JPS61884A - 流体粒子センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 この発明は流体に含まれる粒子を測定し且つ計数するた
めのセンサに、更に詳しくは、「遮断」又は「掩蔽」形
式のその種のセンサに関するものである。

発明の背景 従来の遮断式流体粒子センサは、典型的には１ＯＯＯミ
クロン幅の流体ギャップを形成する近接して隔置された
平面を持った二つのステンレス鋼製ブロックを備えてい
て、この流体ギャップに分析されるべき流体が流れる。

各ズロツクには貫通穴があって、この両貫通穴は前記の
平面に垂直な長手方向の共通軸を持っており、各穴には
内側端部及び外側端部を備えた透明な棒が収容されてい
て、この６棒の内側端部は棒を保持しているステンレス
鋼製ブロックの平面と整列させられて、流体ギャップに
よって分離されている。棒の一つ、以下マスクされた棒
と呼ばれる棒は、整列した同じ方形の穴を備えた一対の
マスク板によって両端が覆われている。光源はマスクさ
れた棒の外側端部に近接して配置され、且つ、光学式検
出装置は他方の棒、以下マスクされていない棒と呼ばれ
る棒、の外側端部に近接して配置されている。

光源からの光線はマスクされた棒の外側端部を覆ってい
るマスク板の穴を通ってマスクされた棒に入る。穴の寸
法は典型的には１５０　ミクロン幅である。この光線は
マスクされた棒の内壁で反射を繰り返して、棒の内側端
部を覆っているマスク板の穴を通って出て来る。光線は
次に両ブロック間の流体ギャップを横切って、マスクさ
れていない棒の内側端部に入り、この棒を通って、マス
クされていない棒の外側端部を出て、光学式検出器装置
によって検出される。

流体ギャップを通過する流体の粒子は光線の一部分を遮
って影を作り、この影が光学式検出器装置により検出さ
れる。

このような従来の遮断式流体粒子センサにおける問題は
光学式検出器装置がだまされることがあることである。

光学式検出器装置は流体中の実際の粒子ではなく影だけ
を見ているので、光学式検出器装置によって測定される
粒子の寸法はその粒子により投影される影の寸法によっ
て決まり、又光学式検出器装置によって測定される流体
中の粒子の数は流体中の粒子により投影される何個の影
の数によって決まる。

影を作るためには、粒子はセンサの検査容積、すなわち
マスクされた棒からギャップを通ってマスクされていな
い棒に進む光線によって照射される容積、内になげれば
ならない。

従来のセンサの実効検査容積は、小さい端面としてマス
クされた棒の内側端部の穴を有し且つ底面としてマスク
されていない棒の内側端部を有する角すい台である。こ
の実効検査容積の形状のために、マスクされていない棒
の近くの粒子はマスクされていない棒の近くの粒子より
もはるかに大きい影を作り、従ってマスクされた棒の近
くの粒子はマスクされていない棒の近くの同じ粒子より
も太きいものとして検出される。寸法誤差は２０：１の
大きさにもなることがある。

又、従来のセンサでは実効検査容積が太きいために、正
確に計数され得る流体の単位容積当りの粒子の最大数は
約５５５５粒子毎ミリリットルである。検査容積が大き
いほど、正確に計数され得る流体の単位容積当りの粒子
の数は小さくなる。これは正確な計数が粒子の寸法に無
関係に、検査容積中に同時に一つの粒子だけが存在する
ときにおいてのみ達成されるためである。検出器は同時
に検査容積中にある二つの粒子の光遮断又は影を区別す
ることができないので、この状態が発生したときには一
つの見掛は上一層大きい粒子に等しい電気信号応答を与
えることになる。検査容積の寸法を減小させると、二つ
の粒子が同時に検査容積中に存在する確率が減小する。

それゆえ、検査容積の寸法を減小させると、正確に計数
され得る流体の単位容積当りの粒子の数が増大する。

もちろん、従来のセンサの検査容積を単にセンサの機械
的な比例縮小によって減小させることはできるが、これ
は、動作圧力の増大、試料流量の減小、及び測定され且
つ計数されるべき粒子による微小な検出区域の詰まりに
よる流れの遮断という諸問題を提示する。更に、従来の
センサのそのような比例縮小は検査容積の形状、すなわ
ち角すい台、を変えることにはならず、従って寸法誤差
はやはり生じることになる。

この出願の発明者によって容認されたことであるが、最
適の検査容積はマスクされた棒の内側端部を覆うマスク
板の穴の面積に等しい断面を持った、流体ギャップ間に
延びた直方体である。この検査容積は幾分かはその形状
のために最適である。

この検査容積中の粒子はマスクされた棒の近くに゛ある
ときもマスクされていない棒の近くにあるときもほぼ同
じ影を投する。この検査容積は又、達成可能な最小の検
査容積であり、従って計数誤差が最小にされるので最適
である。

この最適検査容積は、極めてよくコリメートされた光ビ
ームがマスクされた棒の外側端部にある穴を通して伝達
される場合にだけ得られるが、これは現在の技術ではこ
のような小さい寸法（１５０ミクロン）においては不可
能ではないが非常に困難である。

寸法誤差及び計数誤差を引き起こす別の問題は、光学式
検出器装置に達する迷光が粒子検出に影響を及ぼすこと
である。迷光は、例えば、マスクされていない棒の内側
端部又はマスクされた棒の外側端部に入ってこれらの棒
の一方又は両方を通して光学式検出器装置に伝達される
ことによって、光学式検出器装置に達することができる
。はとんど任意の角度で棒に入る迷光は結局光学式検出
器装置に伝達されることになる。

従来のセンサについての別の問題は、エネルギー処理能
力を最大化し且つ実効検査容積を最小化するために、マ
スクされた棒の両端部にある穴を完全に整列させなけれ
ばならないことである。

発明の要約 この発明は流体中に含まれる粒子を測定し且つ計数する
ための流体粒子センサを提供するものである。採択実施
例においては、この流体粒子センサは概して平行な細長
い光ファイバの第１束及び第２束からなっている。各光
ファイバは長手軸及びこの長手軸を横切る両端面を持っ
ている。各光ファイバはその長さに沿って光を伝達する
が、その際光線は端面を通ってのみ且つ所定の受容角度
内においてのみ光ファイバに入ることができる。

光線は入射端面とは反対の端面を通ってのみ且つ所定の
投射角度内においてのみ光ファイバから出る。

光ファイバの束はそれぞれ長手軸並びに対立した内側端
部及び外側端部を持っており、第１束の長手軸は第２束
の長手軸とほぼ同一線上にある。

第１束の内側端部は第２束の内側端部から近接して隔置
されていて、第１束及び第２束は長手軸に沿って近接し
て隔置されて、粒子を含む流体が流れるギャップを形成
している。流体粒子センサは又、第１束の外側端部に光
を送るための装置、及び第２束の外側端部から放出され
た光の量を検出するための装置を備えている。

採択実施例においては、第１束及び第２束は第１及び第
２のステンレス鋼製ブロックの貫通穴に収容されている
。第１ブロツクには平面及び貫通穴があって、この穴は
この平面に垂直な長手軸を備えており、且つ第１束の内
側端部が第１ブロツク平面と整列するように第１束を収
容している。

第２ブロツクには平面及び貫通穴があって、この第２ブ
ロツク平面は第１ブロツク平面に平行に且つこれから近
接して隔置されていて、粒子を含む流体が通過するギャ
ップを形成している。第２ブロツクは第２ブロツク平面
に垂直な長手軸を持っており、且つ第２束の内側端部が
第２ブロツク平面と整列するように第２束を収容してい
る。

流体粒子センサは更に、第１束の外側端部に接触してこ
れを覆っている第１マスク板、及び第２束の外側端部に
接触してこれを覆っている第２マスク板を備えているこ
とが望ましい。第１マスク板には第１穴゛があって、光
送出装置から第１束の外側端部における光ファイバの、
すべてではないが少なくとも一つに光が伝達されるよう
になっており、又第２マスク板には第１穴と同じ寸法の
第２穴があって、光は第２束の外側端部における光ファ
イバの、すべてではないが少なくとも一つから光検出装
置に放出されることができる。採択実施例では、第１穴
及び第２穴の寸法は約１５０ミクロン幅である。

更に、流体粒子センサの光送出装置は光源であることが
望ましく、又光検出装置は光学式検出器装置であること
が望ましい。

この発明の流体粒子センサの一つの利点は最適検査容積
が与えられることである。センサの検査容積の形状のた
めに、粒子は検査容積におけるそれの位置に無関係にた
だ−っの寸法の影を作る。

それゆえ、寸法誤差は本質的に除去される。検査容積の
寸法のために、正確に計数され得る流体の単位容積当り
の粒子の数は大いに増大する。この発明の流体粒子セン
サによって正確に測定され得る最大粒子濃度は従来のセ
ンサによって測定され得る最大粒子濃度よりも約８倍大
きい。

この発明の流体粒子センサの別の利点は、センサの機械
的寸法を著しく減小させることを要しないで、従来のセ
ンサで測定され得る最も汚い流体よりもはるかに汚い流
体を分析することができることである。これは、動作圧
力の増大、資料流量の著しい減少、及び測定され且つ計
数されるべき粒子による微小な検出区域の詰まりに起因
する流れの遮断という諸問題を避けるものである。

この発明の流体粒子センサの別の利点は、両党ファイバ
束の両性側端部における穴を完全に整列させる必要がな
いことである。

この発明の流体粒子センサの別の利点は、光ファイバが
第１穴に入る光を検査容積中に集中させることである。

この発明の流体粒子セ／すの別の利点は、迷光、すなわ
ち光ファイバの受容角度の外側から来る光が光学式検出
器装置に伝達されないことである。

この発明のその他の利点は、次の詳細な説明、特許請求
の範囲、及び図面をよく検討すれば技術に通じた者には
明らかになるであろう。

図面の説明 第１図はこの発明による流体粒子センサの断面図である
。

第２図は第１図の２−２線に沿って取られた端面図であ
る。

第３図は第１図の３−３線に沿って取られた光ファイバ
の第１束の端面図である。

第４図は従来技術の流体粒子センサの検出区域を示す拡
大断面図である。

この発明の一実施例を詳細に説明する前に理解されるべ
きことであるが、この発明はその適用において、次の説
明に述べられ又は図面に例示された構成の詳細及び語構
成部分の配列に限定されるものではない。この発明は他
の実施例も可能であり、種種の方法で実行又は実施する
ことができる。

又、ここで使用された表現及び術語は説明の目的のため
のものであって限定するものと見なされるべきではない
ことは理解されるべきである。

採択実施例の説明 第４図には従来技術による流体粒子センサ２００の実効
検査容積が示されている。発明の背景の項で既に論述さ
れたように、この実効検査容積は幾つかの問題を引き起
こす。その二つの主な問題は寸法誤差及び計数誤差であ
る。計数誤差は正確に計数され得る最大粒子濃度の制限
を生じることになる。更に、正確に計数され得る最大粒
子濃度を増大させるために従来技術による流体粒子セン
サの大きさを機械的に縮小すると、動作圧力の増大、資
料流量の減少、及び測定され且つ計数されるべき粒子に
よる微小な検出区域の詰まりに起因する流れの妨害を含
む更に別の問題が生じることになる。

寸法誤差は従来技術による流体粒子センサの実効検査容
積の角すい形状に起因する。第４図に示されたように、
従来技術センサ２００の開口２０８の近くの粒子２０２
は開口２０８から一層離れている粒子２０６よりも大き
い影を投するので、開口に近い方の粒子２０２ハ他方の
粒子２０６よりもはるかに太きいものとして検出される
。

計数誤差は従来技術センサの検査容積の寸法が比較的大
きいことに起因する。計数誤差は、実際には二つの粒子
が同時に検査容積内にあるときにあたかもただ一つの粒
子が検査容積内にあるかのように影又は減少した光を光
学式検出器装置が検出するために生じる。検査容積の寸
法を増大させると二つの粒子が同時に検査容積内にある
確率が増大するので、検査容積の大きい従来のものでは
計数誤差の確率が増大することになる。例えば、第４図
に図示された状況では、従来技術センサ２００′の光学
式検出器装置は検査容積内に二つの粒子が存在してもた
だ一つの粒子を検出することになろう。更に、粒子２０
２の影に第３の粒子が存在したとすればこの第３粒子が
全く検出されないことがわかるであろう。

寸法誤差も計数誤差も迷光が光学式検出器装置に達する
ことに起因しており、迷光が「にせの」光検出を生じさ
せるのである。

第１図にはこの発明の流体粒子センサ１０が図示されて
いる。ステンレス鋼製ブロック１２及び１４は（第１図
に示された）流体ギャップを形成するように近接して隔
置されている。各ブロック１２．１４にはそれぞれ貫通
した穴１６及び】８があって、各穴の長手方向の軸は流
体ギャップを形成している平行な平面に垂直になってい
る。穴１６及びＪ８は共通の長手軸を持っているのが理
想的であるが、従来技術センサと異なり、両長手軸はた
だ近似的に同一線上にあればよい。

採択実施例においては、各穴１４．１６は概して平行な
細長い光ファイバの束を収容しており、光ファイバの第
１束２２は第１ブロツク１２の穴１６に収容され且つ光
ファイバの第２束Ｕは第２ブロツク１４の穴１８に収容
されている。光ファイバの６束には内側端部と外側端部
とがあって、束２２及び２４０両内側端部は流体ギャッ
プの対向した両面にあるように流体ギャップを形成して
いる平面と整列させられている。

光ファイバの第１束２２の外側端部は光源２６に隣接し
ており、且つ光ファイバの第２束２４の外側端部は光学
式検出器装置２８に隣接している。光源２６によって発
射された光は光ファイバの第１束２２を通り、（粒子に
よって遮断されなければ）流体ギャップを通り、更に光
ファイバの第２束２４を通り、これから光学式検出器装
置２８に伝達される。

各光ファイバには長手軸と、この長手軸を横切る両端面
がある。各光ファイバはその長さに沿って光を伝達する
が、その際光線は端面な通してのみ且つ所定の受容角度
内においてのみ光ファイバに入ることができろ。光線は
入射端面と反対の端面を通してのみ且つ所定の投射角度
内においてのみ光ファイバから出ることができる。

光ファイバの受容角度及び投射角度は第１図に示されて
いる。受容角度のために、迷光は光ファイバに入ること
が困難である。一般的に、光源２６からの光だけが第１
束２２の光ファイバに入り、且つ第１束から放出された
光だけが第２束２４に入って光学式検出器装置２８に伝
達される。従って、迷光により引き起こされる寸法誤差
及び計数誤差は本質的に除去される。投射角度の制限に
よって、流体ギャップ内の迷光の減少及び検査容積内の
光の集中という利点が与えられる。

光ファイバの第１束２２の外側端部を覆っているのは第
１マスク板３０である。この第１マスク板には、望まし
くは約１５０ミクロン幅で方形の、小さい穴３２があっ
て、これが光源からの光を第１束２２の光ファイバの、
全部ではないが少なくとも一つに伝達させている。光フ
ァイバの第２束２４の外側端部を覆っているのは第２マ
スク板３４である。第２マスク板には小さい穴３６があ
るが、これは穴３２と同じ寸法であって、第２束２４の
光ファイバの、全部ではないが少なくとも一つからの光
を光学式検出器装置２８の方へ放出させる。穴３２及び
３６は完全に整列している必要はない。

前に説明されたように、光ファイバの性質のために、光
ファイバの第１束２２の外側端部における穴３２は第１
束２２の両端部における照射面積を実質上規定する。換
言すれば、穴３２は光源２６によって「活動化」される
べき何個のファイバの数及び位置を決定する。穴３２に
よって覆いを取られてマスク板３０によって覆われてい
ないファイバだけが活動化される。他のすべてのファイ
バはマスク板３０によって光源から遮へいされており、
従ってその長さ全体が暗いままである。第３図は光ファ
イバこの第１束２２の内側端部から見たときの穴３２の
効果を示している。例示の目的のために、ただ４本のフ
ァイバが穴３２の照射面積内に示されているが、１５０
ミクロン平方内に９００本までのファイバを配列するこ
とは現在の光フアイバ技術で容易に可能である。

同様に、光ファイバの第２束２４の外側端部における穴
３６は第２束２４における活動化ファイバの数及び位置
を決定する。穴３６によって覆いを取られてマスク板３
４によって覆われていないファイバだけが活動化される
。第２束２４における他のすべてのファイバは第２マス
ク板３４によって光学式検出器装置２８から遮蔽されて
いるが、この装置に光を伝達することができない。第２
図は流体粒子センサ１０の端面図であって、第２束２４
の外側端部における穴３６によって露出させられた第２
束２４の活動化ファイバを示している。やはり、４本の
ファイバだけが例示の目的で図示されている。

第２束２４の外側端部における穴３６によって覆いを取
られたファイバだけが光学式検出器装置２８に光を伝達
することができるので、第２束２４の内側端部における
その同じファイバによって受けられた光だけが光学式検
出器２８に伝達され得る。第１束２２の外側端部におけ
る穴３２は第１束２２のどのファイバが第２束２４のフ
ァイバに光を伝達するかを決定するので、流体粒子セン
サの実効検査容積は束２２及び２４の外側端部における
穴３２及び３６によって決定される。実効検査容積は、
採択実施例においては、一端が第１束２２の内側端部に
おける活動化ファイバであり且つ他端が第２束２４の内
側端部における活動化ファイバである直方体である。こ
れは第１図に図示されている。

流体粒子センサ１０の実効検査容積はやはり最適検査容
積である。その結果、寸法誤差が本質的に除去され、且
つ計数誤差が最小にされるので、測定され得る流体の単
位容積当りの粒子の数は最大化される。

寸法誤差は、検査容積中の同一寸法の粒子が光ファイバ
の第１束２２に対するそれの近さに関係なく同一寸法の
影を投するので除去される。これは、センサ１０の実効
検査容積における光線が、従来技術センサ２００におけ
る光線と異なり流体ギャップ間で実質上まっすぐに伝達
されるので、実効上平行であるために生じるものである
。

計数誤差は、検査容積の寸法が最小化され、従って検査
容積中に同時に二つの粒子が存在する確率が最小限にさ
れるので最小化される。計数誤差が最小化されるので、
流体粒子センサ１０は従来技術センサで分析することの
できる最も汚い流体よりもはるかに汚い流体を分析する
ことができる。

この発明のその他の種種の特徴は特許請求の範囲に記載
されている。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による流体粒子センサの断面図である
。 第２図は第１図の２−２線に沿って取られた端面図であ
る。 第３図は第１図の３−３線に沿って取られた光ファイバ
の第１束の端面図である。 第４図は従来技術の流体粒子センサの検出区域を示す拡
大断面図である。 これらの図面において、１０は流体粒子センサ、１２は
第１ブロツク、１４は第２ブロツク、１６は第１ブロツ
ク穴、１８は第２ブロツク穴、２２は光ファイバの第１
束、２４は光ファイバの第２束、２６は光源、２８は光
学式検出器装置、３０は第１マスク板、３２は穴、３４
は第２マスク板、３６は穴を示す。 ４’Ｈ’Ｆ出願人ウエール・コーポレーション（外５名
） 図面の浄瞥（内存に変更なし） 手続補正書（方式） ％式％ ３、補正をする者 事件との関係　　　出　願　人 住所 ダ　勃　クエーｌレコー寸゛電−−１ン４代理人

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）長手軸及び対立した内側端部と外側端部を備えた
   、概して平行な細長い複数の光伝達部材の、第１束であ
   つて、その各部材が長手軸及びこの長手軸を横切る対立
   した端面を備えており且つ前記の各部材がこれの長さに
   沿つて光を伝達し、その際光線が前記の端面を通つての
   み且つ前記の長手軸から測定された所定の受容角度内に
   おいてのみ入射することができ且つ光線がこれの入射し
   た端面とは反対の端面を通つてのみ且つ前記の長手軸か
   ら測定された所定の投射角度内においてのみ射出するこ
   とができるような前記の複数の光伝達部材の第１束、 長手軸及び対立した内側端部と外側端部を備えた、概し
   て平行な細長い複数の光伝達部材の、第２束、 前記の第１束及び第２束を支持して、この第１束及び第
   ２束の長手軸がほぼ同一線上にあるようにし、且つ前記
   の第２束の前記の内側端部が前記の第１束の前記内側端
   部から近接して隔置されて、粒子を含む流体の流れるギ
   ヤツプが形成されるようにするための装置、 前記の第１束の前記の外側端部に光を送出するための装
   置、並びに 前記の第２束の前記の外側端部から放出された光の量を
   検出するための装置、 を備えている、流体中に含まれた粒子を測定し且つ計数
   するための流体粒子センサ。
2. （２）長手軸及び対立した内側端部と外側端部を備えた
   、概して平行な細長い光フアイバの、第１束、 長手軸及び対立した内側端部と外側端部を備えた、概し
   て平行な細長い光フアイバの、第２束、前記の第１束及
   び第２束を支持して、この第１束及び第２束の長手軸が
   ほぼ同一線上にあるようにし、且つ前記の第２束の前記
   の内側端部が前記の第１束の前記の内側端部から近接し
   て隔置されて、粒子を含む流体の流れるギヤツプが形成
   されるようにするための装置、 前記の第１束の前記の外側端部に光を送出するための装
   置、並びに 前記の第２束の前記の外側端部から放出された光の量を
   検出するための装置、 を備えている、流体中に含まれた粒子を測定し且つ計数
   するための流体粒子センサ。
3. （３）前記の第１束の前記の外側端部に接触してこれを
   覆つており、且つ第１穴を備えていて光が前記の光送出
   装置から前記の第１束の前記の外側端部における前記の
   光フアイバの全部ではないが少なくとも一つに送出され
   るようになつている第１マスク板、及び 前記の第２束の前記の外側端部に接触してこれを覆つて
   おり、且つ前記の第１穴と同じ寸法の第２穴を備えてい
   て光が前記の第２束の前記の外側端部における前記の光
   フアイバの全部ではないが少なくとも一つから前記の光
   検出装置に放出されるようになつている第２マスク板 を更に備えている、特許請求の範囲第２項に記載の流体
   粒子センサ。
4. （４）前記の光送出装置が光源であり且つ前記の光検出
   装置が光学式検出器装置である、特許請求の範囲第２項
   に記載の流体粒子センサ。
5. （５）前記の第１穴及び第２穴が約１５０ミクロン幅の
   大きさである、特許請求の範囲第２項に記載の流体粒子
   センサ。
6. （６）前記の第１束及び第２束を支持するための前記の
   装置が、 第１ブロツク平面と貫通した第１ブロツク穴とを備えて
   いて、この第１ブロツク穴が前記の第１ブロツク平面に
   垂直な長手軸を備え且つ前記の第１束の前記の内側端部
   を前記の第１ブロツク平面と整列させて前記の第１束を
   収容している第１ブロツク、及び 第２ブロツク平面と貫通した第２ブロツク穴とを備えて
   いて、前記の第２ブロツク平面が前記の第１ブロツク平
   面に平行に且つこれから近接して隔置されて粒子含有流
   体の通過するギヤツプを形成しており、且つ前記の第２
   ブロツク穴が前記の第２ブロツク平面に垂直な長手軸を
   備え且つ前記の第２束の前記の内側端部を前記の第２ブ
   ロツク平面と整列させて前記の第２束を収容している第
   ２ブロツク、 からなつている、特許請求の範囲第２項に記載の流体粒
   子センサ。
7. （７）前記の第１束の前記の外側端部に接触してこれを
   覆つており、且つ第１穴を備えていて光が前記の光送出
   装置から前記の第１束の前記の外側端部における前記の
   光フアイバの全部ではないが少なくとも一つに送出させ
   るようになつている第１マスク板、及び 前記の第２束の前記の外側端部に接触してこれを覆つて
   おり、且つ前記の第１穴と同じ寸法の第２穴を備えてい
   て光が前記の第２束の前記の外側端部における前記の光
   フアイバの全部ではないが少なくとも一つから前記の光
   検出装置に放出されるようになつている第２マスク板 を更に備えている、特許請求の範囲第６項に記載の流体
   粒子センサ。
8. （８）前記の光送出装置が光源であり且つ前記の光検出
   装置が光学式検出器装置である、特許請求の範囲第６項
   に記載の流体粒子センサ。
9. （９）第１ブロツク平面及び貫通した第１ブロツク穴を
   備えており、この第１ブロツク穴が前記の第１ブロツク
   平面に垂直な長手軸を持つている第１ブロツク、 概して平行な細長い光フアイバの第１束であつて、対立
   した内側端部と外側端部を備えており、且つ前記の内側
   端部が前記の第１ブロツク平面と整列するように前記の
   第１ブロツク穴に収容されている前記の第１束、 前記の第１束の前記の外側端部に光を送出するための装
   置、 前記の第１束の前記の外側端部に接触してこれを覆つて
   おり、且つ第１穴を備えていて光が前記の光送出装置か
   ら前記の第１束の前記の外側端部における前記の光フア
   イバの全部ではないが少なくとも一つに送出されるよう
   になつている第１マスク板、 第２ブロツク平面及び貫通した第２ブロツク穴を備えて
   いて、前記の第２ブロツク平面が前記の第１ブロツク平
   面に平行に且つ近接してこれから隔置されて粒子含有流
   体の通過するギヤツプを形成しており、且つ前記の第２
   ブロツク穴が前記の第２ブロツク平面に垂直な長手軸を
   持つていて前記の第１ブロツク穴の長手軸とほぼ同一線
   上にある第２ブロツク、 概して平行な細長い光フアイバの第２束であつて、対立
   した内側端部と外側端部とを備えており、且つ、この内
   側端部が前記の第２ブロツク平面と整列し且つこの内側
   端部が粒子含有流体の通過するギヤツプの反対側におい
   て前記の第１束の前記の内側端部から近接して隔置され
   るように前記の第２ブロツク穴に収容されている前記の
   第２束、前記の第２束の前記の外側端部に接触してこれ
   を覆つており、且つ前記の第１穴と同じ寸法の第２穴を
   備えていて光が前記の第２束の前記の外側端部における
   前記の光フアイバの全部ではないが少なくとも一つから
   前記の第２穴を通して放出されるようになつている第２
   マスク板、並びに前記の第２穴から放出された光の量を
   検出するための装置、 を備えている、流体に含まれた粒子を測定し且つ計数す
   るための流体粒子センサ。