JPS6177497A - 多重リング探触子の製造方法 - Google Patents
多重リング探触子の製造方法Info
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- JPS6177497A JPS6177497A JP19854584A JP19854584A JPS6177497A JP S6177497 A JPS6177497 A JP S6177497A JP 19854584 A JP19854584 A JP 19854584A JP 19854584 A JP19854584 A JP 19854584A JP S6177497 A JPS6177497 A JP S6177497A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
- B06B1/0625—Annular array
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は超音波診断装置に係り、特にそのセンサ一部に
複合圧電体を用いて構成した超音波探触子に関する。。
複合圧電体を用いて構成した超音波探触子に関する。。
従来の複合圧電体を用いて構成した超音波探触子につい
ては、特開昭５７−２６９８６のように２次元アレイや
、特開昭５７−３２２００のように信号電極側が前面、
アース電極側が後面の多重リング探触子が記載されてい
た。しかし、信号電極形状や振動子形状についての問題
については認識されていない。
ては、特開昭５７−２６９８６のように２次元アレイや
、特開昭５７−３２２００のように信号電極側が前面、
アース電極側が後面の多重リング探触子が記載されてい
た。しかし、信号電極形状や振動子形状についての問題
については認識されていない。
本発明で対象としている複合圧電体１０１の構成を第１
図に示す６１０２はジルコン・チタン酸鉛などの柱状圧
電体であり、ス０３はエポキシ。
図に示す６１０２はジルコン・チタン酸鉛などの柱状圧
電体であり、ス０３はエポキシ。
ポリウレタンなどの樹脂である。この形式の複合圧電体
は、特開昭５８−２１８８３などで示されている方法で
形成することが可能である０次に、従来例の問題点とし
て、多重リング探触子の信号側電極であるリング電極２
０１，２０２，２０３を複合圧電体１０１上に形成した
例を第２図に示す。なお、ここでは簡単のため上からみ
た図を示している。
は、特開昭５８−２１８８３などで示されている方法で
形成することが可能である０次に、従来例の問題点とし
て、多重リング探触子の信号側電極であるリング電極２
０１，２０２，２０３を複合圧電体１０１上に形成した
例を第２図に示す。なお、ここでは簡単のため上からみ
た図を示している。
柱状圧電体２０４は１部に電極が形成され、さらに、２
０５はその１部に２つの電極２０２，２０３がまたがっ
て形成されている。したがって、圧電体２０５は電極２
０２，２０３にそれぞれ印加されるので、ピストン振動
とは異なる異常な振動モードで駆動されることになる。
０５はその１部に２つの電極２０２，２０３がまたがっ
て形成されている。したがって、圧電体２０５は電極２
０２，２０３にそれぞれ印加されるので、ピストン振動
とは異なる異常な振動モードで駆動されることになる。
このような柱状圧電体がいくつか生じるため第２図の探
触子では超音波ビームの特性が悪化する。
触子では超音波ビームの特性が悪化する。
本発明は上記のような従来例の欠点に鑑み、その目的は
電極間の間隙にまたがる柱状圧電体による特性の悪化を
回避した複合圧電体による超音波ビームを提供すること
にある。
電極間の間隙にまたがる柱状圧電体による特性の悪化を
回避した複合圧電体による超音波ビームを提供すること
にある。
本発明の特徴は、形成される信号電極の間隙に比較して
柱状電圧体の幅をじゅうぶん小さくしたことと、さらに
、使用する電極形状とほぼ同一の形状の無機圧電体から
作られた複合圧電体を用いて探触子を構成することにあ
る。
柱状電圧体の幅をじゅうぶん小さくしたことと、さらに
、使用する電極形状とほぼ同一の形状の無機圧電体から
作られた複合圧電体を用いて探触子を構成することにあ
る。
以下、本発明の実施例を示す６
第３図は、柱状圧電体３０１の素子幅３０２を充分小さ
くした複合圧電体を用いて多重リング電極３０３，３０
４，３０５を構成した例を示す。
くした複合圧電体を用いて多重リング電極３０３，３０
４，３０５を構成した例を示す。
３０６はポリウレタンなどの樹脂である。素子の対角線
の長さ３０７が電極間距離の長さ３０８゜３０９以下の
複合圧電体を用いることで、第２図２０５のように、１
つの柱状圧電体に２つの電極が同時に形成されることも
なく、また、所定の電極形状に近い電極パターンを形成
することが可能となる。３０２が細かくなけばなるほど
所定の電極形状に近くなるが、複合圧電体の作成が難し
くなる。したがって、どんな複合圧電体を用いるかはこ
れらのかねあいにより決定される。以下、探触子を構成
するには、特願昭５８−２２２０７７などの方法によれ
ばよい、このようにして、複合圧電体を用いて、性能の
良い探触子を構成することが可能となる。
の長さ３０７が電極間距離の長さ３０８゜３０９以下の
複合圧電体を用いることで、第２図２０５のように、１
つの柱状圧電体に２つの電極が同時に形成されることも
なく、また、所定の電極形状に近い電極パターンを形成
することが可能となる。３０２が細かくなけばなるほど
所定の電極形状に近くなるが、複合圧電体の作成が難し
くなる。したがって、どんな複合圧電体を用いるかはこ
れらのかねあいにより決定される。以下、探触子を構成
するには、特願昭５８−２２２０７７などの方法によれ
ばよい、このようにして、複合圧電体を用いて、性能の
良い探触子を構成することが可能となる。
次に、第４図のようにして多重リング探触子を構成する
ことが可能である。まず、形成される分割電極の形状と
ほぼ同一形状の無機圧電体４０１゜４０２．４０３を超
音波加工などにより作る６次にこれらを、基板４０４上
にワックスなどの熱により軟らかくなる樹脂で所定の位
置に仮接着する。
ことが可能である。まず、形成される分割電極の形状と
ほぼ同一形状の無機圧電体４０１゜４０２．４０３を超
音波加工などにより作る６次にこれらを、基板４０４上
にワックスなどの熱により軟らかくなる樹脂で所定の位
置に仮接着する。
このときの無機圧電体間の距離４０５，４０６は３０８
．３０９に対応する。次に、特開昭５８−２１８８３な
どの方法により、これから複合圧電体４０７を作る。４
０８は柱状圧電体、４０９はエポキシ。
．３０９に対応する。次に、特開昭５８−２１８８３な
どの方法により、これから複合圧電体４０７を作る。４
０８は柱状圧電体、４０９はエポキシ。
ポリウレタンなどの樹脂である。次に、導電性接着剤を
スクリーン印刷する方法や、金・クロムなどを蒸着する
方法などにより、電極４１０，４１１゜４１２を形成す
る。以下の探触子の構成は特願昭５８−２２２０７７な
どに準じればよい。また複合圧電体を作るときに端が欠
けやすくなる場合には、（ｂ）のように基板に配列した
後、（ｅ）のように切削性の良い樹脂４１３で固定し複
合圧電体を作ればよい。
スクリーン印刷する方法や、金・クロムなどを蒸着する
方法などにより、電極４１０，４１１゜４１２を形成す
る。以下の探触子の構成は特願昭５８−２２２０７７な
どに準じればよい。また複合圧電体を作るときに端が欠
けやすくなる場合には、（ｂ）のように基板に配列した
後、（ｅ）のように切削性の良い樹脂４１３で固定し複
合圧電体を作ればよい。
さらに、４０９として軟らかいものを用いることで、凹
面、凸面などの多重リング探触子を作ることも可能とな
る。
面、凸面などの多重リング探触子を作ることも可能とな
る。
第４図の構成であれば、第３図のように電極と電極の間
に柱状圧電体が存在することもなく、また３０２を特に
細かくすることもないので、より望しい構成となるが、
第３図のものは第４図よりは筒便な構成である。
に柱状圧電体が存在することもなく、また３０２を特に
細かくすることもないので、より望しい構成となるが、
第３図のものは第４図よりは筒便な構成である。
以上、多重リングの探触子に限って説明したが、これら
の構成は、使用する電極形状が特願昭５８−１９２４１
５のような円や楕円形さらには特開昭５８−２２０４６
のような短冊などの探触子にも適用することが可能であ
る６特に電極形状が短冊である場合、第４図の例のよう
にあらかじめ短冊状の振動子を作った後、ワックスなど
で基板に接着し配列し複合圧電体を作るのではなく、大
きな撮動子を基板に仮接着した後、ダイシングソーなど
で所定間隔で切断し、しかる後複合圧電体を作ることも
可能である。
の構成は、使用する電極形状が特願昭５８−１９２４１
５のような円や楕円形さらには特開昭５８−２２０４６
のような短冊などの探触子にも適用することが可能であ
る６特に電極形状が短冊である場合、第４図の例のよう
にあらかじめ短冊状の振動子を作った後、ワックスなど
で基板に接着し配列し複合圧電体を作るのではなく、大
きな撮動子を基板に仮接着した後、ダイシングソーなど
で所定間隔で切断し、しかる後複合圧電体を作ることも
可能である。
以上のべたように本発明によれば、複合圧電体による性
能の良い超音波探触子を容易に実現することが可能であ
る。
能の良い超音波探触子を容易に実現することが可能であ
る。
第１図は複合圧電体の立体図、第２図は従来の探触子の
平面図、第３図は本発明の一実施例の探触子の平面図、
第４図は本発明の他の実施例の複合圧電体と電極の形成
を示す平面図である。 １０１．４０７・・・複合圧電体、１０２，２０４゜２
０５．３０１，４０８・・・柱状圧電体、１０３゜３０
６．４０９・・・樹脂、２０１，２０２，２０３゜３０
３．３０４，３０５，４１０．．４ 、Ｌ １，４１２
・・・電極、４０１，４０２，４０３・・振動子、３０
２・・・柱状圧電体の幅、３０７・・・柱状圧電体の対
角線の長さ、３０８，３０９，４０５，４０６・・振動
子間距離、４０４・・・基板、４１３・・１妾着剤。 篤１図 第２図 ／ｌ）２ 第 ４ 図 （ＪＬ）
平面図、第３図は本発明の一実施例の探触子の平面図、
第４図は本発明の他の実施例の複合圧電体と電極の形成
を示す平面図である。 １０１．４０７・・・複合圧電体、１０２，２０４゜２
０５．３０１，４０８・・・柱状圧電体、１０３゜３０
６．４０９・・・樹脂、２０１，２０２，２０３゜３０
３．３０４，３０５，４１０．．４ 、Ｌ １，４１２
・・・電極、４０１，４０２，４０３・・振動子、３０
２・・・柱状圧電体の幅、３０７・・・柱状圧電体の対
角線の長さ、３０８，３０９，４０５，４０６・・振動
子間距離、４０４・・・基板、４１３・・１妾着剤。 篤１図 第２図 ／ｌ）２ 第 ４ 図 （ＪＬ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、有機物のシート中に柱状の無機物圧電体が多数うめ
込まれた複合圧電体と、該複合圧電体の両面に設けられ
た電極とを有し、該電極の少なくとも一方は複数に分割
されている超音波探触子において、前記分割された信号
電極の間隙に比較して前記無機圧電体の幅が小さいこと
を特徴とする超音波探触子。 ２、前記複合圧電体は前記電極の外形と同一形状の無機
物圧電体の板に前記分割された電極のパターンに対応し
た分割溝を形成し、さらに圧電体を柱状にするための分
割溝を形成してこれらの溝に有機物を充填して形成され
た複合圧電体であることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の超音波探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19854584A JPS6177497A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | 多重リング探触子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19854584A JPS6177497A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | 多重リング探触子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6177497A true JPS6177497A (ja) | 1986-04-21 |
| JPH0575000B2 JPH0575000B2 (ja) | 1993-10-19 |
Family
ID=16392943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19854584A Granted JPS6177497A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | 多重リング探触子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6177497A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63172600A (ja) * | 1987-01-12 | 1988-07-16 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 多周波型超音波探触子 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6250360B2 (ja) | 2013-10-22 | 2017-12-20 | Ntn株式会社 | ターボチャージャ用軸受装置、およびターボチャージャ用軸受装置の製造方法 |
-
1984
- 1984-09-25 JP JP19854584A patent/JPS6177497A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63172600A (ja) * | 1987-01-12 | 1988-07-16 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 多周波型超音波探触子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0575000B2 (ja) | 1993-10-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |