JPS6146013A - Method of producing ceramic condenser - Google Patents

Method of producing ceramic condenser

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JPS6146013A
JPS6146013A JP16867184A JP16867184A JPS6146013A JP S6146013 A JPS6146013 A JP S6146013A JP 16867184 A JP16867184 A JP 16867184A JP 16867184 A JP16867184 A JP 16867184A JP S6146013 A JPS6146013 A JP S6146013A
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ceramic
layer
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electrode
electron beam
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岡根 正明
孝夫 細川
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 2(産業上の利用分野) この発明はセラミックコンデンサの製造方法に関し、特
にたとえば積層型セラミックコンデンサの製造方法に関
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION 2 (Field of Industrial Application) The present invention relates to a method of manufacturing a ceramic capacitor, and particularly to a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor, for example.

(従来技術) 従来の積層セラミックコンデンサの製造方法は、まず、
誘電体の粉末を有機バインダ溶液中に分散して泥状のセ
ラミックペーストとして形成した後に、セラミックペー
ストをシート状に成形してたとえば加熱器で加熱乾燥し
、セラミックグリーンシートを得る。このセラミックグ
リーンシートの表面に金泥粉末とたとえばフェスとを混
合した電極ペーストを印刷して、加熱乾燥し、電極ペー
ストJ’fflを形成する。さらに、これらの層を必要
に応じて何層も積み重ね加圧、圧着して積層物を得る。
(Prior art) The conventional manufacturing method for multilayer ceramic capacitors is as follows:
After dispersing dielectric powder in an organic binder solution to form a mud-like ceramic paste, the ceramic paste is formed into a sheet shape and dried by heating, for example, with a heater to obtain a ceramic green sheet. An electrode paste containing a mixture of gold mud powder and, for example, Fes is printed on the surface of this ceramic green sheet and dried by heating to form an electrode paste J'ffl. Furthermore, a number of these layers are piled up and pressed together as required to obtain a laminate.

その積層物を焼成器によってバーンアウト(仮焼)し焼
成する。さらに、焼成されたチップ状積層物に外部電極
を形成して積層型のセラミ、ツタコンデンサとする。
The laminate is burnt out (calcined) and fired using a firing machine. Furthermore, external electrodes are formed on the fired chip-like laminate to produce a laminate type ceramic or vine capacitor.

(発明が解決しようとする問題点) 電極ペースト層とセラミックペースト層とを予備乾燥し
て硬化させる場合、硬化時間が長くかかり、そのためそ
の工程に時間が多くかかる。このことが、量産性向上を
阻害する1つの要因になっている。
(Problems to be Solved by the Invention) When pre-drying and curing the electrode paste layer and the ceramic paste layer, it takes a long time to cure, and therefore the process takes a lot of time. This is one of the factors that hinders improvement in mass productivity.

それゆえに、この発明の主たる目的は、セラミックペー
スト層および電極ペースト層を短時間で硬化でき、量産
性を向上できる、セラミックコンデンサの製造方法を提
供することである。
Therefore, the main object of the present invention is to provide a method for manufacturing a ceramic capacitor, which can cure a ceramic paste layer and an electrode paste layer in a short time and improve mass productivity.

(問題点を解決するための手段) この発明では、主として誘電体粉末および電子線硬化型
樹脂を混合してセラミックペーストをつくり、主として
金属粉末および電子線硬化型樹脂を混合して電極ペース
トをつくる。先にセラミックペーストまたは電極ペース
トの層を形成してそこに電子線を照射して硬化させ、つ
いでその硬化された層の上に電極ペーストまたはセラミ
ックペーストの層を形成してそこに電子線を照射して硬
化させるようにした。
(Means for Solving the Problems) In this invention, a ceramic paste is made by mainly mixing a dielectric powder and an electron beam curable resin, and an electrode paste is made by mainly mixing a metal powder and an electron beam curable resin. . First, a layer of ceramic paste or electrode paste is formed and then hardened by irradiating it with an electron beam. Then, a layer of electrode paste or ceramic paste is formed on top of the hardened layer and then the layer is irradiated with an electron beam. and then let it harden.

(作用) セラミックペースト層は、そこに電子線が照射されるこ
とによって瞬時に硬化され、電極ペーストNも同様に電
子線が照射されることによって瞬時に硬化される。
(Function) The ceramic paste layer is instantly hardened by being irradiated with an electron beam, and the electrode paste N is similarly hardened instantly by being irradiated with an electron beam.

(発明の効果) この発明によれば、セラミックペースト層および電極ペ
ースト層は電子線を照射するだけで硬化させることがで
きるので、その硬化時間が、従来のように加熱乾燥によ
る場合に比べて、大幅に短縮さね得る。したがって、セ
ラミックコンデンサの量産性の飛曜的向上が期待できる
。さらに、各ペースト層は電子線の照射によってずでに
硬化されていて、従来のように各ペース+−iを印刷形
成し・た後乾燥して硬化させるために炉まで持ち運ぶ必
要がないので、各層の機械的強度をあまり大きくする必
要がないため、セラミックペースト層と電極ペースト層
との薄膜化が可能となり、それによって、省資材が図れ
るばかりでなく、高静電容量のセラミックコンデンサが
得られる。
(Effects of the Invention) According to the present invention, the ceramic paste layer and the electrode paste layer can be cured simply by irradiating them with electron beams, so that the curing time is shorter than that in the conventional case of heating and drying. It cannot be significantly shortened. Therefore, a dramatic improvement in the mass productivity of ceramic capacitors can be expected. Furthermore, each paste layer is already cured by electron beam irradiation, and there is no need to carry it to a furnace for drying and curing after printing and forming each paste +-i as in the past. Since there is no need to increase the mechanical strength of each layer, it is possible to make the ceramic paste layer and electrode paste layer thinner, which not only saves materials but also provides a ceramic capacitor with high capacitance. .

また、セラミックペーストおよび電極ペーストのバイン
ダとして同一の電子線硬化型樹脂を使用すれば、積層時
にそれら各層の密着性がよく、剥離が生じない。
Furthermore, if the same electron beam curable resin is used as the binder for the ceramic paste and the electrode paste, the adhesion between the layers will be good during lamination, and no peeling will occur.

さらに、同一の電子線硬化型樹脂を用いれば、各層の焼
成(バーンアウト)が同時に進行するため、緻密な焼結
物が得られる。すなわち、従来の方法では、電極ペース
トのフェスとセラミックペーストのバインダとは別の材
料からなり、電極ペースト層とセラミックグリーンシー
トとの積層物を一度に焼成する場合、まずフェスが低分
子化し炭化して飛散し、その後にバインダが飛散する。
Furthermore, if the same electron beam curable resin is used, the firing (burnout) of each layer proceeds simultaneously, resulting in a dense sintered product. In other words, in the conventional method, the face of the electrode paste and the binder of the ceramic paste are made of different materials, and when a laminate of the electrode paste layer and the ceramic green sheet is fired at the same time, the face first becomes low-molecular and carbonizes. The binder is then scattered.

この焼成の際、フェスが外部に飛散するために、セラミ
ックグリーンシートのセラミック粒子間に通路が生じる
。この通路は、後で、温度によるセラミック粒子の成長
にともなって回復されるのであるが、フェスが飛散され
た後でバインダが飛散されるので、セラミックグリーン
シートには再びその通路が開いたり別の通路が新たに形
成されてしまう。このような通路もまた、その後埋まっ
て安定するが、完全に埋まることはない。そのため、セ
ラミック層はポーラスなものとなってしまう。
During this firing, because the faces are scattered to the outside, passages are created between the ceramic particles of the ceramic green sheet. This path will be restored later as the ceramic particles grow due to temperature, but since the binder is blown away after the face is blown away, the path will be opened again in the ceramic green sheet and another A new passage will be created. Such passages also subsequently fill and stabilize, but never completely. Therefore, the ceramic layer ends up being porous.

そして、このようにポーラスなセラミック層になると、
セラミック層と電極層との「層はがれ」やデラミネーシ
ョンを生じ、不良品となる。これに対して、同一の樹脂
を用いれば、電極層とセラミック層とに同時にバーンア
ウトが生じるため、バインダの飛散の際に生じる通路は
1回形成されるだけであり、しかもその後バインダの飛
散もないので、セラミック粒子の成長によってそのよう
な通路は殆ど埋まってしまう。そのため、セラミック層
は比較的緻密なものとなり、電極層との「層はがれ」や
デラミネーションを生じない。したがって、工程におけ
る歩溜りがよくなり、量産性がさらに向上できる。
And when it comes to a porous ceramic layer like this,
"Layer peeling" or delamination between the ceramic layer and the electrode layer occurs, resulting in a defective product. On the other hand, if the same resin is used, burnout occurs in the electrode layer and the ceramic layer at the same time, so the path that occurs when the binder scatters is formed only once, and furthermore, the binder does not scatter afterwards. Since there are no such passages, the growth of ceramic particles will almost completely fill up such passages. Therefore, the ceramic layer becomes relatively dense and does not cause "layer peeling" or delamination from the electrode layer. Therefore, the yield in the process is improved, and mass productivity can be further improved.

この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行なう以下の実施例の詳細な説明か
ら一層明らかとなろう。
The above objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the drawings.

(実施例) 第1図はこの発明の一実施例としての積層型セラミック
コンデンサの製造方法を工程順次に示す図解図である。
(Example) FIG. 1 is an illustrative diagram showing a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to an example of the present invention, step by step.

なお、以下の説明では、8Mコンデンサの製造方法を例
に挙げて説明するが、この発明は、他のセラミックコン
デンサたとえば単板コンデンサ、筒形コンデンサ等任意
の種類のコンデンサの製造に適用できることを、予め指
摘してお(。
In the following explanation, a method for manufacturing an 8M capacitor will be exemplified, but it will be appreciated that the present invention can be applied to the manufacturing of any type of capacitor such as other ceramic capacitors, such as single-plate capacitors and cylindrical capacitors. Please point it out in advance (.

まず、第1図(A)で示すように、たとえば、ガラスや
金属或いはセラミックなどからなる基体10を準備する
First, as shown in FIG. 1(A), a base 10 made of, for example, glass, metal, or ceramic is prepared.

次に、第1図(B)で示すように、基体10上にたとえ
ばスクリーン印刷法やドクタブレード法などによって、
最初のセラミックペースト層12aを形成する。セラミ
ックペーストは主として誘電体粉末と電子線硬化型樹脂
とを混合したものである。この電子線硬化型樹脂として
は、たとえばアクリレート系化合物のモノマやオリゴマ
すなわちエポキシアクリレート、ポリエステルアクリレ
ート、ウレタンアクリレート、不飽和ポリエステル、不
飽和ポリエーテル、ウレタンメラミンアクリレート、ビ
ニルポリブタジェン、アクリルウレタン或いはアクリル
ポリエステルなどが利用可能である。
Next, as shown in FIG. 1(B), a film is printed on the base 10 by, for example, a screen printing method or a doctor blade method.
A first ceramic paste layer 12a is formed. Ceramic paste is mainly a mixture of dielectric powder and electron beam curable resin. Examples of the electron beam curable resin include monomers and oligomers of acrylate compounds, such as epoxy acrylate, polyester acrylate, urethane acrylate, unsaturated polyester, unsaturated polyether, urethane melamine acrylate, vinyl polybutadiene, acrylic urethane, and acrylic polyester. etc. are available.

次に、第1図(c)で示すように、セラミックペース)
Fit12aに電子線が照射され、セラミックペースト
層12aが硬化される。電子線の照射時間は1710秒
以下で十分である。
Next, as shown in Fig. 1(c), ceramic paste)
The fit 12a is irradiated with an electron beam to harden the ceramic paste layer 12a. An electron beam irradiation time of 1710 seconds or less is sufficient.

そして、第1図CD)で示すように、硬化されたセラミ
ックペースト層12 a上に、たとえばスクリーン印刷
法或いはスプレィ法などによって、最初の電極ペースト
層14aを形成する。この電極ペーストは、セラミック
ペーストと同じ電子線硬化型樹脂と主として金属粉末と
を混合したものである。このように、電極ペーストに含
まれる電子線硬化型樹脂は、セラミックペーストに含ま
れるものと同じであってもよいが、混合すべき材料すな
わぢ誘電体と金属との違いなどに応じて、異なる樹脂が
用いられてもよい。
Then, as shown in FIG. 1CD), a first electrode paste layer 14a is formed on the hardened ceramic paste layer 12a by, for example, a screen printing method or a spray method. This electrode paste is a mixture of the same electron beam curing resin as the ceramic paste and mainly metal powder. In this way, the electron beam curing resin contained in the electrode paste may be the same as that contained in the ceramic paste, but depending on the materials to be mixed, such as the difference between dielectric and metal, etc. Different resins may be used.

電極ペースト層14aには、第1図(E)で示すように
、電子線が照射され、電極ペーストN14aが硬化され
る。
As shown in FIG. 1(E), the electrode paste layer 14a is irradiated with an electron beam to harden the electrode paste N14a.

このようにして、基体10上に、セラミックペース)J
W12aが形成され硬化され、ついで電極ペース)Fi
14aが積層され硬化される。
In this way, ceramic paste) J
W12a is formed and cured, then the electrode paste) Fi
14a is laminated and cured.

積層型コンデンサであるため、さらに、第1図(B)で
示すステップに戻って、硬化された電極ペーストN 1
4 aの上に次のセラミックペースト512bを形成し
、次に第1図(c)で示すステップと同じようにセラミ
ックペーストFi12bに電子線を照射して硬化する。
Since it is a multilayer capacitor, the process returns to the step shown in FIG. 1(B) and the hardened electrode paste N1
4a, the next ceramic paste 512b is formed, and then the ceramic paste Fi 12b is irradiated with an electron beam and hardened in the same manner as the step shown in FIG. 1(c).

さらに、第1図(D)で示すステップと同じように硬化
されたセラミックペース)J’1ii12b上に次の電
極ペースト層14bを形成し、第1図(E)で示すステ
ップと同じように電子線を照射して電極ペースト層14
bを硬化する。
Furthermore, the next electrode paste layer 14b is formed on the hardened ceramic paste (J'1ii) 12b in the same manner as the step shown in FIG. 1(D), and the electrode paste layer 14b is The electrode paste layer 14 is irradiated with a wire.
Harden b.

このような工程を数回繰り返し、第1図(F)で示すよ
うに、基体10上に5rrJのセラミックペーストJt
i12a、12b、12c、12dおよび12eが形成
され、それぞれの眉間に電極ペースト14a、14b、
14cおよび14dのそれぞれが形成された、積層物2
0を得る。この場合、たとえば、セラミックペーストH
12a〜12eおよび電極ペースト層14a〜14dを
矩形のものとすれば、電極ペースト層14a〜14dの
縁および横の少なくとも一方の寸法がセラミックペース
トJ’112a〜12eのそれより短くされる。
By repeating this process several times, as shown in FIG.
i12a, 12b, 12c, 12d and 12e are formed, and electrode pastes 14a, 14b,
Laminate 2 in which each of 14c and 14d is formed
Get 0. In this case, for example, ceramic paste H
If the electrode paste layers 12a to 12e and the electrode paste layers 14a to 14d are rectangular, at least one of the edge and lateral dimensions of the electrode paste layers 14a to 14d are shorter than those of the ceramic paste J'112a to 12e.

そして、電極ペース)層14aおよび14cは、それぞ
れの一端がセラミックペーストN 12 a〜12eの
一端とそろえられ、また、電極ペーストJi14bおよ
び144は、それぞれの一端がセラミックペーストWJ
12 a〜12eの他端とそろえられて、積層される。
The electrode paste layers 14a and 14c have one end aligned with one end of the ceramic paste N12a to 12e, and the electrode paste layers Ji14b and 144 have one end aligned with the ceramic paste WJ.
12a to 12e are aligned and stacked.

すなわち、電極ペースト層14a〜14dのそれぞれは
、それぞれの他端が交互に、セラミックペースト層12
a〜12eの他端から上述の短くされた寸法だけはなれ
るように積層される。
That is, each of the electrode paste layers 14a to 14d has its other end alternately connected to the ceramic paste layer 12.
The layers a to 12e are stacked so that the shortened dimension described above is separated from the other end.

ついで、第1図(G)で示すように、セラミックペース
ト層12a〜12eおよび電極ペーストFi14a〜1
4dの積層物20を基体10からはずして焼成炉で焼成
して、焼成された積層物工20を得る。このとき、各セ
ラミックペースト層および電極ペーストHに含まれるバ
インダすなわち電子線硬化型樹脂が同じものであれば同
時に飛散する。
Next, as shown in FIG. 1(G), ceramic paste layers 12a to 12e and electrode pastes Fi14a to 1 are formed.
The laminate 20 of 4d is removed from the base 10 and fired in a firing furnace to obtain a fired laminate 20. At this time, if the binder, that is, the electron beam curing resin contained in each ceramic paste layer and the electrode paste H is the same, they will be scattered at the same time.

最後に、第1図(H)で示すように、この焼成された積
層物120の両側面に外部電極116aおよび116b
をそれぞれ形成する。外部電極116aは電極層114
aおよび電極層114Cに共通接続され、外部電極11
6bは電極層114bおよび電極層114(iに共通接
続される。したがって、外部電極116aおよび116
b間に各セラミック層112a〜112eの静電容量が
並列的に形成ないし接続される。
Finally, as shown in FIG. 1(H), external electrodes 116a and 116b are placed on both sides of the fired laminate 120.
form each. The external electrode 116a is the electrode layer 114
a and the electrode layer 114C, and the external electrode 11
6b is commonly connected to the electrode layer 114b and the electrode layer 114 (i. Therefore, the external electrodes 116a and 116
The capacitances of the ceramic layers 112a to 112e are formed or connected in parallel between the ceramic layers 112a to 112e.

第2図は第1図(B)〜第1図(E)の各ステップを具
体的に示す図解図である。
FIG. 2 is an illustrative diagram specifically showing each step of FIG. 1(B) to FIG. 1(E).

この例では、まず、基体10上に、セラミックペース)
]’W12aを形成する。そして、この積層物を第2図
矢印Aで示す方向に移動して、セラミックペーストJW
12aに電子線を照射する。次に、硬化されたセラミッ
クペースト層12a上に電極ペーストを印刷して、電極
ペーストN 14 aを形成し、それらの積層物を第2
図矢印Bで示す方向に移動して、同じ位置で電子線を照
射する。このような工程を必要に応じて繰り返せばよい
In this example, first, a ceramic paste (ceramic paste) is placed on the base 10.
]'W12a is formed. Then, move this laminate in the direction shown by arrow A in FIG. 2, and paste the ceramic paste JW.
12a is irradiated with an electron beam. Next, an electrode paste is printed on the hardened ceramic paste layer 12a to form an electrode paste N14a, and the laminate is formed into a second layer.
Move in the direction shown by arrow B in the figure and irradiate the electron beam at the same position. What is necessary is just to repeat such a process as needed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例としての積層型セラミック
コンデンサの製造方法を工程順次に示す図解図である。 第2図はセラミックペース)Ffおよび電極ペースト層
に電子線を照射する方法を示す図解図である。 図において、12a〜12eはセラミックペースト層、
142〜14dは電極ペースト層、112a〜112e
は焼成されたセラミック層、114a〜114dは焼成
された電極層を示す。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 岡 1) 全 啓 (ばか1名) 第1図 第2図 10  ′
FIG. 1 is an illustrative diagram showing step by step a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor as an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an illustrative diagram showing a method of irradiating the ceramic paste (Ff) and electrode paste layer with an electron beam. In the figure, 12a to 12e are ceramic paste layers,
142-14d are electrode paste layers, 112a-112e
indicates a fired ceramic layer, and 114a to 114d indicate fired electrode layers. Patent applicant Murata Manufacturing Co., Ltd. Representative Patent attorney Oka 1) Zen Kei (one idiot) Figure 1 Figure 2 Figure 10'

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 (a)主として誘電体粉末と電子線硬化型樹脂とを
混合してセラミックペーストを準備するステップ、 (b)主として金属粉末と電子線硬化型樹脂とを混合し
て電極ペーストを準備するステップ、(c)前記セラミ
ックペーストおよび電極ペーストの一方の層を形成する
ステップ、 (d)前記一方の層に電子線を照射して硬化させるステ
ップ、 (e)前記一方の層上に前記セラミックペーストおよび
前記電極ペーストの他方の層を形成するステップ、およ
び (f)前記他方の層に電子線を照射して硬化させるステ
ップを含み、 前記ステップ(c)〜(f)のうち任意のステップを必
要に応じて繰り返し、さらに、 (g)前記セラミックペーストおよび前記電極ペースト
の積層物を焼成するステップを含む、セラミックコンデ
ンサの製造方法。 2 前記ステップ(a)および(b)では、同じ電子線
硬化型樹脂を用いる、特許請求の範囲第1項記載のセラ
ミックコンデンサの製造方法。
[Claims] 1 (a) preparing a ceramic paste by mainly mixing a dielectric powder and an electron beam curable resin; (b) preparing an electrode by mainly mixing a metal powder and an electron beam curable resin; (c) forming one layer of the ceramic paste and electrode paste; (d) curing the one layer by irradiating the one layer with an electron beam; (e) on the one layer. forming the other layer of the ceramic paste and the electrode paste, and (f) curing the other layer by irradiating the other layer with an electron beam, any of the steps (c) to (f) A method for manufacturing a ceramic capacitor, the method comprising: repeating the above steps as necessary, and further comprising: (g) firing a laminate of the ceramic paste and the electrode paste. 2. The method of manufacturing a ceramic capacitor according to claim 1, wherein the same electron beam curable resin is used in steps (a) and (b).
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5632768A (en) * 1979-08-24 1981-04-02 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor device
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