JPS615519A

JPS615519A - 受け渡し装置

Info

Publication number: JPS615519A
Application number: JP59125152A
Authority: JP
Inventors: Morio Inoue; 井上　盛生; Takao Kawanabe; 川那部　隆夫; Akitoshi Okawachi; 大川内　明利
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1984-06-20
Filing date: 1984-06-20
Publication date: 1986-01-11
Also published as: JPH0534818B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔技術分野〕本発明は、受け渡し技術、特に、板形状物を受け渡す技
術に関し、例えば、ホトマスク製造装置内の受け渡しお
よび半導体製造装置において、ホトマスクの描画装置や
露光装置に受け渡すのに使用して有効な技術に関する。

〔背景技術〕

１トマスク製造装置における受け渡しおよび半導体製造
装置においてホトマスクを描画装置や露光装置における
描画または露光ステージ等に搬送し受け渡す装置として
、ベルトまたはエアコンベアからなるものが、考えられ
る。

□　しかし、ベルトコンベアからなる装置においては、
マスク裏面中央部にベルトが直接接触するため、異物付
着の原自となる。また、エアコンベアからなる装置にお
いては、マスクと□停止機構とが衝突゛するため、損傷
の原因となるという問題点があることが、本発明者によ
って明らかｋされた。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、異物の付着や損傷の発生を防止するこ
とができる受け渡し技術を提供することＫある。

本発明の前記ならびＫその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面がち明らかになるであろう
。

−〔発明の概要〕本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、略環状に配されて互いに開閉する一対のハン
ドに少なくとも１個を回動自在にして複数の保持部材を
設けることにより、板形状物の周辺部を各保持部材によ
って下から支持して保持するようになし、中央部裏面へ
の接触や位置決め時の衝突等を回避するようＫしたもの
である。

〔実施例１〕第１図は本発明の一実施例であるマスクの受け渡し装置
を示す斜視図、第２図〜第６図は作用を説明するための
各説明図である。

本実施例において、この受け渡し装置は上下一対のガイ
ドレール１を備えており、このガイドレールｌは描画装
置や露光装置等における所定ステージと前処理工程また
はマスク格納場所との間のような所望のステーション（
図示せず）間に敷設されている。ガイドレール１には移
動体２が摺動自在に支持されており、移動体２はガイド
レール１に沿って張設されモータ４に走行される巻き掛
は装置３により往復移動されるようなっている。

移動体２には上下動用エアシリンダ装置５が搭載されて
おり、このシリンダ装置５は移動体２の上方において一
対のガイドレール６を上下動させるようになっている。

この第２ガイドレール６は第１ガイドレールＩＫ対して
略４５度傾斜するように敷設されており、第２ガイドレ
ール６には前後一対の移動体７ａ、７ｂが摺動自在に支
持されている。両脇動体７ａと７ｂとの間には開閉用エ
アシリンダ装置８と位置決め用エアシリンダ装置９とが
介設されており、開閉用シリンダ装置８は両脇動体７ａ
と７ｂとを接離移動させるように、また位置決め用エア
シリンダ装置９は両脇動体７ａと７ｂとの間隔を規制す
るようになっている。

両脇動体７ａ、７ｂＫは一対のアーム１０ａ　。

］、　Ｏｂが第１ガイドレール１と略直角方向に配され
てそれぞれ固着されており、両アーム１０ａ。

１０ｂの先端には一対のハントｌｌａ、ｌｌｂが固着さ
ゎ、い、。ヵ２．７８，１□３１．１□よ開閉　　　　
　　　）用移動体７ａ　、７ｂが閉じた状態において略
円環形状を構成するように略半円弧形状にそれぞれ形成
されている。両／Ｓ７ドｌｌａ、ｌｌｂには４個の保持
部材１２ａ〜１２ｄが開閉用移動体７ａ。

７ｂが閉じた状態において互いに略９０度の位相差をも
って位置するように配設されており、１個の保持部材１
２ｄはハンドｌｌｂの上面において回動するように軸支
されている。各−保持部材１２ｒ−＝１２ｄの互いに向
き合う保持面部１３ａ〜１３ｂは３段の階段形状をなす
よう形成されている。

次に作用を説明する。

マスク１４を受け取る際、第２図に示されているように
、両ノ・ンド１１ａ、ｌｌｂを開かれた状態において、
各保持部材１２ａ〜１２ｄはマスク１４の四方から各辺
に近づいて行く。このとき、開閉用シリンダ装置８の短
縮作動により、両脇動体７ａと７ｂが互いに接近するよ
うに閉じられて行くが、ガイドレール６とアーム１０ａ
、１０ｂとは略４５度の開き角をもっているため、Ｉ・
ンド１１ａ、ｌｌｂの閉じ移動は、第２図忙矢印で示さ
れているように、各保持部材１２ａ〜１２　ｄ　カマス
フ１４の各辺に略４５度の傾斜角を持って接近させて行
くようになる。

位置決めシリンダ装置９により規制される位置まで閉じ
た時、第３図に示されているように、各保持部材１２ａ
〜１２ｄはマスク１４の四辺に当接してその階段形状の
保持部１３ａ＝１３ｄｌＣよリマスクエ４を支持した状
態になる。このとき、第４図に示されているように、マ
スク１４の中心線が各保持部１２ａ〜１２ｄの中心線に
対して傾斜していた場合、マスク１４の外縁が各保持部
材１２ａ〜１２ｄの側壁面に点接触し、その接触点がセ
ンタからずれることによりずれに応じたモーメントが生
じてマスク１４を回転させることｋなるため、最終的に
、マスク１４の中心線は第３図に示されているように各
保持部材１２ａ〜１２ｄの中心線九一致される状態にな
る。したがって、マスク１４はそのＸＹ方向の位置とθ
方向の姿勢とを適正に調整されるととＫなる。

各保持部材１２ａ〜１２ｄは、第３図および第５図に示
されているように、マスク１４の外径寸法に応じた内径
寸法を形成する段部においてマスク１４の側縁部を支持
する状態になる。このため、位置決めシリンダ装置９は
開閉用シリンダ装置８０ストロークをこの内径寸法に合
うように調整する。また、内径寸法の合う段部がマスク
１４の高さに一致するように、上下動用シリンダ装置５
はガイドレール６の高さを調整する。これらの調整や作
動は位置センサ等を介してマイクロコンピュータを用い
て自動的に行わせることが望ましい。

なお、外径寸法の異なる規格のマスクは、第５図に想像
線で示されているように、小径の場合には下段に、大径
の場合には上段に保持されることになる。

また、第６図に示されているように、オリエントフラッ
トを有する円形のマスク１４Ａまたは１４Ｂを保持する
場合、可動保持部材１２ｄが回動してオリエントフラッ
トに押接するため、ＸＹ方向の位置およびθ方向の姿勢
が修正されることになる。

マスク１４を保持した状態において、移動体２は巻き掛
は装置３によりガイドレール１に沿って移動され、保持
したマスク１４を所定位置まで正確に搬送する。所定位
置に停止すると、開閉用シリンダ装置８が伸長作動して
両ハンド１１　ａ　、１１ｂは開かれるため、各保持部
材１２ａ〜１２（ｆはマスク１４の保持を解除すること
になる。これにより、マスク１４は所定のステージに適
正な位置および姿勢に移載される。

〔実施例２〕第７図は本発明の他の実施例を示す部分斜視図である。

本実施例が前記実施例と異なる点は、両アーム１０ａ、
１０ｂが両脇動体７ａ　、７ｂに垂直面内において回動
自在に支持されるととも釦、両アーム１０ａ　、１０ｂ
はエアモータ等の回動駆動装置（図示せず）により略９
０度往復回動するように構成されている点にある。

本実施例において、マスク１４の保持解除は両アーム１
０ａ、１０ｂを下向きに９０度以上回動させて両ハンド
ｌｌａ、ｌｌｂを開くことにより行われる。すなわち、
両ノ・ンドｌｌａ、ｌｌｂが下向きに開くと、マスク１
４を下から支持している各保持部材１２ａ〜１２ｄの段
面が９０度回動してマスク１４の外縁下面から下向き外
方に後退するため、マスク１４は各保持部材１２ａ〜１
２ｄの保持から解除されることになる。

本実施例によれば、各保持部材１２ａ〜１２ｄの支持面
が下向き外方向に回動することにより、マスク１４の保
持解除が行われるため、解除時における支持面とマスク
１４下面とのこすり合がなくなり、こすれ合による塵の
発生や位置および姿勢のずれが防止される。

〔効果〕

（１）互いに開閉する一対の・・ンドに複数の保持部材
を設けることにより、板形状物の周辺部を各保持部材に
よって下から支えて保持することができるため、板形状
物裏面への接触や位置決め時の衝突等を回避することが
でき、それらに伴う異物の付着や損傷の発生を防止する
ことができる。

（２）ハンドに設けられる保持部材の少なくとも１個を
回動自在に取り付けることにより、保持部材に自由度を
持たせることができるため、角形の板形状物に限らず、
オリエントフラットを有する円形の板形状物をも取り扱
うことができる。

（３）保持部材の保持部を階段形状に形成することによ
り、外径の異なる板形状物を取り扱うことができる。

（４）ハンドを直角に回動させ得るように構成すること
により、保持部材の支持面＋下向き外方に回動させるこ
とができるため、保持解除時における板形状物と保持部
材とのこすり合いを防止することができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。

例えば、一対のハンドの開閉機構は、アーム。

移動体、シリンダ装置等により構成するに限らな℃１゜〔利用分野〕以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるホトマスクの受け渡
し装置に適用した場合について説明したが、それ罠限定
されるものではなく、例えば、ウェハやその他の基板の
受け渡し装置等に適用できる。

【図面の簡単な説明】

第４図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図、第３
図、第４図、第５図および第６図はその作用を説明する
ための各説明図、第７図は本発明の他の実施例を示す斜
視図である。１．６・・・ガイドレール、２・・・移動体、３・・・
巻き掛は装置、４・・・モータ、５，８．９・・・シリ
ンダ装置、７ａ、７ｂ−・・移動体、１０ａ、１０ｂ・
−・アーム、ｌｌａ、１１ｂ・・・ハンド、１２　ａ〜
１２ｄ−保持部材、１３ａ〜１３ｄ・・・保持部、１４
・・・マス第　　４　　図／Ｚｔ：を第　　５　　図

Claims

【特許請求の範囲】１、略環状に配された一対のハンドが径方向に開閉自在
に設けられ、両ハンドに少なくとも２個の保持部材がそ
れぞれ配されるとともに、少なくとも１個の保持部材が
ハンドと平行面で回動自在に取り付けられている受け渡
し装置。２、保持部材の保持面が、階段形状に形成されているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の受け渡し装
置。３、ハンドが直角に回動することを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の受け渡し装置。