JPS6186214A

JPS6186214A - スライシングマシンのブレード変位監視装置

Info

Publication number: JPS6186214A
Application number: JP59209300A
Authority: JP
Inventors: 本江　伸次; 上田　俊男; 賢一加藤
Original assignee: Nachi Fujikoshi Corp
Current assignee: Nachi Fujikoshi Corp
Priority date: 1984-10-05
Filing date: 1984-10-05
Publication date: 1986-05-01

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、ガドリニウム・ガリウム・ガーネット（Ｇ
ＧＧ）、ガリウムヒ素、シリコン等のインゴットから薄
板を切り出すスライシングマシンにおいて、ウェハ切断
用ブレード（内周刃）を機械に取付けた際、取付用治具
やブレードそのものの特性に起因して発生するブレード
のスラスト方向変位量を測定し機械にフィードバックを
かける装置に関する。

（従来の技術）スライシングマシンは、半導体素子の材料であるウェハ
をインゴットから切り出す装置であり、切り出さｎるウ
ェハの厚み、寸法、面精度などにきわめて厳しい精度が
要求さｎる。ところが、ブレードの刃先の内側と外側に
切ｎ味が差があると、ブレードがスラスト方向に曲った
り、あるいはブレード取付冶具の関係でブレードを貼付
ける張力に緩みか生、すると精度の高いウェハの切り出
しが出来ず、しかもブレードの寿命も低下する。

そこで、ブレードがインゴットの切断面に入る位置の前
後の点、もしくはその一方の位置にブレードの上面に変
位検出装置を設け（特開昭３９−３０６６７号公報）て
、回転中におけるブレードのスラスト方向の動きを監視
したり、またはブレードの刃先近くに変位量検出センサ
をなり付け、一定の時間毎に検出した変位量の値をプリ
ンタに書かせる装置があった。

（発明が解決しようとする問題点〕しかし、こｎらの装置はブレードの変位量の最大値又は
管理限界値を検出し、この値を越えると異常であるとし
て機械を止めたり、異常ランプを点灯するなどのフィー
ドバックをかけるものである。このため変位量の最大値
などは、中心値のずｔｌ−Ｍ　（平均値異常）と振幅の
最大値（振幅異常つとが混合された値として表わさｎ“
るので、刃先異常が上記の原因のうちのいずｎ（で原因
するか、または各値をどのように制御すべきであるかが
分らず対策がたてにくいという問題があった。

（問題点を解決するための手段）この発明は、上述の従来の問題点を解決すべくなさ汎た
ものであって、振幅変化量信号を発し振幅異常を検出す
る振幅値計算回路と、信号の平均値レベルを取り出し平
均値異常を検出する平均値計算回路とを変位量検出セン
サに並夕１１に接続してｌの変位量を平均レベル信号と
振幅レベル信号Ｖこ分離して異常検出処理を行ない、異
常発生の原因を明確にし、さらにブレード圧延方向によ
る異方性に起因した変位量検出誤差を除くためにブレー
ド取付治具の特定点で位置検出センサを対置させ、ブレ
ード回転中においてブレードの定点で変位ｄｌｌｌ定を
可能としたものである。

（実施例の説明）次にこの発明の実施例を図面について説明する。

第１図は本発明で用いら扛るブレード変位演算部のコン
ロールブロック図であるが、まず第２図及び第３図によ
ってスライシングマシンの概略を示す。ドーナツ形のブ
レード（１）は第３図に示すようにブレード取付冶具（
２）に取付けらｎおり、取付治具は電動機（ＩＱからベ
ルトやチェノαηなどを介して回転が伝えらｎる。イン
ゴット（力とブレード（１）は第３図の矢印α２方向に
相互に接近し、インゴットを薄いウェハに切断する。

ブレード（１）の近くにあってこｒと対向して変位量検
出センサ（実施例では渦流センサ）（５）が配置さｎ、
さらに後述するブレード変位演算部（８）に接続さｎ変
化量の信号が変位演算部に送らｆる。また、グレード取
付治具（２）の内端面にはペンキで印を付けたり、また
は色付き薄板を貼付してマーカ（６）を設ける。マーカ
（６）と対応する位置に位置検出センサ（４）（実施例
の場合はフォトセンサ）を対向させて配置すると共に、
ブレード変位演算部（８）に接続し、位置信号を該変位
ブレード変位演算部（８）に送る。さらにブレード変位
演算部（８）は機械制御装置（９）に接続さｎている。

ブレード（１）の変位量は変位量検出センサ（５）で検
出さｎ１該変位量信号は位置検出センナ（４）で検出さ
れた位置信号と共にブレード変位演算部（８）に送ら扛
る。ブレード変位演算部（８）では後述するように変化
量信号を演算処理し、その結果に基ついてブレード（１
）の挙動を監視する。

一方、位置検出センサ（４）はグレード取付冶具（２）
の１回転、換言すｎばブレードの１回転毎に同門信号と
して捉え、該信号をブレード変位演算部（８）に送り、
変位量は１回転中の一定点で測定さｎることになる。

変位量検出センサ（５）と位置検出センサ（４）が接続
さｎるブレード変位演算部（８）の内′部は、第１図：
で示すブロック図のようになっている。まず、変位量検
出センサ（５）はプリンアンプ（１３を経て振幅値計算
回路α４に接続していて、変位量検出センサ（５）で検
出された捩り量はプリンアンプｑ３て増幅さ才１、振幅
値計算回路（１４１から振幅変化量信号のみが出力さｔ
１スイッチ回路αＱに送らｎる。

一方、位置検出センサ（４ンはプリンアンプ（１５を経
てスイッチ回路αＱに接続さｎていて、ブレード特定点
信号が送らｎる。スイッチ回路ＯＧではこの特定点信号
が送らｎたときにのみ、スイッチ回路αＧに接やＩＣさ
ｌｆ″した振幅値記憶回路αηに振幅変化量１言号が送
ら几、次の新しい信号が送らｎてくるまで一時記憶さｎ
る。振幅値記憶回路α力に記憶さｎている振幅変化量信
号は、該記憶回路に接続さｎている比較回路暗に常時送
らｎる。比較回路０句には異常振幅値設定回路四が接続
していて、該異常振幅値設定回路でセットされた異常値
の上限レベルと前記の振幅値記憶回路α力からの信号レ
ベルを常に比較する。該比較回路では異常振幅値設定回
路α鏝でセントさｔ′した値よジも振幅値記憶回路αη
からの値が太きいと信号を発し、比較回路α樽に接続さ
れたタイマ回路額を作動させる。比較回路０句からの出
力信号がタイマ回路（４）のタイムアツプ後も続いてい
る場合、振幅異常としてランプ（ハ）を点灯させると同
時１（リレー（イ）から機械制御装置（９）へ振幅異常
であることの信号を発信する。

一方、−上述の変位量検出センサ（５）はプリンアンプ
ａ３を経て平均値計算回路−に分岐し、前記振幅値計算
回路α４と並列に接続さｎ１信号の平均値レベルが平均
値信号として出力さｎる。さらに、平均値計算回路はス
イッチ回路（ハ）に接続される。該記憶回路では２回分
の信号、即ち先に送らｎた信号（Ａ）と後に送ら扛た信
号（Ｂ）を記憶し、（Ａ−Ｂ）の計算をしてブレードの
平均的な変位量を求める。

さらに（Ａ−Ｂ）の信号は比較回路＠に送らｎる。

該比較回路では、（Ａ−Ｂ）の信号は異常平均値設定回
路（社）でセットされた値と比較さｎる。この結果、（
Ａ−Ｂ）の値が大であｎば比較回路四に接続さｆたタイ
マ回路（７）が作動する。タイマ回路−がタイムアツプ
するほど比較回路からの信号が続いていると、平均値異
常としてランプ四が点灯すると同時に平均値異常信号出
力部間から機械の制御装置（９）へ平均値異常である旨
の信号を出力する。

かくして振動と平均値を同時に検出し、取付けらｎたブ
レードが異常でないか常にチェックすることになる。

（発明の効果）本発明は上述のようにブレードの変位量を中心値のすｔ
′Ｌ量（平均値異常値）と振幅の最大値（振幅異常値）
とに分離して検出するようにしたから、ブレードの変位
の原因が中心値のすｎ量（ブレード刃先に異常がある場
合が多い）によるか、又は振幅異常（ブレードを張る張
力のアンバランスによる場合が多い）によるかが分るの
で、ブレードの変位に対する対策がたて易くなった。例
えば中り、；１ｉ−のず′ｒＬＣて起因するのであ扛ば
、そ扛が刃先の内ＩＶ１１か外１則かを明確にすること
によって作業者はトレツシングを容易に行うことができ
る。また、刃先異常がトレノンング後も何回か続くよう
であわばブレードのスを自限界に至ったことが容易に分
るようになった。

さらに、ブレード取付治具（２）の端面にマーカ（６）
全形成すると共に、こ几に対向１〜で位置検出センサ（
４）を配置しているので、ブレードの回転に同期してブ
レードの変位量が一定の点で検出される。

このため、ブレードの圧延方向の異方性による円周方向
の材質の粗密の影響を受けることがなく、実際のブレー
ドとセンサ間の距離やブレードの振ｎ現象の状態を適確
に把握することができ、精度の高いスライシング加工を
維持できるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例に用いたブレード変位演算部
のブロック図、第２図は、同詞定装置部の概略図、第３
図は本発明を用いたスライシングマシンの概略図である
。１・・・ブレード　　　　２・・・ブレード取付治具３
・・・刃　先　　　　　４・・・位置検出センサ５・・
・変位量検出センサ　６・・・マーカ７・・・インゴッ
ト　　　　８・・・ブレード変位演算部１４・・・振幅
値計算回路　１６・・・スイッチ回路１７・・・振幅値
記憶回路　１８・・・比較回路１９・・・異常振幅値設
定回路２０・・・タイマ回路２２・・・振幅異常信号出
力部２３・・・平均値計算回路２４・・・スイッチ回路
　　２５・・・平均値記憶回路２６・・・比較回路　　
　　２７・・・異常平均値設定回路２８・・・タイマ回
路

Claims

【特許請求の範囲】

ドーナツ形のブレードの内縁に切刃を設け、該内縁にイ
ンゴットを挿入し、ブレードとインゴットの中心を相互
に接近させ、回転力を付与されたブレードによりインゴ
ットからウェハを切り出すようにしたスライシングマシ
ンにおいて、ブレードの平面に対向してブレードの捩れ
量を検知する変位量検出センサを、またブレード取付治
具端面に設けたマーカに対向して位置検出センサを夫々
配置し、かつ前記変位量検出センサ及び位置検出センサ
をブレード変位演算部に接続し、前記ブレード演算部に
おいて前記変位量検出センサを振幅変化量信号を発する
振幅値計算回路と信号の平均値レベルを取り出す平均値
計算回路とに並列に接続すると共に、前記位置検出セン
サを前記振幅回路に接続するスイッチ回路及び前記平均
値計算回路に接続するスイッチ回路に接続し、さらに各
スイッチ回路は各基準設定回路との各比較回路を経て各
タイマ回路に接続し、次いで各出力部と接続したことを
特徴とするスライシングマシンのブレード変位監視装置
。