JPS6161511A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS6161511A JPS6161511A JP18261184A JP18261184A JPS6161511A JP S6161511 A JPS6161511 A JP S6161511A JP 18261184 A JP18261184 A JP 18261184A JP 18261184 A JP18261184 A JP 18261184A JP S6161511 A JPS6161511 A JP S6161511A
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- JP
- Japan
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- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- electrodes
- input
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02874—Means for compensation or elimination of undesirable effects of direct coupling between input and output transducers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、圧電性基板上に複数個の入力および出力電極
とシールド用の電極′を形成して成る弾性表面波装置に
関する。
とシールド用の電極′を形成して成る弾性表面波装置に
関する。
弾性表面波装置の新電極構成については、電子通信学会
超音波研究会資料ｕｓｉ３ｓ−ｓ７により“衛星放送受
信機用４００ＭＨｚ帯無調整ＳＡＷフィルタ”と題して
述べており、特に高周波での不要波抑圧に有効である事
がうかがえる。ここで高周波で用いる弾性表面波装置に
おいては、入出力電極間の直接電磁結合、いわゆる直達
波を抑圧する事が特に重要である。この直達波の抑圧手
段として入出力電極間に弾性表面波装置のアース部分と
直流的に短絡されたシールド電極を用いる事が良く知ら
れている。さらにこのシールド電極での弾性表面波の反
射波が入力電極および出力電極に入り込むのを防ぐため
にシールド電極に角度を持たせたもの（米国特許第３５
７３６７３）が有る。この方法における直達波抑圧を先
に示した新電極溝底に適用する場合、弾性表面波の発生
しない、いわゆる電極の非交差部分にもある角度を持つ
シールド電極を用いるために、入出力間距離が大きくな
り基板面積を多（必要とする。又シールド電極に角度を
持、 ｆｓ″：、ｓｍｅ・’／−ｋｂ”を極０
上下７１”９３７する入出力電極間に近い方の直角部ま
たは鋭角部分と入出力電極部分の間において、弾性表面
波装置の作成工程における温度変化から焦電効果を生じ
、この間に電位差が生じる。このため電極部分にゴミが
付着したり、最悪の場合には電位差による放電から微細
な電極部分に欠陥が発生する事もある。
超音波研究会資料ｕｓｉ３ｓ−ｓ７により“衛星放送受
信機用４００ＭＨｚ帯無調整ＳＡＷフィルタ”と題して
述べており、特に高周波での不要波抑圧に有効である事
がうかがえる。ここで高周波で用いる弾性表面波装置に
おいては、入出力電極間の直接電磁結合、いわゆる直達
波を抑圧する事が特に重要である。この直達波の抑圧手
段として入出力電極間に弾性表面波装置のアース部分と
直流的に短絡されたシールド電極を用いる事が良く知ら
れている。さらにこのシールド電極での弾性表面波の反
射波が入力電極および出力電極に入り込むのを防ぐため
にシールド電極に角度を持たせたもの（米国特許第３５
７３６７３）が有る。この方法における直達波抑圧を先
に示した新電極溝底に適用する場合、弾性表面波の発生
しない、いわゆる電極の非交差部分にもある角度を持つ
シールド電極を用いるために、入出力間距離が大きくな
り基板面積を多（必要とする。又シールド電極に角度を
持、 ｆｓ″：、ｓｍｅ・’／−ｋｂ”を極０
上下７１”９３７する入出力電極間に近い方の直角部ま
たは鋭角部分と入出力電極部分の間において、弾性表面
波装置の作成工程における温度変化から焦電効果を生じ
、この間に電位差が生じる。このため電極部分にゴミが
付着したり、最悪の場合には電位差による放電から微細
な電極部分に欠陥が発生する事もある。
本発明の目的は、前記した従来技術の欠点をなくシ、シ
ールド電極の改良により特に装置の小型化および歩留り
の向上を計った弾性表面波装置を提供する。
ールド電極の改良により特に装置の小型化および歩留り
の向上を計った弾性表面波装置を提供する。
上記目的を達成するために本発明においては、弾性表面
波の発生しｈい非交差部分におけるシールド電極の角度
をなくす事で装置の小型化を図り、シールド電極の端部
の直角部分又は鋭角部分が入出力電極と隣接する事をな
くシ然電効果による電極の欠陥を抑えたものである。
波の発生しｈい非交差部分におけるシールド電極の角度
をなくす事で装置の小型化を図り、シールド電極の端部
の直角部分又は鋭角部分が入出力電極と隣接する事をな
くシ然電効果による電極の欠陥を抑えたものである。
以下、本発明の一実施例を図を用いて説明する。
図では夫々圧電性基板１．入力電極２．出力電極３，４
．シールドを極５，６として示しである。才１図かられ
かる様に、本発明においては出力電極の非交差部分と入
力電極の間にあるシールド電極は、弾性表面波伝搬方向
に対してほぼ垂直とし、出力電極の交差部分と入力！極
の間のシールド電極には弾性表面波伝搬方向に対して９
０°以外のある角度を持たせている。
．シールドを極５，６として示しである。才１図かられ
かる様に、本発明においては出力電極の非交差部分と入
力電極の間にあるシールド電極は、弾性表面波伝搬方向
に対してほぼ垂直とし、出力電極の交差部分と入力！極
の間のシールド電極には弾性表面波伝搬方向に対して９
０°以外のある角度を持たせている。
これにより弾性表面波が励起又は受波される間において
は、シールドを極の効果によって入出力間の直接′藏磁
結合を押え、かつシールド電極での表面波の反射波が入
出力！極に入り込むのを防ぐことができる。
は、シールドを極の効果によって入出力間の直接′藏磁
結合を押え、かつシールド電極での表面波の反射波が入
出力！極に入り込むのを防ぐことができる。
以下本発明による効果を示す。
まず入出力間距離にかかる基板面積の点に関し、弾性表
面波伝搬方向圧対してθの角度を持ってシールドを極を
傾け、電極の交差部幅Ｗ。
面波伝搬方向圧対してθの角度を持ってシールドを極を
傾け、電極の交差部幅Ｗ。
非交差部幅２ Ｗ’、シールド電極群をｌとした場合、
入出力電極間の距離ｔは、従来方法ではｚ ＝ ／ ＋
（Ｗ ＋ ２ Ｗ’ ） ／ ｔ ａ １１θであり
、本発明によれば”＝（＋Ｗ／１３ｎθとできる。これ
から出力電極の上下部分にある非交差部分の和２ Ｗ’
と、角度θにより２Ｗ”／ ｔ ａ ｎθだげ入出力間
距離を短（できる。具体的数値を用いれば、電極交差部
Ｗ−４００μｍ非交差部２ Ｗ’＝ ６００１Ｘｎθ＝
８０°であれば約７０．５μｍ短くでき、図に示す様な
三電極型構成においては全体で約１４１μｍの小型化と
なる。
入出力電極間の距離ｔは、従来方法ではｚ ＝ ／ ＋
（Ｗ ＋ ２ Ｗ’ ） ／ ｔ ａ １１θであり
、本発明によれば”＝（＋Ｗ／１３ｎθとできる。これ
から出力電極の上下部分にある非交差部分の和２ Ｗ’
と、角度θにより２Ｗ”／ ｔ ａ ｎθだげ入出力間
距離を短（できる。具体的数値を用いれば、電極交差部
Ｗ−４００μｍ非交差部２ Ｗ’＝ ６００１Ｘｎθ＝
８０°であれば約７０．５μｍ短くでき、図に示す様な
三電極型構成においては全体で約１４１μｍの小型化と
なる。
また焦電効果による電極の欠陥に関しても、従来はシー
ルド電極の上下端の入出力電極に隣接する部分が鋭角で
あったり、シールド［極の上下の辺が弾性表面波の伝搬
方向と不平行な角度を持ち、かつ入出力電極に隣接する
部分がほぼ９０°であったため、シールド電極の先端と
隣接する入出力電極の一部にできた電位差による放電現
象が起り易く、このために電極の欠陥等が発生していた
。しかし本発明によれば、入出力電極に隣接するシール
ド電極部は全て鈍角でかつ上下の辺は弾性表面波伝搬方
向と平行であり、前記した放電現象を抑える事ができる
。
ルド電極の上下端の入出力電極に隣接する部分が鋭角で
あったり、シールド［極の上下の辺が弾性表面波の伝搬
方向と不平行な角度を持ち、かつ入出力電極に隣接する
部分がほぼ９０°であったため、シールド電極の先端と
隣接する入出力電極の一部にできた電位差による放電現
象が起り易く、このために電極の欠陥等が発生していた
。しかし本発明によれば、入出力電極に隣接するシール
ド電極部は全て鈍角でかつ上下の辺は弾性表面波伝搬方
向と平行であり、前記した放電現象を抑える事ができる
。
尚、本発明は３電極構成により説明したが、２を離型、
多電極型および非交差の短い弾性表面波装置に対しても
適用できる。さらに本発明における詳細な説明において
、電極の非交差部分にあるシールド電極は弾性表面波伝
搬方向に対して垂直におき、電極の交差部分にあるシー
ルド電極は弾性表面波伝搬方向に対して９０°以外の角
度を持たせているが、これは入出力電極間の距離を一番
短くできる場合に関して述べているにすぎない。すなわ
ち、電極の交差部分にあるシールド電極の角度の方が、
電極の非交差部分にある角度より大きい場合には、シー
ルド電極の先端での角度は従来より大きくなり前記した
理由による電極の欠陥は改善され、又チップサイズも従
来より小さくできるのは明らかである。
多電極型および非交差の短い弾性表面波装置に対しても
適用できる。さらに本発明における詳細な説明において
、電極の非交差部分にあるシールド電極は弾性表面波伝
搬方向に対して垂直におき、電極の交差部分にあるシー
ルド電極は弾性表面波伝搬方向に対して９０°以外の角
度を持たせているが、これは入出力電極間の距離を一番
短くできる場合に関して述べているにすぎない。すなわ
ち、電極の交差部分にあるシールド電極の角度の方が、
電極の非交差部分にある角度より大きい場合には、シー
ルド電極の先端での角度は従来より大きくなり前記した
理由による電極の欠陥は改善され、又チップサイズも従
来より小さくできるのは明らかである。
以上、述べた様に本発明によれば弾性表面波装置の小型
化を可能にし、焦電効果による電極の欠陥を防ぐことが
できる。さらに歩留りの向上により性能価格比の向上に
なる。このことばし、顕著に有効である。
化を可能にし、焦電効果による電極の欠陥を防ぐことが
できる。さらに歩留りの向上により性能価格比の向上に
なる。このことばし、顕著に有効である。
図は本発明による弾性表面波装置の一実施伊ｊを示す平
面図である。 １・・・圧電性基板 ２・・・入力電極 ３．４・・・出力電極 ５．６・・・シールド電極
面図である。 １・・・圧電性基板 ２・・・入力電極 ３．４・・・出力電極 ５．６・・・シールド電極
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、圧電性基板上に、入力電極と出力電極および前記入
力電極と出力電極の間にシールド用の電極を設けて成る
弾性表面波装置において、前記入力電極または出力電極
の少なくとも一方の電極の交差しない部分における弾性
表面波伝搬方向と、シールド電極の左辺又は右辺との間
に反時計方向に回転して計られる角度をθ＿１°とし、
前記電極の交差部分における弾性表面波伝搬方向と、シ
ールド電極の左辺又は右辺との間に反時計方向に回転し
て計られる角度をθ＿２°とした場合、θ＿１≦９０°
でかつθ＿２＜９０°においてはθ＿１＞θ＿２とし、
θ＿１≧９０°でかつθ＿２＞９０°においてはθ＿１
＜θ＿２とした事を特徴とする弾性表面波装置。 ２、圧電性基板上に、入力電極と出方電極および前記入
力電極と出力電極の間にシールド用の電極を設けて成る
弾性表面波装置において、前記入力電極または出力電極
の少なくとも一方の電極の交差しない部分における弾性
表面波伝搬方向と、シールド電極の左辺又は右辺との間
に反時計方向に回転して計られる角度で、かつ９０°よ
り大きいか又は等しい角度を、前記電極の交差部分にお
ける弾性表面波伝搬方向と、シールド電極の右辺又は左
辺との間に反時計方向に回転して計られる角度で、かつ
９０°より大きい角度より小さくした事を特徴とする弾
性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18261184A JPS6161511A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18261184A JPS6161511A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6161511A true JPS6161511A (ja) | 1986-03-29 |
Family
ID=16121314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18261184A Pending JPS6161511A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6161511A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5020685A (ja) * | 1973-06-21 | 1975-03-05 | ||
| JPS59144215A (ja) * | 1983-02-08 | 1984-08-18 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
-
1984
- 1984-09-03 JP JP18261184A patent/JPS6161511A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5020685A (ja) * | 1973-06-21 | 1975-03-05 | ||
| JPS59144215A (ja) * | 1983-02-08 | 1984-08-18 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
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