JPS6139932U - 製造皿 - Google Patents
製造皿Info
- Publication number
- JPS6139932U JPS6139932U JP12504784U JP12504784U JPS6139932U JP S6139932 U JPS6139932 U JP S6139932U JP 12504784 U JP12504784 U JP 12504784U JP 12504784 U JP12504784 U JP 12504784U JP S6139932 U JPS6139932 U JP S6139932U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- melt
- lid
- recess
- pouring hole
- inlet edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案に係る製造皿の一実施例を示し、aはそ
の縦断正面図、bは皿本体の平面図、第2図は同製造皿
の従来例を示し、aがその平面図、bは同縦断正面図で
ある。 1・・・・・・皿本体、2・・・・・・蓋体、3・・・
・・・止螺子、4・・・・・・注湯孔、5・・・・・・
キャビテイ、63・・・・・・流入口端縁、7・・・・
・・凹所、7・・・・・・凹所の底壁面、72・・・・
・・凹所の側壁面、B・・・・・・曲成角度。
の縦断正面図、bは皿本体の平面図、第2図は同製造皿
の従来例を示し、aがその平面図、bは同縦断正面図で
ある。 1・・・・・・皿本体、2・・・・・・蓋体、3・・・
・・・止螺子、4・・・・・・注湯孔、5・・・・・・
キャビテイ、63・・・・・・流入口端縁、7・・・・
・・凹所、7・・・・・・凹所の底壁面、72・・・・
・・凹所の側壁面、B・・・・・・曲成角度。
Claims (2)
- (1)皿本体に蓋体を重積して螺子止めすることにより
、蓋体の中央部!と開口の注湯孔から注入したシリコン
母材の融液が、回転遠心力により流入されて融液薄層を
形成し、これを固化することで多結晶シリコンウエハが
製造される複数個のキャビテイが、上記惨本体と蓋体と
の間に形成されたものにおいて、皿本体には上記各キャ
ビテイの流入口端縁から下降する余剰融液落流用の凹所
を形成してなる製造皿。 - (2)余剰融液落流用の凹所が、蓋体の注湯孔直下にお
ける底壁部と、肖該底壁面けら各キャビテイの流入口端
縁まで、直角以上の曲成角度で傾設した側壁面とにより
形成されている実用新案登録請求の範囲第1項記載の製
造皿。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12504784U JPS6139932U (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 製造皿 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12504784U JPS6139932U (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 製造皿 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6139932U true JPS6139932U (ja) | 1986-03-13 |
| JPH0322907Y2 JPH0322907Y2 (ja) | 1991-05-20 |
Family
ID=30683732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12504784U Granted JPS6139932U (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 製造皿 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6139932U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0936403A (ja) * | 1995-07-17 | 1997-02-07 | Canon Inc | 基体の製造方法およびそれを用いた太陽電池 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54121086A (en) * | 1978-03-14 | 1979-09-19 | Agency Of Ind Science & Technol | Forming method of silicon plate |
| JPS56105624A (en) * | 1980-01-29 | 1981-08-22 | Agency Of Ind Science & Technol | Manufacture of plate-type silicon crystal |
| JPS57181175A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-08 | Hoxan Corp | Manufacture of polycrystalline silicon wafer |
-
1984
- 1984-08-17 JP JP12504784U patent/JPS6139932U/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54121086A (en) * | 1978-03-14 | 1979-09-19 | Agency Of Ind Science & Technol | Forming method of silicon plate |
| JPS56105624A (en) * | 1980-01-29 | 1981-08-22 | Agency Of Ind Science & Technol | Manufacture of plate-type silicon crystal |
| JPS57181175A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-08 | Hoxan Corp | Manufacture of polycrystalline silicon wafer |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0936403A (ja) * | 1995-07-17 | 1997-02-07 | Canon Inc | 基体の製造方法およびそれを用いた太陽電池 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0322907Y2 (ja) | 1991-05-20 |
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