JPS6138615A - 全面層流型クリ−ンル−ムの天井吊設フイルタ−システムに於けるフイルタ−フレ−ムから清浄空気を流す装置 - Google Patents
全面層流型クリ−ンル−ムの天井吊設フイルタ−システムに於けるフイルタ−フレ−ムから清浄空気を流す装置Info
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 8
- 239000011800 void material Substances 0.000 claims description 2
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 abstract 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15893584A JPS6138615A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 全面層流型クリ−ンル−ムの天井吊設フイルタ−システムに於けるフイルタ−フレ−ムから清浄空気を流す装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15893584A JPS6138615A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 全面層流型クリ−ンル−ムの天井吊設フイルタ−システムに於けるフイルタ−フレ−ムから清浄空気を流す装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6138615A true JPS6138615A (ja) | 1986-02-24 |
JPH029254B2 JPH029254B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1990-03-01 |
Family
ID=15682551
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15893584A Granted JPS6138615A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 全面層流型クリ−ンル−ムの天井吊設フイルタ−システムに於けるフイルタ−フレ−ムから清浄空気を流す装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6138615A (enrdf_load_stackoverflow) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6357448U (enrdf_load_stackoverflow) * | 1986-10-02 | 1988-04-16 | ||
JPH01170762U (enrdf_load_stackoverflow) * | 1988-05-16 | 1989-12-04 | ||
US6110244A (en) * | 1994-10-22 | 2000-08-29 | Howorth Airtech Limited | Clean air system |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP15893584A patent/JPS6138615A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6357448U (enrdf_load_stackoverflow) * | 1986-10-02 | 1988-04-16 | ||
JPH01170762U (enrdf_load_stackoverflow) * | 1988-05-16 | 1989-12-04 | ||
US6110244A (en) * | 1994-10-22 | 2000-08-29 | Howorth Airtech Limited | Clean air system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH029254B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1990-03-01 |
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