JPS62120972A - 加圧装置 - Google Patents
加圧装置Info
- Publication number
- JPS62120972A JPS62120972A JP61264646A JP26464686A JPS62120972A JP S62120972 A JPS62120972 A JP S62120972A JP 61264646 A JP61264646 A JP 61264646A JP 26464686 A JP26464686 A JP 26464686A JP S62120972 A JPS62120972 A JP S62120972A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- voltage
- setting device
- setting
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ラッピングマシンやポリッシングマシン等の
ように、被加工物を加圧状態に保持した状態で加工する
装置などに使用して好適な加圧装置に関するものである
。
ように、被加工物を加圧状態に保持した状態で加工する
装置などに使用して好適な加圧装置に関するものである
。
例えば、ラッピングマシンやポリッシングマシン等にお
いては、流体圧シリンダに連結された定盤やプレッシャ
プレートによって被加工物に特定の加圧力を作用させ、
その状態で該被加工物の加工を行うようにしている。こ
の場合、一般には。
いては、流体圧シリンダに連結された定盤やプレッシャ
プレートによって被加工物に特定の加圧力を作用させ、
その状態で該被加工物の加工を行うようにしている。こ
の場合、一般には。
ｗ４１図に示すよ−うに、加圧力の最小値Ｐ１と最大値
Ｐ、とを予め設定しておき、最小値Ｐ１でＴｏ時間初期
加工した後加圧力を最大値Ｐ２に切換えるが、加圧力が
急激に一ヒ昇するため被加工物に与えるショックが非常
に大きく、被加工物の割れや傷の発生が避けられなかっ
た。しかも、特にポリッシングの場合には、−気に負荷
が増大するためモータやその他の部品に伝わるショック
が大きく、一時的に急激なオーバーロードとなって機械
が停止することもあり、繰り返しの使用によっては機械
に与えるダメージが非常に大きかった。
Ｐ、とを予め設定しておき、最小値Ｐ１でＴｏ時間初期
加工した後加圧力を最大値Ｐ２に切換えるが、加圧力が
急激に一ヒ昇するため被加工物に与えるショックが非常
に大きく、被加工物の割れや傷の発生が避けられなかっ
た。しかも、特にポリッシングの場合には、−気に負荷
が増大するためモータやその他の部品に伝わるショック
が大きく、一時的に急激なオーバーロードとなって機械
が停止することもあり、繰り返しの使用によっては機械
に与えるダメージが非常に大きかった。
また、初期加工時における加圧力の設定が一定であるた
め、被加工物のばらつきによってはそのばらつき分がラ
ップによって吸収され、加圧力の低下によって全く加工
されない状態が生じることもあった。
め、被加工物のばらつきによってはそのばらつき分がラ
ップによって吸収され、加圧力の低下によって全く加工
されない状態が生じることもあった。
本発明は、上記従来の欠点を解消し、加圧力を徐々に変
化させ得るようにすることを目的とするもので、その目
的を達成するため、本発明の加圧装置は、被加工物等に
加圧力を作用させるための部材を取付けたエアシリンダ
等の７クチユエータと、入力電流に比例した空気圧を出
力し、その出力に基づいて上記７クチユエータをアナロ
グ制御する電空変換レギュレータと、該電空変換レギュ
レータをＭｆａするコントローラとを備え、該コントロ
ーラは、上記７クチユエータによる加圧力の最小値と最
大値とを電圧として設定する加圧力設定器と、加圧力が
最小値から最大値になるまでの上昇時間を設定する上昇
時間設定器と、設定された上昇時間内に一定の時間間隔
でデジタル信号を出力するデジタル信号発生回路と、上
記加圧力設定器における最大値設定電圧と最小値設定電
圧との電圧差を求める引算回路と、該電圧差を細分割す
ることにより微小な単位上昇電圧を求め、この単位と昇
電圧に上記デ、ジタル信号発生回路からのデジタル信号
数を乗じて出力するＤ／Ａ変換回路と、該Ｄ／Ａ変換回
路からの出力に加圧力設定器からの最小値設定電圧を加
算して出力する加算回路と、該加算回路からの出力を電
流に変換するＶ／１変換回路とによって構成したことを
特徴としている。
化させ得るようにすることを目的とするもので、その目
的を達成するため、本発明の加圧装置は、被加工物等に
加圧力を作用させるための部材を取付けたエアシリンダ
等の７クチユエータと、入力電流に比例した空気圧を出
力し、その出力に基づいて上記７クチユエータをアナロ
グ制御する電空変換レギュレータと、該電空変換レギュ
レータをＭｆａするコントローラとを備え、該コントロ
ーラは、上記７クチユエータによる加圧力の最小値と最
大値とを電圧として設定する加圧力設定器と、加圧力が
最小値から最大値になるまでの上昇時間を設定する上昇
時間設定器と、設定された上昇時間内に一定の時間間隔
でデジタル信号を出力するデジタル信号発生回路と、上
記加圧力設定器における最大値設定電圧と最小値設定電
圧との電圧差を求める引算回路と、該電圧差を細分割す
ることにより微小な単位上昇電圧を求め、この単位と昇
電圧に上記デ、ジタル信号発生回路からのデジタル信号
数を乗じて出力するＤ／Ａ変換回路と、該Ｄ／Ａ変換回
路からの出力に加圧力設定器からの最小値設定電圧を加
算して出力する加算回路と、該加算回路からの出力を電
流に変換するＶ／１変換回路とによって構成したことを
特徴としている。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
に、第２図に示す加圧装置は、エアシリンダ等からなる
アクチュエータ１と、該アクチュエータｌをアナログ制
御する電空変換レギュレータ２と、該レギュレータ２を
制御するコントローラ３とを備えている。
に、第２図に示す加圧装置は、エアシリンダ等からなる
アクチュエータ１と、該アクチュエータｌをアナログ制
御する電空変換レギュレータ２と、該レギュレータ２を
制御するコントローラ３とを備えている。
上記アクチュエータ１は、ピストンロッド４に加圧用部
材５を取付け、該加圧用部材５を介して被加工物８に加
圧力を作用させるようにしたもので１図示の実施例では
、上記加圧用部材５をラッピングマシンやポリッシング
マシン等における上定盤またはプレッシャプレートとし
て構成し、下定盤７との間に加圧状態で挟持した被加工
物８の研削加工を行うように構成している。
材５を取付け、該加圧用部材５を介して被加工物８に加
圧力を作用させるようにしたもので１図示の実施例では
、上記加圧用部材５をラッピングマシンやポリッシング
マシン等における上定盤またはプレッシャプレートとし
て構成し、下定盤７との間に加圧状態で挟持した被加工
物８の研削加工を行うように構成している。
また、電空変換レギュレータ２は、空気源８からの空気
圧を入力電流に比例した空気圧に変換して出力し、その
出力に基づいて上記アクチュエータｌによる加圧力をア
ナログ制御するもので、その具体的構成及び作用は以下
に述べる通りである。即ち、ムービングコイル９に電流
が供給されると、その電流に比例した電磁力によって該
コイル８と永久磁石１０との間に反発力が生じ、この反
発力によってフラッパ１１が下方に変位してノズル１２
との間の隙間が狭くなる。上記ノズル１２には、パイロ
ットポート１３を通じて空気源８からパイロットエアが
供給されており、上記隙間が狭くなることによって該ノ
ズル１２の背圧は上昇する。そして、上昇したノズル背
圧は背圧室１４に供給され、ダイヤフラム１５を押圧す
ることにより２つのダイヤプラム１５．１８に支持され
た弁座体１７を介して弁６１８を下動させ、ディスク弁
１９を背圧に応じた開口量だけ開放させる。これによっ
て入力ボート２０から、出カポ−）２１へと圧力空気が
流れ、出カポ−）２１からは上記背圧に比例した空気圧
が７クチユエータｌに出力される。
圧を入力電流に比例した空気圧に変換して出力し、その
出力に基づいて上記アクチュエータｌによる加圧力をア
ナログ制御するもので、その具体的構成及び作用は以下
に述べる通りである。即ち、ムービングコイル９に電流
が供給されると、その電流に比例した電磁力によって該
コイル８と永久磁石１０との間に反発力が生じ、この反
発力によってフラッパ１１が下方に変位してノズル１２
との間の隙間が狭くなる。上記ノズル１２には、パイロ
ットポート１３を通じて空気源８からパイロットエアが
供給されており、上記隙間が狭くなることによって該ノ
ズル１２の背圧は上昇する。そして、上昇したノズル背
圧は背圧室１４に供給され、ダイヤフラム１５を押圧す
ることにより２つのダイヤプラム１５．１８に支持され
た弁座体１７を介して弁６１８を下動させ、ディスク弁
１９を背圧に応じた開口量だけ開放させる。これによっ
て入力ボート２０から、出カポ−）２１へと圧力空気が
流れ、出カポ−）２１からは上記背圧に比例した空気圧
が７クチユエータｌに出力される。
上記出力ボート２１からの空気圧は、コイル８へ供給す
る電流を制御することによってそれと比例的に制御する
ことができ、この電流の制御を上記コントローラ３で行
うようにしている。即ち、このコントローラ３は、第３
図及び第４図に示すように、上記アクチュエータ！によ
る加圧力の最小値と最大値とをそれぞれ電圧Ｖ、 、
ｖｌとして設定する加圧力設定器２２．２３と、加圧力
即ち電圧がｖｌからｖｌにＦ昇するまでの上昇時間Ｔを
設定する上昇時間設定器２４とを備え、上記加圧力設定
器２２．２３には、引算回路、 Ｄ／Ａ変換回路、加圧
力設定器２３に接続された加算回路、及び電圧を電流に
変換するＶ／Ｉ変換回路がそれぞれ接続され、一方、上
昇時間設定器２４には、クロック信号発生回路及びカウ
ンタ回路からなるデジタル信号発生回路が接続され、こ
のデジタル信号発生回路の出力は上記Ｄ／Ａ変換回路に
接続されている。
る電流を制御することによってそれと比例的に制御する
ことができ、この電流の制御を上記コントローラ３で行
うようにしている。即ち、このコントローラ３は、第３
図及び第４図に示すように、上記アクチュエータ！によ
る加圧力の最小値と最大値とをそれぞれ電圧Ｖ、 、
ｖｌとして設定する加圧力設定器２２．２３と、加圧力
即ち電圧がｖｌからｖｌにＦ昇するまでの上昇時間Ｔを
設定する上昇時間設定器２４とを備え、上記加圧力設定
器２２．２３には、引算回路、 Ｄ／Ａ変換回路、加圧
力設定器２３に接続された加算回路、及び電圧を電流に
変換するＶ／Ｉ変換回路がそれぞれ接続され、一方、上
昇時間設定器２４には、クロック信号発生回路及びカウ
ンタ回路からなるデジタル信号発生回路が接続され、こ
のデジタル信号発生回路の出力は上記Ｄ／Ａ変換回路に
接続されている。
いま、上記加圧力設定器２２．２３で加圧力の最小値と
最大値とが電圧として設定されると、引算回路で最大値
設定電圧−と最小値設定電圧ｖ１との差が求められ、そ
れがＤ／Ａ変換回路に入力される。
最大値とが電圧として設定されると、引算回路で最大値
設定電圧−と最小値設定電圧ｖ１との差が求められ、そ
れがＤ／Ａ変換回路に入力される。
一方、クロック信号発生回路からは、設定された上昇時
間Ｔ内において該上昇時間Ｔにより決められる時間間隔
でクロー２クパルスが出力され、このクロックパルスに
よってカウンタ回路からデジタル信号が出力されて上記
Ｄ／Ａ変換回路に入力される。そして、このＤ／Ａ変換
回路においては、上記電圧差Ｖ、 −Ｖ、が定ａｋで割
算されて微小な単位上昇電圧Δ■（第５図参照）が求め
られると共に、求められた単位上昇電圧ΔＶに上記デジ
タル信号が入力される毎にそのデジタル信号のカウント
数Ｎが重ぜられ、それによって得られる一ＶＸＮなる信
号が次段の加算回路に入力される。そして、この加算回
路において、上記信号に加圧力設定器２２からの最小値
設定電圧Ｖ、が加算されることによって馬＝ΔＶ Ｘ
Ｎ ＋ Ｖ、なる演算が行われ、それがＶ／Ｉ変換回路
に入力されて電流工。に変換され、この電流工。が電空
変換レギュレータ２に供給される。
間Ｔ内において該上昇時間Ｔにより決められる時間間隔
でクロー２クパルスが出力され、このクロックパルスに
よってカウンタ回路からデジタル信号が出力されて上記
Ｄ／Ａ変換回路に入力される。そして、このＤ／Ａ変換
回路においては、上記電圧差Ｖ、 −Ｖ、が定ａｋで割
算されて微小な単位上昇電圧Δ■（第５図参照）が求め
られると共に、求められた単位上昇電圧ΔＶに上記デジ
タル信号が入力される毎にそのデジタル信号のカウント
数Ｎが重ぜられ、それによって得られる一ＶＸＮなる信
号が次段の加算回路に入力される。そして、この加算回
路において、上記信号に加圧力設定器２２からの最小値
設定電圧Ｖ、が加算されることによって馬＝ΔＶ Ｘ
Ｎ ＋ Ｖ、なる演算が行われ、それがＶ／Ｉ変換回路
に入力されて電流工。に変換され、この電流工。が電空
変換レギュレータ２に供給される。
かくして、電空変換レギュレータ２へ通電される電流炙
制御してそれと比例的に出カポ−）２１からの空気圧を
制御することにより、アクチュエータｌによる加圧力は
、第４図に示すように緩やかに上昇することになる。実
際には、第５図に示すように段階的な上、昇を行うが、
単位上昇電圧ΔＶ及びパルス間隔Δｔが非常に小さいた
め、はとんど？ｌｊｒ線的に上昇するものと考えること
ができる。
制御してそれと比例的に出カポ−）２１からの空気圧を
制御することにより、アクチュエータｌによる加圧力は
、第４図に示すように緩やかに上昇することになる。実
際には、第５図に示すように段階的な上、昇を行うが、
単位上昇電圧ΔＶ及びパルス間隔Δｔが非常に小さいた
め、はとんど？ｌｊｒ線的に上昇するものと考えること
ができる。
なお、加圧力の減少も同様にして行い得ることはもちろ
んである。
んである。
このように本発明によれば、加圧力の最小値と最大値及
びそれらの上昇時間を設定するだけで加圧力を徐々に変
化させることができ、それによって被加工物や機械に与
えるショックを著しく緩和させることができる。
びそれらの上昇時間を設定するだけで加圧力を徐々に変
化させることができ、それによって被加工物や機械に与
えるショックを著しく緩和させることができる。
第１図は従来方法の説明図、第２図は本発明に係る加圧
装置の構成図、第３図はコントローラの構成図、第４図
は未発明における特性図、第５図はその部分拡犬図であ
る。 １ ロアクチュエータ、 ２・・電空変換レギュレータ、 ３・・コントローラ、 ５・・加圧用部材。 ６・φ被加工物、 ２２．２３０・加圧力設定器、２４
・Φ上昇時間設定器。 特許出願人 スピードファム株式会社 易 り 掻 ｎ
装置の構成図、第３図はコントローラの構成図、第４図
は未発明における特性図、第５図はその部分拡犬図であ
る。 １ ロアクチュエータ、 ２・・電空変換レギュレータ、 ３・・コントローラ、 ５・・加圧用部材。 ６・φ被加工物、 ２２．２３０・加圧力設定器、２４
・Φ上昇時間設定器。 特許出願人 スピードファム株式会社 易 り 掻 ｎ
Claims (1)
- １、被加工物等に加圧力を作用させるための部材を取付
けたエアシリンダ等のアクチュエータと、入力電流に比
例した空気圧を出力し、その出力に基づいて上記アクチ
ュエータをアナログ制御する電空変換レギュレータと、
該電空変換レギュレータを制御するコントローラとを備
え、該コントローラは、上記アクチュエータによる加圧
力の最小値と最大値とを電圧として設定する加圧力設定
器と、加圧力が最小値から最大値になるまでの上昇時間
を設定する上昇時間設定器と、設定された上昇時間内に
一定の時間間隔でデジタル信号を出力するデジタル信号
発生回路と、上記加圧力設定器における最大値設定電圧
と最小値設定電圧との電圧差を求める引算回路と、該電
圧差を細分割することにより微小な単位上昇電圧を求め
、この単位上昇電圧に上記デジタル信号発生回路からの
デジタル信号数を乗じて出力するＤ／Ａ変換回路と、該
Ｄ／Ａ変換回路からの出力に加圧力設定器からの最小値
設定電圧を加算して出力する加算回路と、該加算回路か
らの出力を電流に変換するＶ／Ｉ変換回路とによって構
成したことを特徴とする加圧装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61264646A JPS62120972A (ja) | 1986-11-06 | 1986-11-06 | 加圧装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61264646A JPS62120972A (ja) | 1986-11-06 | 1986-11-06 | 加圧装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62120972A true JPS62120972A (ja) | 1987-06-02 |
Family
ID=17406245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61264646A Pending JPS62120972A (ja) | 1986-11-06 | 1986-11-06 | 加圧装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62120972A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4884991A (ja) * | 1972-02-01 | 1973-11-10 |
-
1986
- 1986-11-06 JP JP61264646A patent/JPS62120972A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4884991A (ja) * | 1972-02-01 | 1973-11-10 |
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