JPS6193935A - 欠陥検出装置 - Google Patents
欠陥検出装置Info
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- JPS6193935A JPS6193935A JP21512684A JP21512684A JPS6193935A JP S6193935 A JPS6193935 A JP S6193935A JP 21512684 A JP21512684 A JP 21512684A JP 21512684 A JP21512684 A JP 21512684A JP S6193935 A JPS6193935 A JP S6193935A
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- Japan
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- linear body
- defect detection
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/952—Inspecting the exterior surface of cylindrical bodies or wires
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は１例えば電線などの線状体の表面欠陥を検出す
るための欠陥検出装置に関する。
るための欠陥検出装置に関する。
一般に１例えば電線などの線状体の製造は、線引き加工
（Ｗｉｒｅ Ｄｒａｗｉｎｇ）により行われている。
（Ｗｉｒｅ Ｄｒａｗｉｎｇ）により行われている。
この線引き加工は、先細υのテーパダイスに金属材料を
通して引張り、ダイスの孔の形状と同じ断面の線を製造
するものである。ところで、このようにして得られた線
状体の表面には、しばしば割れ、きす、へこみ等の表面
欠陥が存在している。
通して引張り、ダイスの孔の形状と同じ断面の線を製造
するものである。ところで、このようにして得られた線
状体の表面には、しばしば割れ、きす、へこみ等の表面
欠陥が存在している。
そこで１品質管理上、線引き後の線状体について欠陥検
査を行っている。この゛欠陥検査法としては。
査を行っている。この゛欠陥検査法としては。
従来検査員の目視による表面検査あるいは渦電流探傷検
査が採用されている。
査が採用されている。
しかしながら、前者の目視検近方法は、検査り目串が低
いこと（はもとより、熟線を要し、かつ検査員の負担が
大きく、欠陥の誤認、看過等によシ検出精ｒｆがすこぶ
る不安タセである欠点をもっている。
いこと（はもとより、熟線を要し、かつ検査員の負担が
大きく、欠陥の誤認、看過等によシ検出精ｒｆがすこぶ
る不安タセである欠点をもっている。
他方、後者の渦電流探傷法は、検出精度及び作業能率は
高い反面、たとえば線状体が磁性体であるとか、被覆線
であるような場合には適用できない難点をもっている。
高い反面、たとえば線状体が磁性体であるとか、被覆線
であるような場合には適用できない難点をもっている。
本発明は、上記事情に着目してなされたもので、線状体
の表面検査を迅速かつ正確に行うことができる欠陥検出
装置を提供することを目的とする。
の表面検査を迅速かつ正確に行うことができる欠陥検出
装置を提供することを目的とする。
■型反射鏡を用いて、送行中の線状体にほぼ直交する検
査面が線状体に対して交差する輪状部位′にレーザ光を
ほぼ同時に照射し、このとき表面欠陥に基因する拡散反
射光に基づいて欠陥検査を行うようにしたものである。
査面が線状体に対して交差する輪状部位′にレーザ光を
ほぼ同時に照射し、このとき表面欠陥に基因する拡散反
射光に基づいて欠陥検査を行うようにしたものである。
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。
第１図は、この実施例の欠陥検出装置を示している。こ
の欠陥検出装置は、面（１）（ｉ２図参照）に沿って平
行なレーザ光（２）を矢印（３）方向に投射するレーザ
光投射部（４）と、線状体（５）に入射したレーザ光（
２）の拡散反射光を集光して集光量に対応した電気信号
ＳＡに変換する拡散反射光集光部（６）と、電気信号Ｓ
Ａに基づいて欠陥の有無の判定を行・う欠陥判定部（力
と、線状体（５）の送行速度を検出して欠陥検査位置を
示す電気信号ＳＢを出力する送行量検出部（８）とから
構成されている。しかして、上記線状体（５）は、第２
図に示すように１両端を一対のリール（９ａ）、 （９
ｂ）によシ巻き取られ、張設されている。
の欠陥検出装置は、面（１）（ｉ２図参照）に沿って平
行なレーザ光（２）を矢印（３）方向に投射するレーザ
光投射部（４）と、線状体（５）に入射したレーザ光（
２）の拡散反射光を集光して集光量に対応した電気信号
ＳＡに変換する拡散反射光集光部（６）と、電気信号Ｓ
Ａに基づいて欠陥の有無の判定を行・う欠陥判定部（力
と、線状体（５）の送行速度を検出して欠陥検査位置を
示す電気信号ＳＢを出力する送行量検出部（８）とから
構成されている。しかして、上記線状体（５）は、第２
図に示すように１両端を一対のリール（９ａ）、 （９
ｂ）によシ巻き取られ、張設されている。
そして１図示せぬ回転駆動機構によシ矢印α■方向に送
行されるようになっている。この矢印ｃｔｃ１１方向は
、面（１）に対して直交するように設定されている。
行されるようになっている。この矢印ｃｔｃ１１方向は
、面（１）に対して直交するように設定されている。
さらに、レーザ光投射部（４）は、レーザ光源αυと、
とのレーザ光源（１１）から発振されたレーザ光（２）
を矢印圓に示す範囲内で走査するポリゴンミラーＯＪを
主体とする光偏向器（１４）と、この光偏向器０４）か
ら出光したレーザ光（２）を矢印（ｉｓに示す範囲内で
矢印（３）方向つｔｂ線状体（５）の送行方向に対して
直角な方向に反射させる放物面鏡（１６）と、レーザ光
（２）を第３図に示すように線状体（５）の裏面側に投
射するためのＶ現反射鏡（１７）とからなっている。そ
して、上記ポリゴンミラー（１３は、放物面鏡（１０の
焦点位置に配設され、走査されたレーザ光（２）が放物
面鏡ｔｔｅによシ面（１）に沿ってすべて矢印（３）方
向の平行光線に変換されるようになっている。また、Ｖ
型反射＠（１７）の反射平面ｃａ＋、ｎｒＪは、而（１
）と直交するように、っまシ反射平面（１８，α１の交
線が送行方向（１（１）と平行となるように配設されて
いる。そして、Ｖ型反射鏡αηは、線状体（５）の下半
分に一定距離だけ離間して対向するように設けられてい
る。このとき１反射千面０８１．α９）のなす角度は、
これらの交線と直交するレーザ光（２）により２等分割
されるようになっている。一方、拡散反射光集光部＋６
）は、線状体（５）が貫通して送行するように設けられ
線状体（５）の板面欠陥に基因する拡散反射光を集光す
る一対の積分球□□□、 ｔ′ｌ！υと、一端部が積分
球ｒｎ、ｃυに穿設された透孔に装填され積分球（２０
＋ 、 Ｃ！１）によシ集光された拡散反射光を伝送す
る一対の光ファイバ束の、鏝と。
とのレーザ光源（１１）から発振されたレーザ光（２）
を矢印圓に示す範囲内で走査するポリゴンミラーＯＪを
主体とする光偏向器（１４）と、この光偏向器０４）か
ら出光したレーザ光（２）を矢印（ｉｓに示す範囲内で
矢印（３）方向つｔｂ線状体（５）の送行方向に対して
直角な方向に反射させる放物面鏡（１６）と、レーザ光
（２）を第３図に示すように線状体（５）の裏面側に投
射するためのＶ現反射鏡（１７）とからなっている。そ
して、上記ポリゴンミラー（１３は、放物面鏡（１０の
焦点位置に配設され、走査されたレーザ光（２）が放物
面鏡ｔｔｅによシ面（１）に沿ってすべて矢印（３）方
向の平行光線に変換されるようになっている。また、Ｖ
型反射＠（１７）の反射平面ｃａ＋、ｎｒＪは、而（１
）と直交するように、っまシ反射平面（１８，α１の交
線が送行方向（１（１）と平行となるように配設されて
いる。そして、Ｖ型反射鏡αηは、線状体（５）の下半
分に一定距離だけ離間して対向するように設けられてい
る。このとき１反射千面０８１．α９）のなす角度は、
これらの交線と直交するレーザ光（２）により２等分割
されるようになっている。一方、拡散反射光集光部＋６
）は、線状体（５）が貫通して送行するように設けられ
線状体（５）の板面欠陥に基因する拡散反射光を集光す
る一対の積分球□□□、 ｔ′ｌ！υと、一端部が積分
球ｒｎ、ｃυに穿設された透孔に装填され積分球（２０
＋ 、 Ｃ！１）によシ集光された拡散反射光を伝送す
る一対の光ファイバ束の、鏝と。
これら光ファイバ束（２２１，（２３）の他端部が接続
され光ファイバ、束Ｑシ、 ＋２３１によシ伝送されて
きた拡散反射光の大きさに応じた電圧を有する電気信号
ＳＡに変換する光電増倍管（フォトマルチプライヤ）（
２嶋とからなっている。上記積分球ｗ、ａ１）は、中空
半球状のもので、第２図に示すように、一定の間隙Ｑｅ
を存して、而（１）を対称面として左右対称位置に。
され光ファイバ、束Ｑシ、 ＋２３１によシ伝送されて
きた拡散反射光の大きさに応じた電圧を有する電気信号
ＳＡに変換する光電増倍管（フォトマルチプライヤ）（
２嶋とからなっている。上記積分球ｗ、ａ１）は、中空
半球状のもので、第２図に示すように、一定の間隙Ｑｅ
を存して、而（１）を対称面として左右対称位置に。
図示せぬ支持機構によシ支持されている。また。
各積分球０ＣＩＩ、Ｇ！υの軸線と交差する部位には貫
通孔（イ）、＠カニ穿設され、線状体（５）が遊挿する
ようになっている。さらに、上記欠陥判定部（７）は、
電気信号ＳＡを増幅する増幅器ｃ２檜と、この増幅器（
２印の出力側に接続された２値化回路翰と、この２値化
回路Ｑ）鴎の出力側に接続された例えばマイクロコンピ
ュータなどの記憶・演算・制御機能を有する演算制御部
０１と、この演算制御部００）に接続され判定結果を表
示するための例えばＣＲＴ （Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ
Ｔｕｂｅ ） 。
通孔（イ）、＠カニ穿設され、線状体（５）が遊挿する
ようになっている。さらに、上記欠陥判定部（７）は、
電気信号ＳＡを増幅する増幅器ｃ２檜と、この増幅器（
２印の出力側に接続された２値化回路翰と、この２値化
回路Ｑ）鴎の出力側に接続された例えばマイクロコンピ
ュータなどの記憶・演算・制御機能を有する演算制御部
０１と、この演算制御部００）に接続され判定結果を表
示するための例えばＣＲＴ （Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ
Ｔｕｂｅ ） 。
プリンタなどの表示装ｆｇｌ Ｃ３１１とからなってい
る。上記２値化回路（ハ）には、欠陥が存在する異常状
態と。
る。上記２値化回路（ハ）には、欠陥が存在する異常状
態と。
欠陥が存在しない正常状態を峻別する閾電圧値ｖＴが設
定されていて、この閾電圧値ｖＴと増幅器（２８）を介
して出力された電気信号ＳＡとを比較し、ａ＆Ｊ ’Ｈ
圧値ｖＴを超えた場合に、欠陥検出信号８Ｃが演算制御
部（至）に出力されるようになっている。また、送行量
検出部（８）は、リール（９ａ）、 （９ｂ）を駆動す
る回転駆動機構に連結されたロータリ・エンコーダを主
体とするもので、このロータリ・エンコーダからの電気
信号ＳＢは、演算制御部Ｃ３ｆ）に出力されるよ、うに
なりている。そして、演算制御部Ｃ３１にては、電気信
号８Ｂに基づいて欠陥検査されている線状体（５）の位
置が算出される−ようになっている。
定されていて、この閾電圧値ｖＴと増幅器（２８）を介
して出力された電気信号ＳＡとを比較し、ａ＆Ｊ ’Ｈ
圧値ｖＴを超えた場合に、欠陥検出信号８Ｃが演算制御
部（至）に出力されるようになっている。また、送行量
検出部（８）は、リール（９ａ）、 （９ｂ）を駆動す
る回転駆動機構に連結されたロータリ・エンコーダを主
体とするもので、このロータリ・エンコーダからの電気
信号ＳＢは、演算制御部Ｃ３ｆ）に出力されるよ、うに
なりている。そして、演算制御部Ｃ３１にては、電気信
号８Ｂに基づいて欠陥検査されている線状体（５）の位
置が算出される−ようになっている。
つぎに、上記構成の欠陥検出装置の作動について述べる
。
。
まず、レーザ光（２）をレーザ光源ａυから発振させる
。すると、レーザ光（２）は、光偏向器０にて放物面ｆ
Ａαｅに向って走査されたのち、放物面鏡αｅにて矢印
（３）方向の平行光線に変換される。この平行光線は、
矢印１口の範囲内で繰返し走査される。この矢印（ｌ！
１９の範囲は、殻状体（５）の外径より大きくなるよう
にあらかじめ設定しておく。しかして、レーザ光（２）
の一部は１面（１）内において、線状体（５）の上半分
に直接入射するとともに、他のレーザ光（２）は。
。すると、レーザ光（２）は、光偏向器０にて放物面ｆ
Ａαｅに向って走査されたのち、放物面鏡αｅにて矢印
（３）方向の平行光線に変換される。この平行光線は、
矢印１口の範囲内で繰返し走査される。この矢印（ｌ！
１９の範囲は、殻状体（５）の外径より大きくなるよう
にあらかじめ設定しておく。しかして、レーザ光（２）
の一部は１面（１）内において、線状体（５）の上半分
に直接入射するとともに、他のレーザ光（２）は。
Ｖ型反射鏡αｅによシ反射され而（１）内において、線
状体（５）の下半分に入射する。かくして、線状体（５
）は、面（１）内における輪状部分がレーザ光（２）の
照射を受ける。このとき、線状体（５）に表面欠陥がな
い場合は、レーザ光（２）は、すべて面（１）内にて正
反射され１間隙（ハ）を通過して外部に放出される。そ
れゆえ、積分球＜２１ 、 （２υにては、レーザ反射
光はほとんど集光されない。しかし、線状体（５）に表
面欠陥が存在する場合は、レーザ光（２）は、この表面
欠陥によシ拡散反射され、面（１）内はもとよシ、との
面（１）からはずれた四方に反射する。したがって、こ
のときの拡散反射光は積分球（１，（２υにて集光され
る。この拡散反射光は、表面欠陥の大きさにほぼ比例す
る。しかして、線状体（５）を矢印α１方向に送行させ
ると、電気信号ＳＢが演算制御部（至）に出力され、線
状体（５）の欠陥検出位置が算出される。一方。
状体（５）の下半分に入射する。かくして、線状体（５
）は、面（１）内における輪状部分がレーザ光（２）の
照射を受ける。このとき、線状体（５）に表面欠陥がな
い場合は、レーザ光（２）は、すべて面（１）内にて正
反射され１間隙（ハ）を通過して外部に放出される。そ
れゆえ、積分球＜２１ 、 （２υにては、レーザ反射
光はほとんど集光されない。しかし、線状体（５）に表
面欠陥が存在する場合は、レーザ光（２）は、この表面
欠陥によシ拡散反射され、面（１）内はもとよシ、との
面（１）からはずれた四方に反射する。したがって、こ
のときの拡散反射光は積分球（１，（２υにて集光され
る。この拡散反射光は、表面欠陥の大きさにほぼ比例す
る。しかして、線状体（５）を矢印α１方向に送行させ
ると、電気信号ＳＢが演算制御部（至）に出力され、線
状体（５）の欠陥検出位置が算出される。一方。
積分球（２）、１２１）にては、線状体（５）の表面欠
陥に基因 ゛する拡散反射光を受光すると、受光され
た拡散反射光は、光７アイパ束ａｅ、ｎによシ光電増倍
管（？優まで伝送され、この光電増倍管■にて光量に応
じた電圧を有する電気信号ＳＡに変換される。この電気
信号ＳＡは、増幅器（至）を介して２値化回路四に出力
され、閾電圧値ｖＴによシ２値化される。かくて、２値
化された欠陥検出信号ＳＣは、演算制御部（至）に出力
される。この欠陥検出信号ＳＣを入力した演算制御部（
至）にては、この欠陥検出信号ＳＣに対応する欠陥検出
位置が記憶されるとともに、欠陥の大きさが演算される
とともに、検出結果が、表示装置Ｇυにて表示される。
陥に基因 ゛する拡散反射光を受光すると、受光され
た拡散反射光は、光７アイパ束ａｅ、ｎによシ光電増倍
管（？優まで伝送され、この光電増倍管■にて光量に応
じた電圧を有する電気信号ＳＡに変換される。この電気
信号ＳＡは、増幅器（至）を介して２値化回路四に出力
され、閾電圧値ｖＴによシ２値化される。かくて、２値
化された欠陥検出信号ＳＣは、演算制御部（至）に出力
される。この欠陥検出信号ＳＣを入力した演算制御部（
至）にては、この欠陥検出信号ＳＣに対応する欠陥検出
位置が記憶されるとともに、欠陥の大きさが演算される
とともに、検出結果が、表示装置Ｇυにて表示される。
このように、この実施例の欠陥検出装置は、送行中の線
状体（５）の表面検査をオンラインで行うことができる
ので、検査能率が飛躍的に向上する。
状体（５）の表面検査をオンラインで行うことができる
ので、検査能率が飛躍的に向上する。
しかも、線状体（５）の表面欠陥に基因するレーザ拡散
反射光によシ欠陥検出を行うようＫしているので、検査
精度が高くなるとともに、線状体（５）の材質にかかわ
らず検査を行うことができるので適用範囲が拡大する。
反射光によシ欠陥検出を行うようＫしているので、検査
精度が高くなるとともに、線状体（５）の材質にかかわ
らず検査を行うことができるので適用範囲が拡大する。
なお、上記実施例においては、平行なレーザ光（２）を
得るために放物面鏡ａｅを用いているが、コリメータレ
ンズを牙Ｉｌ用１．て本よい、さらに、光フテイバ束＠
、Ｐ１を用いることなく直接的に光電増倍管＠を積分球
（イ）、Ｑυに連結してもよい。また、光電増倍管（財
）を用いずして、例えばホトダイオード。
得るために放物面鏡ａｅを用いているが、コリメータレ
ンズを牙Ｉｌ用１．て本よい、さらに、光フテイバ束＠
、Ｐ１を用いることなく直接的に光電増倍管＠を積分球
（イ）、Ｑυに連結してもよい。また、光電増倍管（財
）を用いずして、例えばホトダイオード。
ホトトランジスタ等の光電変換器を用いてもよい。
さらにまた、積分球（イ）、Ｑｌ）を用いずして、積分
球（社）、 ？２１）内面に相当する受光位置に光ファ
イバあるいは光電変換素子を多数配設しても、はぼ同じ
効果を奏する。さらに、２値化回路（２場を用いず、電
気信号８Ａを増幅器□□□を介してアナログ−ディジタ
ル変換器に入力させてディジタル信号に変換し、このデ
ィジタル信号を演算制御部（力のメモリ部にいったん格
納したのち、所定のプログラムによりＣＰＵ （Ｃｅｎ
ｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｐ Ｕｎｉ ｔ ）にて
欠陥判定処理を行うようにしてもよい。また、たとえば
１個でも欠陥があれば廃棄しなければならないような場
合は、送行量検出部（８）は設ける必要はない。
球（社）、 ？２１）内面に相当する受光位置に光ファ
イバあるいは光電変換素子を多数配設しても、はぼ同じ
効果を奏する。さらに、２値化回路（２場を用いず、電
気信号８Ａを増幅器□□□を介してアナログ−ディジタ
ル変換器に入力させてディジタル信号に変換し、このデ
ィジタル信号を演算制御部（力のメモリ部にいったん格
納したのち、所定のプログラムによりＣＰＵ （Ｃｅｎ
ｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｐ Ｕｎｉ ｔ ）にて
欠陥判定処理を行うようにしてもよい。また、たとえば
１個でも欠陥があれば廃棄しなければならないような場
合は、送行量検出部（８）は設ける必要はない。
本発明の欠陥検出装置は、送行中の線状体の表面欠陥検
査をオンラインで行うことができるので。
査をオンラインで行うことができるので。
検査能率が飛躍的に向上する。しかも、線状体の；ｊ
ｊｉｌｌ欠陥に糸回するレーザ拡散反射光によ）欠陥検
出を行うようにしているので、検査精度が高くなるとと
も＋Ｃ、線状体の材質にかかわらず横歪を行うことがで
きるので適用範囲が拡大する。
ｊｉｌｌ欠陥に糸回するレーザ拡散反射光によ）欠陥検
出を行うようにしているので、検査精度が高くなるとと
も＋Ｃ、線状体の材質にかかわらず横歪を行うことがで
きるので適用範囲が拡大する。
４ＩｌｙＪ面のイ頂単な説明
第１図は本発明の一実施例の欠陥検出装置の全体構ル・
・、図、第２図は第１図の要部正面図、第３図は第２図
のＴｌ１−ＩＩＩ線矢視図でちる。
・、図、第２図は第１図の要部正面図、第３図は第２図
のＴｌ１−ＩＩＩ線矢視図でちる。
（＋＋・・・面（検査面）、 （２）・・・レーザ
光、（４）・・・レーザ光投射部、（５）・・・線状体
。
光、（４）・・・レーザ光投射部、（５）・・・線状体
。
（６）・・・拡散反射光集光部、（７）・・・欠陥判定
部、 ′（１７）・・・Ｖ型反射鏡、 Ｔｌ
１９．ｔｌｌ・・・反射平面。
部、 ′（１７）・・・Ｖ型反射鏡、 Ｔｌ
１９．ｔｌｌ・・・反射平面。
代理人 弁理士 則 近 憲 右
（ほか１名）
第１図
Claims (1)
- 両端を張設され軸方向に送行されている線状体の表面欠
陥を検出する欠陥検出装置において、一対の反射平面を
有しこれら反射平面の交線方向を上記線状体の送行方向
に対してほぼ平行に設け且つ上記線状体に上記反射平面
を対向させて配設されたＶ型反射鏡と、上記線状体及び
上記反射平面にほぼ直交する検査面に沿ってレーザ光を
上記線状体及び上記反射平面に投射し上記検査平面と上
記線状体との輪状の交差部位にレーザ光を投射するレー
ザ光投射部と、上記検査平面を挾んだ両側に設けられ上
記線状体の表面欠陥に上記レーザ光が投射されたときの
拡散反射光を受光して電気信号に変換する拡散反射光集
光部と、この拡散反射光集光部から出力された電気信号
に基づいて上記表面欠陥の有無の判定を行う欠陥判定部
とを具備することを特徴とする欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21512684A JPS6193935A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21512684A JPS6193935A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6193935A true JPS6193935A (ja) | 1986-05-12 |
Family
ID=16667156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21512684A Pending JPS6193935A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6193935A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0937978A1 (en) * | 1998-02-23 | 1999-08-25 | G.D S.p.A. | An electro-optical unit for scanning the entire lateral surface of articles substantially cylindrical in shape |
| JP2002526768A (ja) * | 1998-10-01 | 2002-08-20 | ツエルヴエーゲル・ルーヴア・アクチエンゲゼルシヤフト | 糸にある異物の検出装置 |
| JP2006090747A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Mitsutoyo Corp | 表面欠陥検査装置 |
| CN106198557A (zh) * | 2016-07-01 | 2016-12-07 | 江苏亨通光电股份有限公司 | 一种非金属全介质气吹微缆光缆表面检测装置 |
-
1984
- 1984-10-16 JP JP21512684A patent/JPS6193935A/ja active Pending
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