JPS6196687U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6196687U JPS6196687U JP17979984U JP17979984U JPS6196687U JP S6196687 U JPS6196687 U JP S6196687U JP 17979984 U JP17979984 U JP 17979984U JP 17979984 U JP17979984 U JP 17979984U JP S6196687 U JPS6196687 U JP S6196687U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding
- robot
- silicon wafer
- hand
- arc shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 6
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Description
第１図は、本考案のシリコン・ウエハー挾持用
ロボツトのハンド部を示す平面図、第２図は使用
状態を示す平面図、第３図は、本考案の装置によ
つてハンドリングするシリコン・ウエハーの平面
図である。 １…シリコン・ウエハー、１ａ…円弧部、１ｂ
…直線部、２…ハンド部、２ａ…開口部、３…挾
持部、４…操作線、５…爪、６…合成樹脂。
ロボツトのハンド部を示す平面図、第２図は使用
状態を示す平面図、第３図は、本考案の装置によ
つてハンドリングするシリコン・ウエハーの平面
図である。 １…シリコン・ウエハー、１ａ…円弧部、１ｂ
…直線部、２…ハンド部、２ａ…開口部、３…挾
持部、４…操作線、５…爪、６…合成樹脂。
Claims (1)
- シリコン・ウエハー挾持用ロボツトのハンドリ
ング装置におけるハンド部において、ハンド部に
、シリコン・ウエハーの円弧状に符合する円孤状
を呈する爪部と、開閉自在な挾持部とを具備した
ことを特徴とするシリコン・ウエハー挾持用ロボ
ツトのハンド部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17979984U JPS6196687U (ja) | 1984-11-27 | 1984-11-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17979984U JPS6196687U (ja) | 1984-11-27 | 1984-11-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6196687U true JPS6196687U (ja) | 1986-06-21 |
Family
ID=30737364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17979984U Pending JPS6196687U (ja) | 1984-11-27 | 1984-11-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6196687U (ja) |
-
1984
- 1984-11-27 JP JP17979984U patent/JPS6196687U/ja active Pending