JPS6139931U - 多結晶シリコンウエハ用製造皿 - Google Patents
多結晶シリコンウエハ用製造皿Info
- Publication number
- JPS6139931U JPS6139931U JP12504684U JP12504684U JPS6139931U JP S6139931 U JPS6139931 U JP S6139931U JP 12504684 U JP12504684 U JP 12504684U JP 12504684 U JP12504684 U JP 12504684U JP S6139931 U JPS6139931 U JP S6139931U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polycrystalline silicon
- lid
- silicon wafers
- divided
- cavity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 title claims 4
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案に係る製造皿を示し、ａが平面図、ｂは
皿本体の平面図、Ｃがａの継断正面図、第２図は従来の
製造皿を示し、ａがその千面一、ｂはその縦断正面図で
ある。 ・一１・・・・・・皿本体、２・・・・・・蓋体、３
・・・・・・止螺子、２、・・・・・・中央分割小体、
２。 ・・・・・・キャビティ用分割小体、４・・・・・・注
湯孔、５・・・・・・キャビティ。
皿本体の平面図、Ｃがａの継断正面図、第２図は従来の
製造皿を示し、ａがその千面一、ｂはその縦断正面図で
ある。 ・一１・・・・・・皿本体、２・・・・・・蓋体、３
・・・・・・止螺子、２、・・・・・・中央分割小体、
２。 ・・・・・・キャビティ用分割小体、４・・・・・・注
湯孔、５・・・・・・キャビティ。
Claims (1)
- （１）皿本体に蓋体を重積して螺子止めすることにより
、蓋体の中央部に開口の注湯孔から注入したシリコン母
材の融液ぎ、回転遠心力により流入されて融液薄層を形
成し、これを固化子る臣とで多結晶シリコンウエハが製
造される複数個のキャビテイが、上記皿本体と蓋体との
間に形成されたものにおいて、上記蓋体が前記注湯孔を
もつ中央分割小体と、これに当接して上記キ、ヤビテイ
を閉成するキャビテイ用分割小体とにより構成され、こ
れらの全分割小体は皿本体を部分的に閉成するように重
積され、かつ各分割小体ごとに螺子止めされてなる多結
晶シリコンウエハ用製造皿。 − ｛２｝ 蓋体の中央分割小体が、注湯孔を設けた中央
部と、一つのキャビティを閉成するキャビティ用部との
連設により形成されている実用新案登録請求の範囲第１
項記載の多結晶シリコンウェハ用製造皿。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12504684U JPS6139931U (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 多結晶シリコンウエハ用製造皿 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12504684U JPS6139931U (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 多結晶シリコンウエハ用製造皿 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6139931U true JPS6139931U (ja) | 1986-03-13 |
| JPH0246048Y2 JPH0246048Y2 (ja) | 1990-12-05 |
Family
ID=30683731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12504684U Granted JPS6139931U (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 多結晶シリコンウエハ用製造皿 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6139931U (ja) |
-
1984
- 1984-08-17 JP JP12504684U patent/JPS6139931U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0246048Y2 (ja) | 1990-12-05 |
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