JPS6138510A

JPS6138510A - 検出装置

Info

Publication number: JPS6138510A
Application number: JP15896984A
Authority: JP
Inventors: Kazumi Yamazaki; 一美山崎; Tatsu Nagai; 長井　達
Original assignee: Toshiba Seiki Co Ltd
Current assignee: Toshiba Mechatronics Co Ltd
Priority date: 1984-07-31
Filing date: 1984-07-31
Publication date: 1986-02-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［技術分野］本発明は、検出装置に関する。

［従来技術］従来、半導体等の素子群をその表面に配置し。

形成してなるウェハは、素子片としての各ペレットに分
割され、さらに、分割された各ペレットは、ペレット摘
出装置により摘出され、それぞれ基板に対して接着され
るようになっている。

第８図は従来のベレット摘出装置を示す断面図である。

ペレット摘出装置ｌＯは、架台１１を備え、該架台１１
には、移動体としてのＸＹテーブル１２が備えられてい
る。即ち、ＸＹテーブル１２は、架台１１に対してＸＹ
方向に移動性能とされており、されにＸＹテーブル１２
の上面には、カセットリングの支持フレーム１４および
検山板の支持ブラケッ）１５が、それぞれポルト１６Ａ
、１６Ｂを介して固着されている。カセットリングの支
持フレーム１４には、カセットリング１７が着脱自在と
されている。このカセットリング１７には、第９図に示
すように、ウェハ１８の被着された粘着シー）１９が、
ゴムバンド２０を介して取着されている。粘着シー）１
９上のウェハ１８は、円形状とされ、さらに、ウェハ１
８は、素子片としての各ペレッ）２１に分割されている
。即ち、各ペレット２１は、粘着シート１９上で、ＸＹ
テーブル１２のＸＹ方向に沿って複数行、複数列に整列
される状態とされる。

ＸＹテーブル１２の上方には、分割されたペレット２１
を吸着し、摘出可能とするコレット２２が設けられてい
る。コレット２２によるペレッ）２１の摘出は、吸着さ
れるペレッ）２１が、コレット２２の真下に位置される
ように、順次ＸＹテーブル１２を移動させて行われる。

真下に位置されたペレット２１を吸着する際、コレット
２２は、下降される。これと同時に、粘着シー）１９の
裏面からは、ニードル２３が突き上げられ、粘着シート
１９上のペレット２１が一個ずつコレット２２により吸
着されるようになっている。吸着されたペレット２１は
、コレットアーム２２Ａの回動により次工程へ移動され
、不図示のペレットポンディング機構により基板に対し
て接着されるようになっている。

一方、ＸＹテーブル１２の上面に固着される検出板の支
持ブラケット１５には、粘着シート１９に被着されるウ
ェハ１８と同一の直径りを有する円形状の検出板２４が
１着脱自在とされる。さらに、検出板２４の上方には、
検出器２５が固定されている。この検出器２５は、検出
板２４に対して照射光を照射し、検出板２４から反射さ
れる反射光を検出するようにしている。即ち、検出器２
５は、検出板２４に対して照射光を照射させて、検出板
２４における円形状の検出周縁部２６の領域を検出する
ようにしている。検出器２５は、ＸＹテーブル１２の駆
動部と接続され、これにより、検出器２５は、ＸＹテー
ブル１２の駆動部に対して、ＸＹテーブル１２の移動範
囲を検出された検出周縁部ｚ６の周縁形状と同一範囲に
設定可能としている。この結果、コレット２２に対する
ＸＹテーブル１２の移動範囲をウェハ１８の外径範囲内
とすることができ、複数行、複数列に整列されたペレッ
ト２１を行または列に沿って順次コレット２２により摘
出するとともに、ウニへ１８の周縁のペレット２１がコ
レット２２によって摘出される状態までＸＹテーブル１
２が移動された後、コレット２２に対するウェハ１８の
行替または列替を行って、ウェハ１８の次の行または列
のペレット２１を順次摘出することを可能にしている。

上記ペレット摘出装置１０によれば、ペレット２１の摘
出を行う各ウェハ１８の直径りと同じ直径りを有する検
出板２４を支持ブラケッ）１５へ取着することにより、
ＸＹテーブル１２の移動範囲を、直径りの異なる各ウェ
ハ１８に対して適合可能となる。

しかしながら、上記のようなペレット摘出装置ｌＯにお
いては、各種直径のウェハ１８にそれぞれ対応する多数
の検出板２４を用意しておく必要があり、これらの検出
板２４の準備や保管あるいは検出板２４の着脱のために
煩雑な作業が必要とされている。

［発明の目的］本発明は、単一の検出板により、移動体の移動範囲の設
定を自由に行うことを目的とする。

［発明の構成］上記目的を達成するために１本発明は、円形状の検出周
縁部を備えてなる検出板と、検出板の検出周縁部を検出
可能とする検出器とからなり、検出板と検出器の一方を
移動体と一体に移動可梯となるように結合し、検出板の
検出周縁部を検出器によって検出することにより、移動
体の移動範囲を検出周縁部の周縁形状と同一範囲に設定
可能とする検出装置において、検出板の検出周縁部の直
径を拡縮自在としたものである。

［発明の詳細な説明］以下、本発明の一実施例を図面の簡単な説明する。

第１図は本発明の一実施例に係る検出装置が適用されて
なるペレット摘出装置を示す断面図、第２図は第１図に
示す検出装置の検出板を示す平面図、第３図は第２図に
示す検出板の拡大斜視図、第４図は同検出板の断面図で
ある。

ペレット摘出装置３０は、架台３１ｔ−備え、該架台３
１には、移動体としてのＸＹテーブル３２が備えられて
いる。即ち、ＸＹテーブル３２は、架台１１に対してＸ
Ｙ方向に移動可部とされており、ざらにＸＹテーブル３
２の上面には、カセットリングの支持フレーム３４およ
び検出板の支持ブラケット３５が、それぞれポル）３６
Ａ、３６Ｂを介して固着されている。カセットリングの
支持フレーム３４には、カセットリング３７が着脱自在
とされている。このカセットリング３７には、ウェハ３
８の被着された粘着シート３９が、ゴムバンド４０を介
して取着されている。粘着シート３９上のつ主ハ３８は
１円形状とされ、さらに、ウニへ３８は、素子片として
の各ペレット４１に分割されている。即ち、各ペレット
４１は、粘着シート３９上でＸＹテーブル３２のＸＹ方
向に沿って複数行、複数列に整列される状態とされる。

ＸＹテーブル３２の上方には、分割されたペレット４１
を吸着し、摘出可能とするコレット４２が設けられてい
る。コレット４２によるペレット４１の摘出は、吸着さ
れるペレット４１が、コレット４２の真下に位置させる
ように、順次ＸＹテーブル３２を移動させて行われる。

真下に位置されたベレッ）４１を吸着する際、コレット
４２が下降される。これと同時に、粘着シート３９の裏
面からは、ニードル４３が突き上げられ、粘着シート３
９上のペレッ）４１が一個ずつコレット４２により吸着
されるようになっている。吸着されたペレット４１は、
コレットアーム４４の回動により次工程へ移動され、不
図示のペレットポンディング機構により、基板に対して
接着されるようになっている。

一方、ＸＹテーブル３２の上面に固着される検出板の支
持ブラケット３５には、円形状の検出周縁部４６を備え
てなる検出板４５が着脱自在とされ、さらに、検出板４
５の」一方には、上記検出板４５の検出周縁部４６を検
出回部とする検出器４７が固定されており、前記検出板
４５と検出器４７により、ＸＹテーブル３２の移ｙＪＪ
＠囲を設定可能とする検出装置を構成するようにしてい
る。

検出板４５は、円形状の固定板４８を備えており、該固
定板４８は、支持ブラケット３５の上面に突出形成され
た突出爪４９と固定板４８の底面に形成された四部５０
との嵌合により、支持ブラケット３５の所定位置に固定
可能とされている。

なお、検出板４５の上記所定位置への固定状態は、コレ
ット４２がウェハ３８の中心に対応位置する状態下にお
いて、検出器４７を検出板４５の中心に対応位置可能と
する。固定板４８の中心には、回転軸５１が支持され、
該回転軸５１は、固定板４８に対して回転可能とされて
いる０回転軸５１には調整板５２が止めねじ５３により
支持されている。調整板５２には、つまみ部５２Ａが形
成され、該つまみ部５２Ａを回動することにより、調整
板５２を固定板４８に対して回動可能としている。調整
板５２と固定板４８の間には、第２図に示すように６枚
の可動板５４が設けられている。可動板５４は、その端
部に形成された孔部５６を、調整板５２の下面に突出形
成されている支持ピン５５に支持され、これにより、各
可動板５４を支持ピン５５のまわりに揺動可能とし−Ｃ
いる。各可動板５４には、それぞれ長孔状のガイド孔５
７が穿設され、一方、固定板４８の上面の周方向複数位
置には、上記ガイド孔５７に挿入可能なガイドピン５８
がそれぞれ突出形成されている。ガイド孔５７およびガ
イドピン５８は、調整板５２の回動にともなう可動板５
４の揺動角度位置を調整可能としている。即ち、調整板
５２が回動されると、固定状態のガイドピン５８にガイ
ド孔５７が案内される状態となり、これにより、支持ピ
ン５５を中心に揺動する各可動板５４の揺動角度を調整
することが可能となる。

上記のようなガイド孔５７およびガイドピン５８から構
成される揺動案内手段により、各可動板５４の揺動が行
われると１円形の検出周縁部４６の一部を形成する各可
動板５４の縁部５９が検出板４５の中心に対して拡縮可
能となる。これにより、検出板４５における検出周縁部
４６の直径りを第２図に示すように拡縮自在に調整する
ことが可能となる。なお、検出周縁部４６の直径りの設
定は、固定板４８の側部に形成される目盛６０と調整板
５２に支持される指針６１とを合わせることにより可能
とされる。

検出板４５の上方に位置する検出器４７は、検出板４５
に対して照射光を照射し、検出板４５から反射される反
射光を検出するようにしている。

即ち、検出器４７は、検出板４５に対して照射光を照射
させて、検出板４５における円形状の検出周縁部４６の
領域を検出可能としている。検出器４７は、ＸＹテーブ
ル３２の駆動部と接続され、これにより、検出器４７は
、ＸＹテーブル３２の駆動部に対して、ＸＹテーブル３
２の移動範囲を検出された検出周縁部４６の周縁形状と
同一範囲に設定可能としている。

この結果、カセットリング３７の粘着シート３９上に位
置するウェハ３８の直径変更に応じて、その都度、調整
板５２のつまみ部５２Ａを調整するようにし、検出板４
５の検出周縁部４６の直径りをウェハ３８の直径りに相
応する大きさに設定すれば、ＸＹテーブル３２の移動範
囲をウェハ３８の直径範囲内とするこ上ができる。この
ようにして、ＸＹテーブル３２の移動が行われると、Ｘ
Ｙ方向に複数行、複数列に整列されたベレフ）４１が１
行または列に沿って、順次コレット４２により摘出可能
とされるとともに、コレット４２とウェハ３８の周縁の
ベレッ）４１とが相対位置する状態までＸＹテーブル３
２が移動されたら、この時点で行替または列替を行って
次の行または列のベレッ１−４１を順次摘出することが
可能となる。

次に、上記実施例の作用について説明する。

つまみ部５２Ａを回動調整することにより、可動板５４
の揺動角度位置が調整され、これにより検出板４５の円
形の検出周縁部４６の直径りが拡縮自在とされる。即ち
、上記ペレット摘出装置３０により、各々の直径りを有
するウェハ３８におけるペレット４１の摘出作業を行う
場合に、該ウェハ３８の直径りに応じて検出周縁部４６
の直径を拡縮して調整すれば、移動体としてのＸＹテー
ブル３２の移動範囲を簡単かつ自由に設定することが可
能となる。これにより、従来のように様々な大きさの検
出板を用意する必要なく、単一の検出板４５により各種
直径りのウェハからのペレット摘出作業が可能となる。

なお、上記実施例においては、コレット４２および検出
器４７のそれぞれを固定状態とし、これに対するウェハ
３８および検出板４５をＸＹテーブル３２により、一体
に移動可能としているが。

これとは逆にウェハ３８および検出器４５を固定状態と
し、コレット４２および検出器４７を一体にしてＸＹ方
向に移動させるようにしてもよい。

また、上記実施例においては、つまみ部５２Ａの手動に
よる回動操作により、可動板５４の揺動角度位置の調整
を行うようにしているが、回転軸５１にパルスモータ、
サーボモータ等の制御モータを取付け、該モータの回転
調整により、可動板５４の揺動角度位置を調整するよう
にしてもよい。

第５図は、本発明の他の実施例に係る検出装置の検出板
のうち、調整板を取外した状態を示す平面図、第６図は
第５図に示す検出板の拡大斜視図、第７図は同検出板の
断面図である。

この検出板７０は、前記実施例に係る検出板４５と同様
にペレット摘出装置３０の検出板の支持ブラケット３５
に固定可能とされ、ＸＹテーブル３２上の検出器４７と
ともに検出装置を構成するようにしている。

検出板４５は、リング形状の固定板７１を備えており、
該固定板７１は、支持ブラケット３５の上面に突出形成
された突出爪７２と固定板７１の底面に形成された四部
７３との嵌合により、支持ブラケット３５の所定位置に
固定可能とされている。固定板７１の」二面の周方向６
位置には、それぞれ等間隔で６木の固定軸７４が植設さ
れている。この固定軸７４には、第５図に示すように、
それぞれ可動板７５が揺動可能に支持されている。即ち
、各可動板７５には、それぞれの端部に孔部７６が穿設
され、該孔部７６と固定軸７４とを嵌合状態として各可
動板７５を固定軸７４を中心として揺動可能に支持して
いる。さらに、各可動板７５の上部にはリング形状の調
整板７７が設けられている。調整板７７には、各固定軸
７４の先端部に挿通可能とされ、検出板７０の中心軸を
中心とする円弧状の長孔７９が形成されている。

長孔７９に挿通された固定軸７４の先端部に形成されて
いるネジ部７Ｂには、ナツト８０が螺着されている。こ
れにより、固定板７１に対して調整板７７が回動可能と
なる状態で支持され、さら、に固定板７１と調整板７７
の間に６枚の可動板７５が位置されることとなる。６枚
の可動板７５には、それぞれ長孔状のガイド孔８１が穿
設され、一方、調整板７７の下面には、上記ガイド孔８
１に挿入可能なガイドピン８２がそれぞれ突出形成され
ている。ガイド孔８１およびガイドピン８２は、調整板
７７の回動にともない各可動板７５の揺動角度位置を調
整可能としている。即ち、調整板７７が回動されると、
それにともないガイドピン８２が調整板７７の周方向に
回動され、回動されるガイドピン８２にガイド孔８１が
案内される状態となる。これにより、各固定軸７４を中
心に揺動する各可動板７５の揺動角度を調整することが
可能となる。

上記のようなガイド孔８１およびガイドピン８２から構
成される揺・動案内手段により、各可動板７５の揺動が
行われると、可動板７５の縁部８３がリング状の調整板
７７の内径方向へ突出自在とされる。これにより、調整
板７７の内径部分が構成する円形の検出周縁部８４の直
径りを拡縮自在に調整することができる。この結果、検
出器４７により、該調整板７７の内径部分が検出され、
該領域をＸＹテーブル３２の移動範囲とすることが可能
となる。なお、検出周縁部８４の直径りの調整は、固定
板７１の側部に形成される目盛８５と調整板７７に支持
される指針８６とを合わせることにより行われる。その
他の構成および作用については前記実施例に係る検出板
４５と同様につき説明を省略する。

このように本発明に係る検出装置によれば、単一の検出
器により、様々に変化する移動体の移動範囲を自由に設
定できるので前記ペレット摘出装置の他、ウェハを各ペ
レットに分割するウェハのダイシング装置、ウェハ上の
各素子についてその特性検査を行う半導体検査装置など
様々な装置に用いることが可能となる。

［発明の効果］以上のように、本発明は１円形状の検出周縁部を備えて
なる検出板と、検出板の検出周縁部を検出可能とする検
出器とからなり、検出板と検出器の一方を移動体と一体
に移動可能となるように結合し、検出板の検出周縁部を
検出器によって検出することにより、移動体の移動範囲
を検出周縁部の周縁形状と同一範囲に設定可能とする検
出装置において、検出板の検出周縁部の直径を拡縮自在
としたため、単一の検出板により、移動体の移動範囲の
設定を自由に行うことができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る検出装置が適用されて
なるペレット摘出装置を示す断面図、第２図は第１図に
示す検出装置の検出板を示す平面図、第３図は第２図に
示す検出板の拡大斜視図、第４図は同検出板の断面図、
第５図は本発明の他の実施例に係る検出装置の検出板の
うち、調整板を取外した状態を示す第２図同様の平面図
、第６図は第５図に示す検出板の拡大斜視図、第７図は
同検出板の断面図である。第８図は従来の検出装置を備
えてなるペレット摘出装置を示す断面図、第９図はカセ
ットリングへの粘着シートの取着状態を示す斜視図であ
る。１２．３２−　Ｘ　Ｙ　テーブル、２４．４５．７０・
・・検出板、２５．４７・・・検出器、２６．４６゜８
４・・・検出周縁部、４８．７１・・・固定板、５２．
７７・・・調整板、５４．７５・・・可動板、５９．８
３・・・縁部第４図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）円形状の検出周縁部を備えてなる検出板と、検出
板の検出周縁部を検出可能とする検出器とからなり、検
出板と検出器の一方を移動体と一体に移動可能となるよ
うに結合し、検出板の検出周縁部を検出器によって検出
することにより、移動体の移動範囲を検出周縁部の周縁
形状と同一範囲に設定可能とする検出装置において、検
出板の検出周縁部の直径を拡縮自在としてなることを特
徴とする検出装置。
（２）前記検出板は、移動体側に固定される固定板と、
固定板に回動可能に支持される調整板と、固定板もしく
は調整板の一方の周方向の複数位置にそれぞれ揺動可能
に支持され、前記検出周縁部の一部を形成する縁部を備
える複数の可動板と、該可動板と固定板もしくは調整板
の他方との間に形成され、調整板の回動にともなう可動
板の揺動角度位置を調整可能とする揺動案内手段とから
なり、可動板の揺動角度位置の調整によって可動板の縁
部が形成する検出周縁部の直径を拡縮自在とする特許請
求の範囲第１項に記載の検出装置。