JPS6166348U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のＸ−Ｙステージ装置の実施例
を示す図で、第２図ａ，ｂは大気における従来技
術によるＸ−Ｙステージの駆動手段を示す図であ
る。 １……レーザー源、２……レーザービーム、３
……マスク、４……カセツト、５……Ｘステージ
、６……Ｙステージ、７……モーター、８……ボ
ールネジ、９……ナツト、１０……トツププレー
ト、１１……ベースプレート、１２……容器、１
３……ステージ部載置台、１４……支持台、１５
……駆動プレート、１６……固定金具、１７……
伝達軸、１８……シール材、１９……真空用フラ
ンジ、２０……案内機構。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体マスクリペア装置の真空部に用いられる
   Ｘ−Ｙステージにおいて、ベースプレート上に固
   定して設けられた真空容器と、この真空容器内の
   ステージ部載置台上に設けられたＸ−Ｙステージ
   と、この真空容器の一部に形成されたシール材を
   備えた真空用フランジと、この真空用フランジを
   貫通して前記Ｘ−Ｙステージに接続された伝達軸
   と、前記ベースプレート上設けられたモーターに
   より回転駆動を受けるボールねじと、このボール
   ねじに螺合され前記伝達軸に接続された駆動プレ
   ートを備え、前記Ｘ−Ｙステージは外部駆動され
   るモーターにより真空容器内で駆動されるように
   構成したＸ−Ｙステージ。