JPS62102144A - 情報記憶媒体の欠陥検査装置 - Google Patents
情報記憶媒体の欠陥検査装置Info
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- JPS62102144A JPS62102144A JP60242405A JP24240585A JPS62102144A JP S62102144 A JPS62102144 A JP S62102144A JP 60242405 A JP60242405 A JP 60242405A JP 24240585 A JP24240585 A JP 24240585A JP S62102144 A JPS62102144 A JP S62102144A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は、フロッピーディスク等の情報記憶媒体につい
て、表面欠陥等を検査する装置に関する。 ［発明の技術的背崇とその問題点］ フロッピーディスク等の情報記憶媒体は、例えばその表
面に傷、異物何着があり、又は、媒体自体が隆起、陥没
していると、出き込まれた情報を正確に読み出すことが
不能となる。そこで、これら情報記憶媒体の製造過程で
上記各種欠陥の有無を検知し、正常な情報記憶媒体のみ
を出荷する品質管理が不可欠となっている。 ところで、従来よりこの種の情報記憶媒体の検査は、例
えばディスク盤を一枚ずつ目視によって行うことが一般
的であり、大最の媒体を迅速かつ正確に検査することが
不可能でおった。 ［発明の目的］ 本発明は上記情報に鑑みて成されたものであり、情報記
憶媒体の欠陥検査を迅速かつ正確に行うことができ、ざ
らには欠陥の種類を出力することにより情報記憶媒体の
製造工程毎の管理に反映させることができる情報記憶媒
体の欠陥検査装置を提供することを目的とするものであ
る。 ［発明の概要］ 上記目的を達成するための本発明の概要は、情報記憶媒
体を撮影する撮影手段と、前記ｍｌ影画像に画像強調処
理を行う画像強調処理部と、媒体正常部の階調レベルを
閾値として、強調処理された画像を２値化処理する２値
化処理部と、強調処理画像及び２値化処理画像に基づい
て欠陥部の特徴を検出する欠陥検出部とを有することを
特徴ものである。 ［発明の実施例］ 以下、本発明を図示の実施例を参照して説明する。 第１図は、本発明に係るフロッピーディスクの表面欠陥
検査装置のブロック図である。同図において、第１．第
２のＴＶカメラ１．２は、それぞれフロッピーディスク
３の表面３Ａ、裏面３Ｂ＠撮影するものである。この第
１．第２のＴＶカメラ１，２は、前記表面３Ａ、裏面３
Ｂをそれぞれ４分割でＮ影し、その−撮影領域（図示ａ
Ｘａの領域）を、水平、垂直走査線が１０２４本ＸＩＯ
２４本の高解像度でｉ影するようになっている。 尚、この第１．第２のＴＶカメラ１．２は、フロッピー
ディスク３の製造工程後段側に配置され、搬送途中のフ
ロッピーディスク３の表面Ａを第１のＴＶカメラ１によ
って撮影し、その後このフロッピーディスク３の表裏を
反転してその裏面３Ｂを第２のＴＶカメラ２によって撮
影するようになっている。尚、第２のＴＶカメラ２によ
って撮影が行なわれている間には、次に搬送された来た
フロッピーディスク３を第１のＴＶカメラ１によって撮
影し、このようにして順次搬送されるフロッピーディス
ク３を効率よく撮影するようになっている。 この第１．第２のＴＶカメラ１，２で撮影された画像は
、横１０２４Ｘ縦１０２４ｘ８ｂ ｉ ｔ（２５６段階
の濃淡階調／点）の画像情報となって画像バス４に出力
されるようになっている。 前記画像バス４には、画像メモリ５１画像強調処理部６
．２値化処理部７及び欠陥検出部８がそれぞれ接続され
、ざらに、ＣＰＵ９からの指令をＣＰＵバス１０を介し
て入力して所定の動作を行うようになっている。 前記画像メモリ５は、例えば複数枚のメモリ媒体から成
り、第１．第２のＴＶカメラ１．２での分割撮影像を記
憶すると共にワーキングメモリとして供するようになっ
ている。尚、この画像メモリ５は、１０２４Ｘ１０２４
の各画素毎に８ビツトの濃淡階調を記憶できるようにな
っている。 前記画像強調処理部６は、前記画像メモリ５より読み出
された画像を入力し、ノイズ除去、ｎ画素×ｎ画素のフ
ィルタリング及び照明ムラ補正を行う。 前記２値化処理部７は、前記画像強調処理部６で処理さ
れた画像を入力し、フロッピーディスク３の正常部の階
調レベルを閾値として前記画像を２値化処理するもので
ある。 前記欠陥検出部８は、前記画像強調処理部６での処理画
像、及び前記２値化処理部７での２値化処理画像を入力
し、フロッピーディスク３の表面欠陥の検出を行うもの
である。この欠陥検出部８は、前記２値化処理画保（例
えば「Ｏ」は正常部。 ［］１は異常部となっている）の「１」の画素を検査検
知することにより、欠陥部の位置と面積（形状）とを求
める。また、求められた欠陥部の位置情報に基づいて、
前記強調画像における欠陥部の階調レベルを検知し、こ
の階調レベルと欠陥部の形状とから欠陥の種類を検知す
るようになっている。 尚、欠陥検出部８で検知された欠陥部の位置１面積１種
類の情報は、ＣＰＵバス１０に接続されたインターフェ
ース１１を介して検査装置１２に出力されるようになっ
ている。この検査装置１２は、フロッピーディスク３の
搬送ライン途中に設けられ、前記欠陥部の情報に基づい
て、正常なフロッピーディスクと欠陥のあるフロッピー
ディスクとを振り分けるようになっている。 また、この欠陥検査装置の出力装置として、プリンタ１
３と、モニタ１４とが設けられている。 プリンタ１３は、欠陥部の位置１面積９種類等を記録用
紙にハードコピーして出力するものであり、モニタ１４
は前記２値化処理部７での２値化処理画像を表示するも
のである。 以上のように構成された装置の作用について第２図に示
すフローチャートを参照して説明する。 表面３Ａを上に向けて搬送ラインに沿って搬送されるフ
ロッピーディスク３は、先ず、第１のＴＶカメラ１によ
ってその表面３Ａがｔａ影され、その後反転されて裏面
３Ｂが第２のＴＶカメラ２によって倣形される。尚、前
記第１．第２のＴＶカメラ１，２は、前記表面３Ａ、裏
面３Ｂをそれぞれ４分割でｒ影し、その−倣形領域を、
水平、垂直走査線が１０２４本Ｘ１０２４本の高解像度
で走査を行ない倣形するようになっている。従って、例
えば５．２５インチのフロッピーディスク３を倣形した
際には１画素がほぼ１００μ角となり、最小寸法１００
μ角で欠陥部の検出が可能となる。 そして、この第１．第２のＴＶカメラ１，２で泥影され
た画像は、横１０２４Ｘ縦１０２４Ｘ８ｂｉｔの画像情
報として画像バス４に出力され、ＣＰＵ９の制御に基づ
いて画像メモリ５に記憶され、画像入力が完了する（ス
テップ１）。 次に、画像強調処理部６では、画像メモリ５より読み出
された！ｌ影画像に対して、ステップ２〜ステツプ４の
画像強調処理を行う。画像強調処理部６は、先ず、ＴＶ
カメラの画像センサにおいて付加される雑音を除去しく
ステップ２）、次に、例えば３×３あるいは５×５等の
微分フィルタリングによって強度が急激に変化する部分
の強調処理を行う（ステップ３）。そして、最後に補正
パターンとの°差をとることにより、照明ムラ補正を行
って（ステップ４）、画像強調処理が完了する。 この画像強調処理画像は、前記画像メモリ５内に一旦記
憶されることとなる。 次に、２値化処理部７において、強調処理された画像を
２値化処理する（ステップ５）。即ち、強調処理された
画像は各画素毎に８ビツト（Ｏ〜２５５）の階調レベル
を有しているため、例えば第３図に示すようにフロッピ
ーディスク３の正常部の階調レベルを１９６〜２０６の
範囲と設定したときには、この正常部の階調レベル域内
のレベルを持つ画素をｒＯＪとし、前記階調レベル域外
のレベルを持つ画像に１１」を立てて２値化処理する。 例えば、第４図に示すようにエリア１．３内に階調レベ
ルの低い点状の欠陥部２１．２３が有り、エリア２内に
は階調レベルの高い点状の欠陥部２２が有り、エリア４
．５内に階調レベルの高い線状の欠陥部２４．２５が有
ったものとする。この各欠陥部の階調レベルは第３図に
示すようになっており、正常部の階調レベル域外となる
ので、この欠陥部に対応する画素は「１」が立ら、欠陥
部の特徴が強調化される−ことになる。このようにして
、欠陥部の特徴が強調化された２値化像は前記画像メモ
リ５内に記憶されることになる。 次に、欠陥検出部８においてステップ６〜９を実行して
欠陥の検出を行う。欠陥検出部８は、先ず、２値化像を
入力し、この像とマスクパターン（予め作成されている
）とのＡＮＤをとって輪郭等の余分な個所を除去する（
ステップ６）。その後、この２値化像の各画素を走査し
て欠陥部（「１」の情報を持つ画像の集合）の座標位置
及び面積を求める。その後、上記欠陥部の座標位置を利
用してこの位置に対応する画素の階調レベルを調べる（
ステップ７）。例えば、第４図図示の欠陥部２１〜２５
の各階調レベルが検知される。そして、欠陥部の階調レ
ベルとその形状（点状であるか線状であるか等）とから
、欠陥の種類が判別されることになる（ステプ９）。 情報記憶媒体がフロッピーディスクの場合には、以下の
ようにして判別が行なわれる。階調レベルが正常階調レ
ベル域よりも低く（正常部よりも黒い）、かつ、形状が
点状であれば、媒体自体が隆起又は陥没した欠陥部であ
ると判別される（以下、この欠陥を突起と呼ぶ）。一方
、階調レベルが正常部階調レベル域よりも高く（正常部
よりも白い）、かつ、形状が点状であれば、媒体表面に
異物が付着した欠陥部であると判別される（以下、この
欠陥を付着と呼ぶ）。また、階調レベルが正常部階調レ
ベル域よりも高く（正常部よりも白い）、かつ、形状が
線状であれば、媒体表面が傷付けられている欠陥である
と判別される（以下、この欠陥をキズと呼ぶ）。 例えば、上記欠陥部２１〜２５について欠陥の種類を判
別すると、欠陥部２１．２３は“′突起″であり、欠陥
部２２は“付着″であり、欠陥部２４．２５は゛キズ″
となる。 このように、欠陥部の有無だけでなくその種別を判別で
きる利益としては、フロッピーディスクの製造■稈毎に
固有の欠陥があるため、欠陥の種別が分ればどの工程で
欠陥の発生がめったかを認識することができ、工程管理
にフィードバックすることにより欠陥発生の低減に寄与
することができる。従って、単にフロッピーディスクの
欠陥物の出荷を未然に阻止するたけでなく、品質水準の
向上に寄与できる。 尚、上述したような各処理はソフトウェアによる処理が
可能であり、その処理時間の一例を示せば、画像入力に
０．０３秒、照明ムラ補正に０゜２秒、微分フィルタリ
ングに０．０５秒、２値化処理に０．０４秒であり、最
も時間を要する座標の抽出も１秒あれば足りる。従って
、金処理時間も一視野当り１．３秒程度であり、目視検
査よりも充分に速く処理でき、しかも欠陥検知が正確と
なる。 このような欠陥検査結果は、プリンタ１３よりハードコ
ピーされて出力される。この−例を第５図に示す。同図
において、ＯＮ、”は欠陥座標を走査検知した際の各欠
陥毎の走査順の番号である。（Ｘ、Ｙ）は各欠陥の初期
座標である。面積は各欠陥を構成する画素数を示す。種
別は、前）ホした突起、付着又はキズの分類を示す。尚
、参考として各欠陥とザーテイファイヤーとめ対応を示
すと、第５図のようになった。ここで“’ＭＳ”とはミ
ッシングレベルの略号で、書き込んだ情報量に対して読
み出すことができる情報量の百分率である。同図に示す
ように、ミッシングレベルが７０％、４５％等の欠陥が
検出することができた。 前記プリンタ］３では、上）ホしたようなフロッピーデ
ィスク毎の欠陥状態を検出するものに限らず、フロッピ
ーディスクの各ロット毎の欠陥部ｈ４を出力することも
てきる。第６図は、５インチ及び３．５インチの各フロ
ッピーディスクの欠陥統訓をグラフ状に出力したもので
あり、このような出力を得ることにより、上述したフロ
ッピーディスクの’ＡＫ４工程管理に供することができ
る。 また、前記画像バス４にはモニタ１４が接続され、前記
２値化処理部７での２値化処理画像を表示するようにな
っている。このモニタ］４での画像表示例を写真２．写
真４に示す。写真２．４に示す画像は、写真１，３に示
す入力画像をそれぞれ２値化処理することによって得ら
れた画像であり、入力画像に比べて欠陥の特徴がより鮮
明に表示されている。このような表示によって欠陥の存
在及びその形状が一目瞭然となる。 また、上述したような欠陥検査結果は、ハードコピー又
は画像表示されるだけでなく、検査装置１２にフィード
バックされるようになっている。 検査装置１２では、欠陥検査結果に基づいて例えば振り
分はゲート等を駆動制御することにより、搬送ライン上
のフロッピーディスクを、正常なものと欠陥を有するも
のとに無人で撮り分けることができ、省力化に寄与でき
るだけでなく、従来より検査Ｑに課されていた負担を大
幅に軽減することができる。 尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能でおる。本
発明が適用される情報記憶媒体としては、フロッピーデ
ィスクに限らず他の磁気ディスクおるいは光ディスクで
あってもよい。光ディスクの場合には透過光に基づき画
像入力することによって、表面欠陥だけでなく内部欠陥
の検出も可能となる。また、画像強調処理部は、欠陥検
出のための２値化処理の前処理として画像の強調化を行
う意義を持ち、上記実施例の各処理部てを行うものに限
らず、公知の種々の５１！！理を採用し得る。 また、２値化処理部における閾値は、上記実施例のよう
に固定とせずに媒体表面の階調レベルに応じて可変する
ことにより適正な２値化処理を行うこともできる。 欠陥検出部としては、欠陥の種別をも検出することが工
程管理上最適であるが、必ずしもこれに限らず欠陥部の
特徴を検知するものであっても品質管理は可能である。 ［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば情報記憶媒体の欠
陥検査を迅速かつ正確に行うことができ、さらに欠陥の
種別を検知することによって製造工程管理に反映させて
欠陥の発生の低減にも寄与することができる。
て、表面欠陥等を検査する装置に関する。 ［発明の技術的背崇とその問題点］ フロッピーディスク等の情報記憶媒体は、例えばその表
面に傷、異物何着があり、又は、媒体自体が隆起、陥没
していると、出き込まれた情報を正確に読み出すことが
不能となる。そこで、これら情報記憶媒体の製造過程で
上記各種欠陥の有無を検知し、正常な情報記憶媒体のみ
を出荷する品質管理が不可欠となっている。 ところで、従来よりこの種の情報記憶媒体の検査は、例
えばディスク盤を一枚ずつ目視によって行うことが一般
的であり、大最の媒体を迅速かつ正確に検査することが
不可能でおった。 ［発明の目的］ 本発明は上記情報に鑑みて成されたものであり、情報記
憶媒体の欠陥検査を迅速かつ正確に行うことができ、ざ
らには欠陥の種類を出力することにより情報記憶媒体の
製造工程毎の管理に反映させることができる情報記憶媒
体の欠陥検査装置を提供することを目的とするものであ
る。 ［発明の概要］ 上記目的を達成するための本発明の概要は、情報記憶媒
体を撮影する撮影手段と、前記ｍｌ影画像に画像強調処
理を行う画像強調処理部と、媒体正常部の階調レベルを
閾値として、強調処理された画像を２値化処理する２値
化処理部と、強調処理画像及び２値化処理画像に基づい
て欠陥部の特徴を検出する欠陥検出部とを有することを
特徴ものである。 ［発明の実施例］ 以下、本発明を図示の実施例を参照して説明する。 第１図は、本発明に係るフロッピーディスクの表面欠陥
検査装置のブロック図である。同図において、第１．第
２のＴＶカメラ１．２は、それぞれフロッピーディスク
３の表面３Ａ、裏面３Ｂ＠撮影するものである。この第
１．第２のＴＶカメラ１，２は、前記表面３Ａ、裏面３
Ｂをそれぞれ４分割でＮ影し、その−撮影領域（図示ａ
Ｘａの領域）を、水平、垂直走査線が１０２４本ＸＩＯ
２４本の高解像度でｉ影するようになっている。 尚、この第１．第２のＴＶカメラ１．２は、フロッピー
ディスク３の製造工程後段側に配置され、搬送途中のフ
ロッピーディスク３の表面Ａを第１のＴＶカメラ１によ
って撮影し、その後このフロッピーディスク３の表裏を
反転してその裏面３Ｂを第２のＴＶカメラ２によって撮
影するようになっている。尚、第２のＴＶカメラ２によ
って撮影が行なわれている間には、次に搬送された来た
フロッピーディスク３を第１のＴＶカメラ１によって撮
影し、このようにして順次搬送されるフロッピーディス
ク３を効率よく撮影するようになっている。 この第１．第２のＴＶカメラ１，２で撮影された画像は
、横１０２４Ｘ縦１０２４ｘ８ｂ ｉ ｔ（２５６段階
の濃淡階調／点）の画像情報となって画像バス４に出力
されるようになっている。 前記画像バス４には、画像メモリ５１画像強調処理部６
．２値化処理部７及び欠陥検出部８がそれぞれ接続され
、ざらに、ＣＰＵ９からの指令をＣＰＵバス１０を介し
て入力して所定の動作を行うようになっている。 前記画像メモリ５は、例えば複数枚のメモリ媒体から成
り、第１．第２のＴＶカメラ１．２での分割撮影像を記
憶すると共にワーキングメモリとして供するようになっ
ている。尚、この画像メモリ５は、１０２４Ｘ１０２４
の各画素毎に８ビツトの濃淡階調を記憶できるようにな
っている。 前記画像強調処理部６は、前記画像メモリ５より読み出
された画像を入力し、ノイズ除去、ｎ画素×ｎ画素のフ
ィルタリング及び照明ムラ補正を行う。 前記２値化処理部７は、前記画像強調処理部６で処理さ
れた画像を入力し、フロッピーディスク３の正常部の階
調レベルを閾値として前記画像を２値化処理するもので
ある。 前記欠陥検出部８は、前記画像強調処理部６での処理画
像、及び前記２値化処理部７での２値化処理画像を入力
し、フロッピーディスク３の表面欠陥の検出を行うもの
である。この欠陥検出部８は、前記２値化処理画保（例
えば「Ｏ」は正常部。 ［］１は異常部となっている）の「１」の画素を検査検
知することにより、欠陥部の位置と面積（形状）とを求
める。また、求められた欠陥部の位置情報に基づいて、
前記強調画像における欠陥部の階調レベルを検知し、こ
の階調レベルと欠陥部の形状とから欠陥の種類を検知す
るようになっている。 尚、欠陥検出部８で検知された欠陥部の位置１面積１種
類の情報は、ＣＰＵバス１０に接続されたインターフェ
ース１１を介して検査装置１２に出力されるようになっ
ている。この検査装置１２は、フロッピーディスク３の
搬送ライン途中に設けられ、前記欠陥部の情報に基づい
て、正常なフロッピーディスクと欠陥のあるフロッピー
ディスクとを振り分けるようになっている。 また、この欠陥検査装置の出力装置として、プリンタ１
３と、モニタ１４とが設けられている。 プリンタ１３は、欠陥部の位置１面積９種類等を記録用
紙にハードコピーして出力するものであり、モニタ１４
は前記２値化処理部７での２値化処理画像を表示するも
のである。 以上のように構成された装置の作用について第２図に示
すフローチャートを参照して説明する。 表面３Ａを上に向けて搬送ラインに沿って搬送されるフ
ロッピーディスク３は、先ず、第１のＴＶカメラ１によ
ってその表面３Ａがｔａ影され、その後反転されて裏面
３Ｂが第２のＴＶカメラ２によって倣形される。尚、前
記第１．第２のＴＶカメラ１，２は、前記表面３Ａ、裏
面３Ｂをそれぞれ４分割でｒ影し、その−倣形領域を、
水平、垂直走査線が１０２４本Ｘ１０２４本の高解像度
で走査を行ない倣形するようになっている。従って、例
えば５．２５インチのフロッピーディスク３を倣形した
際には１画素がほぼ１００μ角となり、最小寸法１００
μ角で欠陥部の検出が可能となる。 そして、この第１．第２のＴＶカメラ１，２で泥影され
た画像は、横１０２４Ｘ縦１０２４Ｘ８ｂｉｔの画像情
報として画像バス４に出力され、ＣＰＵ９の制御に基づ
いて画像メモリ５に記憶され、画像入力が完了する（ス
テップ１）。 次に、画像強調処理部６では、画像メモリ５より読み出
された！ｌ影画像に対して、ステップ２〜ステツプ４の
画像強調処理を行う。画像強調処理部６は、先ず、ＴＶ
カメラの画像センサにおいて付加される雑音を除去しく
ステップ２）、次に、例えば３×３あるいは５×５等の
微分フィルタリングによって強度が急激に変化する部分
の強調処理を行う（ステップ３）。そして、最後に補正
パターンとの°差をとることにより、照明ムラ補正を行
って（ステップ４）、画像強調処理が完了する。 この画像強調処理画像は、前記画像メモリ５内に一旦記
憶されることとなる。 次に、２値化処理部７において、強調処理された画像を
２値化処理する（ステップ５）。即ち、強調処理された
画像は各画素毎に８ビツト（Ｏ〜２５５）の階調レベル
を有しているため、例えば第３図に示すようにフロッピ
ーディスク３の正常部の階調レベルを１９６〜２０６の
範囲と設定したときには、この正常部の階調レベル域内
のレベルを持つ画素をｒＯＪとし、前記階調レベル域外
のレベルを持つ画像に１１」を立てて２値化処理する。 例えば、第４図に示すようにエリア１．３内に階調レベ
ルの低い点状の欠陥部２１．２３が有り、エリア２内に
は階調レベルの高い点状の欠陥部２２が有り、エリア４
．５内に階調レベルの高い線状の欠陥部２４．２５が有
ったものとする。この各欠陥部の階調レベルは第３図に
示すようになっており、正常部の階調レベル域外となる
ので、この欠陥部に対応する画素は「１」が立ら、欠陥
部の特徴が強調化される−ことになる。このようにして
、欠陥部の特徴が強調化された２値化像は前記画像メモ
リ５内に記憶されることになる。 次に、欠陥検出部８においてステップ６〜９を実行して
欠陥の検出を行う。欠陥検出部８は、先ず、２値化像を
入力し、この像とマスクパターン（予め作成されている
）とのＡＮＤをとって輪郭等の余分な個所を除去する（
ステップ６）。その後、この２値化像の各画素を走査し
て欠陥部（「１」の情報を持つ画像の集合）の座標位置
及び面積を求める。その後、上記欠陥部の座標位置を利
用してこの位置に対応する画素の階調レベルを調べる（
ステップ７）。例えば、第４図図示の欠陥部２１〜２５
の各階調レベルが検知される。そして、欠陥部の階調レ
ベルとその形状（点状であるか線状であるか等）とから
、欠陥の種類が判別されることになる（ステプ９）。 情報記憶媒体がフロッピーディスクの場合には、以下の
ようにして判別が行なわれる。階調レベルが正常階調レ
ベル域よりも低く（正常部よりも黒い）、かつ、形状が
点状であれば、媒体自体が隆起又は陥没した欠陥部であ
ると判別される（以下、この欠陥を突起と呼ぶ）。一方
、階調レベルが正常部階調レベル域よりも高く（正常部
よりも白い）、かつ、形状が点状であれば、媒体表面に
異物が付着した欠陥部であると判別される（以下、この
欠陥を付着と呼ぶ）。また、階調レベルが正常部階調レ
ベル域よりも高く（正常部よりも白い）、かつ、形状が
線状であれば、媒体表面が傷付けられている欠陥である
と判別される（以下、この欠陥をキズと呼ぶ）。 例えば、上記欠陥部２１〜２５について欠陥の種類を判
別すると、欠陥部２１．２３は“′突起″であり、欠陥
部２２は“付着″であり、欠陥部２４．２５は゛キズ″
となる。 このように、欠陥部の有無だけでなくその種別を判別で
きる利益としては、フロッピーディスクの製造■稈毎に
固有の欠陥があるため、欠陥の種別が分ればどの工程で
欠陥の発生がめったかを認識することができ、工程管理
にフィードバックすることにより欠陥発生の低減に寄与
することができる。従って、単にフロッピーディスクの
欠陥物の出荷を未然に阻止するたけでなく、品質水準の
向上に寄与できる。 尚、上述したような各処理はソフトウェアによる処理が
可能であり、その処理時間の一例を示せば、画像入力に
０．０３秒、照明ムラ補正に０゜２秒、微分フィルタリ
ングに０．０５秒、２値化処理に０．０４秒であり、最
も時間を要する座標の抽出も１秒あれば足りる。従って
、金処理時間も一視野当り１．３秒程度であり、目視検
査よりも充分に速く処理でき、しかも欠陥検知が正確と
なる。 このような欠陥検査結果は、プリンタ１３よりハードコ
ピーされて出力される。この−例を第５図に示す。同図
において、ＯＮ、”は欠陥座標を走査検知した際の各欠
陥毎の走査順の番号である。（Ｘ、Ｙ）は各欠陥の初期
座標である。面積は各欠陥を構成する画素数を示す。種
別は、前）ホした突起、付着又はキズの分類を示す。尚
、参考として各欠陥とザーテイファイヤーとめ対応を示
すと、第５図のようになった。ここで“’ＭＳ”とはミ
ッシングレベルの略号で、書き込んだ情報量に対して読
み出すことができる情報量の百分率である。同図に示す
ように、ミッシングレベルが７０％、４５％等の欠陥が
検出することができた。 前記プリンタ］３では、上）ホしたようなフロッピーデ
ィスク毎の欠陥状態を検出するものに限らず、フロッピ
ーディスクの各ロット毎の欠陥部ｈ４を出力することも
てきる。第６図は、５インチ及び３．５インチの各フロ
ッピーディスクの欠陥統訓をグラフ状に出力したもので
あり、このような出力を得ることにより、上述したフロ
ッピーディスクの’ＡＫ４工程管理に供することができ
る。 また、前記画像バス４にはモニタ１４が接続され、前記
２値化処理部７での２値化処理画像を表示するようにな
っている。このモニタ］４での画像表示例を写真２．写
真４に示す。写真２．４に示す画像は、写真１，３に示
す入力画像をそれぞれ２値化処理することによって得ら
れた画像であり、入力画像に比べて欠陥の特徴がより鮮
明に表示されている。このような表示によって欠陥の存
在及びその形状が一目瞭然となる。 また、上述したような欠陥検査結果は、ハードコピー又
は画像表示されるだけでなく、検査装置１２にフィード
バックされるようになっている。 検査装置１２では、欠陥検査結果に基づいて例えば振り
分はゲート等を駆動制御することにより、搬送ライン上
のフロッピーディスクを、正常なものと欠陥を有するも
のとに無人で撮り分けることができ、省力化に寄与でき
るだけでなく、従来より検査Ｑに課されていた負担を大
幅に軽減することができる。 尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能でおる。本
発明が適用される情報記憶媒体としては、フロッピーデ
ィスクに限らず他の磁気ディスクおるいは光ディスクで
あってもよい。光ディスクの場合には透過光に基づき画
像入力することによって、表面欠陥だけでなく内部欠陥
の検出も可能となる。また、画像強調処理部は、欠陥検
出のための２値化処理の前処理として画像の強調化を行
う意義を持ち、上記実施例の各処理部てを行うものに限
らず、公知の種々の５１！！理を採用し得る。 また、２値化処理部における閾値は、上記実施例のよう
に固定とせずに媒体表面の階調レベルに応じて可変する
ことにより適正な２値化処理を行うこともできる。 欠陥検出部としては、欠陥の種別をも検出することが工
程管理上最適であるが、必ずしもこれに限らず欠陥部の
特徴を検知するものであっても品質管理は可能である。 ［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば情報記憶媒体の欠
陥検査を迅速かつ正確に行うことができ、さらに欠陥の
種別を検知することによって製造工程管理に反映させて
欠陥の発生の低減にも寄与することができる。
第１図は本発明に係るフロッピーディスクの欠陥検査装
置のブロック図、第２図は画像処理から欠陥検出に至る
動作手順の一例を示すフローチャート、第３図は２値化
処理の閾値を示す概略か２明図、第４図（Ａ＞、（Ｂ）
はそれぞれ欠陥の種類を示す概略説明図、第５図はプリ
ンタからの出力の一例を示す概略説明図、第６図はプリ
ンタからの統計出力の一例を示す概略説明図である。 １．２・・・撮影手段、３・・・情報記憶媒体、６・・
・画像強調処理部、７・・・２値化処理部、８・・・欠
陥検出部、１２・・・検査装置。 １！ＩＮの浄書（内容に′５更なし） （Ａ） 第４図 ＨＳイシテフロ・ソじ６−テ′イクク 〇−一−０３，δυプフ口・ゾど・−ティマク第６図 手続補正書（方式） 昭和６１年２月１９日
置のブロック図、第２図は画像処理から欠陥検出に至る
動作手順の一例を示すフローチャート、第３図は２値化
処理の閾値を示す概略か２明図、第４図（Ａ＞、（Ｂ）
はそれぞれ欠陥の種類を示す概略説明図、第５図はプリ
ンタからの出力の一例を示す概略説明図、第６図はプリ
ンタからの統計出力の一例を示す概略説明図である。 １．２・・・撮影手段、３・・・情報記憶媒体、６・・
・画像強調処理部、７・・・２値化処理部、８・・・欠
陥検出部、１２・・・検査装置。 １！ＩＮの浄書（内容に′５更なし） （Ａ） 第４図 ＨＳイシテフロ・ソじ６−テ′イクク 〇−一−０３，δυプフ口・ゾど・−ティマク第６図 手続補正書（方式） 昭和６１年２月１９日
Claims (5)
- （１）情報記憶媒体を撮影する撮影手段と、前記撮影画
像に画像強調処理を行う画像強調処理部と、媒体正常部
の階調レベルを閾値として、強調処理された画像を２値
化処理する２値化処理部と、強調処理画像及び２値化処
理画像に基づいて欠陥部の特徴を検出する欠陥検出部と
を有することを特徴とする情報記憶媒体の欠陥検査装置
。 - （２）欠陥検出部は、２値化処理画像より欠陥部の位置
及び形状を検知し、かつ、前記強調処理画像上の欠陥部
の階調レベルと欠陥部の形状とから欠陥部の種別を検知
するものである特許請求の範囲第１項に記載の情報記憶
媒体の欠陥検査装置。 - （３）画像強調処理部は、ノイズ除去処理、ｎ画素×ｎ
画素の微分フィルタリング処理及び照明ムラ補正処理を
行うものである特許請求の範囲第１項又は第２項に記載
の情報記憶媒体の欠陥検査装置。 - （４）撮影手段は、搬送ライン上の情報記憶媒体を撮影
するものである特許請求の範囲第１項乃至第３項のいず
れかに記載の情報記憶媒体の欠陥検査装置。 - （５）搬送ライン途上には検査装置が配置され、前記欠
陥検出部からの情報に基づいて、情報記憶媒体の振り分
けを行うものである特許請求の範囲第４項に記載の情報
記憶媒体の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60242405A JPS62102144A (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 | 情報記憶媒体の欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60242405A JPS62102144A (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 | 情報記憶媒体の欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62102144A true JPS62102144A (ja) | 1987-05-12 |
Family
ID=17088649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60242405A Pending JPS62102144A (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 | 情報記憶媒体の欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62102144A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02108165A (ja) * | 1988-09-27 | 1990-04-20 | Allen Bradley Co Inc | 映像イメージ処理装置 |
-
1985
- 1985-10-29 JP JP60242405A patent/JPS62102144A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02108165A (ja) * | 1988-09-27 | 1990-04-20 | Allen Bradley Co Inc | 映像イメージ処理装置 |
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