JPS62119778A - 浮上ヘツド測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 以下の順序で本発明を説明する。

Ａ産業上の利用分野 Ｂ発明の概要 Ｃ従来の技術 り発明が解決しようとする問題点 Ｅ問題点を解決するための手段（第１図、第６図〜第８
図） Ｆ作用（第１図、第６図〜第８図） Ｇ実施例（第１図〜第８図） Ｈ発明の効果 Ａ産業上の利用分野 本発明は浮上ヘッド測定装置に関し、特にいわゆるハー
ドディスク等に用いられる浮上ヘッドの浮上態様の判定
をなし得るようにしたものである。

Ｂ発明の概要 本発明は、回転するディスクと、このディスクの表面に
生ずる空気流を利用して浮上するように配設されたヘッ
ド部との間に生ずる光学的干渉縞によって、ヘッド部の
浮上状態を評定する浮上ヘッド測定装置において、ヘッ
ド部のスライド面に発生した光学的干渉縞を平面的な映
像データとして取り込むようにしたことにより、ヘッド
部のスライド面を種々の面から評定し得るようにしたも
のである。

Ｃ従来の技術 いわゆるハードディスクを用いた情報記録再生装置にお
いては、高速回転する磁気ディスクに対して磁気ヘッド
を微小空隙を保って対向させることにより、磁気ディス
ク上に情報を高密度記録し、又は再生できるような工夫
がされており、従来微小空隙を保って磁気ヘッドを磁気
ディスク表面に対向させる方法として、磁気ディスクが
その高速回転に伴って連れ回る空気流によって磁気ヘッ
ドを浮上させる方法が採用されている。

この種の情報記録再生装置において、磁気ヘッドを浮上
させた際に、その浮上態様を詳細に把握する手段が有れ
ば、ヘッドが設計通りに安定に浮上しているか否かを評
価したり、ヘッドに関する問題点を改善するための手段
を講する際に有効であると考えられる。

このような考え方に基づいて、ヘッドの浮上安定性を測
定する装置が、特開昭６０−１２４０７１号公報及び特
開昭６０−１２４０７２号公報に開示されている。

Ｄ発明が解決しようとする問題点 この従来の浮上安定性測定装置は、磁気ヘッドが対向す
べき磁気ディスクに代えて、高速回転する透明ガラス板
を有し、この透明ガラス板を通して磁気ヘッド表面をＶ
ＴＲカメラで撮像する。

その結果、磁気ヘッド及び透明ガラス板間の空隙に対応
する光学的な色土渉縞が生じ、これをＶＴＲカメラによ
って撮像することにより、色土渉縞がヘッドの浮上態様
に応じて変動するので、この色土渉縞の変動を手掛りと
して浮上ヘッドの評定をし得るようになされている。

ところがこの従来の装置は、ヘッドの浮上態様に重大な
関連を有するスライダ（磁気ヘッドを搭載している）の
スライド面の形状、表面の凹凸、欠陥のを無等を種々の
側面から評定できるような情報を得ることはできなかっ
た。

本発明は以上の点を考慮してなされたもので、ヘッドを
搭載して浮上するスライダについて、種々の評定データ
を取り込むことができるようにした浮上ヘッド測定装置
を提案しようとするものである。

Ｅ問題点を解決するための手段 かかる問題点を解決するため本発明においては、回転す
るディスク３と、このディスク３の表面に生ずる空気流
を利用して浮上するように配設されたヘッド部４との間
に生ずる光学的干渉縞によって、ヘッド部４の浮上状態
を評定する浮上ヘッド測定装置において、ヘッド部４は
ヘッド４Ｃを搭載してなるスライダ４Ａを有し、スライ
ダ４Ａの表面及びディスク３の表面間に光学的干渉縞を
発生させるようになされ、この光学的干渉縞を撮像手段
２４によって平面的映像信号に変換し、この撮像手段２
４から得られる平面的映像信号を平面的映像データとし
て画像処理回路４４に取り込み、画像処理回路４４に取
り込まれた平面的映像データに基づいて評定手段１５に
よってスライダ４Ａの表面の評定をし得るようにする。

Ｆ作用 ヘッド部４はスライダ４Ａによってディスク３に対して
浮上し、スライダ４Ａの表面及びディスク３の表面間に
は、スライダ４Ａの浮上量に応じた光学的干渉縞が発生
する。

この光学的干渉縞は撮像手段２４によって平面的映像信
号ＶＴＩＮに変換された後、平面的映像データとして画
像処理回路４４に取り込まれ、この平面的映像データが
評定手段１５に与えられる。

評定手段１５は平面的映像データを構成する各画素につ
いての明るさを表すデータに基づいて、当該画素位置に
おけるディスク３からの浮上量を演算することによって
、スライダ４Ａの表面についての浮上状態、スライダの
形状、欠陥の有無等を平面的なデータに基づいて評定す
る。

かくしてヘッド部４のスライダ４Ａについての種々の評
定結果を得ることができる。

Ｇ実施例 以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。

第１図において、■は全体として浮上ヘッド測定装置を
示し、モータ２によって回転駆動されるガラス材料でな
る透明ディスク３と対向するようにヘッド部４が配設さ
れ、このヘッド部４が根元部分をヘッド支持板５に固定
されている弾性部材６の先端に固着されている。

ヘッド支持板５は、固定部７に固定されているステージ
８上を矢印ａで示す方向（Ｘ方向及びＹ方向）に進退す
る移動部材９上に固着され、移動部材９がステージ送り
ドライバ１０の駆動出力Ｓ１によって矢印ａの方向に進
退されると、これに応じてヘッド部４が透明ディスク３
の所定位置に位置決め制御される。

モータ２は、回転制御回路１１の駆動出力Ｓ２によって
回転駆動され、その出力軸に関連して設けられた回転セ
ンサ１２によって透明ディスク３の回転速度に対応する
パルス間隔を有するパルス出力Ｓ３を発生し、これをタ
コメータ１３によって回転速度に相当する直流レベルで
なる回転速度検出出力Ｓ４に変換して回転制御回路１１
にフィードバックする。

かくしてモータ２に対するサーボ系が形成され、回転制
御回路１１にマイクロコンピュータ構成の中央処理ユニ
ット１５から供給される速度基準信号Ｓ５に対応する速
度で、透明ディスク３を高速回転させるようになされて
いる。

中央処理ユニッ）１５には、回転速度検出出力Ｓ４が、
モータ２の現在の回転速度を表すデータとして入力され
る。

透明デ、イスク３は、高速回転する際に、表面に接触し
ている空気流を連れ回ることにより、第２図に示すよう
に、ヘッド部４と透明ディスク３の表面との間に空気流
ＡＲを発生し、ヘッド部４はこの空気流ＡＲによって浮
上刃を与えられ、かくしてヘッド部４が弾性部材６の押
圧力に抗して透明ディスク３から離れる方向に浮上する
。

ヘッド部４は空気流ＡＲに対して必要に応じて所定量だ
け浮上し得るような第３図に示す構成を有する。

すなわち、ヘッド部４は、縦断面が凹状の不透明材料で
なるスライダ４Ａを有し、表面上に透明ディスク３の表
面に対向する一対のスライド面４Ｌ及び４Ｒが形成され
ている。スライド面４Ｌ及び４Ｒは空気流ＡＲに沿う方
向に溝４Ｂを挟んで平行に延長し、その表面は鏡面仕上
げされている。

スライド面４Ｌ及び又は４Ｒの後端部には、磁気ヘラＦ
４Ｃが装着されている。第３図の場合のヘッド部４は１
つの磁気ヘッド４Ｃを含んでなるブロックを、一方のス
ライド面４Ｒの後縁部に穿設された切り溝４Ｄ内に挿入
され、接着材によってスライダ４Ａに接着されている。

カカルヘッド部４の構成をモノリシックな構造と呼ぶが
、これに対して第３図において破線で示すように、スラ
イド面４Ｌ側にも、磁気ヘッド４Ｅを搭載するいわゆる
コンポジット構造にも構成し得る。

スライダ４Ａのスライド面４Ｌ及び４Ｒの先端部には、
斜めに面取りされた空気流流入用斜面４Ｍ及び４Ｎが形
成され、この空気流流入用斜面４Ｍ及び４Ｎから流入し
た空気流ＡＲが、この空気流流入用斜面４Ｍ及び４Ｎを
磁気ディスク３から離す方向に押しながらスライド面４
Ｌ及び４Ｒと、透明ディスク３との間に流れ込むように
なされている。

ここで、スライダ４Ａのスライド面４Ｌ及び４Ｒが鏡面
仕上げされているのに対して、溝４Ｂの内表面は鏡面仕
上げされていない。従って、第２図に示すように、透明
ディスク３の上方から照射光■、が照射されたとき、透
明ディスク３を通る光のうち、一部が透明ディスク３の
内側の面において反射光■、として反射され、また透明
ディスク３を透過した光がスライド面４Ｌ及び４Ｒの表
面において反射光ＩＩＩとして反射される。かくして、
反射光Ｉ□及び１ｔｔの合成反射光Ｒによって２光束干
渉法による光学的干渉縞が発生するようになされている
。

実際上スライダ４Ａは、第２図に示すように、空気流Ａ
Ｒが流入する前端縁が比較的大きく浮き上がるのに対し
て、磁気ヘッド４Ｃが搭載されている後端部と、透明デ
ィスク３との間の空隙が狭くなる（例えば０．２〜０．
３〔μ−〕から０．５〔μ−〕程度まで）ような姿勢で
浮上する。かくして実際上磁気ディスクへの記録レベル
及び再生レベルをできるだけ大きくすることにより、高
密度記録及びその再生を確実になし得るようになされて
いる。

透明ディスク３には、その上方に配設された顕微鏡２１
　（第１図）から対物レンズ２１Ａを通じて照射光Ｉ、
が照射され、この照射光！、が透明ディスク３を透過し
てヘッド部４の表面に到達し得るようになされている。

一方、光源２２（第１図）から発生される光のうち、所
定の波長の単色光が、色フィルタ２３によってフィルタ
リングされた後、顕微鏡２１内に設けられたハーフミラ
−２１Ｂを介して対物レンズ２１Ａから透明ディスク３
に照射光■１とし照射する。

その結果２光束干渉を起こしている合成反射光Ｒは、対
物レンズ２１Ａ１ハーフミラ−２１Ｂを通してテレビジ
ョンカメラ２４　（例えばＣＯＤなどの充電変換手段を
用いた撮像手段でなる）に入射されてラスク映像信号Ｖ
ＤＩＮに変換される。このラスク映像信号Ｖ　Ｄ　Ｉ　
Ｎはモニタ３ｏに与えられ、第４図（Ｂ）に示すように
、その表示画面ＤＩｓ上に、スライダ４Ａのスライド面
４Ｌ、４Ｒと共に、スライド面４Ｌ、４Ｒ上に発生した
光学的干渉縞を映し出す。

またラスク映像信号ＶＤＩＮはＩＨ切取り回路３１に与
えられる。ＩＨ切取り回路３１は、ラスク映像信号ＶＤ
＋ｓから１本の走査ライン分の映像信号を抜き取るよう
になされ、そのＩＨ映像信号■Ｄイをアナログ／ディジ
タル変換回路３２においてディジタル信号に変換して中
央処理ユニット１５に取り込ませる。このＩＨ映像信号
ＶＤ、は、第４図（Ｂ）に示すように、表示画面ＤＩＳ
のうち、スライド面４Ｌ又は４Ｒの一方（例えば４Ｒ）
上の１本の走査ラインＳＣＨ上の映像信号を内容とし、
かくしてこのＩＨ映像信号ＶＤＨから干渉縞の位置及び
干渉縞の間隔についてのデータを、中央処理ユニット１
５に取り込むことができるようになされている。

なお、モニタ３０の表示画面ＤＩＳ上に、走査ラインＳ
ＣＨを表示させるための表示信号ｓ７がＩＨ切取り回路
３１からモニタ３０に与えられる。

中央処理ユニット１５はデータをフロッピディスク、ハ
ードディスク等でなる外部記憶装置３５に格納し、必要
に応じて読み出して演算データとして用いると共に、プ
リンタ３６によってプリントアウトする。

中央処理ユニット１５は、かかる光学的干渉縞の明暗に
ついてのデータに基づいて、ヘッド部４のスライド面４
Ｌ及び４Ｒ上の各点について、対向する透明ディスク３
の表面との間の距離（従って浮上量ｈ）を次のような原
理に基づいて演算により求めて評定処理を実行する。

先ず第２図において反射光ＩＩ＋及びＩ。を合成して得
られる合成反射光Ｒ（すなわち干渉光）は、次式 ％式％（１） で表される。ここでδは反射光Ｉ！ｌ及びＩ！！間の位
相差で、 で表される。またλは照射される単色光の波長（例えば
０．４〜０．８〔μ翔〕程度）、Ｉｚ＋はスライダ４Ａ
の表面からの反射光１２１の振幅、Ｉ２□は透明ディス
ク３０表面からの反射光１．の振幅をそれぞれ表すもの
とする。

従って単色光の波長λを固定したときの合成反射光Ｒの
値は、スライド面４Ｌ、４Ｒ（第４図（Ｂ））の各部分
について、反射光Ｉｌ＋及び１２１の位相差δ（従って
透明ディスク３０表面からのスライド面４Ｌ、４Ｒの浮
上量ｈ（第４図（Ｃ）））に相当する明るさをもってい
る。そこでスライド面４Ｌ及び４Ｒが延長する方向の座
標位置Ｘの任意の座標位Ｈｘｏ　　＜例えばヘッド４Ｃ
のギャップの座標位置（これをヘッド位置と呼ぶ））を
固定して反射光Ｒの値Ｒ０を求め、この値Ｒ０に対応す
る浮上量り、を（１）弐及び（２）式に基づいて求めれ
ば、固定位置ＸＯ（すなわちヘッド４Ｃのギャップ位置
）の浮上量を測定し得る。

またスライド面４Ｌ、４Ｒの表面が平面のとき、（２）
式の浮上ｚｈがスライド面４Ｌ、４Ｒの座標位置Ｘに比
例して変化することになるので、スライド面４Ｌ、４Ｒ
の長さ方向の座標位置Ｘに沿つて明るさの変化を見たと
き、スライド面４Ｌ、４Ｒの各位置における合成反射光
Ｒの明るさの変化は、正弦波形状になる（第４図（Ａ）
）。

これに対して、平面でなく、多少の凹凸がある場合には
、その特徴に応じて正弦波形の位相が部分的にずれるよ
うに変化する。

そして、スライド面４Ｌ、４Ｒの表面の明るさが、その
最も暗い部分ＤＰ（第４図（Ｂ））（又は最も明るい部
分）の間隔は、対応する座標位置の浮上量りの差が、照
射光１１の波長λに対してλ／２であることを表してい
る。

ところで、（１）式及び（２）式において、固定位置Ｘ
０についてヘッド部４の浮上量ｈ０を変数りと考えると
、第５図に示すように、固定位置ｘ０における浮上ｆｉ
ｈが大きくなって行けば当該固定位置における明るさは
正弦波形状に周期的に変化するようなグラフとして表現
し得る。従って測定したいヘッド部４の当該固定位置Ｘ
０における浮上ｉｔ　ｈ　ｏを知るためには、浮上ｉｔ
　ｈ　ｏが、明るさの変化分のうちの何番目のサイクル
範囲に入るかを判定すると共に、さらに当該判定したサ
イクル範囲内の位相を測定すれば良い。

実際上、中央処理ユニット１５において演算に用い得る
情報は、合成反射光Ｒの最大値Ｒｓａｗ及び最小値Ｒｍ
　ｔ　Ｒであり、固定位ＷＸ０における明るさＲｏに対
応するヘッド浮上１ｈａを、最大値Ｒ１ｌｌａＸ及び最
小値ＲＩＩ　ｉ　１１の周期性を利用して次のようにし
て求めることができる。

すなわち、第５図において合成反射光Ｒが最大値Ｒ□８
になるのは、（１）式より反射光ｔｚ＋及び１．の位相
差δがＯ１２π、４π・・・・・・のときであり（この
ように合成反射光Ｒが最も明るくなるグラフ上の点を以
下明点と呼ぶ）、このときの浮上量ｈ□、はλ／４．３
λ／４．５λ／４・・・・・・になる。

また合成反射光Ｒが最小値Ｒｍ　＝　ｎになるのは、同
様に（１）式より反射光１ｇ＋及び１．の位相差６がπ
、３π、５π・・・・・・のときであり（このように合
成反射光Ｒが最も暗くなるグラフ上の点を以下暗点と呼
ぶ）、このときの浮上量ｈ＋−＝、ｌは０、λ／２、λ
、３λ／２・・・・・・になる。

従って暗点及び明点は、第５図において、λ／４間隔で
交互にかつ周期的に現れる。この関係を利用して任意の
明るさＲｏにおける浮上量ｈ０を求めるには、周期的に
現れる暗点及び明点間のサイクル範囲に対して次数ｍ（
ｍ＝Ｑ、１．２・・・・・・）を割り当て、浮上量ｈ０
が属する次数ｍを指定して当該サイクル範囲の両側にあ
る暗点及び又は明点に対応する浮上量り、（すなわちり
、１．又はり、！、１）と、この浮上量り、から浮上量
ｈ０までの差を表す浮上ｉｉ　ｈ　ｚとの和、すなわち
り、＝ｈ、＋ｈ、　　　　　　　　・・・・・・（３）
として求めるようにすれば、比較的簡易な演算によって
浮上量ｈ０を求めることができる。

ここで、浮上ｉｉ　ｈ　ｒは暗点及び明点の周期性を利
用して、λ／４の整数倍の値として簡易に求めることが
でき、また浮上ｆｉ　ｈ　ｔは当該ｍ次のサイクル範囲
について（１）式及び（２）式に含まれるｃｏｓ　δの
項をｈについて解くような演算を実行することによって
求めることができる。

この非周期的な成分である浮上量ｈｔの演算は、明点（
すなわち浮上量り１、＝λ／４．３λ／４．５λ／４・
・・・・・の点）を基準にして求める第１の方法と、暗
点（すなわち浮上量）１＋＋＋ｉ＊＝０、λ／２、λ、
３λ／２・・・・・・の点）を基準にして求める第２の
方法と、暗点及び明点を交互に基準点とする（すなわち
（ｈ、、、ｌ、ｈ、ｉ、）−０，λ／４、λ／２．３λ
／４・・・・・・の点を順次基準とする）第３の方法な
どを適用し得る。

この実施例の場合は、第１の方法を用いて、ヘッド浮上
量ｈ０を、明点の浮上量ｈ□８を基準にして次式 ％式％ によって近似演算する。ここで、 ・・・・・・（５） λ ・・・・・・（６） となる。

第１図の実施例の場合、浮上量ｈ０が含まれるサイクル
範囲の次数ｍは、色フィルタ２３のフィルタを交換する
ことにより判定される。すなわち浮上状態の測定に先立
って、中央処理ユニット１５はフィルタ交換指令Ｓ１０
を色フイルタドライバ４３に与え、その出力Ｓｌｌによ
って２枚の色フィルタ２３を交換し、照射光１１を波長
λ１又はλ２の単色光に変更することにより各単色光に
おける浮上ｉｌｈ　、、ｘ及びｈ　ｐａｉｎの変化から
次数ｍを判定する。

かくして（４）式において、値ＲＯ、ＲＴａｉｎ、Ｒ１
１ｌ、Ｉ、ｍ、照射光１１の波長λは全て既知であるの
でこの式によって互いに隣合う最大値Ｒ□８及び最小値
Ｒｍｉｎ間にある明るさＲｏに対応する浮上１ｈａを近
似演算することができる。

中央処理ユニツｌ−１５はかかる演算結果を、必要に応
じて外部記憶装置３５に格納し得る。

一方モニタ３０は、その表示画面ＤＩＳ上に表示された
映像を表す平面的映像信号ＰＩＣを画像処理回路４４に
与える。画像処理回路４４はフレームメモリを有し、モ
ニタ３０の平面的映像信号ＰＩＣを、ディジタルデータ
に変換してフレームメモリに書き込む。このフレームメ
モリに書き込まれたデータＤＰＩＣは、中央処理ユニツ
）１５からの読出し指令によって、中央処理ユニット１
５に転送され、必要に応じて外部記憶装置３５に格納さ
れる。

以上の構成において、浮上態様を判定しようとするヘッ
ド部４を透明ディスク３に対向させるように装着すると
共に、透明ディスク３を透過するように顕微鏡２１から
照射光Ｉ、を照射させる。

ヘッド部４の浮上に関するデータは、合成反射光Ｒに基
づいて、その光学的干渉縞についての映像データとして
、画像処理回路４４を介して中央処理ユニット１５に取
り込まれ、処理された後外部記憶装置３５に格納される
。かくして中央処理ユニット１５は、ヘッド部４の浮上
態様をスライド面４Ｌ、４Ｒから得られる１８分又は１
フレ一ム分の平面的な浮上情報に基づいて、ヘッド部４
の浮上態様を総合的に判定し得る。

すなわち、中央処理ユニット１５は、ＩＨ切取り回路３
１から取り込まれた１８分の光学的干渉縞を表す映像デ
ータを走査ラインＳＣＨ（第４図（Ｂ））に沿う画素に
ついて読み出して、必要に応じてスライド面４Ｌ、４Ｒ
上の１つの測定点Ｘｏについての浮上量ｈ０を演算して
ヘッド部４の浮上量を評定し得る。

また中央処理ユニット１５は、画像処理回路４４から取
り込まれた平面的な光学的干渉縞を表す映像データを、
走査ライン５ＣＨＩ、５ＣＨ２・・・・・・５ＣＨＬ　
（第６図）に沿う画素についてそれぞれ読み出して多数
の測定点Ｘ、についての浮上量ｈ０を演算してヘッド部
４のスライド面４Ｌ１４Ｒ全体についての浮上態様を評
定し得る。

特に平面的な映像データに基づ（評定として、次のよう
なスライド面４Ｌ、４Ｒの表面の特性ないし品位の評定
をすることができる。

例えば第７図に示すように、スライド面４Ｌ。

４Ｒが鏡面仕上げされているので、その全面に亘って干
渉光を得ることができることにより、スライド面４Ｌ、
４Ｒの寸法例えば横幅Ｗｔ　、Ｗ＊を算出することがで
きる。

また例えば鏡面仕上げされているスライド面４Ｌ、４Ｒ
の一部に傷ないし欠陥例えばエツジ部の欠ｊｉ４Ｆがあ
れば、この欠損４Ｆから反射光が得られないことにより
、その部分については干渉が生じないので、当該欠ｔｉ
４Ｆの部分について黒レベルの映像データが得られ、か
くして、欠損４Ｆの平面的な範囲を表すデータを得るこ
とができ、このデータに基づいて欠損の大きさ、形状、
幅等を確実に測定し得る。

なお、スライド面４Ｌ、４Ｒの幅ＷＬ、Ｗ、や欠損４Ｆ
の幅等を計測する方法としては、スライド面４Ｌ、４Ｒ
についての映像信号が継続している時間及び映像信号が
得られなくなった時間を計測する方法や、映像信号が発
生しているか否かを各画素ごとに数値化し、そのビット
数をカウントしたりする方法がある。

また中央処理ユニット１５において、スライド面４Ｌ、
４Ｒの表面の各画素位置について、透明ディスク３から
の浮上量を平面について演算し得ることにより、スライ
ド面４Ｌ、４Ｒの表面の評価をすることができる。

例えばスライド面４Ｌ、４Ｒが、第８図（Ａ）に示すよ
うに、山型であれば、スライド面４Ｌ、４Ｒの中央部の
浮上量が理想平面ＦＡの場合と比較して浮上量が小さく
なったような結果が得られる。

また第８図（Ｂ）に示すようにすりばち型であれば、理
想的な平面ＦＡの場合と比較して中央部の浮上量が大き
くなったような結果が得られる。

さらに第８図（Ｃ）に示すように、スライド面４Ｌ、４
Ｒが前方から後方に行くに従ってうねったように変形し
ていれば、これに応じて理想的な平面ＦＡの場合と比較
して浮上量に変動が生ずるような結果が得られる。

このようなスライド面の変形は、それぞれクラウンハイ
トδ１、δ２、δ３を、浮上量の変動幅として計測する
ことによって平面度の評定をなし得る。

上述のように第１図の構成によれば、スライド面４Ｌ、
４Ｒの幅ＷＬ、ＷＩＩを算出することができることによ
り、ヘッド部４の浮上量が適切でない場合に、その裏付
けとなるデータを得ることができ、また欠ｔ７４４Ｆを
検出できることにより、当該スライダ４Ａに欠陥がある
と判定し得る。さらにスライド面４Ｌ、４Ｒが理想的な
平面ではないことが確認できれば、ヘッド部４が不安定
な姿勢で浮上したり、傷に対する応答性が異常であった
りしたような場合に、その原因を容易に把握することが
できる。

なお上述においては、透明ディスク３にヘッド部４を対
向させることによって光学的干渉縞を発生させるように
しか、これに代え、不透明ディスク３に対して透明材料
でなるヘッド部４を対向させることにより光学的干渉縞
を発生させるようにした場合に本発明をで適用しても、
上述の場合と同様の効果を得ることができる。

また上述においては、スライダ４Ａとして、２つのスラ
イド面４Ｌ、４Ｒを有する構成のものを用いたが、その
数及び形状を必要に応じて変更しても上述の場合と同様
の効果を得ることができる。

Ｈ発明の効果 以上のように本発明によれば、ヘッド部４のスライド面
４Ｌ、４Ｒの映像を、２次元的な平面を表す映像データ
として取り込むことができるようにしたことにより、ヘ
ッド部４のスライダの形状、寸法、凹凸などを必要に応
じて計測することができ、か（して、ヘッド部の浮上動
作を種々の面から評定する際のデータを容易に得ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による浮上ヘッド測定装置の一実施例を
示すブロック図、第２図はそのヘッド部４の浮上原理及
び光学的干渉縞の発生の説明に供する路線図、第３図は
ヘッド部４の詳細構成を示す路線的斜視図、第４図はヘ
ッド部４のスライド面４Ｌ及び４Ｒ上に発生する光学的
干渉縞の説明に供する路線図、第５図はヘッド浮上量と
光学的干渉縞との関係を示す特性曲線図、第６図は画像
処理回路４４から取り込まれた映像データに基づいて、
２次元な浮上量データを演算する動作の説明に供する路
線図、第７図及び第８図は中央処理ユニット１５の評定
動作の説明に供する路線的斜視図及び断面図である。 １・・・・・・浮上ヘッド測定装置、２・・・・・・モ
ータ、３・・・・・・透明ディスク、４・・・・・・ヘ
ッド部、５・・・・・・ヘッド支持板、６・・・・・・
弾性部材、１５・・・・・・中央処理ユニット、２１・
・・・・・顕微鏡、２２・・・・・・光源、２３・・・
・・・色フィルタ、２４・・・・・・テレビジョンカメ
ラ、３０・・・・・・モニタ、３１・・・・・・ＩＨ切
取り回路、３２・・・・・・アナログ／ディジタル変換
回路、３５・・・・・・外部記憶装置、３６・・・・・
・プリンタ、４４・・・・・・画像処理回路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 回転するディスクと、このディスクの表面に生ずる空気
   流を利用して浮上するように配設されたヘッド部との間
   に生ずる光学的干渉縞によつて、上記ヘッド部の浮上状
   態を測定する浮上ヘッド部測定装置において、 上記ヘッド部は、ヘッドを搭載してなるスライダを有し
   、上記スライダの表面及び上記ディスクの表面間に上記
   光学的干渉縞を発生させるようになされ、 上記光学的干渉縞を撮像手段によつて平面的映像信号に
   変換し、 上記撮像手段から得られる平面的映像信号を平面的映像
   データとして画像処理回路に取り込み、評定手段によつ
   て上記画像処理回路に取り込まれた上記平面的映像デー
   タに基づいて上記スライダの表面の評定をするようにし
   た ことを特徴とする浮上ヘッド測定装置。