端部を絶縁性固定枠で
固定するＣＴ装置用Ｘ線検出器であって、上記絶縁性固
定枠が感光性ガラスから成り、感光性ガラスには電極板
の端部を固定する溝がフォトエッチングにより形成され
ていることを特徴とするＣＴ装置用Ｘ線検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60267928A JPS62128414A (ja) | 1985-11-28 | 1985-11-28 | Ｃｔ装置用ｘ線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60267928A JPS62128414A (ja) | 1985-11-28 | 1985-11-28 | Ｃｔ装置用ｘ線検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62128414A true JPS62128414A (ja) | 1987-06-10 |
Family
ID=17451556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60267928A Pending JPS62128414A (ja) | 1985-11-28 | 1985-11-28 | Ｃｔ装置用ｘ線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62128414A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013141400A1 (ja) * | 2012-03-23 | 2013-09-26 | Hoya株式会社 | 電子増幅用細孔ガラスプレートおよび検出器 |
-
1985
- 1985-11-28 JP JP60267928A patent/JPS62128414A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013141400A1 (ja) * | 2012-03-23 | 2013-09-26 | Hoya株式会社 | 電子増幅用細孔ガラスプレートおよび検出器 |
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