JPS62100956A - 電流導入端子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は真空装置や圧力容器等の内部に外部より電流を
供給したり内部から外部へ測定用の微小の電気信号を取
り出す電流導入端子に関するものである。

従来の技術 従来の電流端子を第２図に示す。銅あるいは真ちゅうの
金属棒１，１′　　をセラミック絶縁体２′ｆｆ：介し
て金属フランジ３に保持し、真空容器４に溶接された金
属フランジ５と金属７ランジ３の間にシール用の銅リン
グ８ｉ挾み４〜８個の締め付は用ポル）　７　、７’で
それぞれの金属７ランジの突起ｍ　Ｂ　、　Ｂ／を銅リ
ング６にくい込ませて真空シールする。セラミック絶縁
体２は熱膨張率が金属７ランジ３および金属棒１，１′
に近い材質を違びセラミック材料のもつ良好な接着性に
よって焼成する時に金属７ランジ３および金属棒１．１
′との界面にリークが無いよう真空シールされる。

発明が解決しようとする問題点 従来の技術はセラミ・ンク材料を封止用絶縁体として用
いているため絶縁性が悪く、金属棒１，１′とアースさ
れた金属７ランジの間のリーク電流が大きく１０■で１
　ｎＡ程度であり微小電流の測定には使えない。高電圧
用碍子性の電流導入端子は１桁〜２桁絶縁性が向上する
が１　ｐＡ程度の微小電流測定にほやはり使えず、しか
も１端子であるから複数個の電流導入端子が必要である
。また金属棒の部分が４ｃｍ〜８ｃＩｎと長いため電磁
波ノイズの影響全党は易い。通常測定用の電流導入端子
としては熱電対導入用の２端子と信号測定用の２端子の
計４端子以上を持つことが望ましい。

問題点を解決するための手段 本発明は、リーク電流を低減するため体積固有抵抗と表
面抵抗の大きいフッ素系樹脂を用い、ツーＪ素糸樹脂が
接着シールの出来ない点を解決するため金属棒および真
空容器の７ランジとの真空シール部を、一体化した絶縁
体のフッ素系樹脂に直接機械的に圧着して真空シールす
ることにより得られる。

作　　　用 フッ素系樹脂を代表するＰＴＦＥ（４フフ化エチレン樹
脂）の体積固有抵抗は約１０１９Ωｍで表面抵抗は約１
０１７０であり、すぐれたアルミナ磁器の体積固有抵抗
１０１２０ｍ９表面抵抗１ｏ９Ωに比べ絶縁性が大きく
、湿度による表面抵抗の低下も少なくリーク電流が低減
できる。フッ素系樹脂はまた他の樹脂だ比べ熱的な寸法
安定性が良く硬度が低く弾性を有するため、それ自体を
真空シール材として銅リングの代りに使えるので絶縁機
能とシール機能を一体化した第１図の実施例に示す様な
構造が可能となる。

実施例 本発明による代表的実施例を第１図に示す。両端にネジ
部を持つ径が約２．６φで長さが約１５恥のステンレス
製の複数の金属棒９，９′をフッ素系樹脂からなる円板
状の絶縁体１ｏの中央部の貫通孔に固定しナラ）１１．
１１’で締めつけ金属棒のつば部１２　、１２’を円板
状の絶縁体１ｏにくい込ませて機械的に真空シールする
。更に、真空容器１３に溶接したステンレス等の７ラン
ジ１４と電流導入端子のステンレス等のフランジ１５で
円板　　′状の絶縁体１ｏの外周のつば部１６をはさみ
、円周に沿ったそれぞれの突起部１８．１９をくい込ま
せるようＶＣ４〜８個の複数のポル）　１７　、１７’
を締めつけて機械的に真空シールする。機械的シール部
の金属はクロムメッキやステンレス等の硬質で酸化しＫ
くい表面が安定である。

第１図の実施例では更に絶縁体への充電電流を無くす２
重シールドの役割を果たす金属製の円筒状のシールド管
２ｏ、２σを円板状の絶縁体１０に溝を設けてはめ込ん
である。微小電流測定系の２重シールド線の内側のシー
ルド線を円筒状のシールド管２０．２０’に接続し測定
用信号線を９゜９′に接続すると、測定信号電圧が変化
しても円筒状のシールド管２０は金属棒９と常に同電位
を与えられるため絶縁部２１には電界が印加されずシー
ルド管２０へのリーク電流も発生しない。２重シールド
線の外側のシールド線は真空容器１３と電気的に接続し
たフランジ１６に接続しアース電位にする。フッ素樹脂
はＰＴＦＥのほかＦＥＰ（４フツ化エチレンと６７）化
プロピレンのランダム共重合体）やポリフッ化ビニル、
ポリ７ソ化ビニリデン等を用いる。

熱電対を取シ出す場合は、２．６φの径のステンレスの
金属棒９，９′の中央に１φの貫通孔を通して熱電対の
線をさし込みエポキシ樹脂で封止した。

熱電対の線と円板状の絶縁板１ｏを直接封止することは
フッ素樹脂の接着性が悪いためできない。

発明の効果 本発明による第１図の実施例では、円筒状シールド管の
無い場合でもリーク電流は０．０５ｐＡ以下であった。

そこで真空中のダイオードの逆方向電流を測定した結果
１Ｑ■の印加電圧で１ｐＡ以下の正確な電流測定が可能
であシ、外気の湿度等による変化も無かった。フッ素樹
脂の中でもＰＴＦＥとＦＥＰは比誘電率が約２．１と小
さく高周波測定にも良い。

以上の様に本発明によれば、従来例では不可能な微小電
流の測定が真空容器あるいは圧力容器内の試料に対して
測定でき、更にシール部と絶縁部を一体化した簡単な構
造で複数の電気端子を導入でき、機械的衝撃にも破損せ
ず外気の湿度にも影響を受けないすぐれた電流導入端子
を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による実施例の電流導入端子の構造断面
図、第２図は従来例の電流導入端子の構造断ｍ１図であ
る。 １．１′・・・・・・金属棒、２・・・・・・セラミッ
ク絶縁体、３．６・・・・・・金属７ランジ、４・・・
・・真空容器、６・・・・・・銅リング、７，７′・・
・・・・ボルト、８，８′・・・・・突起部。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名？ｌ
−一一汗ヨ才却

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. フッ素系樹脂からなる絶縁体に中央部を貫通する金属棒
   を保持し、この金属棒を前記絶縁体に機械的に真空シー
   ルするとともに前記絶縁体の外周部を機械的に真空シー
   ルしたことを特徴とする電流導入端子。