JPS618839A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS618839A JPS618839A JP12843984A JP12843984A JPS618839A JP S618839 A JPS618839 A JP S618839A JP 12843984 A JP12843984 A JP 12843984A JP 12843984 A JP12843984 A JP 12843984A JP S618839 A JPS618839 A JP S618839A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lenses
- magnification
- excitation
- image
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
結像レンズとして磁界形レンズを用いた電子顕微鏡に於
ては、同レンズが電子ビームを集束させる、いわゆるレ
ンズ作用のみではなく、成る太さを持つ電子ビームに対
して、レンズ光軸を軸としたねじれ回転を与える作用が
ある。このねじれ回軸の量は、レンズ磁界の強さ、即ち
励磁力と関係し、電子顕微鏡では数段のレンズを、倍率
変化、焦点合せなどの目的でいくつかのレンズの励磁力
を変化させるため、試料物体と結像との向きの関係は一
定ではなく、さまざ１に変化する。即ち、電子顕微鏡に
於ては一般に、倍率は任意に選択可能であっても、結像
の向きは倍率と独立に選択可能ではない。結像は一般に
写真などに記録するため、そのカメラの画枠があり、こ
れに対して目的の像の適切な大きさと向きをそれぞれ任
意に選択できることが望筐しい。
ては、同レンズが電子ビームを集束させる、いわゆるレ
ンズ作用のみではなく、成る太さを持つ電子ビームに対
して、レンズ光軸を軸としたねじれ回転を与える作用が
ある。このねじれ回軸の量は、レンズ磁界の強さ、即ち
励磁力と関係し、電子顕微鏡では数段のレンズを、倍率
変化、焦点合せなどの目的でいくつかのレンズの励磁力
を変化させるため、試料物体と結像との向きの関係は一
定ではなく、さまざ１に変化する。即ち、電子顕微鏡に
於ては一般に、倍率は任意に選択可能であっても、結像
の向きは倍率と独立に選択可能ではない。結像は一般に
写真などに記録するため、そのカメラの画枠があり、こ
れに対して目的の像の適切な大きさと向きをそれぞれ任
意に選択できることが望筐しい。
その目的の一つの考案として、試料を機械構造によって
回転させ得る様にしたものもあるが、電子顕微鏡の様な
高倍率に対応する充分な機械的精度を得ることは困難で
ある。更に、機械構造によって、常に結像の画面の中心
を軸にして向きを変える、いわゆる視野中心回転を実現
させることは、より大きな困難を伴うＣ 本発明は、倍率と結像の向き （以下、像回転と呼ぶ）
を各々独立に選択可能とし、また、視野中心像回転をも
可能とし、且つ、これらが円滑に制御し得る機能を有す
る電子顕微鏡に関するものである。
回転させ得る様にしたものもあるが、電子顕微鏡の様な
高倍率に対応する充分な機械的精度を得ることは困難で
ある。更に、機械構造によって、常に結像の画面の中心
を軸にして向きを変える、いわゆる視野中心回転を実現
させることは、より大きな困難を伴うＣ 本発明は、倍率と結像の向き （以下、像回転と呼ぶ）
を各々独立に選択可能とし、また、視野中心像回転をも
可能とし、且つ、これらが円滑に制御し得る機能を有す
る電子顕微鏡に関するものである。
電子顕微鏡の結像系は電子レンズを数段組み合わせて構
成されている。これらのレンズの各々の焦点距離を適切
に組合わせることにより、広範囲な倍率と、その範囲内
での種々の収差の抑制とをｌ 得ている。
成されている。これらのレンズの各々の焦点距離を適切
に組合わせることにより、広範囲な倍率と、その範囲内
での種々の収差の抑制とをｌ 得ている。
このレンズ組合わせには２つの基本形がある。即ち、図
１に示す如く、一段のレンズにより、拡大のみを行う用
い方式と、図２に示子如く二段のレンズを用いて、拡大
から縮小も可能にし、低い倍率に於ける収差が少いとい
う特長を持つ、いわゆる複合レンズ方式とである。
１に示す如く、一段のレンズにより、拡大のみを行う用
い方式と、図２に示子如く二段のレンズを用いて、拡大
から縮小も可能にし、低い倍率に於ける収差が少いとい
う特長を持つ、いわゆる複合レンズ方式とである。
磁界形電子レンズに於ては、励磁力の強さによって焦点
距離が変化し、像回転の量も変化する。この、励磁力対
焦点距離の関係は、レンズ形状その他の要素によって異
った特性を示し、励磁力対回転角の関係は、加速電圧毎
に、はソ比例関係である０ 多段レンズによって構成されている結像系の綜合倍率Ｍ
は Ｍ＝凰φＭ２・・・・・・・・ｈｂである。
距離が変化し、像回転の量も変化する。この、励磁力対
焦点距離の関係は、レンズ形状その他の要素によって異
った特性を示し、励磁力対回転角の関係は、加速電圧毎
に、はソ比例関係である０ 多段レンズによって構成されている結像系の綜合倍率Ｍ
は Ｍ＝凰φＭ２・・・・・・・・ｈｂである。
こ＼に、’Ｎｂ 、 Ｍｍ 、・・・・・・、Ｍｍは各
レンズ一段描りの倍率（但し、複合レンズの場合は複合
した線毎に一段とする）。いま、このうちの成る２段の
レンズの励磁電流対倍率、および回転角の特性が図３、
Ｌｌ、Ｌｍの如くであるとし、励磁方向は互に逆であ
〜１、す る様にする。
レンズ一段描りの倍率（但し、複合レンズの場合は複合
した線毎に一段とする）。いま、このうちの成る２段の
レンズの励磁電流対倍率、および回転角の特性が図３、
Ｌｌ、Ｌｍの如くであるとし、励磁方向は互に逆であ
〜１、す る様にする。
両方のレンズの励磁を変化させても綜合倍率を変化させ
ない条件は Ｍｌ −Ｍｍ＝ Ｍｅ ＝ ｃｏｎｓｔ・−−−−−−
−（１）即ち、 Ｍｌ ＝ Ｍｃ／Ｍｍである。
ない条件は Ｍｌ −Ｍｍ＝ Ｍｅ ＝ ｃｏｎｓｔ・−−−−−−
−（１）即ち、 Ｍｌ ＝ Ｍｃ／Ｍｍである。
この特性図から、式（１）全満足させる様な連動関係で
各々の励磁電流を変化させることが、成る範囲で可能で
あることが判る。その範囲で、希望の像回転角△θＦが
得られたとき、励磁電流工ｌヲ増とすると、ＩＯＩは減
、の如く互に逆に変化し、励磁方向が逆であるから、像
回転は両レンズに於て同方向となる。即ち、 ΔθＦ＝△θｌ＋△θｍ なる関係となっている。
各々の励磁電流を変化させることが、成る範囲で可能で
あることが判る。その範囲で、希望の像回転角△θＦが
得られたとき、励磁電流工ｌヲ増とすると、ＩＯＩは減
、の如く互に逆に変化し、励磁方向が逆であるから、像
回転は両レンズに於て同方向となる。即ち、 ΔθＦ＝△θｌ＋△θｍ なる関係となっている。
この原理は、一方の１段のレンズを複合レンズに置きか
えても可能である。
えても可能である。
以上の方法による像回転は、励磁力の変化、即ち、一般
には励磁電流の変化によって行われるものであり、多段
レンズの光軸が充分に一致していれば、高倍率に於ても
常に視野中心の回転でありまた、その制御は電気的であ
ることから、円滑に制御し易く行うことが出来るという
特長を有する。
には励磁電流の変化によって行われるものであり、多段
レンズの光軸が充分に一致していれば、高倍率に於ても
常に視野中心の回転でありまた、その制御は電気的であ
ることから、円滑に制御し易く行うことが出来るという
特長を有する。
第１図ｔｉ１段のレンズによる拡大の光路図である。
第２図は２段の複合レンズによる光路図である。
第３図は２段のレンズを用いて、倍率変化を与えぬ条件
下に於て、励磁力変化、即ち像回転角を変化させる原理
を示す。 〔符号の説明〕 （１） ： Ｌｌレンズの励磁力対倍率及び像回転特性
（２） ： ＩｊＴルンズの励磁力対倍率及び像回転特
性グラフの説明 １１、Ｉｍ：各レンズの励磁力 Ｍａｇ ：倍率 θ ：像回転角 １１．４８ｍ ：像回転角の変化を示す。正、負の符号
は回転方向の正逆を示す。
下に於て、励磁力変化、即ち像回転角を変化させる原理
を示す。 〔符号の説明〕 （１） ： Ｌｌレンズの励磁力対倍率及び像回転特性
（２） ： ＩｊＴルンズの励磁力対倍率及び像回転特
性グラフの説明 １１、Ｉｍ：各レンズの励磁力 Ｍａｇ ：倍率 θ ：像回転角 １１．４８ｍ ：像回転角の変化を示す。正、負の符号
は回転方向の正逆を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 磁界形電子レンズによる多段レンズ結像系を持つ電
子顕微鏡に於て、その多段レンズのうちの、いくつかの
レンズの励磁力と励磁極性を適切に選ぶことにより、い
くつかの倍率点に於て、それぞれの倍率を変化させずに
、結像を同装置の蛍光板、および記録するためのカメラ
などの画枠に対して、任意の方位に変え得ることを特徴
とする電子顕微鏡。 ２ 多段レンズのうちのいづれかの２段（複合レンズ方
式との組合せに於ては３段、以下同じ）のレンズを用い
、そのレンズの倍率をそれぞれＭｌ、Ｍｍとすると、そ
の合成倍率Ｍｃが一定である条件は Ｍｌ・Ｍｍ＝Ｍｃ であり、Ｍｌ、Ｍｍは双方のレンズの可変範囲を前提と
していくつかの値を取り得ること、及び各々の倍率の変
化は励磁力の変化によつて行われ、その励磁力の変化は
像の回転量を、磁極性は各々の回転方向を、それぞれ制
御する自由度を有することを利用した特許請求範囲第１
項記載の電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12843984A JPS618839A (ja) | 1984-06-23 | 1984-06-23 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12843984A JPS618839A (ja) | 1984-06-23 | 1984-06-23 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS618839A true JPS618839A (ja) | 1986-01-16 |
Family
ID=14984760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12843984A Pending JPS618839A (ja) | 1984-06-23 | 1984-06-23 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS618839A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0584845U (ja) * | 1992-04-17 | 1993-11-16 | 善治 稲垣 | 金属材料曲げ試験機の押金具 |
-
1984
- 1984-06-23 JP JP12843984A patent/JPS618839A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0584845U (ja) * | 1992-04-17 | 1993-11-16 | 善治 稲垣 | 金属材料曲げ試験機の押金具 |
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