JPS6194031A - 光波長変換装置 - Google Patents

光波長変換装置

Info

Publication number
JPS6194031A
JPS6194031A JP21672084A JP21672084A JPS6194031A JP S6194031 A JPS6194031 A JP S6194031A JP 21672084 A JP21672084 A JP 21672084A JP 21672084 A JP21672084 A JP 21672084A JP S6194031 A JPS6194031 A JP S6194031A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
refractive index
light
optical
wavelength converter
optical wavelength
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP21672084A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0523412B2 (ja
Inventor
Tetsuo Taniuchi
哲夫 谷内
Kazuhisa Yamamoto
和久 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP21672084A priority Critical patent/JPS6194031A/ja
Publication of JPS6194031A publication Critical patent/JPS6194031A/ja
Publication of JPH0523412B2 publication Critical patent/JPH0523412B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、短波長の小型レーザ光源を実現するだめの半
導体レーザ用波長変換器に関するものであり、利用分野
は、光メモリ、光ディスプレイ等2へ−1 の光情報処理分野である。
従来例の構成とその問題点 安息香酸などを用いたイオン交換処理をほどこしたLi
)ib03単結晶は、Li″−H4−置換により異常光
屈折率が0.12〜0.13増加することを利用して、
光導波路を形成することができる。そこで、光を閉じ込
めるために、アルミニューム等をマスクに用いて、横幅
1〜6μm、厚み0.3〜3μm程度の3次元光導波路
が形成され、光変調器、光波長変換器の研究が行なわれ
ている。
第1図は、このような方法で作られた光波長変換器の従
来例の構成図であり、LiNbO3基板1の表面にイオ
ン交換法により形成されだ光導波路2の端面に、半導体
レーザ光3(波長4=o、s 4 ;un )を結合し
、LiNbO3基板1の内部に第2次高調波4(以下S
H波と略す、波長λ2=0.42μm)を放射させる光
波長変換器である。
しかしながら、この方法には次のような問題点があった
(1)イオン交換処理において、LiNbO3のY軸方
向に3ハ延−7 ケミカルダメージ(結晶格子欠陥に寄因する)が生じ、
3次元光導波路の側面が乱れることによる散乱が大きく
、伝送損失が2〜36B/cmと大きい。
(II)従って、入力光パワーの2乗に比例して発生す
るSH波の変換効率が小さい。
発明の目的 本発明の目的は、光導波路の伝送ロスを低減することに
より、高効率な光波長変換器を提供することにある。
発明の構成 従来例のように、マスクを通して厚み方向と横方向に同
時に進行するイオン交換法では、どちらかの方向にケミ
カルダメージがはいりやすく低ロス化が難しい。そこで
本発明は、厚み方向の光の閉じ込めはイオン交換法を用
い、横方向の光の閉じ込めは装荷型先導波構造(光スト
リップガイドとも呼ぶ)を採用することにより、ケミカ
ルダメージを避け、低ロス化を実現した点を特徴とする
ものである。
実施例の説明 第2図は、本発明の第1実施例であり、LiNbO3基
板1の表面を240℃、13分安息香酸中で処理するこ
とにより薄膜状屈折率増加部5を形成し、その上面に5
in2を電子ビーム蒸着法により、横幅2.0μm、厚
み0.6μmの装荷部6を形成した。光は装荷部6の下
の薄膜状屈折率増加部7に主として閉じ込められて伝搬
するだめに、半導体レーザ光3の入射光は低ロスで伝搬
し、高効率な波長変換を行なうことができた。
本発明による伝送ロスは0.5〜1dB、/cmと従来
に比べかなり小さく、光波長変換効率も30〜60%従
来より改善できた。本実施例における光波長変換の原理
は、LiNbO3の最大の非線形光学定数dssを用い
、基本波の導波モードと高調波の基板放射モードの間で
位相整合をとるものであり、SH波4はL i N b
 O3基板内に放射する。
第3図は、本発明にかかる第2実施例の側面図であり、
基本波との結合効率を向上させるだめに光入力部8とし
てイオン交換を2〜5μmと深く行5 ぺ−7 ない、光波長変換部9(厚みは0.4〜0.6μm)と
なめらかにテーパ状に結合させ、半導体レーザ1゜の光
を高効率で波長変換を行なうものである。
発明の効果 イオン交換法は、大きな屈折率変化と耐光ダメージ特性
をもっだ光導波路を形成することができ、光波長変換素
子に有効であるが、3次元光導波路の伝送ロスが大きい
という短所があった。本発明は、この短所を取り除くも
ので、ここで述べた光波長変換器以外にもイオン交換法
を用いる光変調器などのデバイスにも有効であることは
言うまでもない。
光波長変換器としては、基本波長より最適な導波路サイ
ズは異なるが、いずれの波長においても本発明のイオン
交換法と装荷型光導波構造の組み合わせは有効であり、
特に、基本波長がO,&−0,9μmの半導体レーザを
使用する時に散乱ロスの点で有効である。
イオン交換時の条件としては、安息香酸中で、160〜
250℃、5〜20分と目的に応じて処理すれば6 べ
−7 良く、また、安息香酸以外にもリチウム安息香酸なとも
使用可能である。
装荷物体としては、5102以外にはA 120.+ 
Ta2O3の高周波スパッタ膜なども使用可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の光波長変換器の概略斜視構成図、第2図
は本発明の第1実施例の光波長変換器の概略斜視構成図
、第3図は本発明の第2実施例の光波長変換器の概略断
面図である。 1・・・LiNbO3結晶基板、3・・・・・半導体レ
ーザ光(基本波)ミ4・・・・・・SH波、6・・・・
・・イオン交換法により形成された薄膜状屈折率増加部
、6・・・・・・装荷部、7・・・・・・光が閉じ込め
られる部分、8・・・・・・光入射部、9・・・・・・
光波長変換部、1o・・・・ 半導体レーザ。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)非線形光学効果を有する光導波路を用いる光波長
    変換器において、イオン交換処理を行なうことにより薄
    膜状屈折率増加部を形成した LiNbO_3単結晶基板と、前記薄膜状屈折率増加部
    より屈折率が小さい装荷ストリップとから構成される装
    荷型光導波路の端面に、基本波を入射し、前記LiNb
    O_3単結晶基板中に放射する高調波を取り出すことを
    特徴とする光波長変換器。
  2. (2)薄膜状屈折率増加部の端部の厚みを増加させるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光波長変換
    器。
JP21672084A 1984-10-16 1984-10-16 光波長変換装置 Granted JPS6194031A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21672084A JPS6194031A (ja) 1984-10-16 1984-10-16 光波長変換装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21672084A JPS6194031A (ja) 1984-10-16 1984-10-16 光波長変換装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6194031A true JPS6194031A (ja) 1986-05-12
JPH0523412B2 JPH0523412B2 (ja) 1993-04-02

Family

ID=16692862

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP21672084A Granted JPS6194031A (ja) 1984-10-16 1984-10-16 光波長変換装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6194031A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0782017A2 (en) 1995-12-28 1997-07-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical waveguide optical wavelength conversion device, and methods for fabricating the same
JP2009000146A (ja) * 2007-06-19 2009-01-08 Toshihiko Nishina 薬剤服用補助容器

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0782017A2 (en) 1995-12-28 1997-07-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical waveguide optical wavelength conversion device, and methods for fabricating the same
EP0782017A3 (en) * 1995-12-28 1998-08-12 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical waveguide optical wavelength conversion device, and methods for fabricating the same
US5872884A (en) * 1995-12-28 1999-02-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical waveguide conversion device
US5991490A (en) * 1995-12-28 1999-11-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical waveguide and optical wavelength conversion device
JP2009000146A (ja) * 2007-06-19 2009-01-08 Toshihiko Nishina 薬剤服用補助容器

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0523412B2 (ja) 1993-04-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4705346A (en) Thin film type optical device
JPH01105220A (ja) 光波長変換素子
JP2017129834A (ja) 光導波路素子およびこれを用いた光変調器
JPS60119522A (ja) 導波路型光変調または偏向器
JPH02210310A (ja) 光導波路および光波長変換素子および短波長レーザ光源の製造方法
JPS61189524A (ja) 光波長変換装置
JPS6194031A (ja) 光波長変換装置
JP2847660B2 (ja) 導波路型光変調器
JPS62145227A (ja) 光波長変換器
JPH01201609A (ja) 光デバイス
JPH0659223A (ja) 導波路型光変調器
JP2765112B2 (ja) 光導波路デバイス、光波長変換素子および短波長レーザ光源
JPS6172222A (ja) 光波長変換器
JPH0293625A (ja) 光周波数変換素子
JPS62145226A (ja) 光波長変換器
JPH04162023A (ja) 光波長変換装置およびレーザ光源
JP2857700B2 (ja) 画像増幅装置
JPH01134402A (ja) 光導波路の製造方法
Kakio et al. Surface-acoustic-wave-driven acoustooptic modulator with wide wavelength range for visible laser light
JPS6170535A (ja) 薄膜型光学素子の作製方法
JP3526155B2 (ja) 導波路型光変調素子
Hutcheson et al. Losses in Diffused LiNbO3 Waveguides Caused by Directional Changes
JPH03219214A (ja) 光導波路素子
JPH03197932A (ja) 光波長変換装置
JPH0328832A (ja) 光波長変換素子