JPS6117945A - 湿度素子 - Google Patents
湿度素子Info
- Publication number
- JPS6117945A JPS6117945A JP13881884A JP13881884A JPS6117945A JP S6117945 A JPS6117945 A JP S6117945A JP 13881884 A JP13881884 A JP 13881884A JP 13881884 A JP13881884 A JP 13881884A JP S6117945 A JPS6117945 A JP S6117945A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- lower electrode
- electrode
- cylindrical
- electrodes
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
- G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
- G01N27/225—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity by using hygroscopic materials
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の分野
この発明は、湿度を測定する湿度素子に関するものであ
る。
る。
（２）従来技術
従来、第７図（ａ）、（ｂ）に示すように、支持基板１
に１対の下部（基板）電極２を設け、この下部電極２の
上に重合体（高分子）膜等よりなる感湿膜３を設け、そ
の上に透湿性の上部（表面）電極４を設け、下部電極２
にリード線５を接続した構成とし、感湿膜３が湿度によ
り誘電率を変えることにより、下部電極２間の容量値変
化から湿度を測定するものが知られている（例えば、特
公昭５７−３９０５号公報）。
に１対の下部（基板）電極２を設け、この下部電極２の
上に重合体（高分子）膜等よりなる感湿膜３を設け、そ
の上に透湿性の上部（表面）電極４を設け、下部電極２
にリード線５を接続した構成とし、感湿膜３が湿度によ
り誘電率を変えることにより、下部電極２間の容量値変
化から湿度を測定するものが知られている（例えば、特
公昭５７−３９０５号公報）。
しかしながら、この基板１を用いた感湿素子は。
基板１の縁の部分での感湿膜３は傅＜、そこから感湿膜
３が破れ、高湿放置、あるいは高湿、低湿のくり返しに
よって感湿膜３が、はがれでしまう問題点を生じでいた
。また、基板１の一方の面に感湿性をもたせているため
、指向性がある。また。
３が破れ、高湿放置、あるいは高湿、低湿のくり返しに
よって感湿膜３が、はがれでしまう問題点を生じでいた
。また、基板１の一方の面に感湿性をもたせているため
、指向性がある。また。
所定の容量値を得るためには、一定の基板面積を必要と
し、形状（大きさ）に制約があった。
し、形状（大きさ）に制約があった。
（３）発明の目的
この発明の目的は９以上の点に鑑み、小型、高信頼性の
湿度素子を提供することである。
湿度素子を提供することである。
（４）発明の概要
この発明は、棒状または円筒状の支持部材と。
この支持部材の外側に形成された下部電極と、この下部
電極の外側に形成された感湿膜と、この感湿膜の外側に
形成された上部電極とを備え１両電極間の容量値変化か
ら湿度を測定するようにした湿度素子である。
電極の外側に形成された感湿膜と、この感湿膜の外側に
形成された上部電極とを備え１両電極間の容量値変化か
ら湿度を測定するようにした湿度素子である。
（５）発明の実施例
第１図は、この発明の一実施例を示す外観説明図、第２
図は、同断面説明図である。
図は、同断面説明図である。
図において、セラミック、ガラス等よりなり棒状または
円筒状の吸水率の小さい絶縁性の支持部材１の側面全体
の外側に一部が電極取出部２０とされた円筒状の下部電
極２を、真空蒸着等により形成し、この下部電極２の外
側に高分子膜等よりなる円筒状の感湿膜３をディッピン
グ等により形成し、さらに、感湿膜３の外側に一部が電
極取出部４０とされた円筒状の透湿性の上部電極４を形
成し。
円筒状の吸水率の小さい絶縁性の支持部材１の側面全体
の外側に一部が電極取出部２０とされた円筒状の下部電
極２を、真空蒸着等により形成し、この下部電極２の外
側に高分子膜等よりなる円筒状の感湿膜３をディッピン
グ等により形成し、さらに、感湿膜３の外側に一部が電
極取出部４０とされた円筒状の透湿性の上部電極４を形
成し。
電極取出部２０ 、４０にリード線５１．５２を接続し
、支持部材１の内部に温度素子６を設けた構造となって
いる。
、支持部材１の内部に温度素子６を設けた構造となって
いる。
下部電極２と上部電極４との間の感湿膜３は。
湿度変化に応じて水分を脱出、吸着して誘電率を変化さ
せ２両電極２，４間の静電容量値も変化するので、この
容量値変化から湿度を測定することができる。
せ２両電極２，４間の静電容量値も変化するので、この
容量値変化から湿度を測定することができる。
このように２円筒状の支持部材１を用いでいるので指向
性がなく、また感湿膜が剥離するおそれが少ない。なお
、支持部材１の内部の温度素子６により同時に温度も測
定するようにしてもよい。
性がなく、また感湿膜が剥離するおそれが少ない。なお
、支持部材１の内部の温度素子６により同時に温度も測
定するようにしてもよい。
第３図は、他の実施例を示す断面説明図である。
図において１円筒状の支持部材１の長手方向と直交する
方向に二分して広い面積の円筒状の第１の下部電極２１
．狭い面積の円筒状の第２の下部電極２２を形成し、こ
の広い面積の第１の下部電極２１上に感湿膜３を形成し
、この感湿膜３上および狭い面積の第２の下部電極２２
上に透湿性の上部電極４を形成し、第１の下部電極２１
にリード線５１を接続し、第２の下部電極２２．上部電
極４にリード線５２を接続した構成となっている。 ・
第１．第２の下部電極２１．２２から下部電極２１と上
部電極４との間の容量値変化を取り出すようにしている
ので、リード線５１．５２の接続が確実である。
方向に二分して広い面積の円筒状の第１の下部電極２１
．狭い面積の円筒状の第２の下部電極２２を形成し、こ
の広い面積の第１の下部電極２１上に感湿膜３を形成し
、この感湿膜３上および狭い面積の第２の下部電極２２
上に透湿性の上部電極４を形成し、第１の下部電極２１
にリード線５１を接続し、第２の下部電極２２．上部電
極４にリード線５２を接続した構成となっている。 ・
第１．第２の下部電極２１．２２から下部電極２１と上
部電極４との間の容量値変化を取り出すようにしている
ので、リード線５１．５２の接続が確実である。
第４図は、他の実施例を示す外観説明図、第５図は同断
面説明図である。
面説明図である。
図において１円筒状の支持部材１の長手方向に沿って二
分された下部電極２３ 、２４を形成し、この下部電極
２３．２４上に感湿膜３を形成し、この感湿膜３上に上
部電極４を形成し、下部電極２３ 、２４にリード線５
１．５２を接続した構成となっている。
分された下部電極２３ 、２４を形成し、この下部電極
２３．２４上に感湿膜３を形成し、この感湿膜３上に上
部電極４を形成し、下部電極２３ 、２４にリード線５
１．５２を接続した構成となっている。
この実施例においても比較的強固な下部電極２３゜２４
にリード線５１．５２が確実に接続され、下部電極２３
と上部電極４との間の容量値、および下部電極２４と上
部電極４との間の容量値の合成容量値の変化から湿度測
定ができる。
にリード線５１．５２が確実に接続され、下部電極２３
と上部電極４との間の容量値、および下部電極２４と上
部電極４との間の容量値の合成容量値の変化から湿度測
定ができる。
第６図は、他の実施例を示す構成説明図である。
図において、セラミック等の絶縁物でおおわれた円柱状
の温度素子６を支持部材とし、下部電極２゜感湿膜３．
上部電極４を形成し、リード線５１ 、５２を接続した
構成となっている。
の温度素子６を支持部材とし、下部電極２゜感湿膜３．
上部電極４を形成し、リード線５１ 、５２を接続した
構成となっている。
この実施例では、温度素子６を支持部材としているので
、温度と湿度の両方の測定が可能である。
、温度と湿度の両方の測定が可能である。
また、下部電極２として、温度素子６の金属保護以上述
べたように、この発明は２円柱または田圃 筒状の支持部材を使用しているため、感湿部が得心円状
となっており、指向性が少ない。また２円筒状のため、
縁はなく、膨潤、収縮のくり返しによって感湿膜が剥離
する可能性が少ない。また。
べたように、この発明は２円柱または田圃 筒状の支持部材を使用しているため、感湿部が得心円状
となっており、指向性が少ない。また２円筒状のため、
縁はなく、膨潤、収縮のくり返しによって感湿膜が剥離
する可能性が少ない。また。
円筒内に温度センサを入れることもできるため。
全体で小型、コンパクトな温湿度の複合センサとなる。
第１図、第２図、第３図、第４図、第５図、第６図は、
この発明の一実施例を示す構成説明図。 第専図は、従来例を示す構成説明図である。 １・・・支持部材、 ２，２１，２２，２３．２４・
・・下部電極。
この発明の一実施例を示す構成説明図。 第専図は、従来例を示す構成説明図である。 １・・・支持部材、 ２，２１，２２，２３．２４・
・・下部電極。
Claims (6)
- １．棒状または円筒状の支持部材と，この支持部材の外
側に形成された下部電極と，この下部電極の外側に形成
された感湿膜と，この感湿膜の外側に形成された上部電
極とを備え，前記両電極間の容量値変化から湿度を測定
することを特徴とする湿度素子。 - ２．前記両電極を円筒状に形成し，両電極間から容量値
変化を測定することを特徴とした特許請求の範囲第１項
記載の湿度素子。 - ３． 前記支持部材の長手方向と直交する方向に二分さ
れた下部電極と，この下部電極の一方と接続する上部電
極とを備えたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の湿度素子。 - ４． 前記支持部材の長手方向に沿って二分された下部
電極を備え，この二分された下部電極間の容量値変化か
ら湿度を測定することを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の湿度素子。 - ５．前記支持部材が下部電極を兼ねることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の湿度素子。 - ６． 前記支持部材内に温度素子を設けたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項から第５項記載の湿度素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13881884A JPS6117945A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 湿度素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13881884A JPS6117945A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 湿度素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6117945A true JPS6117945A (ja) | 1986-01-25 |
Family
ID=15230945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13881884A Pending JPS6117945A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 湿度素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6117945A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01167646A (ja) * | 1987-12-23 | 1989-07-03 | Tekune Yoko:Kk | 電気容量型湿度計 |
| CN102323304A (zh) * | 2011-06-15 | 2012-01-18 | 天津大学 | 检测甲醇汽油相对体积浓度的陶瓷介质传感器及制备方法 |
| US10123966B2 (en) | 2013-05-16 | 2018-11-13 | The Procter And Gamble Company | Hair thickening compositions and methods of use |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5657946A (en) * | 1979-10-17 | 1981-05-20 | Shinei Kk | Humidity-sensitive element |
| JPS57175250A (en) * | 1981-04-21 | 1982-10-28 | Mitsubishi Electric Corp | Sensitive element for gas and humidity |
-
1984
- 1984-07-04 JP JP13881884A patent/JPS6117945A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5657946A (en) * | 1979-10-17 | 1981-05-20 | Shinei Kk | Humidity-sensitive element |
| JPS57175250A (en) * | 1981-04-21 | 1982-10-28 | Mitsubishi Electric Corp | Sensitive element for gas and humidity |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01167646A (ja) * | 1987-12-23 | 1989-07-03 | Tekune Yoko:Kk | 電気容量型湿度計 |
| CN102323304A (zh) * | 2011-06-15 | 2012-01-18 | 天津大学 | 检测甲醇汽油相对体积浓度的陶瓷介质传感器及制备方法 |
| US10123966B2 (en) | 2013-05-16 | 2018-11-13 | The Procter And Gamble Company | Hair thickening compositions and methods of use |
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