JPS6138303U - 流体制御アクチユエ−タ - Google Patents

流体制御アクチユエ−タ

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Publication number
JPS6138303U
JPS6138303U JP12397184U JP12397184U JPS6138303U JP S6138303 U JPS6138303 U JP S6138303U JP 12397184 U JP12397184 U JP 12397184U JP 12397184 U JP12397184 U JP 12397184U JP S6138303 U JPS6138303 U JP S6138303U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
control actuator
fluid control
shaft
fluid
controlled member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12397184U
Other languages
English (en)
Inventor
司 五十嵐
Original Assignee
株式会社 小金井製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社 小金井製作所 filed Critical 株式会社 小金井製作所
Priority to JP12397184U priority Critical patent/JPS6138303U/ja
Publication of JPS6138303U publication Critical patent/JPS6138303U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Sliding Valves (AREA)
  • Actuator (AREA)
  • Slide Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の流体制御アクチュエータの実施例を示
す断面図、第２図はバルブの出力圧の特性図、第３図は
本考案の他の実施例を示す断面図である。 １・・・・・・を−ス、２・・・・・・キャップ、４・
・・・・・ベロフラム、５・・・・・・シャフト、９・
・・・・・空間部、１０・・・・・・被制御部材（バル
ブ）、２３，２４・・・・・・ナット、２６・・・・・
・スプリング、２７・・・・・・供給口、３１・・・・
・・被制御部材（マイクロスイッチ）、３４・・・・・
・作動子。

Claims (4)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）流体圧を受けて撓むベロフラムをケース内に設け
    、該ベロフラムの中心部に上記ケース内で軸方向移動す
    るシャフトの一端を支持させてなり、上記シャフトの上
    記流体圧に応じた軸方向移動により、シャフトの他端に
    関連した被制御部材を操作するようにしたことを特徴と
    する流体制御アクチュエータ。
  2. （２）被制御部材が直動形のバルブであることを特徴と
    する実用新案登録請求の範囲第１項記載の流体制御アク
    チュエータ。
  3. （３）バルブの流体の入口と出口が、排出口の閉鎖完了
    後に開通されることを特徴とする実用新案登録請求の範
    囲第２項記載の流体制御アクチュエータ。
  4. （４）被制御部材がマイクロスイッチであることを特徴
    とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の流体制御ア
    クチュエータ。
JP12397184U 1984-08-13 1984-08-13 流体制御アクチユエ−タ Pending JPS6138303U (ja)

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JP12397184U JPS6138303U (ja) 1984-08-13 1984-08-13 流体制御アクチユエ−タ

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JPS6138303U true JPS6138303U (ja) 1986-03-10

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63184282U (ja) * 1987-05-20 1988-11-28
JP2014521028A (ja) * 2011-07-15 2014-08-25 メカニック・アナリティック・インコーポレーテッド アクチュエータ

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5825804B2 (ja) * 1977-12-29 1983-05-30 オイレス工業株式会社 モノレ−ル桁用支承構造体

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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