JPS6165499A - 炭化珪素質焼結体の電磁波シ−ルド材 - Google Patents

炭化珪素質焼結体の電磁波シ−ルド材

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JPS6165499A
JPS6165499A JP59186966A JP18696684A JPS6165499A JP S6165499 A JPS6165499 A JP S6165499A JP 59186966 A JP59186966 A JP 59186966A JP 18696684 A JP18696684 A JP 18696684A JP S6165499 A JPS6165499 A JP S6165499A
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JP
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silicon carbide
shielding material
sintered body
electromagnetic wave
carbide sintered
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小林 次夫
輝代隆 塚田
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Ibiden Co Ltd
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Ibiden Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は主としてフンビニ−ター機器から発生する低周
波ノイズの吸収特性を有する炭化珪累焼結体から構成さ
れる筐体形態の電磁波シールド材に関する。
C−MOSなどのIC半導体を搭載したコンピューター
機器から発生するノイズは、1〜500 MHz程度と
いわれており、なかでもパーソナルコンピューターは3
0〜200MHzの低周波領域のノイズを多く発生する
ことが知られているが、本発明はこれらの電子部品等の
シールド効果を有する炭化珪素質焼結体から構成される
筐体の電磁波シーIレド材を提供するものである。
〔従来の技術〕
従来、電磁波シールド材としては、例えば(イ)特開昭
58−66399号公報、(ロ)特開昭58−6640
0号公報及び(ハ)特開昭58−4 (166S号公報
及びに)特開昭59−27596号公報に開示されてい
る。
前記(イ)は、炭化珪素を主成分とする中間ノー又は炭
化珪素と炭素とを主成分とする中間、りを有し、表層及
び裏層が合成樹脂層であることを特徴とするシールド用
シート材に関するものである。
前記(ロ)は、炭化珪素粉末を主成分とするシールド層
又は炭化珪素粉末と炭素粉末とが主として混在するシー
ルド層を有する筐体に関するものである。
また前記e引;、70重量%以上の炭化珪素を含有して
なる誘電加熱用セラミック体に関するものである。
そして前記に)は、比抵抗1オーム・α以上を有する緻
密實炭化珪素よりなることを特徴とするマイクロ波吸収
体に関するものである。
〔発明が解決しようとする問題点〕
前記(イ)及び(C?)の従来技術は、炭化珪素の半導
体としての性質、また機械的には高強度でかつ硬質であ
り、電気的Iζは電磁波吸収特性のある特徴を利用して
いるが、前記シート材又は筐体には合成樹脂が多量に使
用さnているため熱伝導性が低(半導体等の電子部品に
蓄熱する熱を容易に放散することができず半導体などの
故障の原因となり、またtf4s耗性や機械的強度もセ
ラミックや金属に比べて劣るため耐久性に乏しい欠点が
ある。
一方前記?埼及びに)の従来技術は、炭化珪素焼結体か
ら成ろ誘9加熱用セラミック体であるため熱伝導率、曲
げ強度が大きく、さらには熱膨張係数が小さいので、耐
i!11衝撃性がきわめて大きく急加熱、急冷却に対し
てもクラックが発生するおそれがない特徴を利用してい
るが、使用目的が誘電加熱用又は高周波の吸収体に関す
るものであり、例えば家庭等で使用される調理用電子レ
ンジで発振周波数が2450MHz以上の高周波領域で
主として使用されろ炭化珪素質焼結体、すなわち炭化珪
素を主成分とするセラミック焼結体であって、炭化珪素
の含有率を種々員にして誘導加熱されろ場合の発熱効率
(熱変換効率)を変化させろことを特徴とするものであ
る。
本発明は前記従来技術(イ)及びC口)の欠点を解消し
、さら$こ従来技術H及びに)では解決されていない低
周波領域における電磁波吸収特性を高め、特に1〜50
0 MHzのフンビューターICから発生するノイズの
シールド効果を向上させることを主目的とし、前記特許
請求の範囲記社の電磁波シールド材を提供することによ
って、前記目的を達成するものである。
〔問題点を解決するための手段およびその作用〕以下、
本発明の電磁波シールド材を炭化珪素質焼結体の特性並
びにその特性を表示するグラフ図面に基づいて具体的シ
ζ説明する。
第1図は、炭化珪素質焼結体からなる本発明の電磁波シ
ールド材(イ)の周波特性と比較例である導1!ffm
11+(ロ)又はプラスチック成形品f埼から成る電磁
波シールド材の周波特性を示すグラフである。
第1図から明らかなように本発明の電磁波シールド材(
イ)は特に低周波領域である1〜500MHzにおいて
吸収特性がよく、特に10〜100M[七では40dB
以上の電磁波吸収特性を示していることが判る。その理
由としては、本発明のシールド材はにβ型結晶を主体と
して構成されており、特にβ型結晶が65”iii%以
上含有されていることから、従来技術f埼及びに)の炭
化珪素焼結体とは異なり、例えば結晶の短軸と長袖との
比であろアスペクト比が′m密度との関連で任意に変斐
し得るからであると考えられる。このこと(;、第2図
番ζ示す本発明の炭化珪素質焼結体のシールドにおいて
、比較的高密度である理論vI!度95%TDの焼結体
囚と比較的低密度である理論密度86%TDの焼結体■
との周波特性が相違することとも関連する。それは。
β型結晶が65重鴛%以上含有さnろ炭化珪素1s焼結
体jζあっては、嵩密度が小さくなれば7スベクト比は
大きくなる性質を有するからであると考えられる。
し1こがって、本発明によれば炭化珪素質焼結体は少く
ともβ型結晶を少なくとも65MQ%以上。
91m好ましくは80]Jt%以上含有していることが
好適である。そして5本発明のシールド材は、理論密度
が20〜95%TDであって多孔質のものから高密度の
緻密Hのものまで広範囲の嵩比度の炭化理素買焼結体で
あって、熱伝導率が高いものである。その理由は、本発
明のシールド材は第1図で示したような低周波領域にお
いて特に優れた電磁波吸収特性を有する炭化珪素を主成
分とするセラミックス焼結体により嘴成された筐体であ
るため、ノイズの発生源であろC−MOSなどのIC半
導体を2体で被覆しておくことにより、半導体から発生
する熱を効率よく放散することができろと共に電磁波吸
収特性によって電磁波のシールド効果をより完全なもの
とすることができるからである。
なお、本発明のシーA/ド材は特に10〜100■七の
如き低周波領域において便れた1を磁波吸収特注を有す
るものであるが、第1囚に示した比較例としての導電性
塗料(ロ)又は導電性プラスチック成形品ρ→の如き2
00 MHz以上の比較的高い周波数の領域1こおいて
もT!i磁波吸収特性を有するシールド材との組み合せ
によるV体を形成することにより比較的高周波領域にお
けろ電磁波シールド材としてもその応用範囲を拡大する
ことができろ、また、罰記導′jI!、塗料(ロ)又は
導電性プラスチック成形品e918開昭61−千関桝に
3) の中にli電磁波吸収特性優れた炭化珪素微粉末を充填
材として混入した電磁波シールド材と本発明の炭化珪素
質焼結体のシールド材との組み合せからなる筐体を形成
するこきもできる。
次に本発明の最も代表的な実施例1ζついて説明する。
〔実施例!〕
出発原料として特開昭52−142697号に開示され
た主としてβ型結晶よりなる炭化珪素微粉を94Mkk
%含有する生成形体を焼成し、理論密度9796TDの
炭化珪素質焼結体を得た。この焼結体の平均アスペクト
比は短Mlに対し長袖がt4のものであった。そしてこ
の焼結体を板厚4ffの板状物に加工し、tso顛×4
5鰭と45MX80鱈の板状物をそれぞれ使用して筐体
を形成し、C−MOSのICのシールド材に供した。そ
の周波特性の!果は、第2図のに)lζ示す通りの6の
であった。
〔実施例2〕 出発原料は実施例1と同様のβ型結晶よりなろ炭化珪素
微粉末を85重量%含有する生成形体を焼成し、理論密
度86%TDの炭化珪素質焼結体を得た。
この焼結体の平均アスペクト比は短軸1に対し長・  
軸が29のものであった。
そしてこの焼結体を実施例1と同様に加工して筐体全形
成し、C−MOSのICのシールド材に供した。そ■ の周波特性の結果は、第2因の0に示す通りのものであ
った。
〔発明の効果〕
以上のように、本発明によれば特に1〜5Q OMHz
の如き低周波領域において優れた電磁波吸収特性と熱放
散性を有するシールド材を提供することができ、さらに
は一定の密度範囲の炭化珪素質焼結体とすることにより
′RL磁波の反射特性も付与し、さらにまた比較的高周
波領域においても優れた電磁波吸収特注を有する導電性
プラスチック又は金属などを多孔笛の炭化珪素質焼結体
に含浸させろことなどにより、低周波に限定されること
なく広範囲のノイズのシールド効果を向上させろことが
できろ。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のシールド材(イ)と比較例の導電性塗
料(ロ)又はプラスチック成形品(ハ)のシールド材の
周波特性を示すグラフ、第2因は本発明の高密度炭化珪
素焼結体(5)と低密度炭化珪素焼結体のとの周波特性
を示すグラフである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、低周波領域における電磁波吸収特性を有する炭化珪
    素を主成分とするセラミックス焼結体により構成された
    筐体の炭化珪素質焼結体の電磁波シールド材。 2、前記低周波領域は主として1〜500MHzの周波
    領域であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    のシールド材。 3、前記炭化珪素質焼結体は理論密度が20〜95%T
    Dであって多孔質ないし澱密質のものであることを特徴
    とする特許請求の範囲第1項記載のシールド材。 4、前記炭化珪素質焼結体はβ型結晶が少なくとも65
    重量%以上含有されたものであって、アスペクト比が2
    〜50であることを特徴とする特許請求の範囲第1項〜
    第3項記載のシールド材。
JP59186966A 1984-09-06 1984-09-06 炭化珪素質焼結体の電磁波シ−ルド材 Granted JPS6165499A (ja)

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Cited By (5)

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JPH01163994A (ja) * 1987-12-21 1989-06-28 Yoshiyuki Naito 線路用妨害波吸収体
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