JPS62123003A - オゾン発生装置 - Google Patents

オゾン発生装置

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Publication number
JPS62123003A
JPS62123003A JP26347685A JP26347685A JPS62123003A JP S62123003 A JPS62123003 A JP S62123003A JP 26347685 A JP26347685 A JP 26347685A JP 26347685 A JP26347685 A JP 26347685A JP S62123003 A JPS62123003 A JP S62123003A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
discharge
seed
discharge space
formula
negative electrode
Prior art date
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Pending
Application number
JP26347685A
Other languages
English (en)
Inventor
Hirotsugu Tsugawa
津川 博次
Akira Shibuya
渋谷 章
Yoshinori Kawasaki
川崎 義則
Akira Mizuno
彰 水野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS62123003A publication Critical patent/JPS62123003A/ja
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  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、湿式オゾン酸化同時脱硫脱硝プラント、上水
の殺菌、尿尿処理装置における廃水の脱色などに使用さ
れるオゾン発生装置、とくに装置の小形化を図り、且つ
電力効率の良い、安定した1jil電を行い得るオゾン
発生装置に関するものである。
[従来の技術j 従来の、無声放電式と呼ばれるオゾン発生装置は、第4
図に示すように10数KVの高圧交流電圧を印加した電
極a、b間にアーク放電を防止するためがラスなどのご
電体Cを配置し、−条な無声放電を発生させるため電極
a、b l!ilの間隔dを511II11以下に制限
していた。なJ′−3、図中、jは交流電源、[は原料
ガス入口、りは(を成オゾン含有ガス出Oeある。
[発明が解決しようとする問題点J しかし、航述の構造によると放電空間が小さいため原料
空気の部品が制限され、一定さ!1のオゾンを生産する
には電極面積を大きく設定する必要があり、その結果、
装置の外形寸法が人さ・くなる。また、無iri放電に
J3ける小放電は、オゾン生成に有効であるが放電終期
にオゾン生成にあまり寄与しないアーク放電に変わるた
め、大電流を消費し電力効率が低い(約5%)などの問
題点があった。
[問題点を解決するための手段] 本発明は、前述の問題点を解決するためになしたもので
、その要旨は、相対する電極間に放電空間を形成し、該
放電空間内に供給した酸素を含有する原料ガスまたは空
気から放電作用を利用してオゾンを生成するオゾン発生
装置において、数10声S以下のパルス幅を有する高電
圧パルスを発生する電源装置と、該電源装置のプラス側
に接続したプラス電極と、前記電源装置のマイナス側に
接続され前記プラス電極に相対する部分に多数の孔を設
けたマイナス電極と、該マイナス電極の反プラス電ル側
に配置した種電子発生装置とを備えたものである。
[作  用] 種電子発生装置によって発生した種電子が、放電空間内
に入り、電極に印加されるパルス幅数107S以下の高
電圧パルスの放電により電子ナダレ現象を起す時の種電
子として均一で且つ安定した放電を生成することができ
、アーク放電が抑制される。また、電極にパルス電圧を
印加するので、高電圧を印加できる。従って電力消費を
節減すると共に電極間隔を増大することが可能となり、
装置の小形化を図り得る。
[実 施 例] 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。第1
図および第2図は本発明の第1の実施例を示すもので、
図中、1は円筒状に形成したプラス電極、2はプラス電
極1内に同心に配置され、プラス電極1と相対する部分
に多数の孔3を穿った円筒状のマイナス電極、4は絶縁
碍子、5は酸素含有原料ガスまたは空気の取入口、6は
生成オゾン含有ガス取出口、1は放電空間、8はパルス
幅が数10μs以下の高圧パルス電源装置、9はマイナ
ス電極2の中心部の真空中に配置した線状のフィラメン
ト10およびマイナス電極2の内側に設けた筒状の種電
子通過窓(アルミ箔またはチタン箔製)などからなる種
電子発生装置であり、各電極1,2およびフィラメント
10はその極性に従って図示のごとく電源装置8に接続
されている。
次に、本装置の作動について説明する。各電極1.2お
よびフィラメン1〜10に高圧パルス電圧を印加すると
、昇温したフィラメント10から熱雷子12(以下、種
電子と呼ぶ)が放出され、この種電子12は種電子通過
窓11を貫通し、孔3を通って放電空間7内に放出され
(矢印h)、ここで原料ガス(酸素、また空気)と接触
して次式に述べる゛電子ブーダレ″現象を引き起こし、
種電子の故が連鎖反応的に急激に増大する(第2図参照
)。
(1)  原料ガスが酸素ガスの場合 e十02→e十〇+02   式(1)(2)  原料
ガスが空気の場合は式(1)の他にe+N2−+e+e
+4J2   式(クイして、この飛躍的に増大した多
小の種電子12は放電空間7内に供給した酸素ガス02
に衝突して励起電層しラジカルを生成して、次式に従っ
てオゾンo3を生成する。
02 +e−+Q+Q+c    式(3)0 + 0
2 →03        式(4)本発明の第2の実
施例を第3図に承り。この例tま、電4i1a、2aを
板状に形成して相互に平行に配置し、種電子発生装置9
aをマイナス電極2aの上面に配置し、フィラメント1
0aを板状に(又は複数本)に形成したもので、その他
は第1の実施例と変わるところはない。
なお、本発明は前述の実施例にのみ限定されるものでは
なく、例えば種電子発生装置にはアイソトープ、電子ビ
ーム発生装置霞などを適用してもよくまた紫外線あるい
はX線などによる光電離種電子発生装置を使用してもよ
いことなど、その他本発明の要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々の変更を加え得ることは勿論である。
[発明の効果] 以上に述べたごとく本発明は次の優れた効果を発揮する
(1)  種電子発生装置を用いて放電空間内で電子ナ
ダレ現象を発生させるので、安定で均一な放電を形成で
きる。
(n)  第(1)項の結果、アーク放電が抑制され電
力効率の向上(従来の約5%を約10〜15%まで向上
)を図ることができる。
0 放電電極にパルス電圧を断続的に繰り返えし印加す
るので高電圧印加が可能になり、極間間隔を拡大(従来
の5mm以下を50〜100mmまで拡大)でき、装置
の小形化を図り得る。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は本発明の第1の実施例を示し、第
1図は切断側面図、第2図は電子ナダレ現象の説明図、
第3図は本発明の第2の実施例を示す切断側面図、第4
図は従来の装置の説明図である。 図中、1,1aはプラス電極、2,2aはマイナス電極
、3は孔、5は原料ガス入口、6は生成オゾン含有ガス
出口、7は放゛市空間、8は電源Q置、9.9af、を
種子発生装置、10.10aはフィラメン1〜.12は
種電子を示す。 第1 因 第2図 1つ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1)相対する電極間に放電空間を形成し、該放電空間内
    に供給した酸素を含有する原料ガスまたは空気から放電
    作用を利用してオゾンを生成するオゾン発生装置におい
    て、パルス幅数10μs以下の高電圧パルスを発生する
    電源装置と、該電源装置のプラス側に接続したプラス電
    極と、前記電源装置のマイナス側に接続され前記プラス
    電極に相対する部分に多数の孔を設けたマイナス電極と
    、該マイナス電極の反プラス電極側に配置した種電子発
    生装置とを備えたことを特徴とするオゾン発生装置。
JP26347685A 1985-11-22 1985-11-22 オゾン発生装置 Pending JPS62123003A (ja)

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JP26347685A JPS62123003A (ja) 1985-11-22 1985-11-22 オゾン発生装置

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JPS62123003A true JPS62123003A (ja) 1987-06-04

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ID=17390037

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JP26347685A Pending JPS62123003A (ja) 1985-11-22 1985-11-22 オゾン発生装置

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