JPS6157517U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6157517U JPS6157517U JP14276484U JP14276484U JPS6157517U JP S6157517 U JPS6157517 U JP S6157517U JP 14276484 U JP14276484 U JP 14276484U JP 14276484 U JP14276484 U JP 14276484U JP S6157517 U JPS6157517 U JP S6157517U
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- JP
- Japan
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- sample
- processed
- electrode
- plasma cvd
- surface portion
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
Description
第１図ａおよびｂは本考案にかかる電極の平面
図と斜視図、第２図ａおよびｂは従来のプラズマ
ＣＶＤ装置の概要側断面図と、そのＡ，Ａ′断面
図、第３図はその従来電極の部分斜視図である。 図において、１は反応容器、２，１２は電極、
３はウエハー、４は加熱体、５は反応ガス流入口
、６は排気口、２１は本考案にかかる電極１２の
うち、ウエハーを配置する表面部分、２２は本考
案にかかる電極１２のうち、その他の表面部分、
を示している。
図と斜視図、第２図ａおよびｂは従来のプラズマ
ＣＶＤ装置の概要側断面図と、そのＡ，Ａ′断面
図、第３図はその従来電極の部分斜視図である。 図において、１は反応容器、２，１２は電極、
３はウエハー、４は加熱体、５は反応ガス流入口
、６は排気口、２１は本考案にかかる電極１２の
うち、ウエハーを配置する表面部分、２２は本考
案にかかる電極１２のうち、その他の表面部分、
を示している。
Claims (1)
- 被処理試料を保持する電極面において、前記被
処理試料と接触する表面部分を除く全表面が、絶
縁膜で被覆されていることを特徴とするプラズマ
ＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14276484U JPS6157517U (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14276484U JPS6157517U (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6157517U true JPS6157517U (ja) | 1986-04-17 |
Family
ID=30701074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14276484U Pending JPS6157517U (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6157517U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6337615A (ja) * | 1986-07-31 | 1988-02-18 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ電極 |
-
1984
- 1984-09-19 JP JP14276484U patent/JPS6157517U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6337615A (ja) * | 1986-07-31 | 1988-02-18 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ電極 |