JPS6187895A - めつき方法とその装置 - Google Patents
めつき方法とその装置Info
- Publication number
- JPS6187895A JPS6187895A JP20751084A JP20751084A JPS6187895A JP S6187895 A JPS6187895 A JP S6187895A JP 20751084 A JP20751084 A JP 20751084A JP 20751084 A JP20751084 A JP 20751084A JP S6187895 A JPS6187895 A JP S6187895A
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- JP
- Japan
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- plating
- blind hole
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- plating solution
- injecting
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は高アスペクト比のブラインドホールを有する
物品のめつき方法とその装置に関するものである。
物品のめつき方法とその装置に関するものである。
マイクロ波伝送線路として導波管が広範に使用されてい
る。導波管は導電率の高い銅又は黄銅あるいは特に軽く
したい場合にはアルミニウム又はアルミニウム合金等の
導体を用いた中空の管である。内壁には腐食や錆によっ
て抵抗が増加するのを防止するために銀や金めつきをし
ている。
る。導波管は導電率の高い銅又は黄銅あるいは特に軽く
したい場合にはアルミニウム又はアルミニウム合金等の
導体を用いた中空の管である。内壁には腐食や錆によっ
て抵抗が増加するのを防止するために銀や金めつきをし
ている。
広帯域伝送に使用するリッジ導波管及びマイクロ波用共
撮器の半回軸形空胴共振器等は中空管内部に突起がでて
おり、この突起の外側の部分は電気めっきの困難なブラ
インドホールを形成している。
撮器の半回軸形空胴共振器等は中空管内部に突起がでて
おり、この突起の外側の部分は電気めっきの困難なブラ
インドホールを形成している。
第2図は1例えば従来法によってめっきしたブラインド
ホールの断面を示す図であり1図において、(2)はブ
ラインドホール、α4はブラインドポール(2(の角部
のめつき厚、α9はブラインドホール(2)の平坦部の
めつき厚、αGはブラインドポール(2)の肩部のめつ
き厚、ODはブラインドホール(2)の中心部のめつき
厚、OLlはブラインドポール(2)のコーナ一部のめ
つき厚、α優はブラインドホール(2)の底面部のめつ
き厚である。
ホールの断面を示す図であり1図において、(2)はブ
ラインドホール、α4はブラインドポール(2(の角部
のめつき厚、α9はブラインドホール(2)の平坦部の
めつき厚、αGはブラインドポール(2)の肩部のめつ
き厚、ODはブラインドホール(2)の中心部のめつき
厚、OLlはブラインドポール(2)のコーナ一部のめ
つき厚、α優はブラインドホール(2)の底面部のめつ
き厚である。
ブラインドホール(2)のアスペクト比が下記に示した
式で計算して3以上になると、ブラインドポール内のめ
つき厚分布のバラツキが大きくなる。
式で計算して3以上になると、ブラインドポール内のめ
つき厚分布のバラツキが大きくなる。
厚分布においてブラインドホールの角部のめっき厚α心
、ブラインドホールの肩部のめっき厚aF3はブライン
ドホールの平坦部a9に比較してより厚く付着し、ブラ
インドホールの中心部のめっき厚aηはブラインドホー
ルの肩部のめつき厚(lの半分以下で、ブラインドホー
ルの底面部のめっき厚はブラインドホールの肩部のめつ
き厚αeの10から2゜チの付着である。さらにブライ
ンドホールのコーナ一部α秒はめつき工程中に空気又は
めっき前処理液が残存し、めっきが付治しなかったり又
はめっき皮膜が剥離することがある。
、ブラインドホールの肩部のめっき厚aF3はブライン
ドホールの平坦部a9に比較してより厚く付着し、ブラ
インドホールの中心部のめっき厚aηはブラインドホー
ルの肩部のめつき厚(lの半分以下で、ブラインドホー
ルの底面部のめっき厚はブラインドホールの肩部のめつ
き厚αeの10から2゜チの付着である。さらにブライ
ンドホールのコーナ一部α秒はめつき工程中に空気又は
めっき前処理液が残存し、めっきが付治しなかったり又
はめっき皮膜が剥離することがある。
従って、ブラインドホール内のめっき膜厚分布を均一化
させ、めっき皮膜の密飛強度を高めることは歩留り向上
に寄与し原価低減に直結するものである。
させ、めっき皮膜の密飛強度を高めることは歩留り向上
に寄与し原価低減に直結するものである。
かかる方法として1例えば(7)めっき液をブラインド
ホールに噴射せしめてめっきを行う方法、(イ)ブライ
ンドホール内に補助陽極をそう人してめっきを行う方法
等が挙げられる。
ホールに噴射せしめてめっきを行う方法、(イ)ブライ
ンドホール内に補助陽極をそう人してめっきを行う方法
等が挙げられる。
上記のようなめつき方法では次に述べるような問題点が
挙げられる。
挙げられる。
即ち、上記(7)の方法によればブラインドホール内の
めつき液の涌留がなくなり、めっき工程中の空気又はめ
つき液が残存によるめっき密着不良は改善されるが、め
つき膜厚分布は角部には厚くコーナ一部には薄いという
現象が再現する。
めつき液の涌留がなくなり、めっき工程中の空気又はめ
つき液が残存によるめっき密着不良は改善されるが、め
つき膜厚分布は角部には厚くコーナ一部には薄いという
現象が再現する。
上記(イ)の方法では、ブラインドホール内の底面及び
両側面からr9r要の間隔を保って補助的な陽極を対面
させ、めっき液中で通電するのである。この方法ではブ
ラインドホール内の平面全体の平均値として電流密度が
定まるのでめつき膜厚分布は比較的均一となるが、ブラ
インドホール内に?Jt又はめつき前処理液等がコーナ
ー及び底面に残存しめっきが付着しなかったり、又めつ
き皮膜が剥離することがおる〇 という改善すべき技術的諸問題があった。
両側面からr9r要の間隔を保って補助的な陽極を対面
させ、めっき液中で通電するのである。この方法ではブ
ラインドホール内の平面全体の平均値として電流密度が
定まるのでめつき膜厚分布は比較的均一となるが、ブラ
インドホール内に?Jt又はめつき前処理液等がコーナ
ー及び底面に残存しめっきが付着しなかったり、又めつ
き皮膜が剥離することがおる〇 という改善すべき技術的諸問題があった。
この発明は上記した技術的諸問題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は比較的簡便な方法により、
ブラインドホール内のめつき膜厚分布を均一化させ、か
つめっき皮膜の密着強度を高めるためのめつき方法とそ
の装置を提供するにある。
れたものであり、その目的は比較的簡便な方法により、
ブラインドホール内のめつき膜厚分布を均一化させ、か
つめっき皮膜の密着強度を高めるためのめつき方法とそ
の装置を提供するにある。
この発明に係るブラインドホール内へのめつき方法とそ
の装置は、鋭意検討を重ねた結果、ブラインドホール内
の底面及び両側面と所要の間隔ケ保って補助陽極を対面
させ、かつめっき液を噴射させることにより上記目的が
達成できることをみ(・だし2本発明を完成するに到っ
た。
の装置は、鋭意検討を重ねた結果、ブラインドホール内
の底面及び両側面と所要の間隔ケ保って補助陽極を対面
させ、かつめっき液を噴射させることにより上記目的が
達成できることをみ(・だし2本発明を完成するに到っ
た。
即ち9本発明のブラインドホール内へのめつぎ方法とそ
の装置は、ブラインドホールを有する物品を引掛けに縦
吊りにしてめつき槽内に浸漬させ。
の装置は、ブラインドホールを有する物品を引掛けに縦
吊りにしてめつき槽内に浸漬させ。
ブラインドホール内にそう人した補助陽極兼めっき液噴
射管からめつき液を連続的に噴射しながらめっきするこ
とを特徴とする。
射管からめつき液を連続的に噴射しながらめっきするこ
とを特徴とする。
以下において本発明を更に詳しく説明する。
一本発明のめつき方法及びその装置は、先ず複数個のブ
ラインドホールを有する物品に応じて物品のブラインド
ホールの底面及び両側面から所要の間隔を保ってランダ
ムに微小な穴(液噴出口)を明けだ液噴射管をブライン
ドホール内にそう人し。
ラインドホールを有する物品に応じて物品のブラインド
ホールの底面及び両側面から所要の間隔を保ってランダ
ムに微小な穴(液噴出口)を明けだ液噴射管をブライン
ドホール内にそう人し。
通電しながら連続的にめっき液を一定の速度で噴射する
。かかる液噴射管はめつき前処理液又はめつき液によっ
て浸食されるのを防止するためにステンレス鋼、又はチ
タニウム、又はチタニウム合金を用いることが好ましい
。液噴射管の液噴出口はランダムに微小な穴を明けるの
であるがブラインドホールの底面及び両側面にめっき液
が均等に吹き付けられるように実証を含め設計した方が
よ(1゜ 本発明のめつき方法及びその装置は、めつき槽からめつ
き液をポンプにより吸引し流路を経て液噴射管に圧送し
ている。圧送されためつき液は液噴射管の液噴出口から
ブラインドホールの底面及び両側面に連続的に噴射され
る。
。かかる液噴射管はめつき前処理液又はめつき液によっ
て浸食されるのを防止するためにステンレス鋼、又はチ
タニウム、又はチタニウム合金を用いることが好ましい
。液噴射管の液噴出口はランダムに微小な穴を明けるの
であるがブラインドホールの底面及び両側面にめっき液
が均等に吹き付けられるように実証を含め設計した方が
よ(1゜ 本発明のめつき方法及びその装置は、めつき槽からめつ
き液をポンプにより吸引し流路を経て液噴射管に圧送し
ている。圧送されためつき液は液噴射管の液噴出口から
ブラインドホールの底面及び両側面に連続的に噴射され
る。
かかる処理はブラインドホールを有する物品を縦吊りに
しながらめっき前処理工程から順次めっき処理工程の間
実施が可能となっている0従って、めっき前処理工程で
は液噴射管に必ずしも通電する必要がない。
しながらめっき前処理工程から順次めっき処理工程の間
実施が可能となっている0従って、めっき前処理工程で
は液噴射管に必ずしも通電する必要がない。
この発明においては、液噴射管を物品のブラインドホー
ルの底面及び両側面から所要の間隔を保ってめっき液を
液噴出口から連続的に噴射しながら通電することができ
るため、物品のブラインドホールの底面及び両側面のコ
ーナ一部に空気が残存することがないのでめっき付着不
良及び密着不良がなくなり品質的に安定しためつきの処
理ができる。
ルの底面及び両側面から所要の間隔を保ってめっき液を
液噴出口から連続的に噴射しながら通電することができ
るため、物品のブラインドホールの底面及び両側面のコ
ーナ一部に空気が残存することがないのでめっき付着不
良及び密着不良がなくなり品質的に安定しためつきの処
理ができる。
液噴射管がステンレス鋼、又はチタニウム、又はチタニ
ウム合金によって作られているため牛永久的に使用でき
経済的に安価なものとなっている。
ウム合金によって作られているため牛永久的に使用でき
経済的に安価なものとなっている。
又、めっき液を物品のブラインドホールの底面及び両側
面に噴射させ、かつ屡極を物品の底面及び両側面の近く
に配設しているので、極間距離が改善されしかもめつき
液の滞留がなくなり、を流分布がいちじるしくよくなる
ので、ブラインドホール内のめつき膜厚分布が比較的均
一となる。
面に噴射させ、かつ屡極を物品の底面及び両側面の近く
に配設しているので、極間距離が改善されしかもめつき
液の滞留がなくなり、を流分布がいちじるしくよくなる
ので、ブラインドホール内のめつき膜厚分布が比較的均
一となる。
以下において実施例を掲げこの発明を更に詳しく説明す
る。
る。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図である〇(11
は高アスペクト比のブラインドホールを有する物品、(
2)は物品f11の高アスペクト比のブラインドホール
である。(3)は陽極兼めっき液流路、(4)はブライ
ンドホール(2ン内にそう人された補助陽極兼めっき液
噴出口である。(5)は引掛けで物品(11を縦吊りに
している。(6)は絶縁材よりなる固定板、(7)はめ
つき僧、 +81Viめっき液、(91はポンプでめっ
き槽(7)からめっき液(8)を吸引し、陽極兼流路(
3)を経由して補助陽極兼めっき液噴出口(4)からブ
ラインドホール(2)の底面及び両側面にめっき液を噴
射している。■はとり手、 Ql)は導線、azはめっ
き液吸引口、0滲は静止型陽極である。
は高アスペクト比のブラインドホールを有する物品、(
2)は物品f11の高アスペクト比のブラインドホール
である。(3)は陽極兼めっき液流路、(4)はブライ
ンドホール(2ン内にそう人された補助陽極兼めっき液
噴出口である。(5)は引掛けで物品(11を縦吊りに
している。(6)は絶縁材よりなる固定板、(7)はめ
つき僧、 +81Viめっき液、(91はポンプでめっ
き槽(7)からめっき液(8)を吸引し、陽極兼流路(
3)を経由して補助陽極兼めっき液噴出口(4)からブ
ラインドホール(2)の底面及び両側面にめっき液を噴
射している。■はとり手、 Ql)は導線、azはめっ
き液吸引口、0滲は静止型陽極である。
第2図は従来法によってめっきされたブラインドホール
内の膜厚分布を示す断面図である。
内の膜厚分布を示す断面図である。
次に動作につ(・て概説すると、先ず電気めっきしよう
とする物品(1)のブラインドホール(2)の中心に合
わせ底面及び両側面と所要の距離を保って補助醐極兼め
っき液噴出口(4)をそう人し、絶縁材よりなる固定板
(6)で固定する。次に常法により前処理を行う訳であ
るが、上部にとつ手Qlが取り付けているので可搬でき
、各処理毎にポンプを作動しブラインドホールに液を噴
射しながら前処理工程を順次実施する。
とする物品(1)のブラインドホール(2)の中心に合
わせ底面及び両側面と所要の距離を保って補助醐極兼め
っき液噴出口(4)をそう人し、絶縁材よりなる固定板
(6)で固定する。次に常法により前処理を行う訳であ
るが、上部にとつ手Qlが取り付けているので可搬でき
、各処理毎にポンプを作動しブラインドホールに液を噴
射しながら前処理工程を順次実施する。
前処理工程を完了した後、電気めっきを実施する。この
場合は前処理工機と違って通電しながら行うため、導線
aDを陽極兼めっき液流路(3)及び静止型陽極(13
に結線する。つぎに物品をめっき液に浸漬しポンプを作
動すると、めっき液は吸引口α2から吸引され、陽極兼
流路(3)を経由して、ブラインドホール(2)内にそ
う人された補助陽極兼めっき液噴出口(4)からめっき
液+81がブラインドホール(2)内の底面及び両側面
に噴射される。この動作が一定の噴射速度で連続的に実
施されるのでブラインドホール(2)を小さな容器と例
えれば、容器の中で撹拌が高速で行なわれ、電流分布が
改善される。
場合は前処理工機と違って通電しながら行うため、導線
aDを陽極兼めっき液流路(3)及び静止型陽極(13
に結線する。つぎに物品をめっき液に浸漬しポンプを作
動すると、めっき液は吸引口α2から吸引され、陽極兼
流路(3)を経由して、ブラインドホール(2)内にそ
う人された補助陽極兼めっき液噴出口(4)からめっき
液+81がブラインドホール(2)内の底面及び両側面
に噴射される。この動作が一定の噴射速度で連続的に実
施されるのでブラインドホール(2)を小さな容器と例
えれば、容器の中で撹拌が高速で行なわれ、電流分布が
改善される。
その結果、ブラインドホール(2)内のめつき膜厚分布
が均一化されるのである。
が均一化されるのである。
更に静止型陽極αJを設置しているので物品(1)の表
面状と陽極との表面積が同一比率となり、ブラインドホ
ール(2)以外のめつき処理も安定したものとなる。
面状と陽極との表面積が同一比率となり、ブラインドホ
ール(2)以外のめつき処理も安定したものとなる。
この発明は以上説明したとおり、今迄困難とされていた
高アスペクト比のブラインドホール内の電気めっきを可
能としたものであり、ブラインドホール内の膜厚分布の
均−化及びめっき不良の改善が行なわれ、加工の品η向
上に寄与すること大であり、設備も安価なもので製造で
きコスト低減に直結するものである。
高アスペクト比のブラインドホール内の電気めっきを可
能としたものであり、ブラインドホール内の膜厚分布の
均−化及びめっき不良の改善が行なわれ、加工の品η向
上に寄与すること大であり、設備も安価なもので製造で
きコスト低減に直結するものである。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図は従来
法によってめっきされたブラインドホール内の膜厚分布
を示す図である。 図中、(1)は物品、f21tiブラインドホール、(
3)は陽極兼めっき液流路、(4)は補助陽極兼めっき
液噴出口、(5)は引掛け、(6)は絶縁材よりなる固
定板。 (71ijめつき摺、(8)はめつき液、(9)はポン
プ、01はとつ手11υは導線、(+2はめっき液吸引
口、α3は静止型陽極、α勾は角部のめつき厚、α9は
平坦部のめつき厚、αeは肩部のめつき厚、 07+は
中心部のめつき厚、αδはコーナ一部のめつき厚、α9
は底面部のめつき厚である。
法によってめっきされたブラインドホール内の膜厚分布
を示す図である。 図中、(1)は物品、f21tiブラインドホール、(
3)は陽極兼めっき液流路、(4)は補助陽極兼めっき
液噴出口、(5)は引掛け、(6)は絶縁材よりなる固
定板。 (71ijめつき摺、(8)はめつき液、(9)はポン
プ、01はとつ手11υは導線、(+2はめっき液吸引
口、α3は静止型陽極、α勾は角部のめつき厚、α9は
平坦部のめつき厚、αeは肩部のめつき厚、 07+は
中心部のめつき厚、αδはコーナ一部のめつき厚、α9
は底面部のめつき厚である。
Claims (4)
- (1)高アスペクト比のブラインドホールを有する物品
のめっき工程において、上記物品を引掛けに縦吊りにし
て、めっき槽内に浸漬せしめるとともに、上記物品に取
り付けられたる液噴射管に配設されたる多数の噴出口よ
り処理液を連続的に噴射せしめてめっき処理することを
特徴とするめっき方法。 - (2)物品のブラインドホールの底面及び両側面から所
要の間隔を保って液噴射管を対面させめっき液を噴射し
ながら通電することができる特許請求の範囲第(1)項
記載のめっき方法。 - (3)めっきすべき物品を所容するためのめっき槽と、
めっき液を噴射するための噴射管と、めっき槽内のめっ
き液を圧送して上記噴射管に供給するための圧送装置と
からなり、ブラインドホールにめっき液を噴射しながら
めっきするように構成したことを特徴とするめっき装置
。 - (4)めっき液を噴射するための液噴射管がステンレス
鋼、又はチタニウム、又はチタニウム合金よりなり、不
溶解性の陽極を形成していることを特徴とする特許請求
の範囲第(3)項記載のめっき装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20751084A JPS6187895A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | めつき方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20751084A JPS6187895A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | めつき方法とその装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6187895A true JPS6187895A (ja) | 1986-05-06 |
Family
ID=16540912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20751084A Pending JPS6187895A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | めつき方法とその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6187895A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0417148U (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-13 | ||
JP2005350697A (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Kida Seiko Kk | 袋状ワークの電解めっき方法および電解めっき装置 |
JP2010216006A (ja) * | 2009-02-19 | 2010-09-30 | Denso Corp | 噴流式めっき方法および装置 |
JP4686816B2 (ja) * | 2000-05-30 | 2011-05-25 | 住友電気工業株式会社 | めっき法 |
JP2015134956A (ja) * | 2013-12-20 | 2015-07-27 | アイシン精機株式会社 | めっき装置 |
-
1984
- 1984-10-03 JP JP20751084A patent/JPS6187895A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0417148U (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-13 | ||
JP4686816B2 (ja) * | 2000-05-30 | 2011-05-25 | 住友電気工業株式会社 | めっき法 |
JP2005350697A (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Kida Seiko Kk | 袋状ワークの電解めっき方法および電解めっき装置 |
JP2010216006A (ja) * | 2009-02-19 | 2010-09-30 | Denso Corp | 噴流式めっき方法および装置 |
JP2015134956A (ja) * | 2013-12-20 | 2015-07-27 | アイシン精機株式会社 | めっき装置 |
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