JPS6177483U - - Google Patents

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JPS6177483U
JPS6177483U JP16242584U JP16242584U JPS6177483U JP S6177483 U JPS6177483 U JP S6177483U JP 16242584 U JP16242584 U JP 16242584U JP 16242584 U JP16242584 U JP 16242584U JP S6177483 U JPS6177483 U JP S6177483U
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JP
Japan
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piezoelectric element
bimorph piezoelectric
poppet valve
valve
piston part
Prior art date
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Pending
Application number
JP16242584U
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  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の説明図、第2図は本考案の第
1実施例の断面図、第3図は本考案の第2実施例
の断面図である。 M1,36…バイモルフ圧電素子(バイモルフ
圧電素子積層体)、M2,26…ポペツト弁、M
3,32…ピストン部、Ma,20…入力ポート
、Mb,22…出力ポート、Mc,24…排気ポ
ート、28,34…駆動軸、30…シリンダ部、
38…ビーム、50…復帰スプリング。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 一端が固定された固定端であり他端が電圧印
    加により変位する自由端であるバイモルフ圧電素
    子と、 入力ポートと出力ポートとを結ぶ流体路中に設
    けられたポペツト弁と、 該ポペツト弁閉塞時に出力ポートと連通し、該
    ポペツト弁開口時に該ポペツト弁の弁体にて閉塞
    される排気ポートと、 上記入力ポートとポペツト弁とを結ぶ流体路か
    ら分岐して設けられたシリンダ部と、該シリンダ
    部に摺動可能に内設され、一端で上記バイモルフ
    圧電素子と連結するとともに他端で上記ポペツト
    弁の弁体と連結するピストン部と、 を有することを特徴とするバイモルフ圧電素子を
    用いた流体制御弁。 2 バイモルフ圧電素子とピストン部との連結が
    、上記バイモルフ圧電素子に沿つて、かつ固定端
    から自由端に向つて装着されたビームと、該ビー
    ムと上記ピストン部一端とを連結する駆動軸とに
    よつて構成される実用新案登録請求の範囲第1項
    記載のバイモルフ圧電素子を用いた流体制御弁。
JP16242584U 1984-10-26 1984-10-26 Pending JPS6177483U (ja)

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JP16242584U JPS6177483U (ja) 1984-10-26 1984-10-26

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JP16242584U JPS6177483U (ja) 1984-10-26 1984-10-26

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JPS6177483U true JPS6177483U (ja) 1986-05-24

Family

ID=30720308

Family Applications (1)

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JP16242584U Pending JPS6177483U (ja) 1984-10-26 1984-10-26

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JP (1) JPS6177483U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6440775A (en) * 1987-08-05 1989-02-13 Koganei Ltd Selector valve
JP2008232216A (ja) * 2007-03-19 2008-10-02 Seiko Epson Corp バルブユニット及び流体噴射装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6440775A (en) * 1987-08-05 1989-02-13 Koganei Ltd Selector valve
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