JPS6160419B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6160419B2
JPS6160419B2 JP50109388A JP10938875A JPS6160419B2 JP S6160419 B2 JPS6160419 B2 JP S6160419B2 JP 50109388 A JP50109388 A JP 50109388A JP 10938875 A JP10938875 A JP 10938875A JP S6160419 B2 JPS6160419 B2 JP S6160419B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
insulating layer
electro
optic effect
electrode fingers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP50109388A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5194977A (ja
Inventor
Bauesu Peetaa
Maarain Hansu
Raihieruto Ahimu
Uintsuaa Geruharuto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19762614224 priority Critical patent/DE2614224C3/de
Publication of JPS5194977A publication Critical patent/JPS5194977A/ja
Publication of JPS6160419B2 publication Critical patent/JPS6160419B2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • G02F1/31Digital deflection, i.e. optical switching
    • G02F1/313Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure
    • G02F1/3137Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure with intersecting or branching waveguides, e.g. X-switches and Y-junctions
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2201/00Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
    • G02F2201/12Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode
    • G02F2201/124Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode interdigital

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、開閉または変調区域が電気光学効
果材料から成る互に交叉するか分岐する光導波路
に対する電気光学効果による光の開閉または変調
デバイスを対象とする。
〔従来の技術〕
光伝送系においても電子伝送装置と同様に変調
器および伝送路開閉器等のデバイスが使用されて
いる。これらのデバイスは、交叉するか分岐した
光導波路の間で電磁波エネルギーを切換えるか光
導波路に接続された種々の部品の間で制御信号に
応じて電磁波エネルギーの交換を行うためのもの
である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
この発明の目的は、交叉または分岐する光導波
路に対して電磁波エネルギーを高い効率をもつて
切換えるかまたは高い変調効率で交換することが
できる電気光学効果による開閉および変調デバイ
スを提供することである。このデバイスにより結
合区間が著しく短縮され、その結果従来のものに
比べて光学集積回路構造の集積度を高めることが
できるものでなければならない。
〔問題点を解決するための手段〕
この目的を達成するためこの発明は、上側に一
つの誘電絶縁層を置いて誘電体基板上に設けら
れ、開閉または変調区域が電気光学効果材料から
成る互に交叉するか分岐する光導波路に対する電
気光学効果による光の開閉および変調デバイスで
あつて、多数の電極指を持つ電極から成る電極構
造が前記絶縁層の上に配置されたものにおいて、
光導波路と基板との間にもう一つの誘電絶縁層が
配置され、該絶縁層の下側には多数の電極指を持
つ電極から成るもう一つの電極構造が配置され、
両電極構造の電極指が別々に開閉可能な互いに異
つた周期性を示すようにされることを提案する。
この発明による開閉および変調デバイスでは光
導波路の上側および下側に置かれる絶縁層も電気
光学効果材料とすることによつて光導波路内に生
ずる周期性を更に増強することができる外に、そ
の製造技術の正確度に対する要求をゆるやかにす
ることが可能となる。
〔実施例〕
図面に示した実施例についてこの発明を更に詳
細に説明する 第1図において1は屈折率nsの誘電体基板で
あり、その上に光導波路2がとりつけられてい
る。光導波路は開閉または変調区域において電気
光学効果材料から成り、その上を誘電絶縁層3が
覆つている。絶縁層3の上には多数の電極指を持
つ電極構造4が設けられている。
更に光導波路2と絶縁層3の下には第二の誘電
絶縁層5が基板1との間にあり、この絶縁層5の
下に第二の電極構造4が設けられている。この実
施例では下方の電極構造の電極指の数は上方の電
極構造の電極指の数より少なく、これにより電極
指間隔が上下の電極構造で異るので、互に異つた
周波数を別々に処理できるようにされている。
電磁波を導くためには基板の屈折率nsの外、
絶縁層3および5の屈折率を光導波路層の屈折率
より小さく選ぶとよい。
第1図の実施例のように一方の電極構造が光導
波路2の上にあり、他方の電極構造がその下に設
けられている場合には、光導波路の屈折率制御に
対して、隣り合つた電極指の間に電位差を加えて
電極指の間に形成される電界の電気力線が絶縁層
と光導波路の内部を一つの電極指から次の電極指
に向つて基板表面に平行に伸びるようにしたいわ
ゆる縦の電気光学効果と、上下の電極指の間に電
位差を加えて光導波路2内に基板表面に垂直な電
界を形成させたときのいわゆる横の電気光学効果
のいずれを利用することも適当な材料の選定によ
つて可能となる。
例えば光伝送用のマトリツクス構造のように多
数の交叉点および分岐点がある場合には、光導波
路全体を電気光学効果材料で作ることができる。
このような光導波路構造は、例えば電気光学効果
材料層のエツチング、イオン注入または拡散その
他の方法で作ることができる。
第2図には一つの光導波路2とそれから分岐し
た二つの光導波路24,25を示す。分岐点には
二つの電極構造4が分岐点の上と下に互いに鏡像
対称に配置されている。これらの電極構造の電極
指はそれぞれ分岐角の二等分線に対し垂直に配置
されている。
〔発明の効果〕
本発明による電極構造の電極指は第1図に示す
ように上方の電極構造と下方の電極構造の電極指
の数が異り互いに異つた周期性を示すようにして
いる。この上下の電極構造を別々に動作させるこ
とにより異つた波長の光を分離して開閉すること
ができる。更に第2図に示すように上方と下方の
電極構造の電極指の方向を変えることによつて
も、異る波長の光を互いに無関係に異つた光導波
路に導くことができる。
別の実施例においては絶縁層3および5も電気
光学効果材料から作られる。これにより例えば結
晶を特別に切り出すか、結晶材料を適当に選定す
ることにより電気光学効果材料内に光導波路内に
作られた周期性を補強する効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図と第2図はこの発明のそれぞれ異なる実
施例の断面図および平面図である。図において1
は誘電体基板、2,24,25は光導波路、3,
5は誘電絶縁層、4は電極構造である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 上側に一つの誘電絶縁層3を置いて誘電体基
    板1上に設けられ、開閉または変調区域が電気光
    学効果材料から成る互に交叉するか分岐する光導
    波路2に対する電気光学効果による光の開閉およ
    び変調デバイスであつて、多数の電極指を持つ電
    極から成る電極構造4が前記絶縁層3の上に配置
    されたものにおいて、光導波路2と基板1との間
    にもう一つの誘電絶縁層5が配置され、該絶縁層
    の下側には多数の電極指を持つ電極から成るもう
    一つの電極構造4が配置され、両電極構造4の電
    極指が別々に開閉可能な互いに異つた周期性を示
    すようにされていることを特徴とする電気光学効
    果による光の開閉および変調デバイス。
JP50109388A 1974-09-09 1975-09-09 Expired JPS6160419B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19762614224 DE2614224C3 (de) 1975-04-04 1976-04-02 Fotoelektrische Sortiereinrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2443038A DE2443038C2 (de) 1974-09-09 1974-09-09 Elektrooptischer Schalter und Modulator für sich kreuzende oder verzweigende optische Wellenleiter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5194977A JPS5194977A (ja) 1976-08-20
JPS6160419B2 true JPS6160419B2 (ja) 1986-12-20

Family

ID=5925215

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP50109388A Expired JPS6160419B2 (ja) 1974-09-09 1975-09-09

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4008947A (ja)
JP (1) JPS6160419B2 (ja)
BE (1) BE833228A (ja)
DE (1) DE2443038C2 (ja)
FR (1) FR2284133A1 (ja)
GB (1) GB1511554A (ja)
IT (1) IT1042256B (ja)
NL (1) NL7510295A (ja)

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2541673C3 (de) * 1975-09-18 1981-05-07 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Optisches Schaltelement für die integrierte Optik
DE2600893A1 (de) * 1976-01-12 1977-07-21 Siemens Ag Lichtverteiler fuer optische nachrichtensysteme
FR2379086A1 (fr) * 1977-01-31 1978-08-25 Thomson Csf Dispositif optique de transmission guidee a commande electrique
US4130342A (en) * 1977-05-31 1978-12-19 Sperry Rand Corporation Passive optical channel crossover, switch and bend structure
US4143941A (en) * 1977-12-01 1979-03-13 Sperry Rand Corporation Low loss optical data terminal device for multimode fiber guide optical communication systems
US4172630A (en) * 1978-04-13 1979-10-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Multimode electrooptic waveguide switch
US4327971A (en) * 1978-06-05 1982-05-04 Nippon Electric Co., Ltd. Electro-optical light modulators, light wavelength multiplex signal transmitting apparatus and light wavelength separating switches utilizing the same
FR2429445A1 (fr) * 1978-06-20 1980-01-18 Favre Francois Circuit electro-optique integre destine a la commutation de signaux achemines par voie optique
US4262992A (en) * 1979-04-18 1981-04-21 The United States Of America As Represented By The Director Of The National Security Agency Variable integrated optical logic element
US4253728A (en) * 1979-07-23 1981-03-03 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Multimode electrically switched optical port
JPS58154820A (ja) * 1982-02-10 1983-09-14 Fujitsu Ltd 光スイツチ用導波路の形成法
US4679893A (en) * 1983-08-26 1987-07-14 Hughes Aircraft Company High switching frequency optical waveguide switch, modulator, and filter devices
US4799750A (en) * 1983-11-04 1989-01-24 Canon Kabushiki Kaisha Optical function element and a method for manufacturing the same
FR2558270B1 (fr) * 1984-01-18 1986-04-25 Comp Generale Electricite Modulateur electro-optique interferentiel a haute sensibilite
US4783851A (en) * 1984-01-27 1988-11-08 Yokogawa Electric Corporation Optical communication system
GB8502013D0 (en) * 1985-01-26 1985-02-27 Plessey Co Plc Integrated optical device
US4728167A (en) * 1986-02-24 1988-03-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force. Electrically controlled integrated optical switch
US4693546A (en) * 1986-02-24 1987-09-15 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Guided-wave optical power divider
US4693547A (en) * 1986-02-24 1987-09-15 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Optically controlled integrated optical switch
US4902088A (en) * 1986-03-25 1990-02-20 Apa Optics, Inc. Integrated optic device for laser beam scanning
US4759595A (en) * 1986-03-25 1988-07-26 Apa Optics, Inc. Integrated optic switch
US4950042A (en) * 1987-05-12 1990-08-21 Georgia Tech Research Corporation Integrated optical givens rotation device
DE69125888T2 (de) * 1990-07-09 1997-11-20 Canon Kk Verfahren zur Lichtmodulation und optischer Modulator
SE502139C2 (sv) * 1992-12-09 1995-08-28 Ellemtel Utvecklings Ab Elektriskt styrbar filteranordning
US5446807A (en) * 1994-06-23 1995-08-29 Bell Communications Research, Inc. Passband-flattened acousto-optic polarization converter
US5630004A (en) * 1994-09-09 1997-05-13 Deacon Research Controllable beam director using poled structure
US5581642A (en) * 1994-09-09 1996-12-03 Deacon Research Optical frequency channel selection filter with electronically-controlled grating structures
US6816296B2 (en) 1997-10-29 2004-11-09 Teloptics Corporation Optical switching network and network node and method of optical switching
US6768572B2 (en) 1997-10-29 2004-07-27 Teloptics Corporation Solid state free space switch array on a substrate
US6310712B1 (en) 1997-10-29 2001-10-30 Teloptics Corporation Discrete element light modulating microstructure devices
US6486996B1 (en) 1998-10-27 2002-11-26 Teloptics Corporations Discrete element light modulating microstructure devices
CA2261197A1 (en) 1999-02-16 2000-08-16 Ppm Photomask Inc. Tunable electro-optical diffraction grating with electrically switchable period
JP2005064051A (ja) * 2003-08-14 2005-03-10 Fibest Ltd 光モジュールおよび光通信システム
US9500929B2 (en) * 2015-04-15 2016-11-22 Chen-Kuo Sun Vertical electro-optically coupled switch
US20180081253A9 (en) * 2015-04-15 2018-03-22 Chen-Kuo Sun Optical modulator
US20160306256A1 (en) * 2015-04-15 2016-10-20 Chen-Kuo Sun Method for configuring an optical modulator
US10036855B1 (en) * 2017-07-13 2018-07-31 Chen-Kuo Sun Reverse bias modulating waveguide/diode
US10126496B1 (en) 2017-07-13 2018-11-13 Chen-Kuo Sun Reverse bias modulating multi-material waveguide/diode
US10409137B2 (en) 2017-08-22 2019-09-10 Chen-Kuo Sun System and method for controlling energy flux modulation
US10816832B1 (en) 2019-09-04 2020-10-27 Veo, Inc. Optical phase shifter using fine lithography defined volumetric junctions
US10895764B1 (en) 2019-10-24 2021-01-19 Veo, Inc. Dielectric electro-optic phase shifter
WO2022039670A1 (en) * 2020-08-21 2022-02-24 Agency For Science, Technology And Research Electro-optic modulator and method of forming the same

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3736045A (en) * 1971-12-27 1973-05-29 Ibm Fast optical guided wave modulator and digital deflector

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3795433A (en) * 1972-05-22 1974-03-05 Rca Corp Voltage induced optical waveguide means
US3813142A (en) * 1972-12-04 1974-05-28 Gte Laboratories Inc Electro-optic variable phase diffraction grating and modulator
US3804489A (en) * 1972-12-06 1974-04-16 Bell Telephone Labor Inc Electro-optic thin-film diffraction loss modulator
US3883220A (en) * 1973-12-10 1975-05-13 Us Navy Optical switch

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3736045A (en) * 1971-12-27 1973-05-29 Ibm Fast optical guided wave modulator and digital deflector

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5194977A (ja) 1976-08-20
GB1511554A (en) 1978-05-24
DE2443038A1 (de) 1976-03-25
US4008947A (en) 1977-02-22
NL7510295A (nl) 1976-03-11
BE833228A (fr) 1975-12-31
DE2443038C2 (de) 1984-01-12
FR2284133B1 (ja) 1978-04-07
IT1042256B (it) 1980-01-30
FR2284133A1 (fr) 1976-04-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6160419B2 (ja)
Ramer Integrated optic electrooptic modulator electrode analysis
US4130342A (en) Passive optical channel crossover, switch and bend structure
US7171065B2 (en) Compact optical devices and methods for making the same
CN112014983B (zh) 一种基于铌酸锂波导的电光开关及其制作方法
KR19990008390A (ko) 캐스케이드식 열-광학 장치
JPH08166565A (ja) 光制御デバイス
JPS5987B2 (ja) 電気光学的スイツチおよび変調器
JP4330318B2 (ja) 2つの非共面光導波路アレイを含む光スイッチ
US5687265A (en) Optical control device and method for making the same
JPS58147710A (ja) 導波形光制御デバイス
JPH045174B2 (ja)
KR20000003220A (ko) 광강도 변조기 및 그 제조방법
US4199221A (en) Electro-optic thin-film waveguide modulator device
JPS63261219A (ja) 光変調素子
JP2655607B2 (ja) 光−光制御素子
Soref et al. Multimode 2? 2 optical crossbar switch
JPS5993431A (ja) 光スイツチ
JPH09185025A (ja) 光制御素子
JPS62103604A (ja) 光回路およびその製造方法
JPS58154820A (ja) 光スイツチ用導波路の形成法
JPS63221306A (ja) 導波型光制御デバイス
JPS5993428A (ja) 光分岐装置
JPH04301812A (ja) 光スイッチ
JPH07230013A (ja) 交差導波路構造及びこれを用いた光スイッチ