JPS6154037A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6154037A JPS6154037A JP17543984A JP17543984A JPS6154037A JP S6154037 A JPS6154037 A JP S6154037A JP 17543984 A JP17543984 A JP 17543984A JP 17543984 A JP17543984 A JP 17543984A JP S6154037 A JPS6154037 A JP S6154037A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- recording medium
- magnetic recording
- support
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 31
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
- G11B23/0014—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture record carriers not specifically of filamentary or web form
- G11B23/0021—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture record carriers not specifically of filamentary or web form discs
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、固定磁気ディスク装置に用いる非磁性基体上
に磁性層を被着した磁気記録媒体に関する。
に磁性層を被着した磁気記録媒体に関する。
第５図に磁気記録媒体の一例を示し、（＋１）が平面図
、伽）はｔａ）のｃ−ｃ’線断面図である。この記録媒
体ｌは中央部に穴２ををし、表面上の範囲Ｆが浮上保証
領域であり、フライングヘッドの浮上走行が保証される
べき領域を意味している。その内側の範囲Ｒが記録領域
であり、ヘッドに依ろ書き込み、読み出しが保証される
べき領域であることを意味している。穴２の外側の領域
りがクランプ領域で、記録媒体を固定する際クランプす
る事を許される領域を意味している。このうち浮上保証
領域はフライングヘッドが接触走行あろいは浮上走行を
行うため、例えば磁性層面の中心線平均粗さＲａが０．
０１μ−以下、ｎ大突起高さが０．１８μ−以下であり
、静止ＦＲ擦係敗が０．３以下であることが要求されて
いる。 ところで、磁気記録媒体は近年′ｉＸ密度化が指向され
、従来の塗布媒体に比べより高密度化の実現できろめっ
き媒体あるいはスパッタ媒体等の開発が盛んである。こ
のうち特にスパック媒体は、今後の高密度化が期待され
ると共に、将来的には垂直記録媒体、光磁気記録媒体と
して存望である。 基板上に磁性層をスパッタ、蒸若等のドライブロセスに
よって作】°Ｊする場合、第６Ｕ２Ｊに示すように記録
媒体の基４Ｉｉ、３を中央の穴を利用して支持治具４の
支持軸５により支持していた。記録媒体を例えば実験段
階で１個のみスパッタ法により作製する場合には、第７
図に示すように基板３の支持治具４をターゲット６の間
に配置し、多数個を同時にスパッタ法により作製するｆ
ｆｉ産段階では、第８図に示すように多数の支持治具４
を軸７の周りに矢印８のように回転させ、ターゲット６
の位置に来たときに順次スパッタを行う、しかしそのま
までは支持治具４の陰の部分には磁性層が付着しない、
そこで第７図、第８図いずれの場合も支持軸５を回転さ
せて基体を例えば矢印９のように自転させる必要が生じ
、機構的に複雑なものとなる。 また磁気記録媒体が小径化するにつれ、第５図の穴２．
クランプ６１域り、浮上保証領域Ｆの間の寸法関係が狭
くなるため、中心の穴２を利用して支持し、かつ自転力
を与えるような機構を設計する事は困難である。さらに
、第９図に示すように基板３を外廖工部で支持治具１０
により支持することも考えられるが、例えばこの場合、
くわえ代ａとして約１ａｍ、ｖＳ仮３をＡＩ凸基板し、
スノぐツタ時の尤仮温度を３００℃と仮定すると熱膨張
代すとして約０．７１、さらに支持治具の遮断効果によ
り磁性層１１に生ずる不均一部Ｃとして約０．５１程度
の領域が生じ、記録媒体の外周から約２．２１の幅の部
分は浮上保証領域として利用できないことになる。 従ってこの遊休部分の通常１１以下の幅を規定されてい
る磁気記録媒体にはこのような外縁支持方法を適用する
ことができない、またこの様な方式では、支持治具ｌＯ
と基板３の間隙にたまる塵埃の影響を基板本体が受は易
く、最大突起高さの保持が難しり、磁気記録媒体の特性
上支障を来すという問題があった。
、伽）はｔａ）のｃ−ｃ’線断面図である。この記録媒
体ｌは中央部に穴２ををし、表面上の範囲Ｆが浮上保証
領域であり、フライングヘッドの浮上走行が保証される
べき領域を意味している。その内側の範囲Ｒが記録領域
であり、ヘッドに依ろ書き込み、読み出しが保証される
べき領域であることを意味している。穴２の外側の領域
りがクランプ領域で、記録媒体を固定する際クランプす
る事を許される領域を意味している。このうち浮上保証
領域はフライングヘッドが接触走行あろいは浮上走行を
行うため、例えば磁性層面の中心線平均粗さＲａが０．
０１μ−以下、ｎ大突起高さが０．１８μ−以下であり
、静止ＦＲ擦係敗が０．３以下であることが要求されて
いる。 ところで、磁気記録媒体は近年′ｉＸ密度化が指向され
、従来の塗布媒体に比べより高密度化の実現できろめっ
き媒体あるいはスパッタ媒体等の開発が盛んである。こ
のうち特にスパック媒体は、今後の高密度化が期待され
ると共に、将来的には垂直記録媒体、光磁気記録媒体と
して存望である。 基板上に磁性層をスパッタ、蒸若等のドライブロセスに
よって作】°Ｊする場合、第６Ｕ２Ｊに示すように記録
媒体の基４Ｉｉ、３を中央の穴を利用して支持治具４の
支持軸５により支持していた。記録媒体を例えば実験段
階で１個のみスパッタ法により作製する場合には、第７
図に示すように基板３の支持治具４をターゲット６の間
に配置し、多数個を同時にスパッタ法により作製するｆ
ｆｉ産段階では、第８図に示すように多数の支持治具４
を軸７の周りに矢印８のように回転させ、ターゲット６
の位置に来たときに順次スパッタを行う、しかしそのま
までは支持治具４の陰の部分には磁性層が付着しない、
そこで第７図、第８図いずれの場合も支持軸５を回転さ
せて基体を例えば矢印９のように自転させる必要が生じ
、機構的に複雑なものとなる。 また磁気記録媒体が小径化するにつれ、第５図の穴２．
クランプ６１域り、浮上保証領域Ｆの間の寸法関係が狭
くなるため、中心の穴２を利用して支持し、かつ自転力
を与えるような機構を設計する事は困難である。さらに
、第９図に示すように基板３を外廖工部で支持治具１０
により支持することも考えられるが、例えばこの場合、
くわえ代ａとして約１ａｍ、ｖＳ仮３をＡＩ凸基板し、
スノぐツタ時の尤仮温度を３００℃と仮定すると熱膨張
代すとして約０．７１、さらに支持治具の遮断効果によ
り磁性層１１に生ずる不均一部Ｃとして約０．５１程度
の領域が生じ、記録媒体の外周から約２．２１の幅の部
分は浮上保証領域として利用できないことになる。 従ってこの遊休部分の通常１１以下の幅を規定されてい
る磁気記録媒体にはこのような外縁支持方法を適用する
ことができない、またこの様な方式では、支持治具ｌＯ
と基板３の間隙にたまる塵埃の影響を基板本体が受は易
く、最大突起高さの保持が難しり、磁気記録媒体の特性
上支障を来すという問題があった。
本発明は、このような磁気記録媒体！！造時における基
板の支持方式として、自転が必要となるため支持機構が
Ｔ！ｉ雑になり、小径媒体の作製が回能な中心支持方式
を避け、自転不要の外縁支持方式を容易に採用可能で、
しかも外周近傍の遊休部分の幅を縮小できまた磁性層の
特性にも支障の生じない基板形状を有する磁気記録媒体
を提供することを目的とする。
板の支持方式として、自転が必要となるため支持機構が
Ｔ！ｉ雑になり、小径媒体の作製が回能な中心支持方式
を避け、自転不要の外縁支持方式を容易に採用可能で、
しかも外周近傍の遊休部分の幅を縮小できまた磁性層の
特性にも支障の生じない基板形状を有する磁気記録媒体
を提供することを目的とする。
本発明による磁気記録媒体は、基板外周面に溝または有
底孔のようなくぼみを有することにより外縁支持を容易
にして上記の目的を達成するものである。
底孔のようなくぼみを有することにより外縁支持を容易
にして上記の目的を達成するものである。
本発明は、第１図に示すように支持治具４の基板３の外
周に当接する支持環１２によって基板を支持するもので
ある。このため基板３には第２図に示すように外周面の
環状の１ｆ１１３を有する。第２図（ｂｌには第２図１
ａｌのＡ部を拡大して示す、支持環１２は第３図に示す
ように溝１３に嵌まる環状突出部１４を有する。従って
支持環１２は、例えば二つに分ｙ１され、突出部１４を
ｎ１３に嵌めた後両分割部を結合して基板３を支持する
。ｆｆｉ産の場合は多数の支持治具４を第８図と同様に
一つの回転軸の周りに取り付け、基板の自転なしに公転
させるのみで均一な磁性層を形成することができる。 第２図は別の実施例の基板形状を示し、第２図１ａｌお
よびそのＢ部拡大図である第２図山１から判るように、
５［３の外周面に等間隔に分散して有底１ダ ルミが設けられている。従って支持環１２の内側に基板
を置き、支持環１２を貫通するピンの先端をこの孔１５
に挿入し、ピンをねじ止め、その他の方法で支持環に固
定することによってａ［を支持することができる。この
場合には支持環は二分割する必要がない。 【発明の効果］ 本発明によれば、外縁支持を容易に実現し得るように磁
気記録媒体の基板の外周面に溝または有底孔のようなく
ぼみを設けるもので、基板上の磁性層形成のｆｉＦｊＥ
ｖｔＩ設計において基板自転の機構を必要としない極め
て効率の良い装置を製作することが可能である。 特に、今後伸長が期待される５、２５インチ以下のｉｌ
ｌｌ配気媒体の場合は、記録容量を向上させつつコンパ
クト化を達成しようと言う点から可能な限り外周に近い
部分にまで記録領域、従って浮上保証領域を伸ばすこと
が要求されている。この場合本発明によれば外ｔ（部に
おける支持治具の遮断効果がないため、遊休部分を最小
にして所定の品質の浮上保証領域を形成することができ
、その要求に答えることができる。 なお、本発明はスパッタ媒体に限らず塗布媒体。 めっき媒体にも適用してその基板の支持方式の改善を図
ることができることは言うまでもない。
周に当接する支持環１２によって基板を支持するもので
ある。このため基板３には第２図に示すように外周面の
環状の１ｆ１１３を有する。第２図（ｂｌには第２図１
ａｌのＡ部を拡大して示す、支持環１２は第３図に示す
ように溝１３に嵌まる環状突出部１４を有する。従って
支持環１２は、例えば二つに分ｙ１され、突出部１４を
ｎ１３に嵌めた後両分割部を結合して基板３を支持する
。ｆｆｉ産の場合は多数の支持治具４を第８図と同様に
一つの回転軸の周りに取り付け、基板の自転なしに公転
させるのみで均一な磁性層を形成することができる。 第２図は別の実施例の基板形状を示し、第２図１ａｌお
よびそのＢ部拡大図である第２図山１から判るように、
５［３の外周面に等間隔に分散して有底１ダ ルミが設けられている。従って支持環１２の内側に基板
を置き、支持環１２を貫通するピンの先端をこの孔１５
に挿入し、ピンをねじ止め、その他の方法で支持環に固
定することによってａ［を支持することができる。この
場合には支持環は二分割する必要がない。 【発明の効果］ 本発明によれば、外縁支持を容易に実現し得るように磁
気記録媒体の基板の外周面に溝または有底孔のようなく
ぼみを設けるもので、基板上の磁性層形成のｆｉＦｊＥ
ｖｔＩ設計において基板自転の機構を必要としない極め
て効率の良い装置を製作することが可能である。 特に、今後伸長が期待される５、２５インチ以下のｉｌ
ｌｌ配気媒体の場合は、記録容量を向上させつつコンパ
クト化を達成しようと言う点から可能な限り外周に近い
部分にまで記録領域、従って浮上保証領域を伸ばすこと
が要求されている。この場合本発明によれば外ｔ（部に
おける支持治具の遮断効果がないため、遊休部分を最小
にして所定の品質の浮上保証領域を形成することができ
、その要求に答えることができる。 なお、本発明はスパッタ媒体に限らず塗布媒体。 めっき媒体にも適用してその基板の支持方式の改善を図
ることができることは言うまでもない。
第１図は本発明の実施例の磁気記録媒体の基板支持方式
を示す正面図、第２＠は本発明の一実施例の基板形状を
示し、ｔａｒは側面図、伽）はそのＡ部拡大図、ｔＡ３
図は第２図の基板の支持状態の断面図、第４図は別の実
施例の基板形状を示し、ｔａｒは側百図、中目よそのＢ
部拡大図、第５図はけ気記録媒体全体の一例でｔａｒは
平面図、伽）はそのｃ−ｃ’線断面図、第６図は従来の
基板中心支持方式の正面図、第７図は第６図の支持方式
を用いた磁性層形成袋この一例の正面図、第８図は別の
例の正面図、第９図は基体の外縁支持方式の一例を示す
断面図である。 ３：磁気記録媒体基板、１３：環状溝、１５：有底孔。 ７・、堅・ 、、１−１ ＋１理人弁理十 山 口 戸′ ７（ｂ） 第５図 第６図 第８図
を示す正面図、第２＠は本発明の一実施例の基板形状を
示し、ｔａｒは側面図、伽）はそのＡ部拡大図、ｔＡ３
図は第２図の基板の支持状態の断面図、第４図は別の実
施例の基板形状を示し、ｔａｒは側百図、中目よそのＢ
部拡大図、第５図はけ気記録媒体全体の一例でｔａｒは
平面図、伽）はそのｃ−ｃ’線断面図、第６図は従来の
基板中心支持方式の正面図、第７図は第６図の支持方式
を用いた磁性層形成袋この一例の正面図、第８図は別の
例の正面図、第９図は基体の外縁支持方式の一例を示す
断面図である。 ３：磁気記録媒体基板、１３：環状溝、１５：有底孔。 ７・、堅・ 、、１−１ ＋１理人弁理十 山 口 戸′ ７（ｂ） 第５図 第６図 第８図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）非磁性基体上に磁性層が被着されるものにおいて、
基体上の外周面にくぼみを有することを特徴とする磁気
記録媒体。 ２）特許請求の範囲第１項記載の媒体において、くぼみ
が環状の溝であることを特徴とする磁気記録媒体。 ３）特許請求の範囲第１項記載の媒体において、くぼみ
が外周面に分散して設けられた有底孔であることを特徴
とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17543984A JPS6154037A (ja) | 1984-08-23 | 1984-08-23 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17543984A JPS6154037A (ja) | 1984-08-23 | 1984-08-23 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6154037A true JPS6154037A (ja) | 1986-03-18 |
Family
ID=15996108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17543984A Pending JPS6154037A (ja) | 1984-08-23 | 1984-08-23 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6154037A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0190167U (ja) * | 1987-12-02 | 1989-06-14 | ||
| JPH05101367A (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-23 | Fujitsu Ltd | 磁気デイスクおよび基板ホルダー |
| JP2007242204A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Fujitsu Ltd | 磁気ディスク基板および磁気ディスク基板の保持方法 |
-
1984
- 1984-08-23 JP JP17543984A patent/JPS6154037A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0190167U (ja) * | 1987-12-02 | 1989-06-14 | ||
| JPH05101367A (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-23 | Fujitsu Ltd | 磁気デイスクおよび基板ホルダー |
| JP2007242204A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Fujitsu Ltd | 磁気ディスク基板および磁気ディスク基板の保持方法 |
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