JPS62106608A - 永久磁石の着磁方法 - Google Patents
永久磁石の着磁方法Info
- Publication number
- JPS62106608A JPS62106608A JP24635385A JP24635385A JPS62106608A JP S62106608 A JPS62106608 A JP S62106608A JP 24635385 A JP24635385 A JP 24635385A JP 24635385 A JP24635385 A JP 24635385A JP S62106608 A JPS62106608 A JP S62106608A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetized
- ring
- magnetic material
- permanent magnet
- shaped magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は永久磁石の着磁力法に関し、特に、外周面及び
内周面の形が円形或いは多角形のリング状磁性体を半径
方向に着磁する方法に関する。
内周面の形が円形或いは多角形のリング状磁性体を半径
方向に着磁する方法に関する。
従来から、蒸着やスパッタリングが、半導体や他の電子
部品を製造するのに用いられている。蒸着装置やスパッ
タ装置の中には、磁界を発生させながら蒸着やス・ぐツ
タリングを行なう装置がある。
部品を製造するのに用いられている。蒸着装置やスパッ
タ装置の中には、磁界を発生させながら蒸着やス・ぐツ
タリングを行なう装置がある。
この磁界印加手段としては、電磁石や永久磁石が用いら
れている。今までは、磁界印加手段として。
れている。今までは、磁界印加手段として。
電磁石の方が多用されていたが２節電等のために２永久
磁石も採用され始めている。ところで、今までの蒸着や
ス・ぐツタリングされるＳｉウェハ等は。
磁石も採用され始めている。ところで、今までの蒸着や
ス・ぐツタリングされるＳｉウェハ等は。
比較的口径の小さいものであったので、蒸着装置やスパ
ッタ装置の磁界印加手段として用いられる永久磁石も比
較的小型のものであった。
ッタ装置の磁界印加手段として用いられる永久磁石も比
較的小型のものであった。
しかしながら、Ｓｉウェハの大口径化が進むにつれて、
１回で行なわれる蒸着やス・ぐツタリングの面積も広く
しようとする傾向にあり、それにともなって永久磁石も
大型のものが要求されている。
１回で行なわれる蒸着やス・ぐツタリングの面積も広く
しようとする傾向にあり、それにともなって永久磁石も
大型のものが要求されている。
この種の蒸着装置やスパッタ装置に用いられている永久
磁石の１つに、外周面及び内周面の形が円形或いは多角
形のリング状磁性体を半径方向に着磁して製造されたも
のがある。このような永久磁石として大口径のものを製
造する場合、従来。
磁石の１つに、外周面及び内周面の形が円形或いは多角
形のリング状磁性体を半径方向に着磁して製造されたも
のがある。このような永久磁石として大口径のものを製
造する場合、従来。
リング状磁性体を予め周方向に所定数分割し２分割数だ
けの磁性体個片を加工して、磁性体個片の状態で着磁し
２着磁された磁性体個片を接着剤にて接着して２．半径
方向に着磁されたリング状永久磁石を製造していた。
けの磁性体個片を加工して、磁性体個片の状態で着磁し
２着磁された磁性体個片を接着剤にて接着して２．半径
方向に着磁されたリング状永久磁石を製造していた。
しかしながら、このような製造方法では９着磁された磁
性体個片をリング状に組立てる場合、互いに隣接した着
磁された磁性体個片が反発し合い。
性体個片をリング状に組立てる場合、互いに隣接した着
磁された磁性体個片が反発し合い。
それを押えつけるための治具等が必要である。その為、
大口径の半径方向に着磁されたリング状永久磁石を製造
するには、上記治具が大型化してしまう。又、仕上げ状
態も悪く２着磁された永久磁石も、上記組立てる際のお
互いの反発磁場によシ減ミさ？−＋均一な磁場が得られ
ない。
大口径の半径方向に着磁されたリング状永久磁石を製造
するには、上記治具が大型化してしまう。又、仕上げ状
態も悪く２着磁された永久磁石も、上記組立てる際のお
互いの反発磁場によシ減ミさ？−＋均一な磁場が得られ
ない。
以下今日
〔問題点を解決するための手段〕
本発明によれば、外周面及び内周面の形が円形或いは多
角形のリング状磁性体を半径方向に着磁する方法におい
て、前記リング状磁性体の一部分を電磁石の磁極間に挿
入してその部分を着磁し。
角形のリング状磁性体を半径方向に着磁する方法におい
て、前記リング状磁性体の一部分を電磁石の磁極間に挿
入してその部分を着磁し。
該着磁された部分と隣接するリング状磁性体の一部分を
電磁石の磁極間に挿入してその部分を着磁するというよ
うに、前記リング状磁性体の着磁されるべき位置を順次
所定方向へずらすことによυ。
電磁石の磁極間に挿入してその部分を着磁するというよ
うに、前記リング状磁性体の着磁されるべき位置を順次
所定方向へずらすことによυ。
前記リング状磁性体を全周に亘って半径方向に着磁する
ことを特徴とする永久磁石の着磁力法が得られる。
ことを特徴とする永久磁石の着磁力法が得られる。
なお、上記リング状磁性体は、大口径の場合。
未着磁状態の複数個の磁性体個片を接着して組立てる。
以下２本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第２図は本発明で用いられるリング状磁性体の一例を示
した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（、）のｃ−ｃ断
面図でちる。こ０・例のリング状磁性体ｌは。
した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（、）のｃ−ｃ断
面図でちる。こ０・例のリング状磁性体ｌは。
１８個の磁性体個片１ａを接着剤で接着し組立てたもの
で、外周面及び内周面の形が多角形をしているう次に、
このリング状磁性体ｌを、内周面がＳ極 、”ｑ−Ｔ
ｆニー２・１こ；るように着磁して永久磁石で；までミ
ニ発明の万ミト二つ゛で説明する。
で、外周面及び内周面の形が多角形をしているう次に、
このリング状磁性体ｌを、内周面がＳ極 、”ｑ−Ｔ
ｆニー２・１こ；るように着磁して永久磁石で；までミ
ニ発明の万ミト二つ゛で説明する。
第１図は不発明に二已永久磁石の看る：″：去を脱毛す
るための図で＋ （ａ７ ｔ： 、’ｚ 、：人−人断
丁ズ・ｂ）ＩＳｈ、、ＺＥ−Ｂ断ｆ図である。図におい
て、ニー電磁石で、略Ｃ字型のヨーク２ａ、ヨーク２ａ
の端面に設けられたポールピース２ｂ、及び図の矢印の
Ｔ！百′、′：ミ片？発生するたＣｉニョーク２ａに巻
回されたコイルニー −一・−一・一つ この電磁石２のポールピースニ’： Ｘ＠ ｌ′□リン
グ状己性スー；ミー：・１片１ａを挿入し、コイル２Ｃ
に直流電流を流すっ一二−主大される直流電流は。
るための図で＋ （ａ７ ｔ： 、’ｚ 、：人−人断
丁ズ・ｂ）ＩＳｈ、、ＺＥ−Ｂ断ｆ図である。図におい
て、ニー電磁石で、略Ｃ字型のヨーク２ａ、ヨーク２ａ
の端面に設けられたポールピース２ｂ、及び図の矢印の
Ｔ！百′、′：ミ片？発生するたＣｉニョーク２ａに巻
回されたコイルニー −一・−一・一つ この電磁石２のポールピースニ’： Ｘ＠ ｌ′□リン
グ状己性スー；ミー：・１片１ａを挿入し、コイル２Ｃ
に直流電流を流すっ一二−主大される直流電流は。
へ造さｎミベき永久磁石０保ミニ′田）の３倍以上の磁
界を発生ぐろ、〕、フ電流である。又、ｌｉ電流の代わ
りに、保磁力（Ｈｅ 、’ 、Ｚ ニニ倍位のイノパル
ス電流を流しても良い。これにより、磁江渾個片１ａは
２図示の如く、内周面がＳ極、外周面がＮ極となるよう
に着磁される。着磁が完了したら。
界を発生ぐろ、〕、フ電流である。又、ｌｉ電流の代わ
りに、保磁力（Ｈｅ 、’ 、Ｚ ニニ倍位のイノパル
ス電流を流しても良い。これにより、磁江渾個片１ａは
２図示の如く、内周面がＳ極、外周面がＮ極となるよう
に着磁される。着磁が完了したら。
着磁された磁性体個片１ａの隣シの磁性体個片ｌａをポ
ールピース２ｂ間に挿入し、上述と同様にして着磁を行
なう。以下、リング状磁性体１の着磁されるべき磁性体
個片１ａを順次所定方向にずらし、全周に亘ってリング
状磁性体１を半径方Ｉ、二着磁する。
ールピース２ｂ間に挿入し、上述と同様にして着磁を行
なう。以下、リング状磁性体１の着磁されるべき磁性体
個片１ａを順次所定方向にずらし、全周に亘ってリング
状磁性体１を半径方Ｉ、二着磁する。
上記実施例では、内周面及び外周面の形が多角形のリン
グ状磁性体を半径方向に着磁する場合について述べたが
、第３図に示されるように、リング状磁性体の内周面及
び外周面の形が円形のものであって良いのは言うまでも
ない。
グ状磁性体を半径方向に着磁する場合について述べたが
、第３図に示されるように、リング状磁性体の内周面及
び外周面の形が円形のものであって良いのは言うまでも
ない。
以上説明したように２本発明によれば２部分的、ニー□
ａ Ｌ／ ｌ ｉ：ｊＩ次着磁されるべき位置をずらし
て全周に亘って着磁しているので、均一に着磁でき。
ａ Ｌ／ ｌ ｉ：ｊＩ次着磁されるべき位置をずらし
て全周に亘って着磁しているので、均一に着磁でき。
均一な磁場を発生するリング状永久磁石を提供できる。
このようにして得られた永久磁石を蒸着装置やスパッタ
装置の磁界印加手段として用いれば。
装置の磁界印加手段として用いれば。
その性能を向上できるという効果がある。
第１図は本発明による永久磁石の着磁方法を説明するた
めの図で、（ａ）は（ｂ）のＡ−Ａ断面図、（ｂ）は（
、）のＢ−Ｂ断面図、第２図は本発明で用いられるリン
グ状磁性体の一例を示した図で、（ａ）は平面図。 （ｂ）は（、）のＣ−Ｃ断面図、第３図は本発明で用い
られるリング状磁性体の他の一例を示した図である。 １・・・リング状磁性体＋１ａ・・・磁性体個片、２・
・・電ａ石＋２ａ・・・ヨーク、２ｂ・・・ポールピー
ス。 ２Ｃ・・・コイル。 第１図
めの図で、（ａ）は（ｂ）のＡ−Ａ断面図、（ｂ）は（
、）のＢ−Ｂ断面図、第２図は本発明で用いられるリン
グ状磁性体の一例を示した図で、（ａ）は平面図。 （ｂ）は（、）のＣ−Ｃ断面図、第３図は本発明で用い
られるリング状磁性体の他の一例を示した図である。 １・・・リング状磁性体＋１ａ・・・磁性体個片、２・
・・電ａ石＋２ａ・・・ヨーク、２ｂ・・・ポールピー
ス。 ２Ｃ・・・コイル。 第１図
Claims (1)
- １、外周面及び内周面の形が円形或いは多角形のリング
状磁性体を半径方向に着磁する方法において、前記リン
グ状磁性体の一部分を電磁石の磁極間に挿入してその部
分を着磁し、該着磁された部分と隣接するリング状磁性
体の一部分を電磁石の磁極間に挿入してその部分を着磁
するというように、前記リング状磁性体の着磁されるべ
き位置を順次所定方向へずらすことにより、前記リング
状磁性体を全周に亘って半径方向に着磁することを特徴
とする永久磁石の着磁方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24635385A JPS62106608A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | 永久磁石の着磁方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24635385A JPS62106608A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | 永久磁石の着磁方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62106608A true JPS62106608A (ja) | 1987-05-18 |
Family
ID=17147293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24635385A Pending JPS62106608A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | 永久磁石の着磁方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62106608A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63240007A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-05 | Seiko Epson Corp | 着磁方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54152200A (en) * | 1978-05-22 | 1979-11-30 | Sony Corp | Method and apparatus for magnetizing magnetic lattice pattern |
| JPS5639423B2 (ja) * | 1971-12-27 | 1981-09-12 | ||
| JPS61121407A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-09 | Sanyo Electric Co Ltd | リング体の着磁方法 |
-
1985
- 1985-11-05 JP JP24635385A patent/JPS62106608A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5639423B2 (ja) * | 1971-12-27 | 1981-09-12 | ||
| JPS54152200A (en) * | 1978-05-22 | 1979-11-30 | Sony Corp | Method and apparatus for magnetizing magnetic lattice pattern |
| JPS61121407A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-09 | Sanyo Electric Co Ltd | リング体の着磁方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63240007A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-05 | Seiko Epson Corp | 着磁方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111279586B (zh) | 一种电动机 | |
| CN109195079A (zh) | 磁路系统的组装方法以及充磁系统 | |
| JPH0794321A (ja) | マグネットチャック | |
| JPS62106608A (ja) | 永久磁石の着磁方法 | |
| US5666097A (en) | Periodic magnetizer | |
| JP2018182118A (ja) | 着磁装置、及び着磁方法 | |
| US6525633B1 (en) | Radial periodic magnetization of a rotor | |
| JP6385064B2 (ja) | 永久磁石電動機およびその着磁方法、製造方法 | |
| JPS60121948A (ja) | 電気回転機械の磁石回転子の永久磁石固定方式 | |
| JP2004187455A (ja) | リニアモータおよびその製造方法 | |
| JPS5941294B2 (ja) | 磁気回路の着磁組立方法 | |
| JPH03195343A (ja) | ステッピングモータの着磁器 | |
| JPH1028356A (ja) | 回転電機の磁石式固定子の着磁方法 | |
| JPS6348807A (ja) | ロ−タ磁石の着磁方法 | |
| JPS6153843B2 (ja) | ||
| JPH0429529Y2 (ja) | ||
| JPH0410655Y2 (ja) | ||
| JP2508093Y2 (ja) | 着磁装置 | |
| JP2003347121A (ja) | 周期磁界発生磁気回路の製造方法および組立治具 | |
| JPH04340352A (ja) | 薄膜磁石モータの可動子の製造方法 | |
| JPS62274608A (ja) | スキユ−付きロ−タ−マグネツトの着磁方法 | |
| JPS6294903A (ja) | 多極磁石の製造方法 | |
| JPH01170353A (ja) | 多極着磁ヨーク | |
| JPH0464207A (ja) | 内燃機関用点火コイル | |
| JPS60176206A (ja) | 径方向２極磁石及びその製造装置 |