JPS6139537A - テ−プボンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はテープ状のフィルムキャリア（以下テープとい
う）に設けられたフィンガーリード（以下リードという
）に半導体ペレツト（以下ペレツトという）のバンプを
ボンディングするテープボンダに関する。

（従来技術） テープボンダは、′第１６図に示すように、ガイ）”板
２０１こ沿って間欠的に移送されるフィルム２１にその
移送ピッチに合わせて設けられたリード２２を基板２３
により順次移送位置決めされるペレツト２４Ｉζ対して
正確ｌこ位置出しして、その後ツール２５によりリード
２２とペレツト２４のバンプ２４ａとをボンディングす
るものである。このようにペレツト２４がボンディング
されたフィルム２１は、その後リード２２とペレツト２
４との導通及び１ａ能等のテストが行われる。

従来、前記したペレツトボンディング後のテストは、プ
ローブを備えたテープハンドラーにテープを移し換えて
行っている。

（従来技術の問題点） 前記のように、テープをテープハンドラーに移し換えて
行うので、定期的にボンディング作業を停止し、導通及
び機能等のテストを行わなければならなく、作業性及び
生産性が著しく悪いと共に、製品の歩留りが悪いという
問題点があった。

（発明の目的） 本発明の目的は、作業性及び生産性−こ優れると共に、
製品の良品率が向上するテープボンダを提供することに
ある。

（発明の実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図乃至第１５図により説
明する。本発明は特開昭５４−１１６６４号公報に示す
テープボンダに適用した例を示す。

まず、本発明の説明に先立ち、特開昭５４−１１６６４
号公報の構造をこついて説明する。第１図ｔこ示すよう
に、ベース板３０には接着用工具ｊｌによるボンディン
グ位置３２の部分にガイド板３３が設けられている。図
示しない方法によって支持されている供給リール３４か
ら送り出されたテープ３５はアイドルスプロケット３６
、ガイドローラ３７に規制案内されると共にパックテン
ションを与えられ、ガイド板３３に沿ってボンディング
位置３２曇こ送られ、ガイドローラ３８及び駆動用スプ
ロケット３９を経て巻取リリール４ｏに巻き取られる。

駆動用スブロクット３９は回転１１ｔｌ１４１の一端に
固定されており、回転軸４１はベース板３０＃こ固定さ
れたブラケット（図示せず）に固定された回転軸ホルダ
（図示せず）に回転自在に支承されている。回転軸４１
の他端にはタイミングプーリ４２が固定されており、前
記駆動用スプロケット３９はベース板３０に固定された
ブラケット４３番こ固定されたパルスモータ４４により
、このパルスモータ４４の出力軸に固定されたタイミン
グプーリ４５と、このタイミングプーリ４５と前記タイ
ミングプーリ４２＃こ掛は渡されたタイミングベルト４
６を介して駆動される。

またボンディング位置３２とガイドａ−ラ３８の間には
そのｌ端Ｃζテープ３５のスプロケットホールに係合す
る位置決め爪５０ａを有する位置決め爪レバー５０が設
けられている。位置決め爪レバー５０は、位置決め爪５
０ａの直上方近傍で偏心軸５１によって回転可能に支持
されると共に、その他端はベース板３０に固定された支
点軸５２の外周に引張コイルバネ５３に付勢され常時滑
動可能に接している。また偏心軸５１は図示しないモー
タによりカム機構を介して回転し、モータの出力軸の１
回転により約９０°往復回動するように構成されている
。

次に動作について説明すると、テープ３５に固着された
リードの取付はピッチに相当するだけパルスモータ４４
が間欠的に回転して駆動用スプロケット３９が回転する
と、テープ３５は必要量移送されてボンディング位置に
リードが粗位置決めされる。次に図示しないモータがス
タートし、その半回転により偏心軸５１が約９０度回動
すると、位置決め爪レバー５０は第１図の状態に移動し
、粗位置決めされているテープ３５のスプロケットホー
ルに係合し、テープ３５を更に微少量移送して停止し、
テープ３５を正確に位置決めする。

この状態でベース板３０がＸＹ方向に駆動され、テープ
３５のリードの検出位置を検出カメラの下方に移動させ
てテープ３５のリード位置ずれが検出され、再びベース
板３０がＸＹ方向に駆動されて補正された位置にテープ
３５のリードを位置させる動作が行なわれる。その後、
接着用工具３１が下降及び上昇して位置出しされたリー
ドとペレットがボンディングされる。

ボンディングが終了すると、図示しないモータが再び半
回転し、偏心軸５１は前記と逆方向に約９０度回動し、
位置決め爪５０ａは移動し°Ｃテープ３５のスプロケッ
トホールから離れる。

この後はパルスモータ４４が起動し、前記したように連
動用スプロケット３９によってテープ３５は一定ピッチ
送られ、次のリードが接着用工具３１の下方に粗位置決
めされる。以後、前記した一連の動作を順次繰返してボ
ンディングされる。

本発明においては、ボンディング位１ｉ１３２と巻取り
リール４０間（実施例はガイドａ−ラ３８と駆動用スプ
ロケット３９間）にテープ３５の°リードとこのリード
に前記のようすこしてボンデイングされたベンットとの
導通及び機能等のテストを行うテープハンドラー６０が
配設されている。以下、本発明の特徴とするテープハン
ドラーの構造について説明する。

上下動可能に設けられた主ベース６１の裏面には、上方
より順次Ｙ方向スライドベース６２、Ｘ方向スライドベ
ース６３及びθ方向スライドベースヲ兼ねたプローブカ
ードホルダ６４が配設されている。前記Ｙ方向スライド
ベース６２には、第２図、第３図に示すように、主ベー
ス６１に回転自在にＹ方向に伸びて取付けられたＹ方向
調整ねじ６５が螺合している。前記Ｘ方向スライドベー
ス６３には、第２図、第４図に示すよう−に、主ベース
６１に回転自在にＸ方向に伸びて取付けられたＸ方向調
整ねじ６６が螺合している。ここで、Ｘ方向調整ねじ６
６はＹ方向にも摺動可能なように、Ｘ方向調整ねじ６６
が挿入される主ベース６１の穴６１ａがＹ方向に長穴に
形成されている。またＸ方向調整ねじ６６の軸部には前
記プａ−ブヵードホルダ６４を支持するプローブカード
ホルダ支え６７が回転自在−こ嵌装されている。前記プ
ａ−ブカードホルグ６４には、第２図、第５図に示すよ
うｉこ、主ベース６１曇こ固定された支持板６８に螺合
されたθ方向調整ねじ６９が当接している。

またプローブカードホルダ６４には、第１図乃至第５図
に示すように、プローブ７０が取付けられたプローブカ
ード７１を第２図に示す矢印入方向より着脱できるよう
になっている。

前記主ベース６１、Ｙ方向スライドベース６２、Ｘ方向
スライドベース６３及びプローブカードホルダ６４のそ
れぞれの対向面には、第９図乃至第・１２図（特に＠１
２図に明瞭に表わされている）に示すように、各ベース
６２．６３及びプローブカードホルダ６４が指定された
方向にのみ移動できるように、後記する雄、雌の関係を
有する凹凸部が形成されている。

即ち、主ベース６１とＹ方向スライドベース６２の対向
面には、主ベース６１にＹ方向に伸びた凹部６１ｂが形
成され、Ｙ方向スライドベース６２に前記凹部６１ｂに
摺動自在ｌこ嵌挿されるＹ方向に伸びた凸部６２ａが形
成されている。Ｙ方向スライドベース６２とＸ方向スラ
イドベース６３の対向面には、Ｙ方向スライドベース６
２にＸ方向に伸びた凹部６２ｂが形成され、Ｘ方向スラ
イドベース６３に前記凹部６２ｂに摺動自在に嵌挿され
るＸ方向に伸びた凸部６３ａが形成されている。

Ｘ方向スライドベース６３とプローブカードホルダ６４
の対向面には、Ｘ方向スライドベース６３に円弧状の凹
部６３ｂが形成され、プローブカードホルダ６４＃こ前
記凹部６３ｂに摺動自在ｌこ嵌挿される円弧状の凸部６
４ａが形成されている。

従って、第２図、第３図に示すＹ方向調整ねじ６５を回
すと、Ｙ方向スライドベース６２は凸部６２ａが主ベー
ス６１の凹部６１ｂにガイドされてＹ方向に移動し、こ
のＹ方向の移動によってＸ方向スライドベース６３及び
プローブカードホルダ６４もＹ方向スライドベース６２
と共にＹ方向に移動する。第２図、第４図に示すＸ方向
調整ねじ６６を回すと、Ｘ方向スライドベース６３は凸
部６３ａがＹ方向スライドベース６２の凹部６２ｂにガ
イドされてＸ方向に移動し、このＸ方向の移動によって
プローブカードホルダ６４もＸ方向スライドベース６３
と共にＸ方向に移動する。第２図、第５図１こ示す０方
向調整ねじ６９を回すと、プローブカードホルダ６４は
凸部６４ａがＸ方向スライドベース６３の凹部６３ｂに
ガイドされて０方向に回転する。即ち、Ｙ方向スライド
ベース６２、Ｘ方向スライドベース６３及びプローブカ
ードホルダ６４によってＸＹθテーブルを構成している
。

このように、プローブカードホルダ６４は、Ｙ方向調整
ねじ６５を回すことによつ°ＣＹ方向の位置が調整され
、Ｘ方向調整ねじ６６を回すことによつ゛ＣＸ方向の位
置が調整され、θ方向調整ねじ６９を回すことによって
〃方向の位置が調整されるので、プローブカードホルダ
６４に保持されたプローブカード７１のプローブ７０の
位置をＸＹθの任意の方向に自由に調整できる。

第２図、８ｇ６図に示すように、Ｘ方向ステイトベース
６３には、主ベース６１、Ｙ方向スライドベース６２に
形成されたばか穴６１ｃ、６２ｃを通して上方よりＸＹ
方向スライドベース固定ねじ１５が螺合しており、この
ＸＹ方向スライドベース固定ねじ７５には主ベース６１
の上方に当接するつば部７５ａが形成されている。従っ
て、ＸＹ方向スライドベース固定ねじ７５を締付けると
、Ｘ方向スライドベース６３は上方に持ち上げられ、Ｙ
方向スライドベース６２を介シて主ベース６１に押付け
られるので、Ｙ方向スライドベース６２及びＸ方向スラ
イドベース６３はロックされる。

そこで前記したＸＹ方向の調整はＸＹ方向スライドベー
ス固定ねじ７５を緩めて行い、調整後に締付ける。

第２図、第７図に示すように、プローブカードホルダ６
４には、主ベース６１、Ｙ方向スライ°ドベース６２、
Ｘ方向スライドベース６３に形成されたばか穴６１ｄ、
６２ｄ、６３ｄを通して上方よりθ方向スライドベース
（プローブカードホルダ）固定ねじ７６が螺合している
。前記ばか穴６３ｄはばか穴６１ｄ、６２ｄより小さく
形成されており、θ方向スライドベース固定ねじ７６に
はＸ方向スライドベース６３の上面に当接するつば部７
６ａが形成されている。従つ°Ｃ１θ方向スライ　　　
　−ドベース固定ねじ７６を締付けると、プローブカー
ドホルダ６４は上方ｌこ持ち上げられ、Ｘ方向スライド
ベース６３に押付けられてロックされる。

そこで、前記したθ方向の調整はθ方向スライドベース
固定ねじ７６を緩めて行い、調整後に締付けるー。

第２図、第８図に示すように、プローブカードホルダ６
４４こは、主ベース６１（Ｙ方向スライドベース６２、
Ｘ方向スライドベース６３に形成されたばか穴６１　ｅ
、　６２　ｅ、　６３　ｅを通して上方よりプローブカ
ード固定ねじ７７が螺合している。

従ってプローブカード固定ねじ７７を締付けると、プロ
ーブカード７１はプローブカード固定ねじ７７の先端に
よりプローブカードホルダ６４に押付けられてロックさ
れる。そこで、前記したプローブカードア１の着脱はプ
ローブカード固定ねじ７７を緩めて行い、プローブカー
ド７１をプローブカードホルダ６４に装着した後に締付
ける。

第１図、第２図、第１３図、第１４図、第１５図に示す
ように、主ベース６１の上面には２方向調整ねじ固定用
の筒状体８０が固定されている。

この筒状体８０には、軸心方向に切欠き溝８０ａが、円
周方向に切溝８０ｂが形成され、切溝８０ｂの上方が径
方向に弾性変形できるようになっている。前記筒状体８
０の中心における主ベース６１の部分にはねじ部６１ｆ
が形成されており、このねじ部６１ｆに筒状体８０に嵌
挿される軸部８１ａを有するＺ方向調整ねじ８１が螺合
している。

２方向調整ねじ８１の先端は図示しない上下動手段で上
下動する上下動アーム８２に当接している。

また前記筒状体８０には、切＃８０ｂの上方で切欠き溝
８０ａの近傍に固定ねじ受部８０ｃが形成されている。

また主ベース６１の上面には、前記固定ねじ受部８０ｃ
に近接してめねじブロック８３が固定されており゛、こ
のめねじブロック８３には２方向調整ねじ用固定ねじ８
４が前記固定ねじ受部８０ｃに当接するように螺合され
ている。

従って、Ｚ方向調整ねじ用固定ねじ８４を緩め、Ｚ方向
調整ねじ８１を回すと、上下動アーム８２　　　　−を
基準として主ベース６１、即ちテープハンドラ−６０全
体が上下動し、プローブカード７１のプローブ７０の上
下（Ｚ）方向が調整される。２方向の調整後は、２方向
調整ねじ用固定ねじ８４を締付けると、筒状体８０が内
側に弾性変形し°（Ｚ方向調整ねじ８１の軸部８１ａを
締付け、２方向調整ねじ８１はロックされる。

第１図に示すように、プローブ７０に対向してテープ３
５のＦ面側にはテープ受台８５が上下動可能に設けられ
ている。

次に作用を第１図によって説明する。始動に先立ち、前
記したようにしてプローブカード７１のプローブ７０の
Ｘ１Ｙ、θ、Ｚ方向の調整を行っておく。またテープ３
５が送られる時は、上下動アーム８２（第１３図参照）
は上昇位置に、テープ受台８５は下降位置にあり、プロ
ーブ７１及びテープ受台８５はテープ３５が離れている
。前記　　　−したよう曇こ、接着工具３１によつ°Ｃ
テープ３５のリードｌこぺＶットがボンディングされ、
このボンディングされたテープ３５の部分がプローブ７
１の下方に位置すると、テープ受台８５が上昇してテー
プ３５の下面を支持し、また同時に上下動アーム８２（
第１３図参照）が下降してテープハンドラ−６０全体が
下降し、プローブ７１はテープ３５の測定部に当接する
。これにより、リードとペレットとの導通及び機能がテ
ストされる。このテストはテープ３５が送られてボンデ
ィング部分が位置する毎に行われる。

このよう壷こ、テープボンダにリードとべＶットとの導
通及び機能等のテストを行うプローブ７１を備えたテー
プハンドラー６０を配設してなるので、導通及び機能等
のチェックをボンディング作業中に行うことができ、生
産性が向上すると共”ｌこ、テープボンダの全自動化が
行える。もし、テスト結果が連続して不良となった場合
、テープボンダを自動的に停止することができ、製品の
良品率が向上する。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ボン
ディングと同時齋こ他の位置でリードとペレットとの導
通及び機能等のテストを行なうことができるので、生産
性が向上すると共に、テープボンダの全自動化が図れる
。またボンディング状態が不良の場合、即座にボンディ
ング作業を停止し、ボンディング条件を変更できるので
、製品の良品率が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になるテープボンダの一実施例を示す正
面図、第２図は第１図に示すテープハンドラーの平面図
、第３図は第２図の３−３線断面拡大図、第４図は第２
図の４−４線断面拡大図、第５図は第２図の５−５１！
断面拡大図、第６図は第２図の６−６線断面拡大図、第
７図は第２図の７−７線断面拡大図、第８図は第２図の
８−８線断面拡大図、第９図乃至第１２図は主ベース、
Ｙ方向スライドベース、Ｘ方向スライドベース、プロー
ブカードホルダの関係を示し、第９図は平面図、第１０
図は第９図の正面図、＠１１図は第１０図の１１−１１
線断面図、第１２図は分解斜視図、第１３図は第１図の
１３−１３線断面拡大図、第１４図は第１３図の要部棲
断面図、第１５図は第１３図、第１４図に示す筒状体の
斜視図、第１６図はボンディング状態の断面図である。 ２、・・フィルムキャリア（テープ）、２２・・・フィ
ンガーリード（リード）、　　２４・・・半導体ペレッ
ト、３２・・・ボンディング位置、３５・・・フィルム
キャリア（テープ）、　　　４０・・・巻取りリール、
６０・・・テープハンドラー、６、・・主ベース、６２
・・・Ｙ方向スライドベース、　　　６３・・・Ｘ方向
スライドベース、６４・・・プローブカードホルダ、６
５・・・Ｙ方向調整ねじ、　　　６６・・・Ｘ方向調整
ねじ、６゛９・・・θ方向調整ねじ、　　　７０・・・
プローブ、　　　７、・・プローブカード、７５・・・
ＸＹ方向スライドベース固定ねじ、　　　７６・・・θ
方向スライドベース固定ねじ、７７・・・プローブカー
ド固定ねじ、８０・・・筒状体、８、・・Ｚ方向調整ね
じ、８２・・・上下動アーム、８３・・・めねじプロツ
ク、８４・・・２方向調整ねじ用固定ねじ。 第２図 第３図　　　第４図 第７図　　　　第８図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）フィルムキャリアに一定ピッチで設けられたフィ
   ンガーリードに半導体ペレツトを順次ボンディングする
   テープボンダにおいて、前記ボンディング位置と前記フ
   ィルムキャリアを巻取る巻取りリール間に、フィンガー
   リードと半導体ペレットとの導通及び機能等のテストを
   行うプローブを備えたテープハンドラーを配設したこと
   を特徴とするテープボンダ。
2. （２）テープハンドラーは、プローブを有するプローブ
   カードを保持するプローブカードホルダと、このプロー
   ブカードホルダをＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に調整する手段と
   、前記プローブカードホルダを上下動させる手段とを備
   えていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   テープボンダ。