JPS6162803A - 電気抵抗伸長測定条片 - Google Patents

電気抵抗伸長測定条片

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Publication number
JPS6162803A
JPS6162803A JP60183171A JP18317185A JPS6162803A JP S6162803 A JPS6162803 A JP S6162803A JP 60183171 A JP60183171 A JP 60183171A JP 18317185 A JP18317185 A JP 18317185A JP S6162803 A JPS6162803 A JP S6162803A
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JP
Japan
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layer
support
electrical resistance
insulating layer
strip according
Prior art date
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Pending
Application number
JP60183171A
Other languages
English (en)
Inventor
ヴオルフガング・アダミツキー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mannesmann VDO AG
Original Assignee
Mannesmann VDO AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Mannesmann VDO AG filed Critical Mannesmann VDO AG
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Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/16—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge
    • G01B7/18—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge using change in resistance
    • G01B7/20—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge using change in resistance formed by printed-circuit technique
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/2287—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges constructional details of the strain gauges
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C10/00—Adjustable resistors
    • H01C10/10—Adjustable resistors adjustable by mechanical pressure or force
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
    • H01C7/006—Thin film resistors

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、支持体上に設けられた金属抵抗層及びこれに
結合した接触層を有する電気抵抗伸長測定条片に関する
。
従来の技術 伸長測定条片として使用するか＼る抵抗器では、金属抵
抗層を支持体上に設けることは公知である。これによつ
て、ｋ係数最大約５を有する伸長測定条片の感度を得る
ことができる。
しかしながら、この大きさのに１糸数を有する伸長測定
条片は、これに接続した測定装置では大きい費用を必要
とする。更に測定の大きい解明は不可能である。
それ数本発明の課題は、支持体上に設けられた金属抵抗
層及びこれに結合した接触層を有し、大きい感度を有す
る電気抵抗伸長測定条片を得ることで・ある。
この課題は、支持体上に重なり合つて存在する多くの金
属抵抗層を設け、これらの間にそれぞれ部分的伝導性絶
縁層を配置することによって解決される。この場合部分
的伝導性は、例・ヒは絶縁層の極め℃わずかな厚さか又
は意識して許容される不純物によっ℃倚ることができる
。
これは、抵抗層の反対１１１すの電気的作用ｔもたらし
、これ（（より層の故（／Ｃよって５を越えて１０〜１
５丑でのに糸数の増大が得られる。
支持体から発し得る侵害〕ｋ避けるためには、これが例
えば云専住の場合（□・こは、支持体とこれに最も近い
金属抵抗層との間に絶縁層が配置されていてもよい。
負の彫物、例えば腐食は、支持体に峡も遠ざかった金属
抵抗層で、この層か支持体の反対１則で・オ色縁層によ
って被覆され又いることに、Ｊ二つ℃避けることができ
る。
温度約１５０°Ｃ′！、でのわずかな温度の従属ｉ生は
、金属抵抗層がクロム層又はクロム含有層であると得ら
れる。
絶縁層として特に適当なのは、珪素層又は珪素な重層、
例えば−酸化珪素又は二酸化珪素かうなる層である。
十分なばんだ汀は能力を得るためには、接触層は、好ま
しくは銅層である。
抵抗層及び／又は絶縁層及び／又は接触層を設ける特に
適当な方法は、スパッター及び蒸着である。
実施例 図面におい℃、抵抗伸長１ｆ１１１定条片は支持体１を
有し、これは例えばガラスからなっていてもよい。この
支持体１上にサンドインチ状に第１の絶縁層２、第１の
抵抗層３、第２の絶縁Ｊ′＠４、第２の抵抗層５及び第
６の絶縁層６が、例えばスパッターｉ（よつ℃設げられ
℃いる。
第３の絶縁層６の両端にはその上に接触層７が設けられ
ており、これははんだ継手として抵抗伸長測定条片を測
定結線に接続するのに役ｑつ。
絶縁層と抵抗層との交互の鋏を、ｋ係数を高めるために
なお大きくすることができる。
この場合には抵抗層はクロムからなっているが、絶縁層
は一酸化珪素又１・ま二酸化珪素か０なつ石い℃も、よ
い。
接触層１は、絶縁層６上に設けられたクロム、層７ａと
この」二に設（・すもれたｑｔ１１層７ｂとからなつ℃
いる。
【図面の簡単な説明】
図面は本゛発明による゛電気抵抗伸長測定条片の縦断面
図である。 １・・・支持体、２・・・絶縁層、３・・・金属抵抗層
、４　・・・絶縁層、　　５　・・金属韮段ｊ九層、　
　６　　絶ｌ蓑層、　　７・　・　接乃虫　層

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、支持体上に設けられた金属抵抗層及びこれに結合し
    た接触層を有する電気抵抗伸長測定条片において、支持
    体（１）上に重なり合つて存在する多くの金属抵抗層（
    ３、５）が設けられており、これらの間にそれぞれ部分
    的伝導性絶縁層（４）が配置されている電気抵抗伸長測
    定条片。 ２、支持体（１）とこれに最も近い金属抵抗層（３）と
    の間に絶縁層（２）が設けられている、特許請求の範囲
    第１項記載の電気抵抗伸長測定条片。 ３、支持体（１）に最も遠ざかつた金属抵抗層（５）は
    、支持体（１）の反対側で絶縁層 （６）によつて被覆されている、特許請求の範囲第１項
    又は第２項記載の電気抵抗伸長測定条片。 ４、金属抵抗層（３、５）はクロム層又はクロム含有層
    である、特許請求の範囲第１項から第３項までのいずれ
    か１項記載の電気抵抗伸長測定条片。 ５、絶縁層（２、４、６）は珪素層又は珪素含有層であ
    る、特許請求の範囲第１項から第４項までのいずれか１
    項記載の電気抵抗伸長測定条片。 ６、接触層（７）は銅層である、特許請求の範囲第１項
    から第５項までのいずれか１項記載の電気抵抗伸長測定
    条片。 ７、抵抗層（３、５）及び／又は絶縁層（２、４、６）
    及び／又は接触層（７）はスパッターによつて設けられ
    ている、特許請求の範囲第１項から第６項までのいずれ
    か１項記載の電気抵抗伸長測定条片。 ８、抵抗層（３、５）及び／又は絶縁層（２、４、６）
    及び／又は接触層（７）は蒸着している、特許請求の範
    囲第１項から第６項までのいずれか１項記載の電気抵抗
    伸長測定条片。
JP60183171A 1984-08-24 1985-08-22 電気抵抗伸長測定条片 Pending JPS6162803A (ja)

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DE3431114.9 1984-08-24
DE3431114A DE3431114A1 (de) 1984-08-24 1984-08-24 Elektrischer widerstand

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JPS6162803A true JPS6162803A (ja) 1986-03-31

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ID=6243758

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EP (1) EP0172943B1 (ja)
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EP0172943A1 (de) 1986-03-05
US4785275A (en) 1988-11-15
DE3431114A1 (de) 1986-03-06
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EP0172943B1 (de) 1989-03-01

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