JPS6141939A - 軸力センサ - Google Patents

軸力センサ

Info

Publication number
JPS6141939A
JPS6141939A JP16347384A JP16347384A JPS6141939A JP S6141939 A JPS6141939 A JP S6141939A JP 16347384 A JP16347384 A JP 16347384A JP 16347384 A JP16347384 A JP 16347384A JP S6141939 A JPS6141939 A JP S6141939A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
force
plate structure
parallel plate
holes
flat plates
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP16347384A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0615993B2 (ja
Inventor
Yotaro Hatamura
洋太郎 畑村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP59163473A priority Critical patent/JPH0615993B2/ja
Priority to US06/759,314 priority patent/US4671118A/en
Priority to DE8585201262T priority patent/DE3574615D1/de
Priority to EP85201262A priority patent/EP0171123B1/en
Publication of JPS6141939A publication Critical patent/JPS6141939A/ja
Publication of JPH0615993B2 publication Critical patent/JPH0615993B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/2206Special supports with preselected places to mount the resistance strain gauges; Mounting of supports
    • G01L1/2243Special supports with preselected places to mount the resistance strain gauges; Mounting of supports the supports being parallelogram-shaped

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Measurement Of Force In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、物体に加わる力のうち、所定方向の力の成分
な検出する軸力センサに関する。
〔発明の背景〕
多くの機械、装置等においては、それらの特定部分に加
わる力、又は、それらが取扱5°物体に加わる力の大き
さを検出し、その検出した値に基づいて肖該機械、装誼
等な最適に制御する手段が用いられろ。さらに、種々の
学術的実jJ*[おいても、所定部分に加わる力の大き
さを知ることが不虻欠である場合が生じる。このような
力の大きさを検出するため、い(つかの軸力センサが提
案されてい?)。以下、これら提案されている軸力セン
ブリうち、極めて優れた性能な有する平行構造を備えた
軸力センサについて説明jろ。
tn l 2図(a)、 (1))は従来の軸力センサ
の側面図である。図で、1は支持部、2は支持部1tC
固定されろ剛性を有するブロック、3はブロック2の適
宜個所にあけられた方形の貫通孔、4はブロック2を支
持部IK固定する固定部、5は検出丁べき力が加えられ
ろ可動部である。5a、5bはブロック2に貫通孔3が
あけられることにより形成される薄肉平板であり、これ
ら2つの薄肉平板5a。
6bは互いに平行関係にある。薄肉平板5a、5bを中
心とした部分により平行平板構造7が構成されている。
8a、3b、3c、  8dはそれぞれ薄肉平板6a、
6b0)根本部分に設けられその変形に応じた信号を出
力するストレーンゲージである。
このような平行平板構造7を有てる軸力センサにおいて
、可動部5に垂直方向(z軸方向)の力F、が加えられ
ろと、平行平板構造7は第12図(b)に示すように薄
肉平板6a、5bがほぼ同一形状にたわんで変形を生じ
る。薄肉平板6a、6bは垂直方向の力に対してt?、
曲げ変形が生じ易く、さら(、薄肉平板5a、5bそれ
ぞれの変形が同一形状であって互いに他を拘束する程度
が小さいから、第12図(b) vc示すような変形は
容易に生じろ。一方、可動部511′c加えられる紙面
に垂直な方向(y軸方向)の力F、および図で左右方向
(X軸方向)の力FxVc対して、この平行平板構造7
は非常に高い剛性な有し、そσ〕変形をま困難である。
即ち、平行平板構造7は2軸方向の力九対してのみ変位
し、それ以外の方向の力に対しては変位しないことにな
る。
ここで、第12図(b)に示すような力F、が加えられ
た場合、ストレーンゲージga、8dには引張りひずみ
、ストレーンゲージ+3b、3cには圧縮ひずみを生じ
ろ。ところで、力Fsが加わると同時Vcy軸まわりQ
)モーメントが作用し、これによる変形も同時に発生す
る場合がある。そこで、ストレーンゲージ8a、8dの
出力を加算するとともに、ストレーンゲージ8b、8c
の出力tも加算し、各加算値の符号が逆になるようにブ
リッジ回路を構成すれば、y軸まわりのモーメントによ
る変形モードの微小出力分はキャンセルされ、当該ブリ
ッジ回路からは力F1に比例した正確な信号を得ること
ができる。
以上述べたように、第12図(a)、 (b)に示す平
行平板構造7はZ軸方向の力F1によってのみ変形し、
これにより、y軸方向の力F、を高精度をもって検出す
ることができる。そして、当然ながら、平行平板構造7
の設置の方向をX軸方向、y軸方向に変更すれば、それ
ぞれその方向の力Fx、F。
を検出することができる。
ところで、このような平行平板構造7を有する軸力セン
サ#Cおいては、可動部5に加わる力が大きくなり、あ
る値を超えると、平行平板構造7自体の応力が弾性限界
を超えて永久変形が生じ、センナとして使用不可能な状
態に陥る。この問題を解決するためには、平行平板構造
7全体の犬ぎさく薄肉平板5a、5bの板厚tも含めた
大きさ)な犬にすればよいのであるが、軸力センサの設
置個所の空間は限定されているのが通常であり、平行平
板構造7の大きさを大にするのは多くの場合困難である
。そこで、次に考え得る手段としては、薄肉平板6a、
6bり長さを変更せずに板厚tを増大させる手段である
しかしながら、平行平板構造7による力の検出は、その
薄肉平板6a、6bの板厚tの効果をほとんど無視する
ことができ、第12図(bl K示す変形により、応力
の分布が薄肉平板6a、5bの根本部分に集中する点に
特徴があり、これにより精度良く力の検出ができろもの
である。ところが。
薄肉平板6a、5bの板厚t7増大させてゆくと、上記
の特徴もこれに伴って希薄になり、薄肉平板5a、5b
の板厚tがその長さl九対しである程度の値、例えばt
 / j = 0.5を超えろと、もはや第12図(b
l vc示すような変形モードとはならず、その応力は
全体に、かつ、複雑に分布され、その結果、力の検出位
置(ストレーンゲージの設置−個所)が判然としなくな
り、又、仮に当該検出位臂が見出されたとしてもその検
出レベルは大幅に低下し、精度の良い力の検出は不可能
となり、平行平板構造の特徴は完全に失なわれてしま5
゜結局、平行平板構造7の形状(特に薄肉平板6a、6
bの長さ)の増大に制限が存在する場合、従来の軸力セ
ンサでは大きな力を検出することができないという欠点
があった。
〔発明の目的〕 本発明は、こQノような事情に鑑みてなされたものであ
り、その目的は、上記従来の問題点を解決し、平行平板
構造部分の寸法な増加することなく、より大ぎな力を検
出fろことができる軸力センサを提供てろにある。
〔発明σ)概要〕
上記の目的を達成するため、本発明は、力が加えられる
剛性体に連接して、当該力の作用方向と直角方向に、3
つ以上のたわみ梁?はぼ平行に設けたことケ特徴とてろ
〔発明の実施例〕
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明すろ。
第1図(a) 、 (b) 、 (c)は本発明り第1
の実施例に係る軸力センサの側面図および断面図である
。図で、第12図(a)、 (b)に示す部分と同一部
分には同一符号を付して説明な省略する。1oa、LO
b。
10 c、  10 dは垂直方向(z軸方向)K沿っ
てブロック2&C形成された長方形の貫通孔である。
各貫通孔10a−10dはいずれも第12図(a)に示
す長さと同一の長さjを有し、かつ、その幅は各貫通孔
とも等しく形成されている。又、各貫通孔10a−10
dは同一垂直線上に等間隔に配列されていす。lla、
llb、lie、lld。
lieは各貫通孔103〜10dの形成によって形成さ
れろ薄肉平板であり、各薄肉平板11a〜lieの板厚
は第12図(al Vc示す板厚と同一の板厚tな有す
る。各薄肉平板11a””−116は互いに平行関係に
ある。12は各薄肉平板112〜11eを中心とした部
分により構成されろ平行平板構造を示す。ストレーンゲ
ージ8a〜8dの設置価75′rは第12図+a+、 
(blに示すものと同じ(薄肉平板11a、1ie(7
)根本部分である。なお、各薄肉平板11a−11ef
)[は、第1図(a) a)矢印I、−I、に沿う断面
図である第1図(c) IC示すよ5に値Bを有する。
今、可動部5[z軸方向の力F8が加えられろと、平行
平板構造12は第1図(b)に示すような変形を生じる
。この変形は、各薄肉平板113〜lieの長さおよび
板厚が第12図(a)、 (b)K示す薄肉平板5a、
5bと同一であるため、第12図(b) [示す変形と
同一モードの変形となる。即ち、応力の分布は各薄肉平
板118%11eの根本部分に集中するので、平行平板
構造12はその平行平板構造たる特徴な失な5ことはな
い。そして、変形による応力は、各薄肉平板118〜l
ieりそれぞれにより分担されるので、同一の力F、 
VC対でる変位量δは第12図(b)に示す場合の変位
量より小さくなるのは当然であり、このことは逆に、よ
り大きな力F8に対して、平行平板構造12がその平行
平板構造の特徴を保持したまま変形し得ることを示すも
のである。結局、本実施例の軸力センサは従来の軸力セ
ンサに比較し、その平行平板構造の寸法を変更すること
なく、より大きな力を検出することができろものである
。なお、こり平行平板構造12は力F3以外の方向の力
に対しては変位しない。
さて、上記の説明では、比較を容易にするため、薄肉平
板11azlleの板厚tt従従来ジノ薄肉平板a、6
bり板厚tと同一板厚として説明したが、より大きな力
な検出するためには、薄肉平板は必ずしも上記説明の板
厚および枚数(貫通孔の数)に限ることはなく、種々の
値を選定することができろのは明らかである。そこで、
薄肉平板の板厚および枚数の2.3の組合せにおけろ単
位荷重当りの出力ε、単位荷重当りの変位δ、および薄
肉平板の総断面積Aff計算により求めてみることと′
rる。なお、この計算においては、薄肉平板の2重曲げ
変形(平行平板構造の変形の特徴である可動部5が平行
にずれただけの変形で、その先端の方向は変化しない変
形)のみを取り扱い、−全体の1次曲げ変形(可動部5
の先端がたれ下がる変形)やせん断変形は取り扱わない
ものとする。
今、可動部5σ〕先端に加わる力なF、薄肉平板の板厚
It、薄肉平板の幅をB、薄肉平板の長さを1.薄肉平
板σノ枚数をn、材料の縦弾性率ffEとすると、単位
荷重当りσ〕変位(薄肉平板の根本部の外表面に生じる
ひずみ)eは、 又、単位荷重当りの変位(平行平板構造σ)変形による
変位)δは、 さらに、薄肉平板の全断面積Aは、 A=B n t =に、 * n t となる。上式にしたがい、薄肉平板の枚数nと板厚tの
いくつかの組合せに対する出力ε、変位δ。
断面績Aの値を表にしてみる。
上記の表において、第1の例を基準としてみると、第■
の例は薄肉平板の板厚をより一層厚く(この場合2倍)
してより大きな力を検出しよりとするものである。この
場合、より大きな力にを1耐え得るものの、応力の分布
が拡がるの?免れることはできず、さらに板厚を厚くし
てゆき、この厚さがある限界を超えろと平行平板構造の
特徴が失なわれろ。第■、第■の例は板厚をそのままと
し、枚数%’2倍、4倍(貫通孔の数を3個、7個)と
した場合の例である。この場合、同一の大きさの力に対
する変位δはl/2.  l/4となり、より大きな力
を検出できるとともに、変形時の応力は薄肉平板の根本
部分に集中し、平行平板構造の特徴は失なわれない。第
V、第■の例は板厚9枚数とも変更する例であり、いず
れもより大きな力を検出できるとともに、第Vの例の場
合、応力集中の顕著性はやや失なわれるものの平行平板
構造の特徴は保持しており、又、第■の例の場合、応力
集中は大きく平行平板構造の特徴は失なわれない。
こりように、本実施例では、複数の貫通孔により平行平
板構造な構成するようVcL、たりで、平行平板構造部
分の寸法を増大することなく、より大きな力を検出てろ
ことができる。
ところで、本実施例の効果は上記の効果に止まることは
なく、上記の効果に匹敵する他の太ぎな効果を有するも
のである。以下、このような効果について詳細に説明す
る。
さきに、本実施例の平行平板構造12が一方向、例えば
2相方向の力F8に対してのみ変位し、その他の方向の
力Fx、FsK対しては変位しないことを述べた。そし
て、このような特性が平行平板構造の主要な特徴の1つ
であり、これにより高精度の検出が可能となるのである
。しかしながら、このような特性は必ずしも常九保持さ
れるものとは限らず、検出しようとする方向以外の方向
の力が極めて太き(なると、従来の平行平板構造7の構
成ではその方向にたわみが生じるのt避けることはでき
ない。ところが、本実施例の平行平板構造12によれば
、検出しようとする方向以外の方向Q力が加わることに
よる上記のたわみの発生を充分に抑制jろことかできる
。これを、切削加工に適用する場合ケ例示して説明′f
る。
第2図は切削加工装置の一部の斜視図である。
20は被切削加工物であるワーク、21はワーク20を
切削するバイト、22はパイ)21が固定されるブロッ
クである。23はブロック22に形成された主分力検出
用軸力センサ、24はブロック22に形成された送り分
力検出用軸力センサーである。又、Plはバイト21V
c加わる主分力、P、はパイ)21に加わる送り分力、
”3はパイ)21に加わる背分力な示す。なお、送り分
力P8.背分力P、は主分力P1に比べ極めて小さい。
切削加工装置においては、これら主分力P1゜送り分力
P2e背分力P、を軸力センサ23゜24により検出し
、(背分力P、を検出する軸力センサの図示は省略する
。)この検査値に基づいて適切な制御が行なわれる。と
ころで、このような切削加工装置VCおいて重切削が行
なわれる場合、主分力P1は極めて大きな値となるので
、送り分力P!を検出する軸力センサ24には、送り分
力P2が加わる方向以外の方向の力(主分力P工)が極
めて太き(なり、その方向にたわみを生じるおそれがあ
る。
しかしながら、本実施例では、平行平板構造12におけ
る貫通孔な複数個形成したので、上記の表からも明らか
なように、その薄肉平板の断面精)ま従来のものの数倍
に増大することとなる。そして、このことは、検出しよ
うとする方向と直角方向の薄肉平板の怪の合計が従来の
ものの薄肉平板の幅の合計の数倍になったことを意味し
、当該方向の剛性は大きく増大してその方向のたわみを
抑制するのである。したがって、軸力センサ24に本実
施例の軸力センサを用いれば、重切削を行なった場合で
も、そり主分力P、Icよろたわみを充分に抑制するこ
とができる。なお、軸力センサ231C本実施例の軸力
センサが適用されているので、軸力センサ23は重切削
時の大きな主分力P1を何等支障なく検出fることかで
きろ。なお又、上記たわみの抑制を重点的に考慮するな
らば、薄肉平板の枚数と板厚を、所定の断面積が得られ
るように自由にv4整することができる。
以上のように、本実施例は、平行平板構造部分の寸法を
増加することなく、より大きな力を検出することができ
ろとともに、検出しようとする方向以外の方向の力に対
して、より大きな剛性を有し、当該方向のたわみケ抑制
することができる。
第3図は本発明の第2の実施例に係る軸力センサの側面
図である。図で、第1図九示す部分と同一部分には同一
符号?付して説明ケ省略する。
3tla、30b、30Cは垂直方向(Z軸方向)に沿
ってブロック2に形成された断面円形の貫通孔、31 
a、  3 l b、  31 c、  3 t dは
貫通孔3oa、30b、30cの形成によって形成され
る薄肉平板である。各貫通孔30a〜30 c l!同
−舟直線上に等間隔に配列され、又、各薄肉平板313
〜31dは互いに平行関係にある。32は各薄肉平板3
1a〜31dtt中心とした部分によりtF<成されろ
平行平板構造な示す。ストレーンゲージ88〜f3dQ
)設置個所は第1の実施例のものと同じ(薄肉平板31
a、31dの根本部分である。本実施例の軸力センナの
動作は第1の実施例のものと同じである。
このように、本実施例では、複数の貫通孔九より平行平
板構造な借成するようにしたので、さぎの実施例と同じ
効果を奏するとともに、当該貫通孔を断面円形としたの
で、ドリルによる開孔加工を適用でき、加工が極めて容
易になり、薄肉平板の板厚の調整も容易に行なうことが
できる。
第4図は本発明lO第3の実施例に係る軸力センサの正
面図である。35al〜35C1はブロック2の一方f
lII(図の右側)に垂直方向に沿って形成された方形
の貫通孔であり、同一垂直線上に配置されている。35
a2〜35c2はブロック2の他方側(図の左側)に垂
直方向に沿って形成された方形の貫通孔であり、同一垂
直線上に配置されている。36m1〜36dl、36a
z〜36 d !)’!それぞれ貫通孔35 a1〜3
5 C1。
35a2〜35C2の形成により形成された薄肉平板で
ある。8a1〜8b、はそれぞれ薄肉平板36 a!、
  36 a、の根本部分に設けられたストレーンゲー
ジである。37は力が加えられろ可動部である。38は
ブロック2の下方に設けられた゛  貫−通孔である。
貫通孔38の水平方向の長さは、各貫通孔35a1〜3
5C2の左右端を超えた長さとされる。可動部37に垂
直方向の力が加えられろと、両平行平板構造の中央部が
変位し、各平行平板構造な変形−fる。
このよう罠、本実施例では、2列に配列され−た複数の
貫通孔により、2つの平行平板構造を対称的lC沿成し
たので、第1の実施例と同じ効果を賽″f7−0 第5図は本発明の第4の実施例に係る軸力センサの正面
図である。図で、@4図に示す部分と同一部分VCは同
一符号を付して説明を省略する。
35b1’、、35b、’、35cl’、35c!’は
それぞれブロック2に形成された貫通孔、38′は貫通
孔35 c1/、  35 c2/の左右端を超えてブ
ロック2に形成された貫通孔である。第4図に示す実施
例と本実施例とが異なる点は、前者の貫通孔が同一垂直
線上に配列されるのに対して、本実施例では貫通孔が同
一垂直線上に配置されていない点にある。即ち、貫通孔
35 b、’、  35 b、’はそれぞれその上の貫
通孔35 al 、  35 alに対して中心方向に
ずれた位ff1yc配置され、貫通孔35 C、’。
35 C!’はそれぞれその上の貫通孔35 b 1’
35 b 、’に対してさらに中心方向にずれた位置に
配置されている。したがって、両側の貫通孔は、中心下
方方向に向かう斜線上に配置されろことになる。本実施
例の動作および効果は、第4図に示す実施例の動作およ
び効果と同じである。
第6図は本発明の第5の実施例に係る軸力センサの斜視
図である。図で、40は凸字状のブロック、40Mはブ
ロック40の凸部、40bはブロック40の台部である
。41F!は凸部40aの正面から裏面に貫通する複数
の貫通孔により形成された平行平板構造、41F、は凸
部40aの一方の側面から他方の側面に貫通する複数の
貫通孔により形成された平行平板構造である。これら平
行平板構造41 F、 、  41 F、は第1図(a
) 〜(C)に示す平行平板構造12と同じである。4
1F、は台部40の正面から裏面に貫通する2列の貫通
孔により形成される平行平板構造であり、第4図に示す
平行平板構造と同じである。なお、本実施例においてス
トレーンゲージの図示は省略した(以下の実施例におい
ても同じ)。
本実施例の軸力センナは、X軸方向の力Fよ。
y軸方向の力F7.2軸方向の力F1を検出することが
できる3軸カセンサである。即ち、力Fxは平行平板構
造41F、17J変形により検出され、力Fyは平行平
板構造41Fアの変形により検出され、力F8は平行平
板構造41F、の変形により検出される。
このように、本実施例では、凸字状ブロックの凸部に、
X軸方向に配列された複数の貫通孔より成る平行平板構
造およびy軸方向に配列された複数の貫通孔より成る平
行平板構造を設け、かつ、凸字状ブロックの台部Vcy
軸方向に配列された複数の貫通孔より成る平行平板構造
を設けたので、第1の実施例と同じ効果を奏するととも
に、X軸。
y軸およびz軸方向Q力を同時に検出することができる
第7図は本発明の第6の実施例に係る軸力センサの斜視
図である。図で、45は柱状のブロック、46 a、 
 46 bはブロック45のほぼ中央部の両側部に形成
された切り込み、47m、47bはそれぞれ切り込み4
6a、46bにより区分された上部ブロックおよび下部
ブロックである。48FXは上部ブロック47aの正面
から裏面に貫通された断面円形の複数の貫通孔により形
成された平行平板構造、48F、は上部ブロック47H
の一方の側面から他方の側面に貫通された断面円形の複
数の貫通孔により形成された平行平板構造、48F、は
下部ブロック47bの正面から裏面に貫通された断面円
形の複数の貫通孔により形成された平行平板構造である
。平行平板構造48F。
は第5図に示す実施例と同じく、両側の貫通孔が、中心
下方に向か5斜線上に配列されている。平行平板構造4
8Fx、48F  、48F、はそれぞれX軸、y軸、
X軸方向の力F xe F  e r *を検出する。
第6図に示す実施例と本実施例とが異なる点は、ブロッ
クの形状、各貫通孔の断面形状、平行平板構造48F8
の配列のみであり、本実施例の動作および効果は第6図
に示す実施例と同じである。
なお、第6図および第7図に示す実施例においで、凸部
40a又は上部ブロック47aを分離してとり出せば、
平行平板構造41 Fx、  41 F。
又は平行平板構造48F!、48F、で構成さ−れろ2
軸カセンサを得ろことができるのは明らかである。
第8図は本発明の第7の実施例に係る軸力センサの斜視
図である。図で、50は柱状のブロック、51a、51
bはブロック50の正面および裏面にくさび状に形成さ
れた切込み、sza、szbは切込み51a、51bの
下方においてブロック50の両側面にくさび状に形成さ
れた切込みである。53は切込み51a、51bICよ
り区分された上部ブロック、54は切込み5ia*5x
b。
52a、52blCより区分された中間ブロック、55
は切込み52m、52bVcより区分された下部ブロッ
クである。56F!は上部ブロック53の正面から裏面
に貫通する断面円形の複数の貫通孔により形成された平
行平板構造、56F、は上 ”部ブロック53の一方の
側面かう他方の側面iこ貫通する断面円形の複数の貫通
孔により形成された平行平板構造である。56M、xは
中間部54VCおける切込み51a、51bの下面部分
において、一方の側面から他方の側面に貫通する断面円
形の複数の貫通孔により形成された放射平板構造(後述
する)、56M、は下部ブロック55における切込み5
2 a、  52 bの下面部分において、正面から裏
面VC貫通する断面円形の複数の貫通孔(より形成され
た放射平板構造である。ここで、放射平板構造の概略構
成および作用を第9図により説明する。
第9図は放射平板構造を備えた軸力センサの側面図であ
る。図で、lは支持部、60は支持部lに支持された剛
性を有fるブロック、61はブロック60にあけられた
台形Q)貫通孔、62はブロック60を支持部lVc固
定する固定部、63はモーメントが加えられろ可動部で
ある。64a。
64bはブロック60&C台形の貫通孔61があけられ
ろことにより形成されろ薄肉平板であり、これら2つの
薄肉平板64a、64bは点Off中心とでる角度θσ
ノ放射線上に位置する関係にある。
薄肉平板64a、64b&中心とした部分により放射平
板構造65が構成されている。66a。
66 b、  66 c、  66 dはそれぞれ薄肉
平板64a、64bの根本部分に設けられたストレーン
ゲージである。
こりような放射平板構造65を有する軸力センサにおい
て、可動部630点0を通る紙面に垂直な方向の軸のま
わりにモーメントが作用−rると、薄肉平板64a、6
4bがたわんで変形する。薄肉平板64a、64bは上
記モーメントに対しては変形を生じ易く、さらに、それ
ぞれの変形が同一形状であって互いに他を拘束する程度
が小さいから、上記モーメントによる薄肉平板64a。
64bの変形は容易に発生する。しかしながら、他の方
向の軸まわりのモーメントおよびすべての軸方向σツカ
に対しては剛性が高く変形困難である。
したがって、点0tIf通ろ紙面に垂直方向の軸まわり
のモーメントな、ストレーンゲージ66a〜66dVC
より精度良く検出することができる。このような放射平
板構造65においても、複数の台形の5T通孔を形成す
ることにより、点Oを中心とする3つ以上の薄肉平板を
形成することができ、これにより、より大きなモーメン
トを検出¥ることかできろとともに、力や他のモーメン
トに対する剛性な犬にすることかできbo 再び第8図に示す実施例σノ説明に戻る。放射平板構造
56M31.56M、は上記の原理に基づいて構成され
たものであり、台形の貫通孔に代えて断面円形の複数の
貫通孔が円弧状に配列されている。これにより、当該貫
通孔により形成される薄肉平板は、第9図に示す薄肉平
板64a、64bと同様の機能な有することとなる。今
、図示のようにX軸、X軸およびZ軸を定めろと、平行
平板構造56F8はX軸方向の力F!を検出し、平行平
板構造56F、はy軸方向の力F、を検出する。
又、放射平板構造56M8はX軸まわりのモーメントM
xを検出し、放射平板構造56MアはX軸ま−わりのモ
ーメントM、を検出てろ。したがって、本実施例の軸力
センサは4軸カセンサとなる。
このように、本実施例では、柱状ブロックに切込みを設
け、これにより区分されたブロックに、X軸方向および
y111方向にそれぞれ配列された複数の貫通孔より成
る2つの3ト・打子板構造と、9−0変異なる面に弧状
に配列さJまた複数の貫通孔より成る2つの放射平板構
造を設けたので、外形寸法を増大することなくX軸方向
およびy軸方向の大きな力を検出てることができ、又、
検出しようとてろ方向以外の方向の力に対して高い剛性
を得ろことができる。さらに、X軸およびX軸まわりの
大きなモーメントも検出することができろ。
第10図は本発明の第8の実施例に係る軸力センサの一
部破断斜視図である。図で、70は剛性を有するブロッ
クであり、次に述べる3つの部分に区分されている。即
ち、71はリング状に形成された上リング部、72は同
じくリング状に形成された下リング部、73は上リング
部71と下リング部720間に位置する中間部である。
中間部73はほぼ十文字状に形成されており、この十文
字に沿って図示のよ5VCx軸、X軸が想定され、これ
らに垂直方向Vcg軸が想定されている。
73hは中間部73の中央VC2軸方向に貫通して形成
された中央開孔、73C)”!中央開孔73hを中心と
する中央ブロックである。73D1゜73D、はそれぞ
れ中央ブロック73Cからy軸方向に対称的に突出した
突出部、73D、。
73D4はそれぞれ中央ブロック73CからX軸方向に
対称的に突出した突出部である。上リング部71は突出
部73D1,73D、の上端部と連結され、又、下リン
グ部72は突出部73D、。
73D4の下端部と連結されている。
上記のブロック70には、所定の個所にそれぞれ符号7
5で示される平行平板構造および放射平板構造が形成さ
れる。即ち、75M、は上リング部71の周囲に沿って
配列された複数の円形貫通孔により構成される放射平板
構造であり、2軸まわりのモーメントを検出する。75
F!は突出部73D、、73D、の上面から下面に貫通
した円形貫通孔をX軸方向に複数個直線状に配列して構
成されろ平行平板構造であり、X軸方向の力を検出する
。75Fアは突出部73D、、73D4の上面から下面
IC貫通した円形貫通孔をy軸方向に複数個直線状に配
列して構成される平行平板構造であり、y軸方向の力を
検出する。75F、は中央ブロック73Cの4個所の外
面(各突出fill相互の中間部)から中央開孔73h
lC貫通した円形貫通孔なZ軸方向に複数個配列して構
成されろ平行平板構造であり、2軸方向の力を検出する
75M、は突出部73D、、73D2の一方の側面から
他方の側面に貫通した円形貫通孔な複数個弧状に配列し
て構成される放射平板構造であり、y軸まわりのモーメ
ントを検出する。75MKは突出部73D3,73D、
の一方の側面から他方の側面に貫通した円形貫通孔を複
数個弧状に配列して構成される放射平板構造であり、y
軸まわりのモーメントを検出する。本実施は、これら3
つの平行平板構造75F、、75F  、75F  お
よび3つの放射平板構造75M、、75M、t75M、
により6軸カセンサとして使用されろ。
今、下リング部72が図示されない剛体に固定されてい
るとし、上リング部71にy軸方向の力F が加えられ
たとする。そうすると、この力F は上リング部71.
これと連結する突出部73 Dl 、  73 D2 
、中央ブロック73C1突出部73D 3 、 73 
D 4.これに連結された下りング部72を経て図示さ
れない剛体に伝達される。
この伝達過程において、放射平板構造75M、。
75M  、75M、および平行平板構造p、。
F8は何等の変形をも生じないが、平行平板構造75F
)エカFアに応じた変形を生じ、力F、の検出を行なう
。力Fアが大きくても、平行平板構造75F、はその複
数貫通孔の構造のため何等支障なく検出を行なうことが
でき、又、他の平行平板構造75Fx、75F、、放射
平板構造75M8.75M、、75Mmはその複数貫通
孔の構造のため高い剛性を示して変形しない。
このように、本実施例では、ブロックを上リング部、下
リング部、中間部に区分し、中間部に開孔、中央ブロッ
ク、これから突出する4つの突出部を設け、所定個所に
円形yr通孔な複数個づ′つ配列して3つの平行平板り
1・7造および3つの放射平板構造を構成したので、外
形寸法な増大−f″ることなくy軸、y軸、z軸方向の
大きな力およびxlI+h。
y’1lhez軸まわりの大きなモーメントを検出丁1
ことができ、又、検出しようと¥ろ方向以外の方向の力
、モーメントに対して高い剛性を得ろことができる。
mtt図Ta)乃至(C)は本発明の実施例に係る軸力
センサに使用されろストレーンゲージ以外の信号変換装
置の概略図である。WJl1図(a)、 (blにおい
て、第1図(a) t/C示す部分と同一部分には同一
符号が付してあり、第11図FC)において、第4図に
示す部分と同一部分には同一符号が付しである。
まず、fflll図+8)で、4人は固定部4から逆り
字状に延びた支持腕、5人は可動部5に固定され又はこ
れと一体に形成されたコア、8oは中心にコア5Aを挿
通する差動変圧器である。カF8が加えられろと平行平
板構造12が変形し、可動部5とともにコア5人が下方
(移動し、その移動量に応じて差動変圧?r”r 80
から信号が出方されろ。
次に、fgl1図(b)で、4A’は固定部4から逆り
字状に延びた挟着腕、81は可動部5と挟着腕4 A’
との間に挟着されろ圧電素子である。カF。
が加えられると平行平板構造12が変形し、可動部5が
下方に移動する。こσフとき、固定部4と挟着腕4A′
は動かないので、圧電素子81は上記可動部の移動和よ
り押圧され、その圧力に応じて信号を出力でろ。
最後に、第11図(C)で、82は貫通孔38を密閉し
て構成した油室、83は油室82と連通する配管、84
は配管83に連結された油圧計である。
油室82には油が満たされている。力F、が可動部37
に加えられろと、平行平板構造が変形し。
油室82の油にはその変形に応じた力が加えられろ。こ
り力1↓配管83を経て油圧となって油圧計に伝達され
、指針等により表示されるとともに、この油圧に応じた
信号として出力されろ。
さて、以上、各図により本発明の詳細な説明したが、そ
の説明において、貫通孔の形状を方形又は円形として説
明した。しかしながら、貫通孔の形状はこれらの形状に
限ることはなく、楕円。
長円、2つの小円をスリットで連結する連結丸穴等、平
行平板構造としての機能を失なわない限り種々の形状を
採用することができる。特に、長円はその貫通孔を形成
−「る際、エンドミル等で容易に加工することができ、
又、連結丸穴もワイヤカット等で容易に形成することが
でき、製造面からみても有利である。又、ひずみ出力が
小さ過ぎろ場合には、最外部の薄肉平板における中央部
分の板厚を増加しく即ち、最外部の貫通孔の中央部分に
凹部な形成し)、その外表面のひずみを大きくてろとい
う変更を加えろこともできる。
〔発明の効果〕
以上述べたように、本発明では、剛性体に、当該剛性体
に働く力の作用方向に直角に、3つ以上のたわみ梁をほ
ぼ平行に連接し、これにより平行平板構造を構成したの
で、平行平板構造部分の外形寸法を増加することなく、
より大きな力を検出することができ、又、検出しようと
する方向以外の方向の力に対して高い剛性を得ろことが
できる。
【図面の簡単な説明】
8g1図(a) −(b) * (c) it本発明(
’)第1の実MflllC係る軸力センサの側面図およ
び断面図、第2図は切削加工装置の一部の斜視図、第3
図は本発明の第2の実施例に係る軸力センサの側面図、
第4図および第5図はそれぞれ本発明の第3.第4の実
施例に係る軸力センサの正面図、m6図、第7図および
第8図はそれぞれ本発明の第5.第6.第7の実施例に
係る軸力センサの斜視図、第9図は放射平板構造を備え
た軸力センブリ側面図、2g10図は本発明の第8の実
施例に係る軸力センサの一部破断斜視図、第11図(a
)、 (bl、 (C)は本発明の実施例に係る軸カセ
ンサ九便戸されろ信号変換装譲の概略図、第12図(a
l、 (blは従来の軸力センサの側面図である。 2.70・・・・・・ブロック、4・・・・・・固定部
、5゜37・・・・・・可動部、l Oa〜10 d、
  30 a〜30c、35a1〜35c2,35b1
’ 〜35c2’−・・−・・貫通孔、l 1 a〜l
 l e@  31 a 〜31 d *36 al 
〜36 d2 、36 b、/、、36d2’m++薄
肉平板、12. 32. 41 F、 、  41 F
、 e41F、、48F、、48F  、48F、。 ア 56Fx、56F  、75FK、75F  。 ア                        
 −75F、・・・・・・平行平板構造、40・・・・
・・凸字状ブーロック、45.50・・・・・・柱状ブ
ロック、71・・・・・・上リング部、72・・・川下
リング部、73・旧・・中間部、73h・・・・・・中
央開孔、73C・・・・・・中央ブロック、73D工、
73D2,73D、、73D4川・・・突出部。 第7図 」fc tbノ (C) 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図 第8図 n 第9図 b2 第1O図 第1/図 j  σσ 手続有口正藺;(自発) 昭和60年タ月37日

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 力が加えられる剛性体と、この剛性体に連接しかつ前記
    力の作用方向と直角方向にほぼ平行に設けられた3つ以
    上のたわみ梁とで構成されることを特徴とする軸力セン
    サ。
JP59163473A 1984-08-04 1984-08-04 軸力センサ Expired - Lifetime JPH0615993B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59163473A JPH0615993B2 (ja) 1984-08-04 1984-08-04 軸力センサ
US06/759,314 US4671118A (en) 1984-08-04 1985-07-26 Load sensor
DE8585201262T DE3574615D1 (de) 1984-08-04 1985-08-01 Lastfuehler.
EP85201262A EP0171123B1 (en) 1984-08-04 1985-08-01 Load sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59163473A JPH0615993B2 (ja) 1984-08-04 1984-08-04 軸力センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6141939A true JPS6141939A (ja) 1986-02-28
JPH0615993B2 JPH0615993B2 (ja) 1994-03-02

Family

ID=15774537

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59163473A Expired - Lifetime JPH0615993B2 (ja) 1984-08-04 1984-08-04 軸力センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0615993B2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63275654A (ja) * 1987-05-08 1988-11-14 Mitsui Petrochem Ind Ltd 光ディスク
JP2007500361A (ja) * 2003-05-22 2007-01-11 クレーン ニュークレア, インコーポレイテッド ひずみに基づく器具のための改善されたたわみシステム
US7241825B2 (en) 2002-05-08 2007-07-10 Teijin Chemicals, Ltd. Polycarbonate resin composition, pellets thereof and molded article thereof
JP2008281206A (ja) * 2000-10-26 2008-11-20 Piolax Inc 回転式ダンパー
US20220305666A1 (en) * 2020-06-28 2022-09-29 Shanghai Flexiv Robotics Technology Co., Ltd. Axial force sensor assembly, robot gripper and robot
CN116197475A (zh) * 2023-02-06 2023-06-02 青岛高测科技股份有限公司 进刀总成的进给控制方法、介质、控制装置及线切割机

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5888632A (ja) * 1981-11-24 1983-05-26 Hosomura Yotaro スラスト・トルク変換検出装置
JPS5995433A (ja) * 1982-11-25 1984-06-01 Chinkaku Higashijima 多分力検出器

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5888632A (ja) * 1981-11-24 1983-05-26 Hosomura Yotaro スラスト・トルク変換検出装置
JPS5995433A (ja) * 1982-11-25 1984-06-01 Chinkaku Higashijima 多分力検出器

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63275654A (ja) * 1987-05-08 1988-11-14 Mitsui Petrochem Ind Ltd 光ディスク
JP2008281206A (ja) * 2000-10-26 2008-11-20 Piolax Inc 回転式ダンパー
US7241825B2 (en) 2002-05-08 2007-07-10 Teijin Chemicals, Ltd. Polycarbonate resin composition, pellets thereof and molded article thereof
JP2007500361A (ja) * 2003-05-22 2007-01-11 クレーン ニュークレア, インコーポレイテッド ひずみに基づく器具のための改善されたたわみシステム
US20220305666A1 (en) * 2020-06-28 2022-09-29 Shanghai Flexiv Robotics Technology Co., Ltd. Axial force sensor assembly, robot gripper and robot
CN116197475A (zh) * 2023-02-06 2023-06-02 青岛高测科技股份有限公司 进刀总成的进给控制方法、介质、控制装置及线切割机
CN116197475B (zh) * 2023-02-06 2024-05-17 青岛高测科技股份有限公司 进刀总成的进给控制方法、介质、控制装置及线切割机

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0615993B2 (ja) 1994-03-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4640138A (en) Multiple axis load sensitive transducer
EP0139307B1 (en) Multi-axis load sensor
US4674339A (en) Multi-axis load sensor
US5490427A (en) Six axis force sensor employing multiple shear strain gages
US11085838B2 (en) Force/torque sensor having serpentine or coiled deformable beams and overload beams
DE3590262C2 (ja)
JPS6141939A (ja) 軸力センサ
US5284063A (en) Creep test coupon for metal matrix composites
EP0083410B1 (en) Multiple degree of freedom compliance structure
JPH0772026A (ja) 起歪体構造物およびこの起歪体構造物を用いた多軸力検出センサ
EP0171123A2 (en) Load sensor
US20210041312A1 (en) Force sensor and sensing element thereof
Temple et al. Buckling of built-up compression members in the plane of the connectors
US6766701B2 (en) Load cell
DE69629340T2 (de) Wandler zum messen der torsion zwischen zwei gekoppelten mechanischen teilen und verfahren zur fertigung des wandlers
Abe et al. Development of a 3-axis planer force/torque sensor for very small force/torque measurement
JPS63271129A (ja) 荷重検出装置
JPS6157825A (ja) 荷重検出器
DE10055933A1 (de) Aufnehmer zum Messen von Belastungen
JPH01107121A (ja) 荷重検出器
JP3265539B2 (ja) 多分力計
WO1991009288A1 (de) Sensor zum messen einer kraft und/oder eines weges und verfahren zum herstellen desselben
DE3624240A1 (de) Mechanisch-elektrischer wandler
JP4464005B2 (ja) 高剛性荷重変換器
JPH0575057B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term