JPS6150031A - センサ用圧電変換素子 - Google Patents
センサ用圧電変換素子Info
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- JPS6150031A JPS6150031A JP17304184A JP17304184A JPS6150031A JP S6150031 A JPS6150031 A JP S6150031A JP 17304184 A JP17304184 A JP 17304184A JP 17304184 A JP17304184 A JP 17304184A JP S6150031 A JPS6150031 A JP S6150031A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
- G01L1/162—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices using piezoelectric resonators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、外部圧力を振動周数の変化量として検出する
センサ用の圧電変換素子に関し、特に圧電板の形状を音
叉状として圧力感度が良好で、温度変化による振動周波
数の変化を補償し、外部圧力にのみ感応する圧電変換素
子に係るもので、例えば刻時変化する外力を検出するに
適した圧力センサ利用されるものである。
センサ用の圧電変換素子に関し、特に圧電板の形状を音
叉状として圧力感度が良好で、温度変化による振動周波
数の変化を補償し、外部圧力にのみ感応する圧電変換素
子に係るもので、例えば刻時変化する外力を検出するに
適した圧力センサ利用されるものである。
（従来技術の技術の背景）
ＩＩｒ来より、圧力を加えると電荷が発生する圧電現象
を利用したものとして、例えは水晶振動子がよく知られ
ており、通信機器を主とした電子機器Ｏこ発振子やフィ
ルり素子として有用されてきた。
を利用したものとして、例えは水晶振動子がよく知られ
ており、通信機器を主とした電子機器Ｏこ発振子やフィ
ルり素子として有用されてきた。
そして、一方では、各種測定器のデジタル表示化か進行
する中にあって、この圧電現象を利用した圧電セノ→力
が俄に注ｌ」を浴びている。例えば被１Ｊｊｌｌ定「１
辺の重量を、圧電板（こ発生した電荷により計測する試
みは１１」来よりなされていたものである。しかし、こ
の試みは、被１Ｊｉｊｌ定休により発生ずる電荷量が極
めて乏しく、その電荷が瞬時にして消失してしまうので
、現実にはこの方式の圧電センサは普及する（こ至って
いない。このため、例えば圧電板を発振子として使用し
、外力によりその共振周波数が変化することに着ＬＩ
した圧電センサの開発研究がなされている。第２図は、
この圧電センサを使用した圧力センサンステムを示す簡
単なブロック図で、１は被測定体、２は圧力センサの発
振ｒ−として使用される圧電板、３は発振回路、・［は
演算回路、５はデジタル表示器である。従って、この圧
力センサンステムによれは、図示しない（幾械伝達系（
こより、被測定体１の重量Ｐが圧電板２（こ外力による
ひずみを発生させて共振条件を変動させ、発振回路３の
予め設定された出力周波数ｆＯがｆＯからｆｌに変化す
ることを利用し、振動周波数差ｆｌ−ｆＯを演算回路４
にて検出し重量値に換算して、表示器５に被測定体の重
量をデンタル値として表示するものである。
する中にあって、この圧電現象を利用した圧電セノ→力
が俄に注ｌ」を浴びている。例えば被１Ｊｊｌｌ定「１
辺の重量を、圧電板（こ発生した電荷により計測する試
みは１１」来よりなされていたものである。しかし、こ
の試みは、被１Ｊｉｊｌ定休により発生ずる電荷量が極
めて乏しく、その電荷が瞬時にして消失してしまうので
、現実にはこの方式の圧電センサは普及する（こ至って
いない。このため、例えば圧電板を発振子として使用し
、外力によりその共振周波数が変化することに着ＬＩ
した圧電センサの開発研究がなされている。第２図は、
この圧電センサを使用した圧力センサンステムを示す簡
単なブロック図で、１は被測定体、２は圧力センサの発
振ｒ−として使用される圧電板、３は発振回路、・［は
演算回路、５はデジタル表示器である。従って、この圧
力センサンステムによれは、図示しない（幾械伝達系（
こより、被測定体１の重量Ｐが圧電板２（こ外力による
ひずみを発生させて共振条件を変動させ、発振回路３の
予め設定された出力周波数ｆＯがｆＯからｆｌに変化す
ることを利用し、振動周波数差ｆｌ−ｆＯを演算回路４
にて検出し重量値に換算して、表示器５に被測定体の重
量をデンタル値として表示するものである。
（従来技術の問題点）
上記圧力センサシステムに使用される圧力センサ用の圧
電板２としては、電気−機械結合係数が大きく、微圧に
感応して良好な圧力感度がイシＪられるものとして、通
常多結晶体の圧電セラミックスが１吏几１されて（・る
。しかし、この圧電セラミックスは、’／１１ａ度（こ
対して共振周波数が著しく変化し、［Ｊ１１四温回り変
化により測定値が一定でなくなる問題がある。一方、温
度−周波数特性（以下、単に篩面特性と称する。）が圧
電セラミックス（こ化し、より優れた三次曲線を呈する
ＡＴカットの水晶板を圧力センサ用として使用する場合
にはその電気−（代１７＋１Ｓ ４’、ｉ合係数が小さ
く圧力感度が低下してしまう欠点かある。例えは温度に
よる共振周波数の変（ヒを防Ｉにするものとしては、特
開昭５４−２０７８０号に開；ｊ＜＠れてし・るよう）
こ、同一４１１′１生の水晶板を２つ使用し一方を圧力
センサ用（二曲方をタミー用としてそれぞれ発振させ、
その出力周波数差を検出して温度１．１．性（こよる測
定誤差を防市するようＱ二したものかある。しかし、こ
の圧電センサでは、水晶板を２枚要することをこ加え、
同公報中に記載されてし・る通り２つの水晶板を全く同
一の温度’Ｆ”にＬとすることは困難である。更に、長
方形ＩＪ（の水晶］；−の長Ｔ’−／Ｊ向の１ｒＩｆｊ
端（をｆｌｆこ１１にてし・るため、イｊｌ定すべき外
力か長手力向中央部撮動部に到達しにくく圧力感度の」
−昇が望めない欠点がある。
電板２としては、電気−機械結合係数が大きく、微圧に
感応して良好な圧力感度がイシＪられるものとして、通
常多結晶体の圧電セラミックスが１吏几１されて（・る
。しかし、この圧電セラミックスは、’／１１ａ度（こ
対して共振周波数が著しく変化し、［Ｊ１１四温回り変
化により測定値が一定でなくなる問題がある。一方、温
度−周波数特性（以下、単に篩面特性と称する。）が圧
電セラミックス（こ化し、より優れた三次曲線を呈する
ＡＴカットの水晶板を圧力センサ用として使用する場合
にはその電気−（代１７＋１Ｓ ４’、ｉ合係数が小さ
く圧力感度が低下してしまう欠点かある。例えは温度に
よる共振周波数の変（ヒを防Ｉにするものとしては、特
開昭５４−２０７８０号に開；ｊ＜＠れてし・るよう）
こ、同一４１１′１生の水晶板を２つ使用し一方を圧力
センサ用（二曲方をタミー用としてそれぞれ発振させ、
その出力周波数差を検出して温度１．１．性（こよる測
定誤差を防市するようＱ二したものかある。しかし、こ
の圧電センサでは、水晶板を２枚要することをこ加え、
同公報中に記載されてし・る通り２つの水晶板を全く同
一の温度’Ｆ”にＬとすることは困難である。更に、長
方形ＩＪ（の水晶］；−の長Ｔ’−／Ｊ向の１ｒＩｆｊ
端（をｆｌｆこ１１にてし・るため、イｊｌ定すべき外
力か長手力向中央部撮動部に到達しにくく圧力感度の」
−昇が望めない欠点がある。
（発明の目的）
本発明は、第１に、構造が簡単で外力（こよる内部ひず
みを発生し易く圧力感度が良好なセンサ用圧電変換素子
を提供し、第２（こ、外力により発生する内部ひずみを
効率良く検出でき圧力感度が優れたセンサ用圧電変換素
子を提供し、第３（こ、圧素子を提供することを・目１
：的とする。
みを発生し易く圧力感度が良好なセンサ用圧電変換素子
を提供し、第２（こ、外力により発生する内部ひずみを
効率良く検出でき圧力感度が優れたセンサ用圧電変換素
子を提供し、第３（こ、圧素子を提供することを・目１
：的とする。
（解決手段）
第１（こ、厚み系の振動が励起される圧電板を、基部と
基部から延出する２本の音叉アームとからなる音叉状に
形成し、前記基部の両主面に一対の電極を形成した点に
あり、第２に前記シ１（部の互いに反対方向のひずみが
発生ずる」二端分と下端部との両主面に一対つつの一組
の電Ｊｉｌを形成した点Ｏこあり、第３＆こ、前記基部
と少なくとも一方の音叉アーノ、との両生１ｎｉに一対
づつの一テ１［の電険を形成した点にある。
基部から延出する２本の音叉アームとからなる音叉状に
形成し、前記基部の両主面に一対の電極を形成した点に
あり、第２に前記シ１（部の互いに反対方向のひずみが
発生ずる」二端分と下端部との両主面に一対つつの一組
の電Ｊｉｌを形成した点Ｏこあり、第３＆こ、前記基部
と少なくとも一方の音叉アーノ、との両生１ｎｉに一対
づつの一テ１［の電険を形成した点にある。
（実５＋Ｊ亀１列 ）
以下、図により本発明の一実施例を説明する。
第１図は、本発明の圧電変換、１・；子に１１＆用され
る圧′ＩＬ板の図て、この圧電板は、Ａ Ｔ力２・１−
で切断された水晶片１３がノ、（部７と基部７より延出
した２本の音叉アーム８ｎ、８ｂとがら・なる諜叉扶ζ
こ加工され、基部７の幅方向を厚みすべりの主振動が励
起されるＸ軸とし、音叉アーム８ａ 、８ｂの長手方向
を２′軸として、その厚みを振動周波数が概略決定され
るＹ′軸としたものである。
る圧′ＩＬ板の図て、この圧電板は、Ａ Ｔ力２・１−
で切断された水晶片１３がノ、（部７と基部７より延出
した２本の音叉アーム８ｎ、８ｂとがら・なる諜叉扶ζ
こ加工され、基部７の幅方向を厚みすべりの主振動が励
起されるＸ軸とし、音叉アーム８ａ 、８ｂの長手方向
を２′軸として、その厚みを振動周波数が概略決定され
るＹ′軸としたものである。
以下、この音叉状水晶片６を適用した圧電変換素子の作
用（こついて説明する。
用（こついて説明する。
今、例えは圧電変換素子となる音叉状水晶片６か中空状
に置かれたと仮定し、音叉アーム８ａ。
に置かれたと仮定し、音叉アーム８ａ。
８ｂの両側面即ち、Ｙ’−２面に矢印Ｑ′て示ず外力か
加わったとすると、−組の音叉アーム８ａ、８ｂは、そ
の延出部を中心として内側くこ（幾械的に変位する。そ
して基部７の上端部くこは外力Ｑと同方向の］１１ｈみ
力ｑｌが作用し、基部７の低端部には外力Ｑとは反対方
向の伸張力ｑ２が作用する。従って、ｊ子又ア−ノ、８
ａ、８ｂ＋こは外力Ｑ＋こスＪオるひずみが発生ぜず、
基部７の上！’１ｉｉ部と千９１１１部）こは４１１、
み力（（１及び伸張力（１２（こ対生ろ１．れ、力（こ
よりそ（ｔそれ反対方向のＸ１ｌｌ１１１方向にひずみ
を発生する。そして、この音叉基部７の−に苓）、′１
１；及び下ｐｊ、ＨＨ部（こ発生ずるひずみは、音叉ア
ーム８ ａ 、 ８ ｂの磯（１り的変位に直接応動し
て発生するので、その量は太きいものとなる。従って、
この音叉基部７の−に端部文び下端部の少なくとも一方
、例えは」二端部の両本部に第３図（ａ）に示す一対の
電極９を形成し、この部を振動部（以下、第１の振動部
とする。）として、図示しない発振器を描成し、音叉ア
ーム８ａ、８ｂの少なくとも一方を自由端として外力を
υ１１えれば、音叉基部には外力に直接応動したひずみ
が発生して発振周波数が大きく変動し、圧力（１８度か
良好な圧電変換素子を提供できる。史※こ、第；う図（
１〕ｊに示したようＱ二、音叉基部７の下端部の両本部
にも一対の電極ＬＯを形成して第２の振動部とし、第１
の振動部とともにそれぞれ発振させてやれば、第１と第
２の振動部の発振周波数は互いに反対方向に変ｆヒする
。従って、両者の発振周波数の差を検出してやれは、外
力に対して略２１１“ｔの発振周波数の変化量を得るこ
とができるので、その感度はより浸れたものとなる。又
、更に、第３図（Ｃ）に示したように、音叉基部７の上
端部を下端部との間Ｑこ板面を貫通するスリット１１を
設けてやれは、音叉アーム８ａ、８．ｂに加わる外力Ｑ
によりスリット１１の上側（基部７の」二端部）と下側
（基部７のに分ｉ！’Ｉｆ：されるので、互いの振動Ｑ
こ（ｊし：１°；８を文はさずぞ〕）圧力トム度を更に
良好（こすることがてぎる。
加わったとすると、−組の音叉アーム８ａ、８ｂは、そ
の延出部を中心として内側くこ（幾械的に変位する。そ
して基部７の上端部くこは外力Ｑと同方向の］１１ｈみ
力ｑｌが作用し、基部７の低端部には外力Ｑとは反対方
向の伸張力ｑ２が作用する。従って、ｊ子又ア−ノ、８
ａ、８ｂ＋こは外力Ｑ＋こスＪオるひずみが発生ぜず、
基部７の上！’１ｉｉ部と千９１１１部）こは４１１、
み力（（１及び伸張力（１２（こ対生ろ１．れ、力（こ
よりそ（ｔそれ反対方向のＸ１ｌｌ１１１方向にひずみ
を発生する。そして、この音叉基部７の−に苓）、′１
１；及び下ｐｊ、ＨＨ部（こ発生ずるひずみは、音叉ア
ーム８ ａ 、 ８ ｂの磯（１り的変位に直接応動し
て発生するので、その量は太きいものとなる。従って、
この音叉基部７の−に端部文び下端部の少なくとも一方
、例えは」二端部の両本部に第３図（ａ）に示す一対の
電極９を形成し、この部を振動部（以下、第１の振動部
とする。）として、図示しない発振器を描成し、音叉ア
ーム８ａ、８ｂの少なくとも一方を自由端として外力を
υ１１えれば、音叉基部には外力に直接応動したひずみ
が発生して発振周波数が大きく変動し、圧力（１８度か
良好な圧電変換素子を提供できる。史※こ、第；う図（
１〕ｊに示したようＱ二、音叉基部７の下端部の両本部
にも一対の電極ＬＯを形成して第２の振動部とし、第１
の振動部とともにそれぞれ発振させてやれば、第１と第
２の振動部の発振周波数は互いに反対方向に変ｆヒする
。従って、両者の発振周波数の差を検出してやれは、外
力に対して略２１１“ｔの発振周波数の変化量を得るこ
とができるので、その感度はより浸れたものとなる。又
、更に、第３図（Ｃ）に示したように、音叉基部７の上
端部を下端部との間Ｑこ板面を貫通するスリット１１を
設けてやれは、音叉アーム８ａ、８．ｂに加わる外力Ｑ
によりスリット１１の上側（基部７の」二端部）と下側
（基部７のに分ｉ！’Ｉｆ：されるので、互いの振動Ｑ
こ（ｊし：１°；８を文はさずぞ〕）圧力トム度を更に
良好（こすることがてぎる。
第・１図は、ｊ′１：叉状の水晶片Ｇの音叉アーム８ａ
（こは外力Ｑ（こよるひずみが発生しないことを利用し
た他の圧電変換素子を示す図て、音叉基部７の例えは」
二端部と少なくとも一方の音叉アーム８ａのそれぞれ両
本部（ニ一対の電極つと１２とを形成し、それぞれ第１
の振動部と第３の振動部どしたものである。従って、第
１と第：３との振動部をそれぞれ発振させれば、第１の
４反動部からは外力Ｑ＋こより変化した出力周波数ｆ１
が発生し、第３の振動部からは外力Ｑに左右されない所
定の出力周波：ｉｆＯが発生することζこなる。
（こは外力Ｑ（こよるひずみが発生しないことを利用し
た他の圧電変換素子を示す図て、音叉基部７の例えは」
二端部と少なくとも一方の音叉アーム８ａのそれぞれ両
本部（ニ一対の電極つと１２とを形成し、それぞれ第１
の振動部と第３の振動部どしたものである。従って、第
１と第：３との振動部をそれぞれ発振させれば、第１の
４反動部からは外力Ｑ＋こより変化した出力周波数ｆ１
が発生し、第３の振動部からは外力Ｑに左右されない所
定の出力周波：ｉｆＯが発生することζこなる。
従って、出力周波数差ｆｌ−ｆＯを検出すること）こよ
り、この出力周波数差ｆｌ−ｆＯを外力Ｑのみによる変
化分とすることができる。即ち第１と第３との振動部が
同一水晶板に形成されであるため、第１と第３との振動
部の温度変化（こよる共振周波数の変化量△ｆは全く同
じなので、出力周波数差ｆ１−ｆＯの検出時にその変ｆ
ヒ量△ｆをキャンセルすることができるためである。従
って、この圧電９４ Ｊ２：３素子は、／１１．１１度
変化による振動周波数の変化（こ〕＋−ｒ１″されるこ
となく外力Ｑ（このみ感ルｉｓ、した振動周肢シ゛に差
ｆｌ−ｆＯのみを（炙出できる。第５図は、１王カセン
サの圧電変換素子として実際に適用される場合の音叉状
水晶片６の保持部を示ず図である。第５（／１（ａ）は
主部が形成されない他方のア−ｌ、８１）の先）１１“
１１部を固定端とし、第キ図（ｂ）は他方のアーム８ｂ
ｊ！−び基部７の側面を固定端として電極が形成され
ｉｚ’１えは第：うの振動部となる一ノｊのｉ’ｌ’
ｆアーム：”ｌ ａ２自由端とし、一方のアーム８ａの
側面に外力かυ［１わるようにしたものである。尚、図
中１．３は仁）シｄ用定１１．１１によるタトカな垂直
方向から水平方向に変換して、１・；１°又仄圧′ＩＬ
変換索子の自Ｉｌｌ Ｍｉｉ１旨二１Ｊ１１える（夷（
成仏、吐糸であるｃｉ；Ｑｏって、この圧カセノサは１
皮７則定体川の外力に応動して音叉基部７にひずみを発
生させることがてさる１、第１）図は音叉、仄の水晶片
６の外力か加えられる音叉アーム８の各点における圧力
感度の大きさを示す図で、圧力感度は音叉アーム８の先
端部程大きく１艮本部程小さくなるものである。又、こ
の圧力感度は、音叉全体の厚みｔ １！１１、ち共振周
波数を変えても、その感度は変化するものである。そし
て、これらの圧力感度を考慮し、１′１−叉状の圧電変
換素子のいずれを固定ＺＡ’＋とし、又白１１１端とす
るかは任意に選定でとるものである。
り、この出力周波数差ｆｌ−ｆＯを外力Ｑのみによる変
化分とすることができる。即ち第１と第３との振動部が
同一水晶板に形成されであるため、第１と第３との振動
部の温度変化（こよる共振周波数の変化量△ｆは全く同
じなので、出力周波数差ｆ１−ｆＯの検出時にその変ｆ
ヒ量△ｆをキャンセルすることができるためである。従
って、この圧電９４ Ｊ２：３素子は、／１１．１１度
変化による振動周波数の変化（こ〕＋−ｒ１″されるこ
となく外力Ｑ（このみ感ルｉｓ、した振動周肢シ゛に差
ｆｌ−ｆＯのみを（炙出できる。第５図は、１王カセン
サの圧電変換素子として実際に適用される場合の音叉状
水晶片６の保持部を示ず図である。第５（／１（ａ）は
主部が形成されない他方のア−ｌ、８１）の先）１１“
１１部を固定端とし、第キ図（ｂ）は他方のアーム８ｂ
ｊ！−び基部７の側面を固定端として電極が形成され
ｉｚ’１えは第：うの振動部となる一ノｊのｉ’ｌ’
ｆアーム：”ｌ ａ２自由端とし、一方のアーム８ａの
側面に外力かυ［１わるようにしたものである。尚、図
中１．３は仁）シｄ用定１１．１１によるタトカな垂直
方向から水平方向に変換して、１・；１°又仄圧′ＩＬ
変換索子の自Ｉｌｌ Ｍｉｉ１旨二１Ｊ１１える（夷（
成仏、吐糸であるｃｉ；Ｑｏって、この圧カセノサは１
皮７則定体川の外力に応動して音叉基部７にひずみを発
生させることがてさる１、第１）図は音叉、仄の水晶片
６の外力か加えられる音叉アーム８の各点における圧力
感度の大きさを示す図で、圧力感度は音叉アーム８の先
端部程大きく１艮本部程小さくなるものである。又、こ
の圧力感度は、音叉全体の厚みｔ １！１１、ち共振周
波数を変えても、その感度は変化するものである。そし
て、これらの圧力感度を考慮し、１′１−叉状の圧電変
換素子のいずれを固定ＺＡ’＋とし、又白１１１端とす
るかは任意に選定でとるものである。
第７図は本発明の圧電変換素子を利用した圧力セ／サノ
ステムの一例で、１５は披Ｉｌｔ！ｌ定体、１６はこの
圧７し変換素子を使用した圧カセノサ、１７は第１の振
動部と接続した発振回路、１８は第３の振動部と接続し
た第３の発振回路、１９はミキサ、２０は演券：回路、
２１はデジタル表示器である。従って、このセンザノス
テム（こよればミキサ１！１により被測定体の重量を第
１と第３との発振回路の出力周波数差として同一１１、
冒こ検出できるので、／１′１．′Ｌ度変化による振動
周波数差に誤差がなく、演算回路２］こより適確な重量
値（こ接続して表示機２１にてデンタル１直として表示
できる。
ステムの一例で、１５は披Ｉｌｔ！ｌ定体、１６はこの
圧７し変換素子を使用した圧カセノサ、１７は第１の振
動部と接続した発振回路、１８は第３の振動部と接続し
た第３の発振回路、１９はミキサ、２０は演券：回路、
２１はデジタル表示器である。従って、このセンザノス
テム（こよればミキサ１！１により被測定体の重量を第
１と第３との発振回路の出力周波数差として同一１１、
冒こ検出できるので、／１′１．′Ｌ度変化による振動
周波数差に誤差がなく、演算回路２］こより適確な重量
値（こ接続して表示機２１にてデンタル１直として表示
できる。
従って、この圧電変換素子は例えば、刻時その外力が変
化する加速度計等の測定器）こ最適なものとなる。
化する加速度計等の測定器）こ最適なものとなる。
（発明の効果）
以上の構成により、本発明の圧電変換素子は、第１に構
造が簡単で外力による内部ひずみを発生し易く圧力感度
が良好な圧電変換素子を提供でき、第２に外力（こより
発生する内部ひずみを効率よく検出して、圧力感度に優
れた圧電変換素子を提供でき、第３に圧電板の温度特性
による振動周波数の変化分をキャンセルして外力にのみ
応答する圧電変換素子を提供することができる。
造が簡単で外力による内部ひずみを発生し易く圧力感度
が良好な圧電変換素子を提供でき、第２に外力（こより
発生する内部ひずみを効率よく検出して、圧力感度に優
れた圧電変換素子を提供でき、第３に圧電板の温度特性
による振動周波数の変化分をキャンセルして外力にのみ
応答する圧電変換素子を提供することができる。
第１図は本発明の圧電変換素子に適用される音叉状水品
片の図、第２図は１王カセンサノステトの一例を示すブ
ロック図、第３図（ａ） （ｂ） （ｃ）は電極を形成
した本発明の圧電変換素子、第４１Ｚ目よ、本発明の池
の実施例図、第５図（ａ） （ｂ）は本発明の圧電変換
クラフ図、第７図は本発明の圧電変換素子を利用した圧
カセンサノステムのブロック図である。 （３−、キ叉秋水晶片、７ 音叉基部、８ａ 、８ｂ・
・？’ｉ’又アーム、９ 、１０ 、１２ 電（１広
。 第１図 Ｙ。 ＋ ｍ２図 第３図（０） 第３図（ｃ） 第４図 第６図
片の図、第２図は１王カセンサノステトの一例を示すブ
ロック図、第３図（ａ） （ｂ） （ｃ）は電極を形成
した本発明の圧電変換素子、第４１Ｚ目よ、本発明の池
の実施例図、第５図（ａ） （ｂ）は本発明の圧電変換
クラフ図、第７図は本発明の圧電変換素子を利用した圧
カセンサノステムのブロック図である。 （３−、キ叉秋水晶片、７ 音叉基部、８ａ 、８ｂ・
・？’ｉ’又アーム、９ 、１０ 、１２ 電（１広
。 第１図 Ｙ。 ＋ ｍ２図 第３図（０） 第３図（ｃ） 第４図 第６図
Claims (7)
- （１）厚み系の振動が励起される圧電板を基部と基部か
ら延出する２本の音叉アームとからなる音叉状に形成し
、前記基部の両主面に一対の電極を形成したことを特徴
とするセンサ用圧電変換素子。 - （２）前記第１項記載の特許請求の範囲において、前記
圧電片をＡＴカットの水晶片として、音叉基部の幅方向
をＸ軸とし、音叉アームの延出した長手方向をＺ′軸と
し、音叉板面の厚みをＹ′軸としたことを特徴とするセ
ンサ用圧電変換素子。 - （３）厚み系の振動が励起される圧電板を基部と基部か
ら延出する２本の音叉アームとからなる音叉状に形成し
、互いに反対方向のひずみが発生する前記基部の上部と
下部との両主面に一対づつの電極を形成したことを特徴
とするセンサ用圧電変換素子。 - （４）前記第３項記載の特許請求の範囲において、前記
圧電片をＡＴカットの水晶片として、音叉基部の幅方向
をＸ軸とし、音叉アームの延出した長手方向をＺ′軸と
し、音叉板面の厚みをＹ′軸としたことを特徴とするセ
ンサ用圧電変換素子。 - （５）前記第３項記載の特許請求の範囲において、音叉
基部の上部と下部との間にスリットを設けたことを特徴
とするセンサ用圧電変換素子。 - （６）厚み系の振動が励起される圧電板を基部と基部か
ら延出する２本の音叉アームとからなる音叉状に形成し
、一方の音叉アームと前記基部との両主面に一対づつの
対の電極を形成したことを特徴とするセンサ用圧電変換
素子。 - （７）前記第６項記載の特許請求の範囲において、前記
圧電片をＡＴカットの水晶片として、音叉基部の幅方向
をＸ軸とし、音叉アームの延出した長手方向をＺ′軸と
し、音叉板面の厚みをＹ′軸としたことを特徴とするセ
ンサ用圧電変換素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17304184A JPS6150031A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | センサ用圧電変換素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17304184A JPS6150031A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | センサ用圧電変換素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6150031A true JPS6150031A (ja) | 1986-03-12 |
Family
ID=15953104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17304184A Pending JPS6150031A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | センサ用圧電変換素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6150031A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS491234A (ja) * | 1972-04-15 | 1974-01-08 | ||
| JPS5858431A (ja) * | 1981-10-01 | 1983-04-07 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 機械的圧力センサ− |
| JPS5935122A (ja) * | 1982-08-23 | 1984-02-25 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 気体の圧力センサ |
| JPS59131135A (ja) * | 1982-08-05 | 1984-07-27 | フロペトロル，サ−ビスイズ，インコ−ポレ−テツド | 深い油井で使用するための圧電圧力トランスデュ−サ |
-
1984
- 1984-08-20 JP JP17304184A patent/JPS6150031A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS491234A (ja) * | 1972-04-15 | 1974-01-08 | ||
| JPS5858431A (ja) * | 1981-10-01 | 1983-04-07 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 機械的圧力センサ− |
| JPS59131135A (ja) * | 1982-08-05 | 1984-07-27 | フロペトロル，サ−ビスイズ，インコ−ポレ−テツド | 深い油井で使用するための圧電圧力トランスデュ−サ |
| JPS5935122A (ja) * | 1982-08-23 | 1984-02-25 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 気体の圧力センサ |
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