JPS6177483U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6177483U JPS6177483U JP16242584U JP16242584U JPS6177483U JP S6177483 U JPS6177483 U JP S6177483U JP 16242584 U JP16242584 U JP 16242584U JP 16242584 U JP16242584 U JP 16242584U JP S6177483 U JPS6177483 U JP S6177483U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- bimorph piezoelectric
- poppet valve
- valve
- piston part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Description
第1図は本考案の説明図、第2図は本考案の第
1実施例の断面図、第3図は本考案の第2実施例
の断面図である。 M1,36…バイモルフ圧電素子(バイモルフ
圧電素子積層体)、M2,26…ポペツト弁、M
3,32…ピストン部、Ma,20…入力ポート
、Mb,22…出力ポート、Mc,24…排気ポ
ート、28,34…駆動軸、30…シリンダ部、
38…ビーム、50…復帰スプリング。
1実施例の断面図、第3図は本考案の第2実施例
の断面図である。 M1,36…バイモルフ圧電素子(バイモルフ
圧電素子積層体)、M2,26…ポペツト弁、M
3,32…ピストン部、Ma,20…入力ポート
、Mb,22…出力ポート、Mc,24…排気ポ
ート、28,34…駆動軸、30…シリンダ部、
38…ビーム、50…復帰スプリング。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 一端が固定された固定端であり他端が電圧印
加により変位する自由端であるバイモルフ圧電素
子と、 入力ポートと出力ポートとを結ぶ流体路中に設
けられたポペツト弁と、 該ポペツト弁閉塞時に出力ポートと連通し、該
ポペツト弁開口時に該ポペツト弁の弁体にて閉塞
される排気ポートと、 上記入力ポートとポペツト弁とを結ぶ流体路か
ら分岐して設けられたシリンダ部と、該シリンダ
部に摺動可能に内設され、一端で上記バイモルフ
圧電素子と連結するとともに他端で上記ポペツト
弁の弁体と連結するピストン部と、 を有することを特徴とするバイモルフ圧電素子を
用いた流体制御弁。 2 バイモルフ圧電素子とピストン部との連結が
、上記バイモルフ圧電素子に沿つて、かつ固定端
から自由端に向つて装着されたビームと、該ビー
ムと上記ピストン部一端とを連結する駆動軸とに
よつて構成される実用新案登録請求の範囲第1項
記載のバイモルフ圧電素子を用いた流体制御弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16242584U JPS6177483U (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16242584U JPS6177483U (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6177483U true JPS6177483U (ja) | 1986-05-24 |
Family
ID=30720308
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16242584U Pending JPS6177483U (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6177483U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6440775A (en) * | 1987-08-05 | 1989-02-13 | Koganei Ltd | Selector valve |
JP2008232216A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Seiko Epson Corp | バルブユニット及び流体噴射装置 |
-
1984
- 1984-10-26 JP JP16242584U patent/JPS6177483U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6440775A (en) * | 1987-08-05 | 1989-02-13 | Koganei Ltd | Selector valve |
JP2008232216A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Seiko Epson Corp | バルブユニット及び流体噴射装置 |