JPS6177150A - 光学的記録用媒体 - Google Patents

光学的記録用媒体

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JPS6177150A
JPS6177150A JP59198202A JP19820284A JPS6177150A JP S6177150 A JPS6177150 A JP S6177150A JP 59198202 A JP59198202 A JP 59198202A JP 19820284 A JP19820284 A JP 19820284A JP S6177150 A JPS6177150 A JP S6177150A
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JP
Japan
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discharge
tellurium
polymerized film
dialkyl
film
Prior art date
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Application number
JP59198202A
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English (en)
Inventor
Toshihiko Yoshitomi
吉富 敏彦
Yoshimitsu Kobayashi
喜光 小林
Michikazu Horie
通和 堀江
Takanori Tamura
田村 孝憲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Kasei Corp
Original Assignee
Mitsubishi Kasei Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はレーザビームを照射して局部的に加熱し、その
加熱部に穴もしくは凹部又は凸部を形成することによっ
て記録する光字記録用媒体に関するものである。
(従来の技術) 基板上に形成された薄膜にレーザビームを照射して、ピ
ットを形成するようにした光学的記録用媒体として、従
来よりToを使用することが知られている。Teは低融
点、低熱伝導度を有する為に、上記方法による記録にお
いて高い感度を、示す。しかし%weは酸化され易く、
酸化されると透明にな勺記録が出来なくなるという問題
がある。
上記問題点を一改良したものとして、Toを合金化した
もの、Toの低酸化物%To を有機膜中に分散させた
もの等がある(たとえば、特開 ゛昭13−JllQQ
号公報、特開昭3t−31JJt号公報、特開昭57−
913941号公報)。
(発明の目的) 我々は、かかるTe を中心とする系について鋭意検討
した結果、ジアルキルテルル放電重合膜中にTeを分散
させることによシ、感度、経時安定性、ビット形状良好
な記録媒体を得るこ。
とができることを見出し、本発明に到達したものである
(問題点を解決するための手段) 本発明の要旨は、基板と、この基板上に被着されたジア
ルキルテルル放電重合膜とから成り、該放電重合膜中に
はテルル(To)が分散して含有されていることを特徴
とする光学的記録用媒体にある。
以下1本発明の詳細な説明する。
本発明に係る記録用媒体は、たとえばジアルキルテルル
のモノマーガスを導入した真空容器中でグロー放電を行
なうとともに、一方ではTeを蒸発させることにより得
られる。このようにすれば放電重合膜中に非晶質Teが
分散したジアルキルテルル類の放電重合膜が基板上に形
成される。
本発明における放電重合膜を形成するジアルキルテルル
としては%通常ジメチルテルル、ジエチルテルルが用い
られる。
また、該放電重合膜中に分散して含有されるTeの原料
としてはTe、又はTe を含む化合物、たとえばPb
Te 、 MOTe* 、 Tentが用いられ、さら
にBi 、 Be 等を含む化合物を他成分として目的
に応じ加えることもできる。
基板としては、ガラス、アクリル樹脂、ポリカーボネー
ト樹脂等のプラスチック、又はアルミニウム等の金属が
挙げられ、その厚みは一般にt −/、 j 順程度か
ら選ばれる。ジアルキルテルルの放電重合膜形成のため
のグロー放電に際しては、高周波法又は直流法の常法に
よることができ、ラジカル及びイオン種な生成させるこ
とにより、ジアルキルテルルの放電重合膜が形成される
。基板温度は、室温ないし基板の軟化点未満に保持され
る。Toが分散して含有されたジアルキルテルル放電重
合膜の淳みは、通常SOA〜lμ程度、好ましくは一〇
θ〜/、000A程度である。
このようにしてTe を蒸着させると、ジアルキルテル
ルの放電重合膜がTeの活発化点をふさぎ、経時安定性
を増すことができる。ここで上記方法によって得られた
膜に熱処理を施し、結晶化したTeが分散したジアルキ
ルテルルの放電重合膜とすることもできる。
以下、図面を用いて本発明の一例につき、さらに詳細に
説明する。
第1図は本発明の光学的記録用媒体の一例の縦断面図で
ある。図中lはポリメチルメタアクljレ−)(PMM
A)基板、コはTe金含有ジアルキルテルル類電重合膜
である。
本発明に係る記録用媒体は、上記のよ゛うに基板上に上
記放電重合膜を形成させてなるが、第1図における基板
lと重合膜−0間に、記録感度の向上、基板表面の改質
、孔形状の向上等のために、たとえばジアゾ系有機染料
(蒸着)、ジアルキルテルル放電重合膜等を下引層とし
て設けることもでき、さらには、記録媒体の保獲のため
に重合膜コ上にたとえば無定形810□MgF、膜等を
保り膜として設けることもできる。
第2図は本発明に係る光学的記録用媒体を製造するため
の装置の一例を示す説明図であり、図中3は反応容器、
ダはジアルキルテルルガス導入口、夕は基板、6f′i
高周波コイル、りはT。
蒸着用抵抗加熱器、gは膜厚モニター、9はシャッター
、IOは排気口をそれぞれ示す。ジアルキルテルルの放
電重合膜の作製は、反応容器3内の気体を排気口10か
ら排気し、10″″’ Torr台の減圧状態とした後
、ジアルキルテルルガスを導入口ダより導入し、反応容
器Jの内圧なs x io″″’ 〜j X 10−’
 TOrrとなるようくする。
ガス導入後、高周波コイル6に高周波を印加し放電を起
こさせる。これと同時に蒸着用抵抗加熱器りからToを
蒸発させ、安定状態えなった時点でシャッタータを開き
基板よ上にTeを含むジアルキルテルル放電重合膜を形
成する。
Teの蒸発量は膜厚モニターtで監視する。
放電重合膜中のToの含有量FiTeの蒸着速度、ある
いは重合条件を変えることによるジアルキルテルル放電
重合膜の成膜速度の二者のうちいずれかを変えることに
より制御できる。得られた膜が半導体レーザの波長で十
分な吸収を示すように、Te含有1には、t O〜9 
!r vol 9b以上であるのが好ましい。
本発明に係る光学的記録用媒体は、光デイスク記録媒体
として有用であシ、レーザービームを照射して加熱する
ことにより、穴をあけ、もしくは凹又は凸部を形成させ
て、記録を行なうことができる。
(実施例) 以下、実施例により本発明を更に詳しく説明するが1本
発明が以下の実施例に限定されるものでないことけ勿1
のことである。
実施例/ 第一図に示したような装置を用い真空容器を3×10−
・TOrrまで排気した後、ジエチルテルル(Te(C
會Hs)t )ガスを導入し、コイル状の電極(径/1
0朋ダ、3ターン、ピッチ13龍)に/ 3.16 M
H2の高周波電圧を印加してグロー放電を行なった。
ジエチルテルルガス流fltJSCcIrL1カス圧、
tx/(r” Torr 、放電電力ダOWでグロー放
電をおこすと同時に、Te?:抵抗加熱で蒸発させ、T
含有ジエチルテルル重合膜をPMMA基板上に形成させ
た。
Teの蒸着速度なコooX7馴とし、デO秒間成膜する
と約J00λのTe含有ジエチルテルル重合膜が得られ
た。
波長gJOrsm、媒体上りmWの半導体レーザーで記
録すると周辺部に盛り上がシの無いビットが書け、O/
Hの大変良好なものであった。
経時安定性は、Te  単独膜が60℃、SOチRH中
に保存すると1週間で反射率が初期値の734に低下し
たのに対して、上記方法によシ成膜したものは77月で
も反射率低下がみられなかった。
実施例コ 実施例1に従〆い、ジエチルテルルガスitJsccm
、ガス圧r X 10−’Torr 、放電電力100
Wでグロー放電をおこすと同時に% ’re t/蒸着
速度−70A / Hmで70秒間成膜した。PMMA
基板上に約aoohのTe含有ジエチルテルル重合膜が
得られた。
上記方法でPMMA基板上に成膜した光学的記録用媒体
に波長KJOnm、媒体上e myの半導体レーザーを
用いて記録すると、パルス幅g。
naecでふくれの記録が行なえた。
また、経時安定性は%60℃、gO1RH中保存で反射
率は初期値のf7%までしか低下しなかった。
(発明の効果) 本発明に係る記録用媒体は、Teの感度特性を従来と同
等以上に保持しつつ、経時安定性を向上しうる。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明の光学的記録用媒体の一例の縦断面図、
第一図は本発明に係る光学的記録用媒体を製造するため
の装置の一例を示す説明図である。 図中lは基板、コは放電重合膜、3は反応容器、りはジ
アルキルテルルガス導入口、jは基板、6は高周波コイ
ル、りはTo蒸着用抵抗加熱器をそれぞれ示す。 出 願 人  三菱化成工業株式会社 代 理 人  弁理士 長谷用  − (ほか1名) 第1図 第2図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板と、この基板上に被着されたジアルキルテル
    ル放電重合膜とから成り、該放電重合膜中にはテルル(
    Te)が分散して含有されていることを特徴とする光学
    的記録用媒体。
JP59198202A 1984-09-21 1984-09-21 光学的記録用媒体 Pending JPS6177150A (ja)

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JP59198202A JPS6177150A (ja) 1984-09-21 1984-09-21 光学的記録用媒体

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JPS6177150A true JPS6177150A (ja) 1986-04-19

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ID=16387175

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JP59198202A Pending JPS6177150A (ja) 1984-09-21 1984-09-21 光学的記録用媒体

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JP (1) JPS6177150A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62273127A (ja) * 1986-05-21 1987-11-27 Yanmar Diesel Engine Co Ltd 走行車輌の車軸高さ調節装置
JPH02253987A (ja) * 1989-03-29 1990-10-12 Ricoh Co Ltd 情報記録媒体

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62273127A (ja) * 1986-05-21 1987-11-27 Yanmar Diesel Engine Co Ltd 走行車輌の車軸高さ調節装置
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