JPS6188540A - ペレツトデ−タ記録処理方式 - Google Patents
ペレツトデ−タ記録処理方式Info
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- JPS6188540A JPS6188540A JP21091984A JP21091984A JPS6188540A JP S6188540 A JPS6188540 A JP S6188540A JP 21091984 A JP21091984 A JP 21091984A JP 21091984 A JP21091984 A JP 21091984A JP S6188540 A JPS6188540 A JP S6188540A
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- JP
- Japan
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- pellet
- pellets
- characteristic
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、半導体ペレットマウント工程に先立って半導
体ウェハに対して行なうダインート時に得られる各ペレ
ットの特性データ等を記録処理するためのベンツ｝ｆ一
夕記録処理方式に関する。
体ウェハに対して行なうダインート時に得られる各ペレ
ットの特性データ等を記録処理するためのベンツ｝ｆ一
夕記録処理方式に関する。
一般に、半導体ウエハのダインート時には、ウェハ上の
各被レットの特性の良否チェックを行ない、各ペレット
についての良否データを位置データと共に磁気ディスケ
ット等に記録している。そして、半導体ペレットマウン
ト工程において上述した各ペレットの記録ｒ一夕を利Ｊ
ｌしてＲレットマウントを行なっている。
各被レットの特性の良否チェックを行ない、各ペレット
についての良否データを位置データと共に磁気ディスケ
ット等に記録している。そして、半導体ペレットマウン
ト工程において上述した各ペレットの記録ｒ一夕を利Ｊ
ｌしてＲレットマウントを行なっている。
ところで、第１図に示すよりに半導体ウェハｌにおける
各ベレット２は、ベレット配列が行列状に区分されて各
区分に付される着地（横方向の正橡軸Ｘにより区分され
た列奇号４および縦方向の座（＄軸Ｙによ９区分された
行番号５との組合せ）を表わす位置データが付与される
。
各ベレット２は、ベレット配列が行列状に区分されて各
区分に付される着地（横方向の正橡軸Ｘにより区分され
た列奇号４および縦方向の座（＄軸Ｙによ９区分された
行番号５との組合せ）を表わす位置データが付与される
。
そして、上記各ベレットのデータを記録する方式の一例
として、各被レットのグイソート時に痔られる特性を表
わす特性データ６を各ベレットに付与し、各４レツド毎
の位置プ″−夕と特性データとをシーケンシャルに含む
レコードデータを全ベレットについて番地順に順次記録
して１つのシーケンシャルファイルを作成することが考
えられている。即ち、たとえば第３図に示すメモリ領域
におけるように、Ｃ３，１）着地のベレットについての
行位置データ゛Ｉ（７ｎ 、 ＋１１． ＋９と列位１
ガデータ“、ｓ、＋＋３″と特性データ（たとえば１６
進数のＯ〜Ｆで表わされる１６段階に層別されたデータ
）“Ｆ”とをメモリアドレス順に記録し、引き続いて次
の（４，７）番地のベレットについての行位置ｆ−タ”
θ″、゛′Ｊ″と列位置データ″０”ｎ４ｐ＋と特性デ
ータ“０”とをメモリアドレス順に記録し、最後にファ
イル終了マークを表わすコントロールコードとして１６
進数のＩＡ（１０進数の２６９を記録するものである。
として、各被レットのグイソート時に痔られる特性を表
わす特性データ６を各ベレットに付与し、各４レツド毎
の位置プ″−夕と特性データとをシーケンシャルに含む
レコードデータを全ベレットについて番地順に順次記録
して１つのシーケンシャルファイルを作成することが考
えられている。即ち、たとえば第３図に示すメモリ領域
におけるように、Ｃ３，１）着地のベレットについての
行位置データ゛Ｉ（７ｎ 、 ＋１１． ＋９と列位１
ガデータ“、ｓ、＋＋３″と特性データ（たとえば１６
進数のＯ〜Ｆで表わされる１６段階に層別されたデータ
）“Ｆ”とをメモリアドレス順に記録し、引き続いて次
の（４，７）番地のベレットについての行位置ｆ−タ”
θ″、゛′Ｊ″と列位置データ″０”ｎ４ｐ＋と特性デ
ータ“０”とをメモリアドレス順に記録し、最後にファ
イル終了マークを表わすコントロールコードとして１６
進数のＩＡ（１０進数の２６９を記録するものである。
しかし、上記したような被レットデータ記録処理方式に
おいては、各ベレットデータ毎にベレット位置データを
含んでいるので、１ウエノ・の全ベレットのデータ量（
１つのファイルのデータ量〕が膨大となり、記憶装置（
主メモリあるいは外部メモリの記憶媒体）として膨大な
記憶容量を必要とする。また、半導体ベレットマウント
工程において特性選択生産を行なう場合には、所定位置
の被レットの特性データを検索するためには膨大なデー
タ量を有するファイルの先頭のベレットデータから順に
検索しなければならないので、上記データ検索の所要時
間が長くなり、ベレットマウントの高速化を図る上で支
障が生じる。
おいては、各ベレットデータ毎にベレット位置データを
含んでいるので、１ウエノ・の全ベレットのデータ量（
１つのファイルのデータ量〕が膨大となり、記憶装置（
主メモリあるいは外部メモリの記憶媒体）として膨大な
記憶容量を必要とする。また、半導体ベレットマウント
工程において特性選択生産を行なう場合には、所定位置
の被レットの特性データを検索するためには膨大なデー
タ量を有するファイルの先頭のベレットデータから順に
検索しなければならないので、上記データ検索の所要時
間が長くなり、ベレットマウントの高速化を図る上で支
障が生じる。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、半導体ウ
ェハのベレット群についての位置、特性を衣わすデータ
を比較的小さな記憶容量で記録でき、しかも所定ぽレッ
トのｒ−タの検索所要時間を短縮化し得るベレットデー
タ記録処理方式を提供するものである。
ェハのベレット群についての位置、特性を衣わすデータ
を比較的小さな記憶容量で記録でき、しかも所定ぽレッ
トのｒ−タの検索所要時間を短縮化し得るベレットデー
タ記録処理方式を提供するものである。
即ち、本発明のベレットデータ記録処理方式は、半導体
ウェハにおける各橡レットのうち限笈された慇レッドの
みペレット群配列上の位置を表わす位置データを付与す
ると共に全４ンツトにそれぞれの特性をオわす特性デー
タを付与し、＠屈ペレット群配列上の始端位置から終端
位置までの頑）Ｆで１）１工記限定されたベレットそれ
ぞれの位ｌｉヱガータを１９Ｔ足の記憶毎先域にｊ眞次
記録すると共に、霞ペレットの各竹性ガータ金上記１”
ｊ’、 ｔ（ｔ ｆ’−夕の１．己１、αＰｆ（域とは
別の計；１急唄域に順次１□己νＬするようにしＡ：こ
と全行食７とするものである。
ウェハにおける各橡レットのうち限笈された慇レッドの
みペレット群配列上の位置を表わす位置データを付与す
ると共に全４ンツトにそれぞれの特性をオわす特性デー
タを付与し、＠屈ペレット群配列上の始端位置から終端
位置までの頑）Ｆで１）１工記限定されたベレットそれ
ぞれの位ｌｉヱガータを１９Ｔ足の記憶毎先域にｊ眞次
記録すると共に、霞ペレットの各竹性ガータ金上記１”
ｊ’、 ｔ（ｔ ｆ’−夕の１．己１、αＰｆ（域とは
別の計；１急唄域に順次１□己νＬするようにしＡ：こ
と全行食７とするものである。
したがって、前記ペレット群についての位置。
特性を表わすデータを比較的小さな記憶容ｈｔで記憶で
き、これによって検索すべき所定４レツトのデータの検
索所要時間が短かくなる。
き、これによって検索すべき所定４レツトのデータの検
索所要時間が短かくなる。
以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳細に説明す
る。
る。
本発明で記録処理する４レツトデータは、第１図を参照
して前述したようにウエノ％Ｊ上のベレット２群につい
てのデータであり、この各ベレット２は前述したと同様
に行列番地により位置が表わされると共にグイソートに
より階層区別された特注データが付与される。
して前述したようにウエノ％Ｊ上のベレット２群につい
てのデータであり、この各ベレット２は前述したと同様
に行列番地により位置が表わされると共にグイソートに
より階層区別された特注データが付与される。
そして、本発明方式においては、グイソート時またはグ
イソート後における半導体ベレットマウント工程での利
用のためのベレットガータの記録処理に際して、前記ウ
ェハ１上の限定でれたベレットについてのみ位置データ
＜４．５）および特注ガータ６を与え、他の被レットＶ
こついては特性ｒ−夕６のみを与え、かつ上記位置デー
タ（４，５）と特性データ６とを別領域に分離記憶して
それぞれシーケンシャルな位置データファイルと特性デ
ータファイルとを作成する。
イソート後における半導体ベレットマウント工程での利
用のためのベレットガータの記録処理に際して、前記ウ
ェハ１上の限定でれたベレットについてのみ位置データ
＜４．５）および特注ガータ６を与え、他の被レットＶ
こついては特性ｒ−夕６のみを与え、かつ上記位置デー
タ（４，５）と特性データ６とを別領域に分離記憶して
それぞれシーケンシャルな位置データファイルと特性デ
ータファイルとを作成する。
即ち、前記限定されたペレットとして前記行列における
たとえば各行の始端、末端に位置するペレットを選定し
た場合、第２図（、）に示す位置データファイル用のメ
モリ領域には、先ずウェハ上のペレット配列のスタート
位置に対応する（３．１）番地のペレットの位置データ
（行位置データθ）および列位置データ０３）を記録す
る。
たとえば各行の始端、末端に位置するペレットを選定し
た場合、第２図（、）に示す位置データファイル用のメ
モリ領域には、先ずウェハ上のペレット配列のスタート
位置に対応する（３．１）番地のペレットの位置データ
（行位置データθ）および列位置データ０３）を記録す
る。
次に、上記スタート位置のペレットと同行の末端位置の
（７，１）番地のペレットの列位置ｒ−タ０７のみを記
録する。以下、同様に次の行の始端位置のペレットの行
１列位置データおよび同行の末端位置のペレットの列位
置ｒ−夕を順次記録し、この記録をベレット配列の全行
について順次行ない、最後にファイル終了マークを表わ
すコントロールコードとして１６進数の「００Ｊを記録
する。したがって、前記限定されたペレット以外のペレ
ットについての位置データは記録でれていない。
（７，１）番地のペレットの列位置ｒ−タ０７のみを記
録する。以下、同様に次の行の始端位置のペレットの行
１列位置データおよび同行の末端位置のペレットの列位
置ｒ−夕を順次記録し、この記録をベレット配列の全行
について順次行ない、最後にファイル終了マークを表わ
すコントロールコードとして１６進数の「００Ｊを記録
する。したがって、前記限定されたペレット以外のペレ
ットについての位置データは記録でれていない。
一方、第２図（ｂ）に示す特性ｒ−タフアイル用のメモ
リ領域には、前記ウェハ１上の全ベレット２についての
各特性データ６を、ベレットスタート位置の（３，１）
番地の被レッドからペレットエンド位置の（７，８）番
地のペレットまで行列番号順に記録し、最後にファイル
終了マーク「００」を記録する。即ち、前記位置データ
の記録順と同様に、スタート位置のペレットから同一行
の末端位置のペレットまでの各ペレットについての各特
性データを順に記録し、続いて次の行の各ペレットにつ
いての各特性ｒ−夕を順に記録し、以下同様にして最終
行のエンド位置のペレットまでの各特性ｒ−夕を順に記
録する。
リ領域には、前記ウェハ１上の全ベレット２についての
各特性データ６を、ベレットスタート位置の（３，１）
番地の被レッドからペレットエンド位置の（７，８）番
地のペレットまで行列番号順に記録し、最後にファイル
終了マーク「００」を記録する。即ち、前記位置データ
の記録順と同様に、スタート位置のペレットから同一行
の末端位置のペレットまでの各ペレットについての各特
性データを順に記録し、続いて次の行の各ペレットにつ
いての各特性ｒ−夕を順に記録し、以下同様にして最終
行のエンド位置のペレットまでの各特性ｒ−夕を順に記
録する。
なお、通常は、位置データファイル、特性データファイ
ルの各先頭部にウェハ識別ガータ等を付加しておき、フ
ァイルの取扱い上の便宜を図る。
ルの各先頭部にウェハ識別ガータ等を付加しておき、フ
ァイルの取扱い上の便宜を図る。
上記ペレットデータ記録処理方式によれば、ウェハにお
ける限定されたペレットのみについて位置ｒ−タを記録
し、この位置データのファイルとは別に全ベレットの特
性データを記録するものであり、１ウニ八当りの記録デ
ータの絶対量が少なくなり、記憶装置の記憶容量が少な
くて済む。
ける限定されたペレットのみについて位置ｒ−タを記録
し、この位置データのファイルとは別に全ベレットの特
性データを記録するものであり、１ウニ八当りの記録デ
ータの絶対量が少なくなり、記憶装置の記憶容量が少な
くて済む。
また、ペレットの位置ｒ−夕と特性データとを分離記録
しているので、半導体ペレットマウント工程において所
定位置のペレットの特性データを求める際に、絶対デー
タ量が少ない位置データファイルに記録されているベレ
ット配列の各行の始端位置および末端位置を表わす位置
データに基づいて演Ｊ）４処理により上記所定位置のペ
レットを求め、このペレット位置に対応して荷凹データ
ファイルの特性ｒ−夕を検索することができる。したが
って、検索したいベレット位置がたとえば最終端（エン
ド）位置であっても、前記演９−処理により求めた位置
データを用いて特性データファイルの所定位ｂ′ｆ、を
指定することかでき、データ検索処理の高速化が可能に
なる。このことから、半導体ベレットマウント工程の高
速化が可能となり、しかも前記俣尖した特性デーぞがマ
ウント工程で予め指定された特性内であるか否かを判定
してマウントの許可、不許可を決定することによって特
性選択生産が可能になる。
しているので、半導体ペレットマウント工程において所
定位置のペレットの特性データを求める際に、絶対デー
タ量が少ない位置データファイルに記録されているベレ
ット配列の各行の始端位置および末端位置を表わす位置
データに基づいて演Ｊ）４処理により上記所定位置のペ
レットを求め、このペレット位置に対応して荷凹データ
ファイルの特性ｒ−夕を検索することができる。したが
って、検索したいベレット位置がたとえば最終端（エン
ド）位置であっても、前記演９−処理により求めた位置
データを用いて特性データファイルの所定位ｂ′ｆ、を
指定することかでき、データ検索処理の高速化が可能に
なる。このことから、半導体ベレットマウント工程の高
速化が可能となり、しかも前記俣尖した特性デーぞがマ
ウント工程で予め指定された特性内であるか否かを判定
してマウントの許可、不許可を決定することによって特
性選択生産が可能になる。
なお、上記実施例では、各行の始端と末端の各ペレット
の位置データを記録したが、各行の末端の位置データに
代えて各行のベレット数を表わすｒ−２全記録するよう
にしてもよい。また、各桁順の位置データに代えて、各
外項にろ列の始端位置および末端位置（あるいは各列−
ミ 。
の位置データを記録したが、各行の末端の位置データに
代えて各行のベレット数を表わすｒ−２全記録するよう
にしてもよい。また、各桁順の位置データに代えて、各
外項にろ列の始端位置および末端位置（あるいは各列−
ミ 。
レッド数）のデータを記録するようＫしてもよい。
上述したように本発明のペレットｒ−タε乙鍔処理方式
によれば、半導体ウェハのグイソートに際してウェハの
ペレット群についての位１′Ｌ。
によれば、半導体ウェハのグイソートに際してウェハの
ペレット群についての位１′Ｌ。
特注を表わすデータを比較的小さな記憶イ’Ｊ” １１
’＋で記録できるので、記憶装置を節約できる。また、
半導体ペレットマウントに際して上記記録データに基づ
いて所定特性を有するペレットの位置を短時間で検索で
きるので、マウント時間の短縮に寄与できる。
’＋で記録できるので、記憶装置を節約できる。また、
半導体ペレットマウントに際して上記記録データに基づ
いて所定特性を有するペレットの位置を短時間で検索で
きるので、マウント時間の短縮に寄与できる。
第１図は半導体ウェハ上のベレット配列の一例および各
ペレットに付与されるデータの一例を説明するために示
す因、第２図（、） 、 （ｂ）は本発明のベレットデ
ータ記録処理方式に係る位置データファイル、特性デー
タファイルを格納したメモリ領域の一部を記録データと
共に、示すメモリマ、プ図、第３図は第１図のウェハに
対応する従来考えられているベレットデータ記録処理方
式によるデータファイルを格納したメモリ領域の一部を
記録データと共に示すメモリマッグ図である。 １・・・半導体ウェハ、２・・・ペレット、４・・・列
位置ｆ−タ、５・・・行位置データ、６・・・特性ｒ−
タ。 第１図 第２図 （ｂ）
ペレットに付与されるデータの一例を説明するために示
す因、第２図（、） 、 （ｂ）は本発明のベレットデ
ータ記録処理方式に係る位置データファイル、特性デー
タファイルを格納したメモリ領域の一部を記録データと
共に、示すメモリマ、プ図、第３図は第１図のウェハに
対応する従来考えられているベレットデータ記録処理方
式によるデータファイルを格納したメモリ領域の一部を
記録データと共に示すメモリマッグ図である。 １・・・半導体ウェハ、２・・・ペレット、４・・・列
位置ｆ−タ、５・・・行位置データ、６・・・特性ｒ−
タ。 第１図 第２図 （ｂ）
Claims (3)
- （１）半導体ウェハにおける行列状配置の各ペレットの
うち限定されたペレットについてのみその行列状配置上
の位置を表わす位置データを付与すると共に全ペレット
にそれぞれの特性を表わす特性データを付与し、行列状
配置の始端から終端まで各行順あるいは各列順に前記限
定されたペレットの各位置データを所定の記憶領域に順
次記録すると共に、全ペレットの各特性データを上記位
置データの記憶領域とは別の記憶領域に順次記録するこ
とを特徴とするペレットデータ記録処理方式。 - （２）前記限定されたペレットは、前記行列状配列の各
行または各列の始端位置および末端位置のペレットであ
ることを特徴とする前記特許請求の範囲第１項記載のペ
レットデータ記録処理方式。 - （３）前記限定されたペレットは前記行列状配置の各行
または各列の始端位置のペレットであり、その位置デー
タには当該ペレットと同行または同列のペレット数を表
わすデータを含ませることを特徴とする前記特許請求の
範囲第１項記載のペレットデータ記録処理方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21091984A JPS6188540A (ja) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | ペレツトデ−タ記録処理方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21091984A JPS6188540A (ja) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | ペレツトデ−タ記録処理方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6188540A true JPS6188540A (ja) | 1986-05-06 |
Family
ID=16597236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21091984A Pending JPS6188540A (ja) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | ペレツトデ−タ記録処理方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6188540A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0287137A (ja) * | 1988-08-10 | 1990-03-28 | Eastman Kodak Co | 写真ハロゲン化銀材料 |
| JP2010087064A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Sony Corp | 表示装置の製造方法 |
| KR101157151B1 (ko) * | 2006-04-11 | 2012-06-22 | 삼성테크윈 주식회사 | 반도체 패키지 공정용 웨이퍼 매핑방법 |
-
1984
- 1984-10-08 JP JP21091984A patent/JPS6188540A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0287137A (ja) * | 1988-08-10 | 1990-03-28 | Eastman Kodak Co | 写真ハロゲン化銀材料 |
| KR101157151B1 (ko) * | 2006-04-11 | 2012-06-22 | 삼성테크윈 주식회사 | 반도체 패키지 공정용 웨이퍼 매핑방법 |
| JP2010087064A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Sony Corp | 表示装置の製造方法 |
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