JPH04198840A - Ｃｔ装置 - Google Patents
Ｃｔ装置Info
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- JPH04198840A JPH04198840A JP2326077A JP32607790A JPH04198840A JP H04198840 A JPH04198840 A JP H04198840A JP 2326077 A JP2326077 A JP 2326077A JP 32607790 A JP32607790 A JP 32607790A JP H04198840 A JPH04198840 A JP H04198840A
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- 238000003325 tomography Methods 0.000 claims abstract description 19
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 14
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 abstract 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
- G01N23/046—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using tomography, e.g. computed tomography [CT]
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
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- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ＣＴ装置に係り、特にコンビューティラドト
モグラフィ装置のスキャナにおける測定精度の向上のた
めに好適なＣＴ装置に関する。
モグラフィ装置のスキャナにおける測定精度の向上のた
めに好適なＣＴ装置に関する。
［従来の技術］
従来の装置は、特開昭５６−１６１０３９号公報に記載
のように、扇形に並べた検出器において、中心領域の検
出器のコリメータスリット幅をその両側の検出器のコリ
メータスリット幅より狭くし、試料の中心領域の放射線
透過データを細かく吸収することにより、高い分解能の
断層像を得るようにしていた。
のように、扇形に並べた検出器において、中心領域の検
出器のコリメータスリット幅をその両側の検出器のコリ
メータスリット幅より狭くし、試料の中心領域の放射線
透過データを細かく吸収することにより、高い分解能の
断層像を得るようにしていた。
また、特開昭５７−１８０９４４号公報に記載のように
、放射線源と試料の間にディスク状のエレメントを設け
、エレメントには数種のスリットをあけ、ただしスリッ
トの幅をディスクの位置によって変え、ディスクを回転
させることによってスリット幅を変えることができるよ
うにした放射線源コリメータが示されている。この従来
技術では、放射線源コリメータを回転させることにより
、通常は幅広スリットによる低分解能・高速測定をし、
測定時間を犠牲にしてでも高分解能な断層像を必要とす
るときは、ディスクを回転させて幅の狭いコリメータを
選択し、放射線ビームを絞ることにより断層像の分解能
を高めるようにしていた。
、放射線源と試料の間にディスク状のエレメントを設け
、エレメントには数種のスリットをあけ、ただしスリッ
トの幅をディスクの位置によって変え、ディスクを回転
させることによってスリット幅を変えることができるよ
うにした放射線源コリメータが示されている。この従来
技術では、放射線源コリメータを回転させることにより
、通常は幅広スリットによる低分解能・高速測定をし、
測定時間を犠牲にしてでも高分解能な断層像を必要とす
るときは、ディスクを回転させて幅の狭いコリメータを
選択し、放射線ビームを絞ることにより断層像の分解能
を高めるようにしていた。
［発明が解決しようとする課題］
前記従来技術は、放射線源または検出器に幅の狭いスリ
ットのコリメータを設けて試料を透過したＸ線ビームを
絞るものであり、装置の理論的空間分解能はコリメータ
スリット幅で決まっていた。
ットのコリメータを設けて試料を透過したＸ線ビームを
絞るものであり、装置の理論的空間分解能はコリメータ
スリット幅で決まっていた。
したがって、高い空間分解能を得るためは、コリメータ
のスリット幅を狭くしなければならないが、幅の狭いス
リットを加工することは大変むずかしく、コストがかか
るという問題がある。また、放射線ビームをコリメータ
スリットで絞るため、検出器に入射する放射線量が減少
するので、測定値の誤差が増加する。このため、測定時
間を長くしなければならないという問題があった。さら
に。
のスリット幅を狭くしなければならないが、幅の狭いス
リットを加工することは大変むずかしく、コストがかか
るという問題がある。また、放射線ビームをコリメータ
スリットで絞るため、検出器に入射する放射線量が減少
するので、測定値の誤差が増加する。このため、測定時
間を長くしなければならないという問題があった。さら
に。
像再構成メツシュ上に断層像を再構成する際に、試料の
エツジとメツシュが完全に一致すれば、コリメータ幅で
規定される理論分解能に極めて近い鮮明な画像が得られ
るが、実際には完全に一致するのに困難であり、試料の
エツジが二つのメツシュにかかるようになる。この場合
、断層像において試料のエツジがボケで再構成されるた
め、理論的な空間分解能を達成できないという問題があ
った。
エツジとメツシュが完全に一致すれば、コリメータ幅で
規定される理論分解能に極めて近い鮮明な画像が得られ
るが、実際には完全に一致するのに困難であり、試料の
エツジが二つのメツシュにかかるようになる。この場合
、断層像において試料のエツジがボケで再構成されるた
め、理論的な空間分解能を達成できないという問題があ
った。
本発明の目的は、高空間分解能でかつ高精度の寸法測定
が可能なＣＴ装置を提供することにある。
が可能なＣＴ装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
前記目的は、ＣＴスキャナ上に試料を並進移動させるか
、並進・回転移動させる試料移動台を備えたことにより
、達成される。
、並進・回転移動させる試料移動台を備えたことにより
、達成される。
また、前記目的はＣＴ断層像から求めた試料の重心が、
断層像中を少なくともＸ軸方向とＹ軸方向のいずれか一
方に試料移動台により試料を動かし、試料をメツシュの
数分の１間隔で移動させて断層撮影し、複数の断層像を
求め、合成し得るように構成したことにより、達成され
る。
断層像中を少なくともＸ軸方向とＹ軸方向のいずれか一
方に試料移動台により試料を動かし、試料をメツシュの
数分の１間隔で移動させて断層撮影し、複数の断層像を
求め、合成し得るように構成したことにより、達成され
る。
さらに、前記目的はあらかじめ寸法の既知の物を同時に
断層撮影し、既知の物の寸法が求まるようにＣＴｍのス
レッショルドレベルを設定し得るように構成したことに
より、達成される。
断層撮影し、既知の物の寸法が求まるようにＣＴｍのス
レッショルドレベルを設定し得るように構成したことに
より、達成される。
さらにまた、前記目的はＣＴ断層像から求めた試料の重
心が、メツシュの中心に来るように試料移動台で試料を
移動可能に構成したことにより、達成される。
心が、メツシュの中心に来るように試料移動台で試料を
移動可能に構成したことにより、達成される。
［作用］
本発明では、ＣＴスキャナ上に試料を並進移動または並
進・回転移動させる試料移染台を有している。この試料
移動台上に試料を載せ、ＣＴスキャナ走査してＸ線透過
データを収集し、断層像を再構成する。最初に得られる
断層像は、試料によるＸａ＋Ｘの散乱、検出内クロスト
ーク、像再構成に使用しているフィルタ関数の高域成分
の不足、試料のエツジとメツシュの不一致等の影響によ
り、試料のエツジがボケだ断層像となり、理論的な空間
分解能は達成できない。
進・回転移動させる試料移染台を有している。この試料
移動台上に試料を載せ、ＣＴスキャナ走査してＸ線透過
データを収集し、断層像を再構成する。最初に得られる
断層像は、試料によるＸａ＋Ｘの散乱、検出内クロスト
ーク、像再構成に使用しているフィルタ関数の高域成分
の不足、試料のエツジとメツシュの不一致等の影響によ
り、試料のエツジがボケだ断層像となり、理論的な空間
分解能は達成できない。
通常は、ＣＴ値のスレッショルドレベルを決め、断層像
を表示するわけであるが、前述の各原因により試料のエ
ツジが数メツシュにわたって段階的にＣＴ値が変化する
ように表され、スレッショルドを決めるのがむずかしい
。
を表示するわけであるが、前述の各原因により試料のエ
ツジが数メツシュにわたって段階的にＣＴ値が変化する
ように表され、スレッショルドを決めるのがむずかしい
。
そこで、前記並進移動または並進・回転移動可能な試料
移動台により試料をメツシュ幅の数分の１移動させて断
層撮影をし、以下同様に数分の１ずつ試料を試料移動台
で移動させて断層撮影をする。
移動台により試料をメツシュ幅の数分の１移動させて断
層撮影をし、以下同様に数分の１ずつ試料を試料移動台
で移動させて断層撮影をする。
以上により得られた数枚の断層像を重ねることにより、
試料のエツジでのＣＴ値の変動がなめらかになる。
試料のエツジでのＣＴ値の変動がなめらかになる。
試料と一緒に、あらかじめ寸法が既知である丸棒等の試
料を同時に断層撮影し、既知の寸法が正確に再現される
ようにスレッショルドレベルを決めて断層像を表示する
ことにより、高空間分解能でかつ高精度の寸法測定が可
能となる。
料を同時に断層撮影し、既知の寸法が正確に再現される
ようにスレッショルドレベルを決めて断層像を表示する
ことにより、高空間分解能でかつ高精度の寸法測定が可
能となる。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面により説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は断層
撮影例を示す図、第３図は第２図のＸ軸上のメツシュの
ＣＴ値を示す図、第４図は試料を繰り返し移動させて得
た第２図のＸ軸上のメツシュのＣＴ値を示す図、第５図
は断層撮影例を示す図である。
撮影例を示す図、第３図は第２図のＸ軸上のメツシュの
ＣＴ値を示す図、第４図は試料を繰り返し移動させて得
た第２図のＸ軸上のメツシュのＣＴ値を示す図、第５図
は断層撮影例を示す図である。
その第１図に示す実施例のＣＴ装置は、放射線源である
Ｘ線発生装置１と、ＣＴスキャナ７と、試料移動台９と
、コリメータ３と、多チャンネル検出器（以下、「検出
器」という。）４と、データ収集計算機Ｃ以下、「計算
機Ｊという。）５と、ディスプレイ６とを備えている。
Ｘ線発生装置１と、ＣＴスキャナ７と、試料移動台９と
、コリメータ３と、多チャンネル検出器（以下、「検出
器」という。）４と、データ収集計算機Ｃ以下、「計算
機Ｊという。）５と、ディスプレイ６とを備えている。
そして、Ｘ線発生装置１よりファンビームのＸ線２が照
射される。Ｘ線２はコリメータ３を通って検出器４に入
射し、入射強度に比例した信号が計算機５に送られる。
射される。Ｘ線２はコリメータ３を通って検出器４に入
射し、入射強度に比例した信号が計算機５に送られる。
前記計算機５は、データを収集するとともに、像再構成
演算をし、断層像をディスプレイ６に表示する。一方、
ＣＴスキャナ７により試料８が回転することにより、試
料８のあらゆる方向からのＸ線透過データが検出器４に
より収集される。
演算をし、断層像をディスプレイ６に表示する。一方、
ＣＴスキャナ７により試料８が回転することにより、試
料８のあらゆる方向からのＸ線透過データが検出器４に
より収集される。
ＣＴスキャナ７の試料台上には、試料８を並進移動また
は並進・回転移動するための試料移動台９が設置されて
いる。この試料移動台９上には、試料８が載せられてい
る。
は並進・回転移動するための試料移動台９が設置されて
いる。この試料移動台９上には、試料８が載せられてい
る。
断層撮影において、試料移動台９は任意の位置に固定し
ておき、ＣＴスキャナ７で試料８を回転させ、断層撮影
をする。断層撮影例を第２図に示す。
ておき、ＣＴスキャナ７で試料８を回転させ、断層撮影
をする。断層撮影例を第２図に示す。
第２図では円盤試料８の断層撮影結果を示す。
第２図において、縦・横に直角に交差する４本の直線で
囲まれる領域が一つのメツシュを示す。第２図のＸ軸上
のメツシュのＣＴ値を第３図に示す。
囲まれる領域が一つのメツシュを示す。第２図のＸ軸上
のメツシュのＣＴ値を第３図に示す。
理想的には円盤部分のＣＴ値が１で、外側の空気部分の
ＣＴ値が０であるはずである。しかし、実際には試料８
からの散乱線の影響、像再構成に使用しているフィルタ
関数の高域成分の不足等の影響により、第３図に示すよ
うに、試料８のエツジの部分でＣＴ値が段階的に変化す
る。また、第２図に示すように、試料８のエツジとメツ
シュが一致しないで映像化される場合、本来左右対称に
ＣＴ値が変化するのであるが、第３図に示すように、Ｃ
Ｔ値が変化する段階の形が左右で異なる。
ＣＴ値が０であるはずである。しかし、実際には試料８
からの散乱線の影響、像再構成に使用しているフィルタ
関数の高域成分の不足等の影響により、第３図に示すよ
うに、試料８のエツジの部分でＣＴ値が段階的に変化す
る。また、第２図に示すように、試料８のエツジとメツ
シュが一致しないで映像化される場合、本来左右対称に
ＣＴ値が変化するのであるが、第３図に示すように、Ｃ
Ｔ値が変化する段階の形が左右で異なる。
この場合、スレッショルドレベルの設定位置により断層
像の形が変わる。つまり、試料形状を正確に断層像で表
すことができないことになり、空間分解能は低下する。
像の形が変わる。つまり、試料形状を正確に断層像で表
すことができないことになり、空間分解能は低下する。
本発明では、試料移動台９により試料８をメツシュの数
分の１並進移動させる。例えば、試料移動台９により試
料８をメツシュの１０分の１移動させて断層撮影したの
ち、さらに試料８を試料移動台９により前回と同方向に
メツシュの１０分の１移動させて断層撮影する。以上の
操作を９回繰り返すと、９枚の断層像が得られる。９枚
の各断層像の第２図のＸ軸相当部分のＣＴ値の変動を１
枚の図で表すと、第４図に示すようになる。Ｘ軸上のメ
ツシュの数は第３図に比べて１０倍になり、ＣＴ値の変
化もなめらかに表示される。
分の１並進移動させる。例えば、試料移動台９により試
料８をメツシュの１０分の１移動させて断層撮影したの
ち、さらに試料８を試料移動台９により前回と同方向に
メツシュの１０分の１移動させて断層撮影する。以上の
操作を９回繰り返すと、９枚の断層像が得られる。９枚
の各断層像の第２図のＸ軸相当部分のＣＴ値の変動を１
枚の図で表すと、第４図に示すようになる。Ｘ軸上のメ
ツシュの数は第３図に比べて１０倍になり、ＣＴ値の変
化もなめらかに表示される。
あらかじめ寸法が既知の物を試料８と一緒に前記試料移
動台９で微小移動させながら断層撮影する。得られた断
層像のＣＴ値において、寸法既知の物の寸法が正確に表
示できるように、ＣＴ値のスレッショルドレベルを設定
すると、試料８の断層像においての寸法測定精度は１回
の断層撮影のメツシュ幅の１０分の１にまで向上する。
動台９で微小移動させながら断層撮影する。得られた断
層像のＣＴ値において、寸法既知の物の寸法が正確に表
示できるように、ＣＴ値のスレッショルドレベルを設定
すると、試料８の断層像においての寸法測定精度は１回
の断層撮影のメツシュ幅の１０分の１にまで向上する。
試料移動台９で試料８を微小並進移動させる方向は、第
５図に示すように、最初に得た断層像においてＣＴ値よ
り試料８の重心Ｇを求め、求めた重心Ｇを１重心Ｇを含
むメツシュ上に表示した場合、メツシュの中心を基準と
し、メツシュのＸ軸とメツシュ中心から重心Ｇを結ぶ線
のなす角０分だけ試料移動台９を回転させたのち、微小
並進移動させる。このようにして、断層像より求めた試
料８の重心が、メツシュのＸ軸上を移動するように、試
料８を微小並進移動させることにより、断層像の試料重
心とメツシュの中心が一致する場合が生じ、そのとき試
料８のエツジがメツシュと一致している部分が、最も多
い最適な試料位置になる。
５図に示すように、最初に得た断層像においてＣＴ値よ
り試料８の重心Ｇを求め、求めた重心Ｇを１重心Ｇを含
むメツシュ上に表示した場合、メツシュの中心を基準と
し、メツシュのＸ軸とメツシュ中心から重心Ｇを結ぶ線
のなす角０分だけ試料移動台９を回転させたのち、微小
並進移動させる。このようにして、断層像より求めた試
料８の重心が、メツシュのＸ軸上を移動するように、試
料８を微小並進移動させることにより、断層像の試料重
心とメツシュの中心が一致する場合が生じ、そのとき試
料８のエツジがメツシュと一致している部分が、最も多
い最適な試料位置になる。
この第１図〜第５図に示す実施例によれば、寸法測定精
度を試料移動台９の並進移動ピッチまで高めることがで
き、寸法精度を向上させ得る効果がある。
度を試料移動台９の並進移動ピッチまで高めることがで
き、寸法精度を向上させ得る効果がある。
第６図は本発明の他の実施例を示す図である。
前記第５図に示すように、試料８の断層像における重心
Ｇを求め、重心Ｇを含むメツシュでのメツシュ中心と重
心間の距離およびＸ軸と重心Ｇからメツシュ中心を結ぶ
線との間の角度θを求める。
Ｇを求め、重心Ｇを含むメツシュでのメツシュ中心と重
心間の距離およびＸ軸と重心Ｇからメツシュ中心を結ぶ
線との間の角度θを求める。
ついで、試料８を試料移動台９でθだけ回転させ、かつ
メツシュ中心と重心間に相当する距離を並進移動させる
。
メツシュ中心と重心間に相当する距離を並進移動させる
。
並進移動ののち断層撮影を実施すると、並進移動前の断
層像およびＣＴ値レベルは第６図（ａ）に示すように、
エツジが多くのメツシュにまたがるため、エツジでボケ
を生ずるようになっていたが、並進移動後の断層像は第
６図（ｂ）に示すように、試料のエツジとメツシュが一
致するため、エツジのボケが少ない鮮明な断層像が得ら
れる。
層像およびＣＴ値レベルは第６図（ａ）に示すように、
エツジが多くのメツシュにまたがるため、エツジでボケ
を生ずるようになっていたが、並進移動後の断層像は第
６図（ｂ）に示すように、試料のエツジとメツシュが一
致するため、エツジのボケが少ない鮮明な断層像が得ら
れる。
前記ＣＴスキャナにおいて１回転動作のみでなく、並進
・回転動作が加わった第１．第２世代のＣＴ装置におい
ても、第６図に示す実施例を適用することにより、同様
の測定を行うことができる。
・回転動作が加わった第１．第２世代のＣＴ装置におい
ても、第６図に示す実施例を適用することにより、同様
の測定を行うことができる。
この第６図に示す実施例によれば、メツシュで規定され
る理論的な空間分解能まで高めることができる効果があ
る。
る理論的な空間分解能まで高めることができる効果があ
る。
［発明の効果］
以上説明した本発明の請求項１記載の発明によれば、Ｃ
Ｔスキャナ上に試料を並進移動させるが、並進・回転移
動させる試料移動台を備えており、試料をメツシュ幅の
数分の１ずつ移動させて断層撮影を行い得るようにして
いるので、ＣＴ断層像の試料のエツジにおけるＣＴ値の
変化をなめらかにでき、したがって高空間分解能でかつ
高精度の寸法測定を行い得る効果がある。
Ｔスキャナ上に試料を並進移動させるが、並進・回転移
動させる試料移動台を備えており、試料をメツシュ幅の
数分の１ずつ移動させて断層撮影を行い得るようにして
いるので、ＣＴ断層像の試料のエツジにおけるＣＴ値の
変化をなめらかにでき、したがって高空間分解能でかつ
高精度の寸法測定を行い得る効果がある。
また、本発明の請求項２記載の発明によれば、ＣＴ断層
像から求めた試料の重心が、断層像中を少なくともＸ＃
力方向Ｙ軸方向のいずれか一方に試料移動台により試料
を動かし、試料をメツシュの数分の１間隔で移動させて
断層撮影し、複数の断層像を求め、合成し得るように構
成しているので、より一層試料のエツジでのＣＴ値の変
化がなめらかになり、したがって高空間分解能でかつ高
精度の寸法測定を行い得る効果がある。
像から求めた試料の重心が、断層像中を少なくともＸ＃
力方向Ｙ軸方向のいずれか一方に試料移動台により試料
を動かし、試料をメツシュの数分の１間隔で移動させて
断層撮影し、複数の断層像を求め、合成し得るように構
成しているので、より一層試料のエツジでのＣＴ値の変
化がなめらかになり、したがって高空間分解能でかつ高
精度の寸法測定を行い得る効果がある。
さらに、本発明の請求項３記載の発明によれば、あらか
じめ寸法の既知の物を同時に断層撮影し、既知の物の寸
法が求まるようにＣＴ値のスレッショルドレベルを設定
し得るように構成しており、あらかじめ寸法が分かって
いる物の断層撮影結果よりスレッショルドレベルを決め
、試料の断層像を表示することにより、寸法精度の高い
断層像が得られる効果がある。
じめ寸法の既知の物を同時に断層撮影し、既知の物の寸
法が求まるようにＣＴ値のスレッショルドレベルを設定
し得るように構成しており、あらかじめ寸法が分かって
いる物の断層撮影結果よりスレッショルドレベルを決め
、試料の断層像を表示することにより、寸法精度の高い
断層像が得られる効果がある。
さらにまた、本発明の請求項４記載の発明によれば、Ｃ
Ｔ断層像から求めた試料の重心が、メツシュの中心に来
るように試料移動台で試料を移動可能に構成しているの
で、試料のエツジとメツシュを一致させることにより、
エツジのボケが小さく、空間分解能の高い断層像が得ら
れる効果がある。
Ｔ断層像から求めた試料の重心が、メツシュの中心に来
るように試料移動台で試料を移動可能に構成しているの
で、試料のエツジとメツシュを一致させることにより、
エツジのボケが小さく、空間分解能の高い断層像が得ら
れる効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は断層
撮影例を示す図、第３図は第２図のＸ軸上のＣＴ値を示
す図、第４図は本発明による第２図のＸ軸上のＣＴ値を
示す図、第５図は断層撮影例を示す図、第６図は本発明
の他の実施例を示す図である。 １・・・Ｘ線発生装置、２・・・Ｘ線、３・・・コリメ
ータ、４・・・検出器、５・・・計算機、６・・・ディ
スプレイ、７・・・ＣＴスキャナ、８・・・試料、９・
・・試料移動台。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第１図 ６ テパイスフーＶイ ア’ＣＴスキャナ ８試料 ９試竹惣動か 第２図 ８試料 第３図 第４図
撮影例を示す図、第３図は第２図のＸ軸上のＣＴ値を示
す図、第４図は本発明による第２図のＸ軸上のＣＴ値を
示す図、第５図は断層撮影例を示す図、第６図は本発明
の他の実施例を示す図である。 １・・・Ｘ線発生装置、２・・・Ｘ線、３・・・コリメ
ータ、４・・・検出器、５・・・計算機、６・・・ディ
スプレイ、７・・・ＣＴスキャナ、８・・・試料、９・
・・試料移動台。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第１図 ６ テパイスフーＶイ ア’ＣＴスキャナ ８試料 ９試竹惣動か 第２図 ８試料 第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、放射線源と検出器とＣＴスキャナと計算機とディス
プレイで構成されたＣＴ装置において、ＣＴスキャナ上
に試料を並進移動させるか、並進・回転移動させる試料
移動台を備えたことを特徴とするＣＴ装置。 ２、請求項１記載のＣＴ装置において、ＣＴ断層像から
求めた試料の重心が、断層像中を少なくともＸ軸方向と
Ｙ軸方向のいずれか一方に試料移動台により試料を動か
し、試料をメッシュの数分の１間隔で移動させて断層撮
影し、複数の断層像を求め、合成し得るように構成した
ことを特徴とするＣＴ装置。 ３、請求項２記載のＣＴ装置において、あらかじめ寸法
の既知の物を同時に断層撮影し、既知の物の寸法が求ま
るようにＣＴ値のスレッショルドレベルを設定し得るよ
うに構成したことを特徴とするＣＴ装置。 ４、請求項１記載のＣＴ装置において、ＣＴ断層像から
求めた試料の重心が、メッシュの中心に来るように試料
移動台で試料を移動可能に構成したことを特徴とするＣ
Ｔ装置。
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| JP2326077A JP2978238B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Ｃｔ装置 |
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|---|---|---|---|
| JP2326077A JP2978238B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Ｃｔ装置 |
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| JP2978238B2 JP2978238B2 (ja) | 1999-11-15 |
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ID=18183856
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2326077A Expired - Fee Related JP2978238B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Ｃｔ装置 |
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1990
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1991
- 1991-11-27 US US07/799,206 patent/US5228071A/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
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| US5228071A (en) | 1993-07-13 |
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