JPS617542A - マイクロ波イオン源 - Google Patents

マイクロ波イオン源

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Publication number
JPS617542A
JPS617542A JP12744084A JP12744084A JPS617542A JP S617542 A JPS617542 A JP S617542A JP 12744084 A JP12744084 A JP 12744084A JP 12744084 A JP12744084 A JP 12744084A JP S617542 A JPS617542 A JP S617542A
Authority
JP
Japan
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plasma
lines
magnetic force
microwave
ion
Prior art date
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Pending
Application number
JP12744084A
Other languages
English (en)
Inventor
Kuniyuki Sakumichi
訓之 作道
Katsumi Tokikuchi
克己 登木口
Hidemi Koike
英巳 小池
Osami Okada
岡田 修身
Toru Ishitani
亨 石谷
Ichiro Shikamata
鹿又 一郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS617542A publication Critical patent/JPS617542A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00Ion beam tubes
    • H01J27/02Ion sources; Ion guns
    • H01J27/16Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation
    • H01J27/18Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation with an applied axial magnetic field

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はイオン打込機用マイクロ波イオン源に係り、特
にプラズマを効率良く発生させ、高密度にすることによ
り、大電流を引出せるマイクロ波イオン源に関する。
〔発明の背景〕
従来の装置は、特公昭57−11093号公報に記載の
ようにソレノイド゛コイルによって発生する軸対称磁場
を使っている。しかしイオン打込み機用としてはスリッ
ト状の引出し電極を使うため、発生したプラズマ断面の
一部を使うことになり、効率が悪かった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は上記欠点をなくし□、口径の大きいプラ
ズマチャンバで発生させたプラズマの断面を変換するこ
とにより、スリット状の引出し口から効率良くビームを
引出せるマイクロ波イオン源を提供することにある。
〔発明め概要〕
第1図は従来のマイクロ波イオン源を使ったイオン打込
装置を示す。マイクロ波発生器1で発生したマイクロ波
は矩形導波管2を通り、チョークフランジ3を通り、ま
たリッジ導波管を通って放電室6へ導入される。5は真
空封じ用誘電体である。7は放電電極で、これにより放
電箱9番主断面がイオン引出し電極系10と引出しスリ
ットに近い形状の矩形になっている。この空間にはコイ
ル11により磁場がかけられており、この磁場中のマイ
クロ波放電により、放電箱中のガス分子がイオン化され
プラズマを発する。このプラズマから電極系10を通し
て短冊状のイオンビームが引出され質量分離器13によ
り質量分散されたビームはスリット15により特定のイ
オン種のみが選択されて打込み室14中のドラム8にマ
ウントされたウェーハ16に打込まれる。12は真空排
気系である。従来ははじめから断面が矩形になる空間で
プラズマを発生させた。しかし効率良くプラズマ発生さ
せるには円形などの別の断面形状にする方が有効である
。またプラズマは磁力線に沿って動くので、第2図に示
すように磁力線17をプラズマ発生部18からイオン引
出し部19まで非対線にまげることによりプラズマ断面
を変換し、高密度でかつ矩形断面にすることができる。
〔発明の実施例〕 本発明の実施例の一つを第3図に示す。2oはマイクロ
波放電によりプラズマを発生させるための磁場発生用コ
イルで、21は磁力線を非対称にまげるための四重極磁
場を発生するためのコイルである。矢印はそれぞれのコ
イルで発生する磁力線の方向を示す。これらの合成によ
り第2図のような磁力線を作ることができる。これによ
りプラズマ発生部でのプラズマ断面形状22はイオン引
出し部では7のようになる。
第4図は本発明の別の実施例を示すものは、非対称磁場
発生用コイル24とコイル19により、第2図のごとき
磁場を発生できる。これにより、プラズマ発生部での断
面が22′であったものがイオン引出し部では、23′
のようになる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、プラズマの発生を断面の大きな場所で
効率良く行ったあと、イオンを失うことなくその断面形
状を引出し孔形状に近い形に変換できるので、実質的に
引出し孔付近のプラズマ密度を上げることができ、大電
源のイオンビームを引出せる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のマイクロ波イオン源を装備したイオン打
込装置を示す図、第2WIは本発明の詳細な説明する図
、第3図は四重極磁界を用いた本発明の実施例を示す図
、第4図は別の実施例を示す図である。 1・・・マイクロ波発生器、2・・・矩形導波管、3・
・・チョークフランジ、4・・・リッジ導波管、6・・
・放電室。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、マイクロ波発生器、マイクロ波伝送路、直流磁場を
    発生するための電磁石、プラズマを発生するための放電
    箱およびこのプラズマからイオンをビームとして引出す
    ためのレンズ系からなるマイクロ波イオン源において、
    プラズマ発生部からイオン引出し部へ向う磁力線を軸に
    対して非対称に変形させたことを特徴するマイクロ波イ
    オン源。 2、特許請求の範囲第1項記載のマイクロ波イオン源に
    おいて軸対称のコイルと非軸対称のコイルを組合せたこ
    とを特徴とするマイクロ波イオン源。
JP12744084A 1984-06-22 1984-06-22 マイクロ波イオン源 Pending JPS617542A (ja)

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JP12744084A JPS617542A (ja) 1984-06-22 1984-06-22 マイクロ波イオン源

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JP12744084A JPS617542A (ja) 1984-06-22 1984-06-22 マイクロ波イオン源

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JPS617542A true JPS617542A (ja) 1986-01-14

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JP12744084A Pending JPS617542A (ja) 1984-06-22 1984-06-22 マイクロ波イオン源

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JP (1) JPS617542A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63126198A (ja) * 1986-11-17 1988-05-30 日本電信電話株式会社 マイクロ波励起によるプラズマ生成源
JPS63126197A (ja) * 1986-11-17 1988-05-30 日本電信電話株式会社 マイクロ波励起によるプラズマ生成源

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63126198A (ja) * 1986-11-17 1988-05-30 日本電信電話株式会社 マイクロ波励起によるプラズマ生成源
JPS63126197A (ja) * 1986-11-17 1988-05-30 日本電信電話株式会社 マイクロ波励起によるプラズマ生成源

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