JPS6197558A - 感湿素子 - Google Patents
感湿素子Info
- Publication number
- JPS6197558A JPS6197558A JP21834984A JP21834984A JPS6197558A JP S6197558 A JPS6197558 A JP S6197558A JP 21834984 A JP21834984 A JP 21834984A JP 21834984 A JP21834984 A JP 21834984A JP S6197558 A JPS6197558 A JP S6197558A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective film
- moisture
- comb
- electrode
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は有機高分子電解質液膜を感湿材とした電気抵抗
式感湿素子に関するものである。
式感湿素子に関するものである。
従来のヒューミセンサは特開昭５０−２０７８１号に記
載のように、ガラス基板上に塩素原子を有する有機重合
体とポリアミド樹脂を反応させた感湿樹脂を塗布し、そ
の上に保護膜を被覆することにより、はこシや亜硫酸ガ
スなどを含む汚染雰囲気による影響が著しく軽減される
としている。しかしセンサの長期安定性やクラック発生
については何等ふれていない。さらに、近年有機高分子
電解質液膜を感湿材とした電気抵抗式感湿素子もでてい
るが、そのものは第３図と第４図に示す如く、アルミナ
基板全体に電極を設けており、保護膜のはがれ、クラッ
ク発生等の考慮がなされていなかった。
載のように、ガラス基板上に塩素原子を有する有機重合
体とポリアミド樹脂を反応させた感湿樹脂を塗布し、そ
の上に保護膜を被覆することにより、はこシや亜硫酸ガ
スなどを含む汚染雰囲気による影響が著しく軽減される
としている。しかしセンサの長期安定性やクラック発生
については何等ふれていない。さらに、近年有機高分子
電解質液膜を感湿材とした電気抵抗式感湿素子もでてい
るが、そのものは第３図と第４図に示す如く、アルミナ
基板全体に電極を設けており、保護膜のはがれ、クラッ
ク発生等の考慮がなされていなかった。
本発明の目的は、近年新たに開発された有機高分子電解
質膜を利用した電気抵抗式感湿素子の保護を行う保護膜
の、クラックの発生およびはがれ等を防止した感湿素子
を提供することにおる。
質膜を利用した電気抵抗式感湿素子の保護を行う保護膜
の、クラックの発生およびはがれ等を防止した感湿素子
を提供することにおる。
すなわち、従来はアルミナ基板いっばいにくし形電極が
張りめぐらされておシ感湿液を塗布するくし形電極廻り
においてアルミナ基板と保護膜が接触する部分がなくな
シはかれやすくなるので、これを改めるためアルミナ基
板廻りを広くとるようにくし形電極を小さく印刷し、さ
らに感湿膜塗布は電極ぎりぎりに行い乾燥させ、そのセ
ンサを保護膜液にディップし乾燥させることによってア
ルミナ基板と保護膜の接触面が多くなシはかれ等を少な
くすることができ長期安定性を良くする。
張りめぐらされておシ感湿液を塗布するくし形電極廻り
においてアルミナ基板と保護膜が接触する部分がなくな
シはかれやすくなるので、これを改めるためアルミナ基
板廻りを広くとるようにくし形電極を小さく印刷し、さ
らに感湿膜塗布は電極ぎりぎりに行い乾燥させ、そのセ
ンサを保護膜液にディップし乾燥させることによってア
ルミナ基板と保護膜の接触面が多くなシはかれ等を少な
くすることができ長期安定性を良くする。
以下本発明の一実施例を第１図、第２図によシ説明する
。１はセラミック基板であり、その上に一対のくし形電
極ノ号ターン２Ｃ，２ｄを印刷焼成する。３ａ、３ｂは
一対の電極パッドでるり、それぞれの電極パッドの一部
は電極パターンにラップさせ電気的に接続させ焼成させ
る。４ａ、４ｂはリードであり、電極パッドをはさみ込
むようにしてアルミナ基板に差し込み、電極パッド上の
５ａ、５ｂ点で半田付する。６ｂは感湿液の塗布限界を
示す無電極パターンでろ９基板前面に感湿膜７ｂを塗布
乾燥させ、保護膜液にセンサをディップさせ保護膜８を
乾燥させ成形する。本実施例によればセラミック基板１
と保護膜（シリコン）８との密着性のよいことを利用し
一対のくし形電極パターン２Ｃ，２ｄの印刷面積を小さ
くし、電極内に感湿膜７ｂを塗布乾燥させセンサ全体を
保護膜８でおおい成形することによりクラック、はがれ
等の影響が少なくなり、長期信頼性の点の効果が得られ
る。
。１はセラミック基板であり、その上に一対のくし形電
極ノ号ターン２Ｃ，２ｄを印刷焼成する。３ａ、３ｂは
一対の電極パッドでるり、それぞれの電極パッドの一部
は電極パターンにラップさせ電気的に接続させ焼成させ
る。４ａ、４ｂはリードであり、電極パッドをはさみ込
むようにしてアルミナ基板に差し込み、電極パッド上の
５ａ、５ｂ点で半田付する。６ｂは感湿液の塗布限界を
示す無電極パターンでろ９基板前面に感湿膜７ｂを塗布
乾燥させ、保護膜液にセンサをディップさせ保護膜８を
乾燥させ成形する。本実施例によればセラミック基板１
と保護膜（シリコン）８との密着性のよいことを利用し
一対のくし形電極パターン２Ｃ，２ｄの印刷面積を小さ
くし、電極内に感湿膜７ｂを塗布乾燥させセンサ全体を
保護膜８でおおい成形することによりクラック、はがれ
等の影響が少なくなり、長期信頼性の点の効果が得られ
る。
本発明によれば、セラミック基板と保護膜（シリコン）
の密着性の良いことを利用し、基板の電極廻りを広くと
９セラミツク基板と保護膜の接触面積をふやすことによ
り、従来センサに多く発生していたクランク、はがれ等
は本発明によシ犬巾に減少し、センサの信頼性向上に寄
与する効果が犬である。また、くし形電極を小さくした
ことからセンナのコスト低減になる効果がある。
の密着性の良いことを利用し、基板の電極廻りを広くと
９セラミツク基板と保護膜の接触面積をふやすことによ
り、従来センサに多く発生していたクランク、はがれ等
は本発明によシ犬巾に減少し、センサの信頼性向上に寄
与する効果が犬である。また、くし形電極を小さくした
ことからセンナのコスト低減になる効果がある。
第１図は本発明の感湿素子の正面図、第２図は第１図の
Ａ−Ａ断面図、第３図は従来の感湿素子の正面図、第４
図は第１図のＡ−Ａ断面図である。 １・・・アルミナ基板、２ ａ 、 ２ ｂ 、 ２
ｃ 、 ２ｄ −・・くし形電極パターン、３ａ、３ｂ
・・・電極パッド、４ａ、４ｂ−−・リード、ｓａ、ｓ
ｂ−・・半田、６ａ。 ６ｂ・・・無電極パターン、７ａ、７ｂ・・・感湿膜、
８゜８ａ・・・保護膜。 一１ＡＶ−３０岬［
Ａ−Ａ断面図、第３図は従来の感湿素子の正面図、第４
図は第１図のＡ−Ａ断面図である。 １・・・アルミナ基板、２ ａ 、 ２ ｂ 、 ２
ｃ 、 ２ｄ −・・くし形電極パターン、３ａ、３ｂ
・・・電極パッド、４ａ、４ｂ−−・リード、ｓａ、ｓ
ｂ−・・半田、６ａ。 ６ｂ・・・無電極パターン、７ａ、７ｂ・・・感湿膜、
８゜８ａ・・・保護膜。 一１ＡＶ−３０岬［
Claims (2)
- １． アルミナ基板よにギャップを有して形成された一
対のくし形電極と、該くし形電極上に有機高分子電解質
液を塗布乾燥させて形成した薄膜と、この基板全体をお
おう保護膜とよりなる感湿素子において、くし形電極を
小さくし電極廻りのアルミナ基板面を広くしたことを特
徴とする感湿素子。 - ２． 電極廻りの広くしたアルミナ基板面に直接保護膜
を密着させた特許請求の範囲第１項記載の感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21834984A JPS6197558A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 感湿素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21834984A JPS6197558A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 感湿素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197558A true JPS6197558A (ja) | 1986-05-16 |
Family
ID=16718479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21834984A Pending JPS6197558A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 感湿素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6197558A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63208751A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-30 | Matsushita Electronics Corp | 結露センサ |
| JPH01148953A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-12 | Nok Corp | 窒素酸化物検出素子 |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP21834984A patent/JPS6197558A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63208751A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-30 | Matsushita Electronics Corp | 結露センサ |
| JPH01148953A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-12 | Nok Corp | 窒素酸化物検出素子 |
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