JPS62156551A - 温度／湿度センサ - Google Patents
温度／湿度センサInfo
- Publication number
- JPS62156551A JPS62156551A JP29745585A JP29745585A JPS62156551A JP S62156551 A JPS62156551 A JP S62156551A JP 29745585 A JP29745585 A JP 29745585A JP 29745585 A JP29745585 A JP 29745585A JP S62156551 A JPS62156551 A JP S62156551A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- substrate
- humidity
- polymer film
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、温度センサと湿度センサとの複機能を備えた
温度／湿度センサーこ関する。
温度／湿度センサーこ関する。
背景技術
従来から１チツプで温度及び相対湿度を検知するものと
しては、専用のプロセスを必要とするＦＥＴ（電界効果
トランノスタ）型湿度センサなどが知られている。とこ
ろが温度及び相対湿度の計測を同時に行なう必要性が多
々あり、そこでたとえばサーミスタなどの温度センサと
、有機高分子膜抵抗変化型湿度センサなどとを組み合わ
せることによって、温度及び相対湿度の計測を行なって
いる。
しては、専用のプロセスを必要とするＦＥＴ（電界効果
トランノスタ）型湿度センサなどが知られている。とこ
ろが温度及び相対湿度の計測を同時に行なう必要性が多
々あり、そこでたとえばサーミスタなどの温度センサと
、有機高分子膜抵抗変化型湿度センサなどとを組み合わ
せることによって、温度及び相対湿度の計測を行なって
いる。
発明が解決しようとする問題点
このような先行技術では、センサ部が２チンプになるた
め、プローブ形状が複雑で大きくなり、高コストとなっ
ていた。
め、プローブ形状が複雑で大きくなり、高コストとなっ
ていた。
本発明の目的は、上述の技術的課厘を解決し、小型で、
かつ生産コストの低減化が図られるようにした温度／湿
度センサを提供することである。
かつ生産コストの低減化が図られるようにした温度／湿
度センサを提供することである。
問題点を解決するための手段
本発明は、基板の温度検知用領域内に第１の電極を形成
するとともに、基板の湿度検知用ｇＡ域内にｔｎ２の電
極を形成し、 前記第２電極−ヒに、感湿材料から成る有は高分子膜を
形成することを特徴とする温度／湿度センサである。
するとともに、基板の湿度検知用ｇＡ域内にｔｎ２の電
極を形成し、 前記第２電極−ヒに、感湿材料から成る有は高分子膜を
形成することを特徴とする温度／湿度センサである。
作 用
本発明に従えば、同一基板上に、温度センサと、有機高
分子膜抵抗変化型湿度センサとを同時に形成し、温度及
び相Ｎ湿度を検知する複機能をもなぜるようにしたこと
によって、小型で、かつ生産コストの低い温度／湿度セ
ンサを得ることができる。
分子膜抵抗変化型湿度センサとを同時に形成し、温度及
び相Ｎ湿度を検知する複機能をもなぜるようにしたこと
によって、小型で、かつ生産コストの低い温度／湿度セ
ンサを得ることができる。
χ残飼
第１図は本発明に従う温度／７♀度センサ１の正面図で
あり、第２図は第１図の切断面線■−■から見た断面図
である。この１一度／湿度センサ１は、Ｊｋ本的には、
基板２と、基板２の温度検知用領域内に形成されるくし
型電極３と、基板２の湿度検知用領域内に形成される有
機高分子膜抵抗変化型湿度センサ２０とを含む。この有
機高分子膜抵抗変化型湿度センサ２０は、くし型電極４
．５と、くし型電極４．５Ｆ、に形成される有機高分子
膜６とを含む。
あり、第２図は第１図の切断面線■−■から見た断面図
である。この１一度／湿度センサ１は、Ｊｋ本的には、
基板２と、基板２の温度検知用領域内に形成されるくし
型電極３と、基板２の湿度検知用領域内に形成される有
機高分子膜抵抗変化型湿度センサ２０とを含む。この有
機高分子膜抵抗変化型湿度センサ２０は、くし型電極４
．５と、くし型電極４．５Ｆ、に形成される有機高分子
膜６とを含む。
Ｊ、（＠ ２は、アルミナなどの電気絶縁性材料から成
り、方形の薄板状に形成される。この基板２の一表面の
左半分のりα域には、その領域全面；二広がる湿度検知
用のくし梨型ｉ３が形成される６くし型電極３は、白金
などの可変抵抗材料から成り、その一方の端子は、コネ
クタ７に接続され、他方の端子はコネクタ８に接続され
る。
り、方形の薄板状に形成される。この基板２の一表面の
左半分のりα域には、その領域全面；二広がる湿度検知
用のくし梨型ｉ３が形成される６くし型電極３は、白金
などの可変抵抗材料から成り、その一方の端子は、コネ
クタ７に接続され、他方の端子はコネクタ８に接続され
る。
基板２の一表面の右半分の領域には、そのグ頁域全面に
広がる湿度検知用のくし型電極４，５が形成される。（
し梨型ｆｆ１４．５は、白金などの可変抵抗材料から成
り、相互に対向して配置される。
広がる湿度検知用のくし型電極４，５が形成される。（
し梨型ｆｆ１４．５は、白金などの可変抵抗材料から成
り、相互に対向して配置される。
一方のくし型電極４の端子は、コネクタ８に接続され、
他方のくし型電極５の端子は、コネクタ９に接続される
。
他方のくし型電極５の端子は、コネクタ９に接続される
。
湿度検知用のくし型電極４，５は、有機高分子膜６によ
って全面に亘って被覆される。有機高分子膜６は、感湿
特性を有する材料、ｒことえぼ水蒸気の吸着によって導
電性の変化を生じる導電性高分子などの感湿材料が好適
に用いられる。
って全面に亘って被覆される。有機高分子膜６は、感湿
特性を有する材料、ｒことえぼ水蒸気の吸着によって導
電性の変化を生じる導電性高分子などの感湿材料が好適
に用いられる。
基板２の一表面に、くし型電極３〜５を形成するにあた
っては、スパッタ蒸着などの手法により白金を蒸着し、
これを７オトリングラフイの手法で所定のパターンニン
久を行い、通入バッタ蒸着により白金電極を形成する。
っては、スパッタ蒸着などの手法により白金を蒸着し、
これを７オトリングラフイの手法で所定のパターンニン
久を行い、通入バッタ蒸着により白金電極を形成する。
これによって温度検知用のくし型電極３と、湿度検知用
のくし型電極４．５とを同時に一工程で基板２上に形成
することができる。
のくし型電極４．５とを同時に一工程で基板２上に形成
することができる。
次に、湿度検知用のくし型電極４，５上に有機高分子膜
６を塗布して形成するとともに、コネクタ？−９１：Ｕ
−１’＃ａｌ Ｏ，１１，１２を接続する。
６を塗布して形成するとともに、コネクタ？−９１：Ｕ
−１’＃ａｌ Ｏ，１１，１２を接続する。
リードＭ１０〜１２の取イ寸（すは、ニッケル線、白金
線等を抵抗溶接の手法による。
線等を抵抗溶接の手法による。
その後、（し型電極３および有機高分子１６Ｆに、マス
キング処理にて全面に亘って保護膜を形成し、こうして
１チツプの温度／湿度センサ１を得ることができる。
キング処理にて全面に亘って保護膜を形成し、こうして
１チツプの温度／湿度センサ１を得ることができる。
二のように従来のＦＥＴ型湿度センサとは、全く異なる
構造、製造プロセスで複機能を有する１チンブの温度／
湿度センサを乍製するようにしたことによって、コスＹ
の削減および小型化を実現することができる。
構造、製造プロセスで複機能を有する１チンブの温度／
湿度センサを乍製するようにしたことによって、コスＹ
の削減および小型化を実現することができる。
本発明者の実験によれば、温度センサとしての出力特性
は第３図に示されるとおりであり、また湿度センサとし
ての出力特性は第４図に示されるとおりである。これに
よって本発明に従う温度／湿度センサ１の温度／湿度検
知性能が優れていることがＰｌ！解される。
は第３図に示されるとおりであり、また湿度センサとし
ての出力特性は第４図に示されるとおりである。これに
よって本発明に従う温度／湿度センサ１の温度／湿度検
知性能が優れていることがＰｌ！解される。
前記実施例では、基板２の材料としてアルミナを用した
けれども、ガラス、シリコン、フェライトなどを泪いて
もよい。またくし型電極３〜５のスパッタ蒸３？ｆｅｆ
ｆｉとしては、白金以外に、ニッケル、金を用いるよう
にしでもよい。
けれども、ガラス、シリコン、フェライトなどを泪いて
もよい。またくし型電極３〜５のスパッタ蒸３？ｆｅｆ
ｆｉとしては、白金以外に、ニッケル、金を用いるよう
にしでもよい。
本実施例では、温度センサと湿度センサの端子としての
リードｌｌＱ１０〜１２を共有して３本としたが、くし
型電極３〜５の電極端子数に合わせて計４本としてもよ
い。
リードｌｌＱ１０〜１２を共有して３本としたが、くし
型電極３〜５の電極端子数に合わせて計４本としてもよ
い。
効 果
本発明によれば、同一基板Ｊ二に、温度センサと、有機
高分子膜抵抗変化型湿度センサとを同時に形成し、温度
及び相対湿度を検知する複機能をもたせるようにしたこ
とによって、小型で、かつ生産コストの低い温度／湿度
センサを得ることができる。
高分子膜抵抗変化型湿度センサとを同時に形成し、温度
及び相対湿度を検知する複機能をもたせるようにしたこ
とによって、小型で、かつ生産コストの低い温度／湿度
センサを得ることができる。
第１図は本発明に従う温度／湿度センサ１の正面図、第
２図は第１図の切断面線■−■から見た断面図、第３図
および第４図は本発明者の実験結果を示すグラフである
。 １・・・温度／湿度センサ、２・・・基板、３〜５・・
・くし型電極、６・・・有機高分子膜 代理人 弁理士 西教 圭一部 第１図 第２図
２図は第１図の切断面線■−■から見た断面図、第３図
および第４図は本発明者の実験結果を示すグラフである
。 １・・・温度／湿度センサ、２・・・基板、３〜５・・
・くし型電極、６・・・有機高分子膜 代理人 弁理士 西教 圭一部 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基板の温度検知用領域内に第１の電極を形成するとと
もに、基板の湿度検知用領域内に第２の電極を形成し、 前記第２電極上に、感湿材料から成る有機高分子膜を形
成することを特徴とする温度／湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29745585A JPS62156551A (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 温度／湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29745585A JPS62156551A (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 温度／湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62156551A true JPS62156551A (ja) | 1987-07-11 |
Family
ID=17846731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29745585A Pending JPS62156551A (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 温度／湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62156551A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01234742A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-20 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 空気調和装置の温，湿度制御方法 |
| JP2003502663A (ja) * | 1999-06-17 | 2003-01-21 | ヴァイサラ オーワイジェー | 水分含有量を測定する方法および装置 |
| KR101976461B1 (ko) * | 2017-11-24 | 2019-05-10 | 주식회사 신우전자 | 수직 적층된 온습도 복합 센서 및 그 제조방법 |
| WO2020009164A1 (ja) * | 2018-07-04 | 2020-01-09 | 株式会社村田製作所 | 複合センサー |
-
1985
- 1985-12-28 JP JP29745585A patent/JPS62156551A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01234742A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-20 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 空気調和装置の温，湿度制御方法 |
| JP2003502663A (ja) * | 1999-06-17 | 2003-01-21 | ヴァイサラ オーワイジェー | 水分含有量を測定する方法および装置 |
| JP4676119B2 (ja) * | 1999-06-17 | 2011-04-27 | ヴァイサラ オーワイジェー | 水分含有量を測定する方法 |
| KR101976461B1 (ko) * | 2017-11-24 | 2019-05-10 | 주식회사 신우전자 | 수직 적층된 온습도 복합 센서 및 그 제조방법 |
| WO2020009164A1 (ja) * | 2018-07-04 | 2020-01-09 | 株式会社村田製作所 | 複合センサー |
| CN112313507A (zh) * | 2018-07-04 | 2021-02-02 | 株式会社村田制作所 | 复合传感器 |
| JPWO2020009164A1 (ja) * | 2018-07-04 | 2021-04-01 | 株式会社村田製作所 | 複合センサー |
| US11346801B2 (en) | 2018-07-04 | 2022-05-31 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Composite sensor |
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