JPS6161131U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6161131U JPS6161131U JP14427584U JP14427584U JPS6161131U JP S6161131 U JPS6161131 U JP S6161131U JP 14427584 U JP14427584 U JP 14427584U JP 14427584 U JP14427584 U JP 14427584U JP S6161131 U JPS6161131 U JP S6161131U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main portion
- groove
- vacuum chuck
- support surface
- width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Description
第１図は本考案に係る真空チヤツクの平面図で
あり、第２図は第１図に示した−に沿つて得
られた断面図であり、第３図ないし第６図はそれ
ぞれ本考案の他の実施例を示す第１図と同様な図
面である。 １０：真空チヤツク、１４：面板、１４ａ：支
持面、２４：凹所、２４ａ：主部、２４ｂ：支部
、２６：負圧孔。
あり、第２図は第１図に示した−に沿つて得
られた断面図であり、第３図ないし第６図はそれ
ぞれ本考案の他の実施例を示す第１図と同様な図
面である。 １０：真空チヤツク、１４：面板、１４ａ：支
持面、２４：凹所、２４ａ：主部、２４ｂ：支部
、２６：負圧孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 面板の被固定物支持面に形成される凹所を
含み、該凹所は、底部に被固定物を吸引するため
の負圧孔が開放する主部と、該主部より前記支持
面上を伸長する溝から成る支部とを備えることを
特徴とする真空チヤツク。 (2) 前記主部の口径と前記溝の幅寸法とが異な
ることを特徴とする、実用新案登録請求の範囲第
(1)項に記載の真空チヤツク。 (3) 前記溝の幅寸法は前記主部の口径よりも小
さいことを特徴とする、実用新案登録請求の範囲
第(1)項に記載の真空チヤツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14427584U JPS6161131U (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14427584U JPS6161131U (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6161131U true JPS6161131U (ja) | 1986-04-24 |
Family
ID=30702560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14427584U Pending JPS6161131U (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6161131U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01206644A (ja) * | 1988-02-13 | 1989-08-18 | Shinkawa Ltd | 基板吸着構造 |
| JP2004072108A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Suss Microtec Lithography Gmbh | 薄く可撓性のある基板を固定する装置 |
| JP2018137445A (ja) * | 2017-02-23 | 2018-08-30 | エーエスエム・アセンブリー・システムズ・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド | 可撓性のあるワークピースのためのサポート |
| JP2019193958A (ja) * | 2018-05-01 | 2019-11-07 | 株式会社ミツトヨ | 真空チャック及び真空チャック用オートバルブ |
-
1984
- 1984-09-26 JP JP14427584U patent/JPS6161131U/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01206644A (ja) * | 1988-02-13 | 1989-08-18 | Shinkawa Ltd | 基板吸着構造 |
| JP2004072108A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Suss Microtec Lithography Gmbh | 薄く可撓性のある基板を固定する装置 |
| JP2018137445A (ja) * | 2017-02-23 | 2018-08-30 | エーエスエム・アセンブリー・システムズ・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド | 可撓性のあるワークピースのためのサポート |
| CN108471704A (zh) * | 2017-02-23 | 2018-08-31 | 先进装配系统新加坡有限公司 | 柔性工件的支撑件 |
| KR20180097457A (ko) * | 2017-02-23 | 2018-08-31 | 에이에스엠 어셈블리 시스템스 싱가포르 피티이 리미티드 | 가요성 가공물을 위한 지지대 |
| CN108471704B (zh) * | 2017-02-23 | 2020-04-07 | 先进装配系统新加坡有限公司 | 柔性工件的支撑件 |
| US11311982B2 (en) | 2017-02-23 | 2022-04-26 | Asm Assembly Systems Singapore Pte. Ltd. | Support for flexible workpieces |
| JP2019193958A (ja) * | 2018-05-01 | 2019-11-07 | 株式会社ミツトヨ | 真空チャック及び真空チャック用オートバルブ |