JPS6183638A - 石英ガラスの成形方法 - Google Patents
石英ガラスの成形方法Info
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- JPS6183638A JPS6183638A JP20042784A JP20042784A JPS6183638A JP S6183638 A JPS6183638 A JP S6183638A JP 20042784 A JP20042784 A JP 20042784A JP 20042784 A JP20042784 A JP 20042784A JP S6183638 A JPS6183638 A JP S6183638A
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- molding
- grooves
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/0013—Re-forming shaped glass by pressing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/04—Re-forming tubes or rods
- C03B23/049—Re-forming tubes or rods by pressing
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は、石英ガラスを加熱加圧することによって所望
の形状に成形する方法に関するものである。
の形状に成形する方法に関するものである。
特に未発明は、ハロゲン化ケイ素を原料として気相法に
よって得免れる合成石英ガラスを加熱加圧成形してフォ
トマスク基板に適する大型ガラスブロンクを歩留よく製
造する方法に関するものである。
よって得免れる合成石英ガラスを加熱加圧成形してフォ
トマスク基板に適する大型ガラスブロンクを歩留よく製
造する方法に関するものである。
［発明の技術的背景とその問題点］
一般に気相法によって得られる合成６芙ガラスのインゴ
フトはほぼ円柱状である。フｒ トマスク基板の如き正
方形の石英板を円柱状のインゴフトからイ、ｎることは
、切断等による材ｔ）の損災か大きいので、即ｊ笛か圧
力形の角柱状のインゴットから１ノアるのか得策である
。
フトはほぼ円柱状である。フｒ トマスク基板の如き正
方形の石英板を円柱状のインゴフトからイ、ｎることは
、切断等による材ｔ）の損災か大きいので、即ｊ笛か圧
力形の角柱状のインゴットから１ノアるのか得策である
。
ＥＪ英シカラス成形方法として、公開特許公報間５７−
１３７０３１ 号（「石英ガラスの成形方法」）に明ノ
ｒくされているようしこ、グラファイト製容器内で、絶
対圧か０．１トル以上大気圧以下のヘリウムカス雰囲気
五に、１７００°Ｃ以上の温度に加熱加圧成形し、つい
で１１００〜１３００℃まで急冷する方法や、該方法に
わいてグラファイト製容器が２分割以上の割型描込のも
のである成形方法や、該方法においてグラファイト製容
器かαもしくはβ炭化けい素で厚さ１０〜１０００ ｐ
−ｍに内面波ｒＱされたものである成形方法や、また該
方法にわいてグチファイト製容器かその内面にすす状炭
２８をｌＯ〜１０００ ｇ ｔｎの厚さで３没けられた
ものでおる成形力法か開示されている。
１３７０３１ 号（「石英ガラスの成形方法」）に明ノ
ｒくされているようしこ、グラファイト製容器内で、絶
対圧か０．１トル以上大気圧以下のヘリウムカス雰囲気
五に、１７００°Ｃ以上の温度に加熱加圧成形し、つい
で１１００〜１３００℃まで急冷する方法や、該方法に
わいてグラファイト製容器が２分割以上の割型描込のも
のである成形方法や、該方法においてグラファイト製容
器かαもしくはβ炭化けい素で厚さ１０〜１０００ ｐ
−ｍに内面波ｒＱされたものである成形方法や、また該
方法にわいてグチファイト製容器かその内面にすす状炭
２８をｌＯ〜１０００ ｇ ｔｎの厚さで３没けられた
ものでおる成形力法か開示されている。
１５芙カラスは１７００°Ｃ以上ではグラファイトと反
応して炭化けい素をつくり、成形物の表面に凹凸か７４
＝し、またこしに伴ない表面から内部に向ったクランク
か生じ、手法精度良く成形する小か困難であるため、上
記の在来技術では炭化けい素で内面被覆したグラファイ
ト製容器を使用するものであり、これはコストを押上げ
る′捻回となる。また、上記の在来技術では石英カラス
の成形にあたり、１７００’ｃ以上に加熱加圧すること
を開示しているか、これも技術的、コスト的にはより低
い温度であることが望ましい。
応して炭化けい素をつくり、成形物の表面に凹凸か７４
＝し、またこしに伴ない表面から内部に向ったクランク
か生じ、手法精度良く成形する小か困難であるため、上
記の在来技術では炭化けい素で内面被覆したグラファイ
ト製容器を使用するものであり、これはコストを押上げ
る′捻回となる。また、上記の在来技術では石英カラス
の成形にあたり、１７００’ｃ以上に加熱加圧すること
を開示しているか、これも技術的、コスト的にはより低
い温度であることが望ましい。
また、石英ガラスの円柱状インゴット （以下単に円柱
状インゴットと書く）を加熱・加圧成形して角柱状のイ
ンゴフト（以ド単に角柱状インゴフトと書く）を製造す
る場合、グラファイト製の成形型か一般に用いられるか
、石英ガラスとグラファイトの熱膨偏係数が大きく異な
る（線膨張係数は石英カラスか５〜６ＸＩＯ−７°ｃ−
１、グラファ・「トが２〜６ＸＩＯ弓℃−１）ために高
温での成形の後、室温まで温度を下げることにより発生
する石英ガラスとグラファイトの収縮の差を逃かしてや
る必要がある。収１ｄの差を逃かしＶＪれない場合は、
石英カラスにもグラファイトにも不必要な応力が加わり
、特にグラフアイ［・ζこ加わる引・張応力は成形型の
破損をも招くことかある。
状インゴットと書く）を加熱・加圧成形して角柱状のイ
ンゴフト（以ド単に角柱状インゴフトと書く）を製造す
る場合、グラファイト製の成形型か一般に用いられるか
、石英ガラスとグラファイトの熱膨偏係数が大きく異な
る（線膨張係数は石英カラスか５〜６ＸＩＯ−７°ｃ−
１、グラファ・「トが２〜６ＸＩＯ弓℃−１）ために高
温での成形の後、室温まで温度を下げることにより発生
する石英ガラスとグラファイトの収縮の差を逃かしてや
る必要がある。収１ｄの差を逃かしＶＪれない場合は、
石英カラスにもグラファイトにも不必要な応力が加わり
、特にグラフアイ［・ζこ加わる引・張応力は成形型の
破損をも招くことかある。
［、・ｂ明の目ｅｌ’Ｊ ］
７にノｂ明は成形型の材料であるグラファイトとＩｑ英
カラスの熱１彰張係数か大きく異なることにより、高温
での成形の後室温まで温度をドげる樫に′！ｌｆｌこグ
ラファイトに発生する応力を緩和１、 成形型の破損を
防１卜することを目的とする。
カラスの熱１彰張係数か大きく異なることにより、高温
での成形の後室温まで温度をドげる樫に′！ｌｆｌこグ
ラファイトに発生する応力を緩和１、 成形型の破損を
防１卜することを目的とする。
またべ発明は成形型の材料であるグラファイトと石英カ
ラスの反応と抑制して手法精度良く円柱状イノゴツト奢
（１１柱状インゴントに成形する。への好ましＱ・布地
・加圧成形条件を提供することを（］的とする。
ラスの反応と抑制して手法精度良く円柱状イノゴツト奢
（１１柱状インゴントに成形する。への好ましＱ・布地
・加圧成形条件を提供することを（］的とする。
［７・ｂ明の祁１成］
以ド、本５１発明を図「１ｊに従って説明する。第１図
は人定明の方法を実施するための成形型の例の概略ＶΔ
である。成形型１はグラファイト？（・すの底板４、側
板３および上部外枠２からなり、ＩＩ′（板４の４周内
側に設けられた側板３の厚さよりも巾の広い溝８に４枚
の側板３を立てることにより４側面か形成され、その上
方から上部外枠２を嵌合させることによって全体として
の成形型１が形成されている。４枚の側板３で仕切られ
る底板４の内側形状と内側・を法は所望の角柱状インゴ
ットの外側形状と外側・１法にそれぞれほぼ等しい、４
枚の側板３で仕切られる底板４の内側・Ｆ法は、円柱状
インゴットの底面１在径よりも占然大きくつくられる。
は人定明の方法を実施するための成形型の例の概略ＶΔ
である。成形型１はグラファイト？（・すの底板４、側
板３および上部外枠２からなり、ＩＩ′（板４の４周内
側に設けられた側板３の厚さよりも巾の広い溝８に４枚
の側板３を立てることにより４側面か形成され、その上
方から上部外枠２を嵌合させることによって全体として
の成形型１が形成されている。４枚の側板３で仕切られ
る底板４の内側形状と内側・を法は所望の角柱状インゴ
ットの外側形状と外側・１法にそれぞれほぼ等しい、４
枚の側板３で仕切られる底板４の内側・Ｆ法は、円柱状
インゴットの底面１在径よりも占然大きくつくられる。
底板４．４枚の側板３ならひに上部外０２によって囲繞
される空間において底板４の上に円柱状インゴットをお
き、上部外枠２の内側にほぼ雀接する角柱状の錘り７に
より該円柱状インゴットに荷重２か（す、成形型ｌ、円
柱状インゴ、トロならびに鍾り７の全体を通出な加熱装
置によって加熱する。あるいは、角柱状の錘り７２用い
ずに加熱装置δ上部より外力を加える！１９により成形
する・１￥も出来る。上部外枠２の内側コーナ一部には
、加熱により円柱状イ／ゴ、７トが軟化するにつれ、錘
りが滑らかに降下するよう空気抜きのだめの穴゛わよひ
／またはみぞを設けておく。
される空間において底板４の上に円柱状インゴットをお
き、上部外枠２の内側にほぼ雀接する角柱状の錘り７に
より該円柱状インゴットに荷重２か（す、成形型ｌ、円
柱状インゴ、トロならびに鍾り７の全体を通出な加熱装
置によって加熱する。あるいは、角柱状の錘り７２用い
ずに加熱装置δ上部より外力を加える！１９により成形
する・１￥も出来る。上部外枠２の内側コーナ一部には
、加熱により円柱状イ／ゴ、７トが軟化するにつれ、錘
りが滑らかに降下するよう空気抜きのだめの穴゛わよひ
／またはみぞを設けておく。
第２図は、底板４の４周内側に設けられた溝８の形状を
示す断面図であり、第３図（ａ）は本発明の核心である
底板４、側板３ならびにり、２ジヨン材５に構成・組立
状況をい示す一部切欠断面図である。成形型の組立に際
し、４枚の側板３はそれぞれ底板４の溝８の内側壁９に
接して立てられ、側板４の外壁と溝の外側壁！０でつく
られる間隙にクッション材５を設ける。クッション材５
は高温度においてもクッション性をもつ材料１例えばカ
ーボン繊維１右英ないし高珪酸質ファ・Ｃパーまたはセ
ラミックファイバーなどである。特にカーボンｔｌｉ雄
からなるフェルトの材料、紐状の材料もしくはシート状
カーポー・材料は好適である。クッション材５は側板４
の外壁と溝の外側壁ｌＯでつくられる間隙を実際上埋め
ていればよく、溝８の上方にはみ出ていても差支えない
。
示す断面図であり、第３図（ａ）は本発明の核心である
底板４、側板３ならびにり、２ジヨン材５に構成・組立
状況をい示す一部切欠断面図である。成形型の組立に際
し、４枚の側板３はそれぞれ底板４の溝８の内側壁９に
接して立てられ、側板４の外壁と溝の外側壁！０でつく
られる間隙にクッション材５を設ける。クッション材５
は高温度においてもクッション性をもつ材料１例えばカ
ーボン繊維１右英ないし高珪酸質ファ・Ｃパーまたはセ
ラミックファイバーなどである。特にカーボンｔｌｉ雄
からなるフェルトの材料、紐状の材料もしくはシート状
カーポー・材料は好適である。クッション材５は側板４
の外壁と溝の外側壁ｌＯでつくられる間隙を実際上埋め
ていればよく、溝８の上方にはみ出ていても差支えない
。
成形型１１円柱状インゴット６ならびに錘り７の全体か
加熱されると、それぞれが膨張するか、３＋１！す７に
よる圧力がインゴフト６を介して側板３に作用するため
クッション材５は第３図（ｂ）に示す如くやや圧縮され
るがクッション材５が存在するため側板３の外側壁が溝
８の外側１Ｘ！１０に直接接触し圧力を作用することは
ない。
加熱されると、それぞれが膨張するか、３＋１！す７に
よる圧力がインゴフト６を介して側板３に作用するため
クッション材５は第３図（ｂ）に示す如くやや圧縮され
るがクッション材５が存在するため側板３の外側壁が溝
８の外側１Ｘ！１０に直接接触し圧力を作用することは
ない。
加熱加圧によりインゴット６が所望の角柱状インゴフト
に成形された後、温度をドげると、成形型１を構成する
各部材や角柱状インゴット１１も収縮するが、前記した
如く石英ガラスの熱膨張係数はグラファイトに比較して
１桁小さいので底板４の収縮の結果、底板４の溝８の外
側壁ｌＯと側板３の外側壁の間隔は（ｂ）図の場合より
小さくなるが、クッション材５が存在しない場合に比較
して、側板３が底板４のｙｔ８の外側壁ｌＯに作用する
圧力はクッション材５の存在により緩和される。
に成形された後、温度をドげると、成形型１を構成する
各部材や角柱状インゴット１１も収縮するが、前記した
如く石英ガラスの熱膨張係数はグラファイトに比較して
１桁小さいので底板４の収縮の結果、底板４の溝８の外
側壁ｌＯと側板３の外側壁の間隔は（ｂ）図の場合より
小さくなるが、クッション材５が存在しない場合に比較
して、側板３が底板４のｙｔ８の外側壁ｌＯに作用する
圧力はクッション材５の存在により緩和される。
クッション材５がなく、ｉＪ ８の幅が側板３の厚さと
ｉ！］：接している場合には常温時第４図（ａ）に示す
位置にあった側板３は加熱加圧成形時には第４図（ｂ）
に示す如く成形中のインゴフト１１の圧力により溝８の
外側ｔ６ｔｏの方向に移動し、さらに冷却中および／ま
たは冷却後には第４図（ｃ）に示す如く側板３か溝８の
外側壁１０に接することかあり、成形型１の破損を招く
ことがある。
ｉ！］：接している場合には常温時第４図（ａ）に示す
位置にあった側板３は加熱加圧成形時には第４図（ｂ）
に示す如く成形中のインゴフト１１の圧力により溝８の
外側ｔ６ｔｏの方向に移動し、さらに冷却中および／ま
たは冷却後には第４図（ｃ）に示す如く側板３か溝８の
外側壁１０に接することかあり、成形型１の破損を招く
ことがある。
７ンンヨン材５の着、底板４の溝８の巾は、所望のβ１
状インゴントの大きさなどの諸条件から適切に選ぶこと
かできる。
状インゴントの大きさなどの諸条件から適切に選ぶこと
かできる。
また、グラファイト製成形型により円柱状インゴットｅ
角柱状インプントへ加圧成形する際の好ましい温度条件
として１６００〜１７００℃の範；用、好ましくは１８
３０〜１６８０℃の範囲か適当であることを見出した。
角柱状インプントへ加圧成形する際の好ましい温度条件
として１６００〜１７００℃の範；用、好ましくは１８
３０〜１６８０℃の範囲か適当であることを見出した。
１７００℃以上では石英ガラスかグラファイトと反応し
て炭化ケイ素を生じ、イリられた角柱状インゴフトの表
面があれたものと１宝って寸法精度がわるくなり不都合
であり、また１５００〜１６００°Ｃの温度範囲では成
形時間を長くとる必要かあるため失透を生じ易い。又、
加圧の圧力としては、成形容器オス型の断面積あたり５
０〜１０００ｇ／ｃｍ’の範囲、好ましくは １００〜
５０Ｊ／ｃｍ’の範囲が好適である、これ以Ｆ′ごは、
成形か充分に行なわれず、またこれより大きい場合には
、均一な成形が行なわれず不都合である。
て炭化ケイ素を生じ、イリられた角柱状インゴフトの表
面があれたものと１宝って寸法精度がわるくなり不都合
であり、また１５００〜１６００°Ｃの温度範囲では成
形時間を長くとる必要かあるため失透を生じ易い。又、
加圧の圧力としては、成形容器オス型の断面積あたり５
０〜１０００ｇ／ｃｍ’の範囲、好ましくは １００〜
５０Ｊ／ｃｍ’の範囲が好適である、これ以Ｆ′ごは、
成形か充分に行なわれず、またこれより大きい場合には
、均一な成形が行なわれず不都合である。
［実施例］
四塩化ケイ素を原料として製造した、ＯＨ基をｌ”Ｉ
ｑ’＋で１５０ρρｌ 含有する直径９０ｍｍ、 Ｈさ
６６ｔａ＋、屯２８２４ｇの合成石英ガラス・ｒンゴン
トを、底板の内寸か１３０ｍｍ角の第１図に示した如き
、グラファイト製成形容器（カーボン繊維をクッション
材として使用）に入れ、最大出力９０Ｋｕのカーホンを
発熱体とする ３００ＩＩｌｆｆｌ（内径） Ｘ ３５
０ｍｍ（高さ）の炉内寸法を有する電気炉内にセットし
た。その際、インゴフトの上面にグラファイトの錘り２
０Ｋｇを乗せた。
ｑ’＋で１５０ρρｌ 含有する直径９０ｍｍ、 Ｈさ
６６ｔａ＋、屯２８２４ｇの合成石英ガラス・ｒンゴン
トを、底板の内寸か１３０ｍｍ角の第１図に示した如き
、グラファイト製成形容器（カーボン繊維をクッション
材として使用）に入れ、最大出力９０Ｋｕのカーホンを
発熱体とする ３００ＩＩｌｆｆｌ（内径） Ｘ ３５
０ｍｍ（高さ）の炉内寸法を有する電気炉内にセットし
た。その際、インゴフトの上面にグラファイトの錘り２
０Ｋｇを乗せた。
次いで炉内を真空ポンプで０．２トルまで減圧に引いた
後、引き続き減圧に引きながら、昇温を開始した。２時
間で１０００°Ｃ迄昇温したところで、！ｔ？ポンプを
停止トしアルゴンガスを炉内に導入して１気圧とした。
後、引き続き減圧に引きながら、昇温を開始した。２時
間で１０００°Ｃ迄昇温したところで、！ｔ？ポンプを
停止トしアルゴンガスを炉内に導入して１気圧とした。
この後２時間で１６５０°ＣにシＩ温し ４時間保持し
た。
た。
この少１２５０℃まで１時間で隆温し、次いで１０００
℃まで４０°Ｃ／ｈｒで降温した電気炉の電源をしｊり
放冷した。そして炉内温度が室温まで冷えた少グラファ
イト容器を炉から取り出し成形・ｒンゴントを取り出Ｉ
〜た。インゴフトの市場は９＋３２で、−辺が １３１
ｍｍで厚みか２４ａｍの直方体であり、コーナ一部分は
完全に直角であった。
℃まで４０°Ｃ／ｈｒで降温した電気炉の電源をしｊり
放冷した。そして炉内温度が室温まで冷えた少グラファ
イト容器を炉から取り出し成形・ｒンゴントを取り出Ｉ
〜た。インゴフトの市場は９＋３２で、−辺が １３１
ｍｍで厚みか２４ａｍの直方体であり、コーナ一部分は
完全に直角であった。
［発明の効果］
上記した如く、クッション材５の材質と贋、底板５のｉ
４ ｓの幅を適切に選ぶことにより、高温からの冷却時
にグラファイト製成形型１に作用する応力を緩和し、成
形型１の破損を防Φ、することかできる。また加圧成形
する際の温度条件として１６００〜１７００°Ｃの範囲
、好ましくは１６３０〜ｌ １３８０ ’Ｃの範囲を選
ぶことにより、石英カラスとグラファイトの反応と失透
の発生を避け、表１ｍ性状か良好で、ｌＹ＋ｌ純度であ
り、ひずみの極めて少ない、手法粘度のよい所望の形状
の石英ガラスを得ることかできる。
４ ｓの幅を適切に選ぶことにより、高温からの冷却時
にグラファイト製成形型１に作用する応力を緩和し、成
形型１の破損を防Φ、することかできる。また加圧成形
する際の温度条件として１６００〜１７００°Ｃの範囲
、好ましくは１６３０〜ｌ １３８０ ’Ｃの範囲を選
ぶことにより、石英カラスとグラファイトの反応と失透
の発生を避け、表１ｍ性状か良好で、ｌＹ＋ｌ純度であ
り、ひずみの極めて少ない、手法粘度のよい所望の形状
の石英ガラスを得ることかできる。
第１１４は本発明の方法を実施するための成形型の概略
図であり、：５２図は底板４の断面図、第３１；Ａは成
形型、インゴフトの構成を示すインゴットの成形時の各
段階における成形型の一部切欠断面図であって、（ａ）
は常温時、（ｂ）は加熱・加圧成形時、（Ｃ）は冷却中
および／または冷却後である。第４図はクッション材を
用いない場合の成形型、インゴットの構成を示す一部切
欠断面図であって、（ａ）は常温時、（ｂ）は加熱・加
圧成形時、（ｃ）は冷却中および／または冷却後である
。 １・・・・成形型 ？・・・・上部外枠 ３・・・・側板 ４・・・・底板 ５・・・・クッション材 ６・・・・石英ガラスの円柱状インゴフト７・・・・錘
り ８−・・・溝 ９・・・・溝の内側１げ ＩＯ−・・・溝の外側壁 １１−・・・石英カラスの角柱状インゴント第 １ 図 募 ２ 図 第３図 （ｏｌ 第 ４ 図
図であり、：５２図は底板４の断面図、第３１；Ａは成
形型、インゴフトの構成を示すインゴットの成形時の各
段階における成形型の一部切欠断面図であって、（ａ）
は常温時、（ｂ）は加熱・加圧成形時、（Ｃ）は冷却中
および／または冷却後である。第４図はクッション材を
用いない場合の成形型、インゴットの構成を示す一部切
欠断面図であって、（ａ）は常温時、（ｂ）は加熱・加
圧成形時、（ｃ）は冷却中および／または冷却後である
。 １・・・・成形型 ？・・・・上部外枠 ３・・・・側板 ４・・・・底板 ５・・・・クッション材 ６・・・・石英ガラスの円柱状インゴフト７・・・・錘
り ８−・・・溝 ９・・・・溝の内側１げ ＩＯ−・・・溝の外側壁 １１−・・・石英カラスの角柱状インゴント第 １ 図 募 ２ 図 第３図 （ｏｌ 第 ４ 図
Claims (3)
- （１）天然もしくは合成石英ガラスを所望の形状に高温
加圧成形するに際し、成形型として石英ガラスと型材の
熱膨張率差に起因する応力を緩和する構造を有するグラ
ファイト製容器を用い、かつ１６００〜１７００℃の温
度域で加圧成形することを特徴とする石英ガラスの成形
方法。 - （２）石英ガラスと型材の熱膨張率差に起因する応力を
緩和するために成形型として用いるグラファイト製容器
の構成一部分として室温から成形温度域にわたってクッ
ション性を有する材料を用いることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の石英ガラスの成形方法。 - （３）室温から成形温度域にわたってクッション性を有
する材料として、カーボン繊維、カーボン箔、石英ファ
イバー、高珪酸質ファイ バー、セラミックファイバーから得られる材料の１種も
しくは２種以上からなる材料を用いることを特徴とする
特許請求の範囲第２項記載の石英ガラスの成形方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20042784A JPS6183638A (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 石英ガラスの成形方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20042784A JPS6183638A (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 石英ガラスの成形方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6183638A true JPS6183638A (ja) | 1986-04-28 |
| JPH0454626B2 JPH0454626B2 (ja) | 1992-08-31 |
Family
ID=16424116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20042784A Granted JPS6183638A (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 石英ガラスの成形方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6183638A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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