JPS616621A - 記録媒体を露光する方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、露光方法および露光装置に関するものであシ
、変調器、特に画像発生システムにおいて使用されるビ
ーム変調器の応答特性の変化を補償する方法に関する。

〔従来の技術、および、発明が解決しようとする問題点〕

従来の画像発生システムにおいては、たとえばシアン、
マゼンタ及び黄色を表わす信号を発生するために原画像
が走査され、それらの発生された信号が、走査信号に従
って変調される１本又は複数本の露光ビームを発生する
露光ビームアセンブリに供給される。露光ビームは、感
光シート又はグラビア印刷シリンダなどの記録媒体に入
射する。

中間調（ハーフトーン）画像発生の場合、制御情報は中
間調ドツト情報により変更される。通常、露光ビームの
強さはビーム変調器により制御される。

このような場合に使用される変調器は、変調器を通過す
る放射線の透過率を印加される制御関数に従って制御す
る装置、すなわち、最大値又は最小値を示す制御関数に
対する変調器の応答特性を制御する装置を具備する。以
下、このような変調器を前述の種類”の変調器という。

通常、応答特性はｒＵＪ字形又はｒＶＵ字形であシ、鏝
大値又は最小値に関して対称形であると好都合である。

この場合、「最大値」は最大放射線透過率を意味し、「
最小値」は最小透過率又は消光値を意味する。

前述の種類の代表的なビーム変調器は、印加電圧に応答
する電気光学変調器である。通常、応答特性は龜　形態
を有す石。すなわち、透過光の強さは印加電圧に対して
虐　形態で変化する。

従来の変調器の応答特性は実際には一定ではなく、温度
変化によってかなシ短い時間周期で変化し、ドリフトす
る場合もある。通常のドリフトは数十デルト程度である
。Ｃｒｏｓｆ　ｉｌｄ　Ｍａｇｎａｓｅａｎ６４５シス
テム（商品名）のように、いくつかのそのような変調器
が一体に取付けられる場合、応答特性の約２デルトを越
える変化により、色分解によってはモアレパターンが発
生するおそれがあるので、望ましくない。

このドリフトを補償するための様々の方法が提案されて
いる。米国特許３，５７９，１４５号に記載されるシス
テムにおいては、情報伝達変調信号にパイロット信号が
重畳されている。パイロット信号により結果として発生
される変調は位相検出器で基準信号と比較され、発生さ
れる制御信号は動作点のドリフトを阻止するために使用
される。

上述の米国特許の方法に類似する方法は、ｒ　Ｅｌｅｃ
ｔｒｏｎｉｃ　５ｔａｂｉｌｉｚａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｔ
ｈｅ　ＯｐｅｒａｔｉｎｇＰｏｉｎｔ　ｏｆ　ａｎ　Ｅ
ｌｅｃｔｒｏ−Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｌｉｇｈｔ　Ｍｏｄｕ
ｌａｔｏｒｗｉｔｈ　Ｌｏｗ　Ｃｏｎｔｒｏｌ　Ｖｏｌ
ｔａｇｅｓ　Ｊと題する論文（Ｒａｄｉｏ　Ｅｎｇｉｎ
ｅｅｒｉｎｇ　ａｎｄ　Ｅｌｓｃｔｒｏｎｉｅ　Ｐｈｙ
ｓｉｃｍ。

第１５巻第９号、１６５９〜１６６２Ａ！−ジ）と、ｒ
　Ａｕｔｏｍａｔｉｃ　Ａｄｊｕｓｔｍｅｎｔ　ｏｆ　
ｔｈｅ　Ｐｏ５ｉｔｉｏｎ　ｏｆｔｈｅ　Ｏｐｅｒａｔ
ｉｎｇ　Ｐｏ１ｎｔ　ｏｆ　ａｎ　ｅｌｅｃｔｒｏ−ｏ
ｐｔｉｃａｌｍｏｄｕｌａｔｏｒ　Ｊと題する論文（Ｉ
ｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ　ａｎｄＥｘｐｅｒｉｍｅｎｔａ
ｌ　Ｔｓｃｈｎｉｇｕ＠ｓ　、第２５巻第５号第２部、
１２３１〜１２３３−ｅ−ジ）に掲載されている。

これら全ての方法はリアルタイムで動作する。

これは、情報伝達変調信号をＡルス符号変調（ＰＣＭ）
信号として考えているために可能である。

ＰＣＭの場合、振幅の小さな変化は無関係であるが、ゼ
ロ振幅信号ではなく、低振幅信号が非常に重要であシ且
つ望ましくない画像発生システムにこれらのシステムを
適用することはできない。

〔問題を解決するための手段、および、作用〕本発明の
第１の観点によれば、露光段階において、放射線が前述
の種類の変調器を通過し、記録媒体の放射線による露光
は第１の制御関数を変調器に印加することによ多制御さ
れ、補償段階においては、直流成分と周期的に変化する
成分とを有する試験制御関数が変調器に印加され、変調
器を透過する放射線が監視され、透過放射線の周期的成
分と試験制御関数の周期的に変化する成分との位相関係
が、変調器の応答特性に沿りて試験制御関数の直流成分
の位置を決定するために検出され、応答特性の変化を補
償するために変調器に印加されるべき修正関数が決定さ
れる記録媒体を放射線により露光する方法において、補
償段階は露光段階に先立って実施されることを特徴とす
る方法がが提供される。

従来の変調器の応答特性が画像発生方法において１つの
色分解を露光するための時間に少なくとも相当する比較
的短い周期で適正に一定に保持されることは先に確認し
た通シであシ、従って、露光段階の前に補償段階を実施
することにより十分満足できる結果を得た。

ここで、補償段階において、大きな信号から成る試験制
御関数を使用できるために、電子検出回路がよシ簡単且
つ安価に構成されることはもう１つの利点である。

変調器の応答特性は最大値又は最小値を示すので、透過
ビームの周期的成分と試験制御関数の周期的に変化する
成分との位相関係を監視することにより、直流成分が応
答特性の立下部分にあるか又は立上部分にあるかを決定
することができる。

すなわち、透過放射線の強さの試験制御関数の周期的に
変化する成分に関する変動の状態により、位相関係が決
定される。この方法は、最適の修正関数を決定するため
に１回又は複数回繰返されるのが好ましい。

本発明は、先に概略的に説明した応答特性の変化の問題
を、適切な修正関数を自動的に決定することにより回避
する。修正関数はバイアス関数として変調器に印加され
るのが好ましいが、後続する制御関数と代数的に合計さ
れても良い。

試験制御関数の直流成分は、最大又は最小の放射線透過
を生じさせると予期される値を有することが好適である
。最小放射線透過（消光）の方が修正動作にはよシ重要
であるので好ましい。

電気光学ビーム変調器の場合、試験制御関数と修正関数
は印加電圧である。修正関数はバイアス電圧として印加
されるのが好ましい。

試験制御関数の周期的に変化する成分は矩形波形を有す
るのが好ましい。

複数本の放射線のビームが複数の変調器のそれぞれを通
過するような一実施例においては、補償段階の間に、放
射線のビームを共通の検出器に入射させ、補償段階の各
過程を各変調器について順次実施する過程をさらに含み
、検出器に入射する放射線中の周期的に変化する強さを
有する成分が監視される。

本発明は、いくつかのビーム変調器が並列配置されて、
対応する数の露光ビームを発生する、Ｃｒｏｓｆｉｅｌ
ｄ　Ｍａｇｎａｓｃａｎ　６４５システム（商品名）の
ような画像発生システムに特に適用される。それぞれの
画像が記録媒体上に走査される前に、試験制御関数は各
ビーム変調器に順次印加され、そのビーム変調器に印加
されるバイアス電圧はビーム消光を達成するように調節
されるのが好ましい。

一般に、個々の変調器を透過したビームを識別すること
は不可能であるので、本発明は特にこのシステムに適用
される。試験制御関数を各変調器に順次印加することに
より、合成透過ビーム（６本の副次ビームを含む）の振
動成分の検出に基づいて、その変調器の効果を検出する
ことができる。

本発明の第２の観点によれば、露光システムは、放射線
発生器と、放射線発生器からの放射線が入射する前述の
種類の変調器と、変調器の透過条件を制御する制御手段
であって、露光段階において所定の制御信号に応答し、
露光段階に先立つ補償段階においては、直流成分と周期
的に変化する成分とを有し、変調器に印加される試験制
御関数を発生するものと、変調器を透過する放射線を監
視する監視手段１７と、透過放射線の周期的成分と試験
制御関数の周期的に変化する成分との位相関係を検出し
、変調器の応答特性に沿って試験制御関数の直流成分の
位置を決定する検出手段と、応答特性の変化を補償する
ために変調器に印加されるべき修正関数を決定する計算
手段とを具備する。

本発明のこの面は自動的用途に特に適しておシ、制御手
段と計算手段は適切にプログラムされたマイクロコンピ
ュータを構成すると好適である。

〔実施例〕

以下、添付の図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図に示されるシステムは、ＣｒｏａｆｉｅｌｄＭａ
ｇｎａｓｃａｎ　６４５システムに見られるよう斤従来
の形態の入力スキャナ１を有する。入力スキャナ１の出
力はシアン、マゼンタ、黄色及び黒色などのいくつかの
色分解のそれぞれに対応する制御信号から形成され、制
御信号は６つのレーザービームコンピュータ２に供給さ
れる。各レーザービームコンピュータ２はそれぞれ対応
する増幅器３を介してレーザービーム変調器４を動作さ
せる。このシステムにおいては、並列して配置され、そ
れぞれ対応するレーザービームコンピュータ２に！シ制
御される６つのレーザービーム変調器４が設けられてい
る。レーザービーム変調器４は、親ねじ６に取付けられ
る霧光へ、ド５に取付けられる。

露光ヘッド５は、軸８に関して回転自在であり且つ記録
媒体９を支持するシリンダ７に隣接して配置される。使
用中、シリンダ７が軸８に関して回転する間、親ねじ６
け比較的低速で回転されるので、レーザービーム変調器
４により制御される６本のレーザービームは記録媒体９
の連続する周囲ストリップを露光する。

レーザービーム変調器４は、入力スキャナｌにより走査
される原画像の中間調ドツト表示が記録媒体９にいくつ
かの色分解の形態で発生されるようにレーザービームコ
ンピュータ２により制御され、レーザービーム変調器４
は入力スキャナ１により供給される色密度情報に応答し
て、レーザービームコンピュータ２により供給される中
間調ドツト情報に従って制御される。

通常、レーザービーム変調器４は印加電圧により制御さ
れる電気光学変調器である。代表的なビーム変調器の一
例は米国特許第４，０２５，１８９号に記載されている
。この変調器はＰＬＺＴとして知られる電気光学材料か
ら形成される。

第５図は、代表的ガビーム変調器の印加電圧に対する応
答を示す。グラフかられかるように、変調器の透過率（
Ｔ）は印加電圧（Ｖ）と共に、線１０により示されるよ
うな龜　関数の形で変化する。通常、応答特性の波長は
約６００Ｖであシ、最大透過率と最小透過率との比は２
００：１である。第５図に線１０により示される応答特
性は変化し、場合によっては時間の経過に従いドリフト
する、特に所定の印加電圧（Ｖ）に対して変調器が入射
レーザービームの透過率を著しく異なる値にするほど温
度変化に応答して変化する。このような変化は第５図に
破線１１により示されている。

従って、このような変化を補償しなければならない。従
来、補償は、ビーム変調器の一方の電極にバイアス電圧
を印加し、このバイアス電圧を電位差計により調節する
ことによって達成されていた。

しかしながら、この調節方法は、フィールドエンジニア
がどの程度の調節で十分であるかを判′断する能力に依
存するきわめて主観的なものであり、また、実施するた
めに要する時間も長い。さらに、熟練したフィールドエ
ンジニアであっても、ビーム消光を正確に位置決めする
のは困難である。

第２図は、１つのレーザービーム変調器と共に使用され
る装置の一実施例をさらに詳細に示す。

これをその他の変調器にどのように拡張すれば良いかは
当業者にはすみやかに理解されるでおろう。

１つのビーム変調器４は一対の電極１２．１３により制
御される。変化する制御電圧は増幅器１４（増幅器３の
一部）を介して電極１２に印加される。制御！圧はレー
ザービームコンピータ２（第２図には図示せず）の１つ
から発生され、露光されるべき特定の画素において問題
となる色分解に関する正しい大きさの中間調ドツトを限
定するように変化する。レーザー１５′からのレーザー
ビームは従来のビームスグリツタ（図示せず）によりロ
本の副次ビームに分割されるが、第２図にはそのうち１
本のビーム１５が示されている。ビーム１５はレーザー
ビーム変調器４を通過し、半鍍銀ミラー１６に入射する
。このミラーによりビームの一部が反射されて、記録媒
体９（第２図には図示せず）に向かう。レーザービーム
１５の反射されなかった部分は半鍍銀ばラー１６を通過
し、従来の検出器／交流結合増幅器１７により受取られ
る。この検出器／交流結合増幅器は検出器１７に入射す
るレーザービーム１５の強さを増幅する。

検出器は、Ｎａｔｉｏｎａｌ　Ｓｅｍ１ｃｏｎｄｕｃｔ
ｏｒ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ（ＮＳＣ）ＬＦ　３５６
　（商品名）のような演算増幅器に接続されるＣ＠ｎｔ
ｒｏｎｉｃ　Ｏ２０５０−５（商品名）のようなフォト
ダイオードから構成されれば良い。出力信号は同期復調
器１８に供給される。

電極１２に印加される制御電圧Ｖによりビーム変調器４
０所期の透過率を得るために、電極１３にバイアス電圧
Ｖ＠が印加される。このバイアス電圧（第５図に示す）
は、電極１２に電圧が印加されないときに、ビーム消光
が達成されるように調節される。すなわち、ビーム変調
器４はレーザービーム１５の半鍍銀ミラー１６への透過
を実質的に阻止する。実際には、完全なビーム消光は一
般に達成されないが、誤差の程度はごく小さい。バイア
ス電圧ｖｅは入力スキャナ１０マイクロプロセツサユニ
ツ）（ＭＰＵ）１９の制御の下に印加される。ＭＰＵ　
１９は、増幅器２１を介してバイアス電圧信号を電極１
３に出力するＰｒｅｃｉｓｉｏｎＭｏｎｏｌｉｔｈｉｃ
ｓ　Ｉｎｃ　ＤＡＣＯ８（商品名）のようなデジタル／
アナログ変調器２０にＴｅｘａｓ　７４ＬＳ３７４（商
品名）のようなラッチ（図示せず）を介してデジタル制
御信号を送る６８０９のようなユニットである。

前述のように、また、第５図に示されるように、ビーム
変調器４の応答特性は時間の経過と共に変化し、応答特
性が破線１１により示される位置にドリフトした場合、
電極１３に印加されるバイアス電圧■８が高い透過率（
Ｔ′）に対応するようになることは第５図から明らかで
ある。従って、バイアス電圧を新しい値ｖ８　　に調節
しなければならな〜＼。

この調節を自動的に達成するために、スイッチ２３を介
して方形波電圧信号を増幅器１４の入力端子に供給する
方形波発生器２２が設けられる。

方形波発生器２２は５ｔａｎｄａｒｄ　Ｍｌｃｒｏｓｙ
ｉｔｅｍｓＣｏｒｐｎ　ＣＯＭ　８１１６　（商品名）
に接続される５ＭＨｚの水晶により構成され得る。方形
波発生器２２により発生される方形波を第４図体）に示
す。

この方形波はノイズの問題をできる限シ少なくするため
に比較的広い範囲にわたって変化するのが好ましい。バ
イアス電圧の調節を決定すべきときに方形波信号は、Ｍ
ＰＵ　１９によるスイッチ２３の閉成に応答して、レー
ザービームコンピュータ２により発生されるビーム消光
に対応する電圧信号と共に増幅器１４に供給され、それ
により、電極１２に印加される電圧はビーム消光値に関
して方形波形を描いて振動する。その結果、ビーム変調
器４を介して伝達されるレーザービーム１５の強さも、
一般に方形波形を描いて振動する。（変調器が正確にビ
ーム消光値でバイアスされたときには振動は起こらない
。）たとえば、バイアス電圧Ｖｅが既に電極１３に印加
されていると仮定すれば、方形波電圧によって電極１２
と電極１３との総電位差はＶムからＶＢへ変化する（第
５図に示す）。

その結果、レーザービーム１５の強さは２つの値ＴＡ及
びＴＢの値で変化する。しかしながら、前述のように、
ある特定の透過率値に対して、ビーム変調器４に印加さ
れうる電位差は少なくとも２つ考先られ、この透過率の
変化は孤とｖ％との間で変化する総電位差に対応するこ
とになる。本発明によれば、検出されるレーザービーム
の強さの変化は印加電位が応答特性のどの部分に位置す
るかに従って逆の方向となるので、これら２つの可能性
を識別することができる。

この識別を達成するために、増幅器１４に印加される方
形波は回路にも印加され、レーザービーム１５は第４図
（Ｂ）に示されるように■ムとｖＢとの間で変化する認
印加電位差に対応して方形波と同相で変化するか、又は
第４図（切に示されるように■−とｖｔとの間で変化す
る印加電位差に対応して位相ずれ状態で変化する。

同期復調器１８は第３図にさらに詳細に示され、従来の
集積スイッチ２４を含む。集積スイッチの位置は、方形
波発生器２２により信号線２２′に沿って供給される方
形波により制御される。検出器１７からの方形波信号は
増幅器１８　Ａ　（ＮＳＣＬＭ３４８など）を介して演
算増幅器２６　（ＮＳＣＬＭ３４８など）の反転入力端
子２５に供給されると共に、集積スイッチ２４を介して
演算増幅器２６の非反転入力端子２７に供給される。演
算増幅器は単位利得を有し、集積スイッチ２４の位置に
従ってインバータ又は非インバータとして動作する。

演算増幅器２６からの出力は増幅器（ＮＳＣＬＭ３４８
など）を含む低域フィルタ２８を介して比較器２９の一
方の入力端子に供給される。比較器２９の他方の入力端
子は接地電位に保持される。比較器２９はＮＳＣＬＭ３
１１Ｎから構成されれば良い。

こごでは、説明のために、検出器１７の出力信号は増幅
器１８Ａの出力が＋５デルトと一５デルトとの間で変化
するようなものであると仮定する。

集積スイッチ２４が閉成されると、演算増幅器２６及び
関連する抵抗器は非反転単位利得増幅器として動作し、
集積スイッチ°２４が開いているときには、演算増幅器
２６は単位利得インバータとして動作する。信号線２２
′の方形波が第４図（Ｂ）に示されるように増幅器１８
Ａからの信号と同相である場合、信号の正の半分は反転
されるが、負の半分は反転されないので、演算増幅器２
６からの信号は一５？ルトで安定する。これに対し、信
号線２２′の方形波が第４図（Ｃ）　Ｋ示されるように
増幅器１８Ａからの信号と逆位相であれば、全く逆の現
象が起こシ、演算増幅器２６からの信号は＋５デルトで
安定する。出力信号は、集積スイッチ２４及び演算増幅
器２６のノイズと限定されたスイッチング時間を処理す
るために低域フィルタ２８を介して供給され、次に、欠
陥のないスイッチング信号を提供干るために比較器２９
に供給される。

同期復調器１８の出力はＭＰＵ　１９に供給される。

ＭＰＵ　１９は、同期復調器１８から受信される印加電
圧の符号から、それがビーム消光値の左側にあるか又は
右側にあるか（第５図に示す）を簡単に決定することが
できる。次に、ＭＰＵ１９は印加されるバイアス電圧を
ビーム消光値に向かう方向に調節し、その後、この動作
が繰返される。通常、ＭＰＵ１９は連続近似プロセスを
使用してバイアス電圧を変更し、それぞれ連続する調節
値は先の調節値より小さく、一般にその二分の−である
。１回の試験で、８回まで調節することができる。

本発明の主な利点の１つは、６つのビーム変調器が設け
−られるので、それらの応答特性を個々に正確に調節で
きることである。この利点は、ビーム変調器４を同時に
透過する個々のレーザービームを識別するために検出器
を利用することができないにもかかわらず得られる。し
かしながら、ＭＰＵ　１９が方形波変調制御電圧を一度
に唯一つのビーム変調器に印加させるならば、この変調
強さは検出器１７により検出可能でｓｂ、試験中のビー
ム変調器のみに関連することは明らかである。

通常、ＭＰＵ１９は、２０分以下の発生時間を要するあ
る特定の画偉の全ての色分解が発生されるとき、露光段
階の直前に適切な調節を実行することができる。試験手
順又は補償段階自体が要する時間はごく短い（約５秒）
。

ビーム消光値ではなく、最大ビーム透過値において装置
を使用することもできるのは当業者には容易に理解され
るであろう。

第６図は、装置の第２の実施例を示す。一対の電気光学
変調器４，４′はそれぞれ対応する対の電極１２，１３
：１２’１１３’により制御される。レーザービームコ
ンピュータ２は一対のＤ／Ａ変換器１１４．１１４’に
個々の制御信号を印加し、Ｄ／Ａ変換変換上器応するア
ナログ電圧信号を増幅器１１５゜１１５’（増幅器３の
一部）を介して電極１２．１２’にそれぞれ供給する。

レーザービームコンピ−タ２からの制御信号は、露光さ
れるべき特定の画素において問題となる色分解に関する
正しい太きさのハーフトーンドツトを限定するように変
化する。

レーザービームは従来のビームスグリ、り（図示せず）
により６本の副次ビームに分割される。

第６図には、そのうち２本のビーム１１６．１１６’が
示されている。レーザービーム１１６．ｉ１６’はそれ
ぞれ対応するビーム変調器を通過し、半鍍銀ばラー１１
７に入射する。ビームの一部はこのばラーにより反射さ
れて、記録媒体９（第６図には図示せず）に向かう。レ
ーザービーム１１６゜１１６′の反射されなかった部分
は半鍍銀ミラー１１７を通過し、共通の光検出器１１８
により受取られる。光検出器１１８の出力は、この検出
器１１８により受取られる強さに比例する信号であり、
従来の形態の同期復調器１１９に供給される。

マイクロコンビーータ１２０は一対のＤ／Ａ変換器１２
１．１２１’にデジタルバイアス信号を供給するために
設けられる。Ｄ／Ａ変換器１２１．１２１’のアナログ
出力は、電極１３．１３’に供給されるバイアス電圧で
ある。さらに、マイクロコンピュータ・１２０はＤ／Ａ
変換器１１４，１１４’に供給されるデジタル試験制御
関数（以下に説明する）を発生するａマイクロコンピュ
ータ１２０により、スイッチ１２２，１２２’はマイク
ロコンビ、−タの出力をＤ／Ａ変換器１１４，１１４’
に選択的に接続する。

まず最初に、電極１３．１３’に印加されるべきバイア
ス電圧が決定される。これは手動操作によって行なうこ
ともできるが、マイクロコンピュータ１２０の制御の下
に達成されるのが好ましい。

マイクロコンピュータ１２０は、一定速度で振動される
一対のデジタル値を受取るために、それぞれのＤ／Ａ変
換器１１４　、１１４’をマイクロコンビーータに接続
するようにスイッチ１２２．１２２’の一方を動作させ
る。これらのデジタル値は、ビーム消光値を表わすそれ
ぞれのレーザービームコンピュータ２からの信号に重畳
され、それにより、それぞれのビーム変調器４．４′を
透過するビームの強さが振動される。マイクロコンピュ
ータ１２０から振動するデジタル信号を受信する同期復
調器１１９は、マイクロコンピュータ１２０により検出
される連続直流電圧信号である出力を提供する。

この電圧信号の符号は、それぞれのビーム変調器に印加
される電圧がビーム消光値の左側にあるか又は右側にあ
るかを指示し、電極１３　、１３’に印加されるバイア
ス電圧は、前述の実施例の場合と同様にビーム消光値が
達成されるまで調節される。

同様に、最大ビーム透過値に対応する電圧を決定するこ
ともできるであろう。これを自動的に実行するために、
マイクロコンピュータ１２０は、一定の速度で振動され
る一対のデジタル値を受取るためにそれぞれのＤ／Ａ変
換器１１４，１１４’をマイクロコンピュータに接続す
るようにスイッチ１２２．１２２’の一方を動作させる
。これらのデジタル値は、最大ビーム透過値を表わすそ
れぞれのレーザービームコンピュータ２からの信号に重
畳され、それにより、それぞれのビーム変調器４゜４′
を透過するビームの強さが振動される。マイクロコンピ
ュータ１２０から振動するデジタル信号を受信する同期
復調器１１９は、マイクロコンピュータ１２０により検
出される連続直流電圧信号である出力を提供する。この
電圧信号の符号は、それぞれのビーム変調器に印加され
る電圧が可能な最大透過値の左側にあるか又は右側にあ
るかを指示し、レーザービームコンピュータ２からの信
号について対応する調節が実行される。

Ｃ発明の効果〕 以上に述べたように、本発明によれば、露光段階の前に
補償段階を実施することにより、従来において１つの色
分解を露光するための時間に少なくとも相当する比較的
短い周期で適正に一定に保持され、十分満足できる結果
が得られる。また、補償段階において、大きな信号から
成る試験制御関数を使用できるために、電子検出回路が
よシ簡単且つ安価に構成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による画像発成システムのブロック線
図、 第２図は、露光システムの一実施例のプロック回路図、 第３図は、第２図に示される同期復調器をさらに詳細に
示す図、 第４図体から第４図（Ｃ’）は、試験制御電圧の周期的
成分の波形と２つの異なる検出強さに対応する波形とを
示す図、 第５図は、ビーム変調器の応答特性を示す図。 及び 第６図は、第２の実施例を示す第２図と同様のブロック
回路図である。 ４・・・レーザービーム変調器、９・・・記録媒体、１
５′・・・レーザー、１７・・・検出器／交流結合増幅
器、１８・・・同期復調器、１９・・・マイクロプロセ
ッサユニッ　ト　（ＭＰＵ　　）　。 以下余白

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、露光段階において、放射線が変調器（４）を通過し
   、記録媒体（９）の放射線による露光は第１の制御関数
   を変調器に印加することにより制御され、補償段階にお
   いては、直流成分と周期的に変化する成分とを有する試
   験制御関数が変調器に印加され、変調器を透過する放射
   線は監視され、透過放射線の周期的成分と試験制御関数
   の周期的に変化する成分との位置関係は、変調器の応答
   特性に沿って試験制御関数の直流成分の位置を決定する
   ために検出され、応答特性の変化を補償するために変調
   器に印加されるべき修正関数が決定される記録媒体（９
   ）を放射線により露光する方法において、補償段階は露
   光段階に先立って実施されることを特徴とする方法。 ２、修正関数はバイアス関数として変調器（４）に印加
   される特許請求の範囲第１項記載の方法。 ３、試験制御関数の直流成分は、最大又は最小の放射線
   透過を生じさせると予期される値を有する特許請求の範
   囲第１項又は第２項記載の方法。 ４、試験制御関数の周期的に変化する成分は方形波形を
   有する特許請求の範囲第１項から第３項のいずれかに記
   載の方法。 ５、複数本の放射線のビームが複数の変調器（４）のそ
   れぞれを通過し、該方法は、補償段階において、放射線
   のビームを共通の検出器（１７）に入射させ、補償段階
   の各過程を各変調器について順次実施する過程をさらに
   含み、検出器に入射する放射線中の周期的に変化する強
   さを有する成分が監視される特許請求の範囲第１項から
   第４項のいずれかに記載の方法。 ６、放射線は光学的放射線である特許請求の範囲第１項
   から第５項のいずれかに記載の方法。 ７、放射線発生器（１５′）と、放射線発生器からの放
   射線が入射する変調器（４）と、変調器の透過条件を制
   御する制御手段（１９）であって、露光段階において所
   定の制御信号に応答し、露光段階に先立つ補償段階にお
   いては、直流成分と周期的に変化する成分とを有し、変
   調器に印加される試験制御関数を発生するものと、変調
   器を透過する放射線を監視する監視手段（１７）と、透
   過放射線の周期的成分と試験制御関数の周期的に変化す
   る成分との位相関係を検出し、変調器の応答特性に沿っ
   て試験制御関数の直流成分の位置を決定する検出手段（
   １８）と、応答特性の変化を補償するために変調器に印
   加されるべき修正関数を決定する計算手段（１９）とを
   具備する露光装置。 ８、複数のビーム変調器（４）と、補償段階においてビ
   ーム変調器からのビームが入射する共通の検出器（１７
   ）とを有する特許請求の範囲第７項記載の露光装置。