JPS6138270A - メタルシ−ルを有するゲ−ト弁 - Google Patents
メタルシ−ルを有するゲ−ト弁Info
- Publication number
- JPS6138270A JPS6138270A JP15894684A JP15894684A JPS6138270A JP S6138270 A JPS6138270 A JP S6138270A JP 15894684 A JP15894684 A JP 15894684A JP 15894684 A JP15894684 A JP 15894684A JP S6138270 A JPS6138270 A JP S6138270A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate valve
- valve plate
- annular
- annular groove
- seal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/0227—Packings
- F16K3/0236—Packings the packing being of a non-resilient material, e.g. ceramic, metal
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は超高真空を必要とする真空配管系等に用いら
れるメタルシールを有するダート弁に関するものである
。
れるメタルシールを有するダート弁に関するものである
。
最近の半導体製造装置や蒸着装置等においては、超真空
を必要とするので、これらの装置の配管系に用いられる
ケ゛−ト弁のシール部にＯリングを使用した場合は、０
リング材から放出されるガスが、超高真空に悪影響を与
えたり、半導体のウニ・・−に悪影響を与えることがあ
り、そのため超高真空を用いる装置においては、オール
メタルシールを使用することが必要とされている。
を必要とするので、これらの装置の配管系に用いられる
ケ゛−ト弁のシール部にＯリングを使用した場合は、０
リング材から放出されるガスが、超高真空に悪影響を与
えたり、半導体のウニ・・−に悪影響を与えることがあ
り、そのため超高真空を用いる装置においては、オール
メタルシールを使用することが必要とされている。
従来、オールメタルシールを有するケ゛−ト弁としては
、仕切弁板にエツジを有する環状のメタルガスケットを
固着し、そのメタルガスケットのエツジを弁箱内の開口
部を周囲に喰い込ませるように構成したものが知られて
いる。
、仕切弁板にエツジを有する環状のメタルガスケットを
固着し、そのメタルガスケットのエツジを弁箱内の開口
部を周囲に喰い込ませるように構成したものが知られて
いる。
しかし、前記従来のゲート弁にお′けるオールメタルゾ
ールの場合は、シールした際にメタルガスケラトのエツ
ジの喰い込みによるレプリカが生じるので、ソール巾が
狭く、シール解放後に再びシールす゛る場合、メタルガ
スケットのエツジが前記Ｌ／ ７’ リカから僅かでも
偏位すると完全なシール性能が得られないという問題が
ある。
ールの場合は、シールした際にメタルガスケラトのエツ
ジの喰い込みによるレプリカが生じるので、ソール巾が
狭く、シール解放後に再びシールす゛る場合、メタルガ
スケットのエツジが前記Ｌ／ ７’ リカから僅かでも
偏位すると完全なシール性能が得られないという問題が
ある。
コノ問題を解決できるオールメタル／−ルヲ有するケ゛
−ト弁として、仕切弁板の表裏両面に対向する環状金具
と弁箱とを、内側ベローズおよび外側ベローズを介して
連結し、前記環状金具に、仕切弁板に対向する環状凹部
を設けると共に、その環状凹部の開口部を塞ぐ環状の鏡
面薄板を溶接により固着し、前記内側ベローズと外側ベ
ローズとの間の環状室に供給される流体の圧力により各
ベローズを伸長させ、その環状室から前記環状凹部内に
送られる流体の圧力により前記環状の鏡面薄板が仕切弁
板に強力に押付けるように構成した圧気シール式メタル
シールを有するケ゛−ト弁が知られている（実開昭５８
−１０２８７９号公報参照）Ｃしかし、との圧気シール
式メタルシールを有するケ゛−ト弁の場合は、シールし
ておくためには常時空気圧を作用させておく必要があり
、配管系の故障等によりシール部が減圧したときはシー
ルが解放されてしまうことになり、さらに強力にシール
するためには、高圧の空気圧を作用させねばならないの
で、内側ベローズおよび外側ベローズとして耐圧力の大
きい高価なものを使用する必要があり、しかもシール用
空気圧を作用させていない状態で、仕切弁板を移動する
必要があるので、誤操作防止のだめの特別な対策が必要
であり、まだ前記圧気シール式ケ゛−ト弁の場合は、部
品数が多く構造が複雑であり、かつ大型でコスト高にな
るという問題がある。
−ト弁として、仕切弁板の表裏両面に対向する環状金具
と弁箱とを、内側ベローズおよび外側ベローズを介して
連結し、前記環状金具に、仕切弁板に対向する環状凹部
を設けると共に、その環状凹部の開口部を塞ぐ環状の鏡
面薄板を溶接により固着し、前記内側ベローズと外側ベ
ローズとの間の環状室に供給される流体の圧力により各
ベローズを伸長させ、その環状室から前記環状凹部内に
送られる流体の圧力により前記環状の鏡面薄板が仕切弁
板に強力に押付けるように構成した圧気シール式メタル
シールを有するケ゛−ト弁が知られている（実開昭５８
−１０２８７９号公報参照）Ｃしかし、との圧気シール
式メタルシールを有するケ゛−ト弁の場合は、シールし
ておくためには常時空気圧を作用させておく必要があり
、配管系の故障等によりシール部が減圧したときはシー
ルが解放されてしまうことになり、さらに強力にシール
するためには、高圧の空気圧を作用させねばならないの
で、内側ベローズおよび外側ベローズとして耐圧力の大
きい高価なものを使用する必要があり、しかもシール用
空気圧を作用させていない状態で、仕切弁板を移動する
必要があるので、誤操作防止のだめの特別な対策が必要
であり、まだ前記圧気シール式ケ゛−ト弁の場合は、部
品数が多く構造が複雑であり、かつ大型でコスト高にな
るという問題がある。
この発明は前述の問題を有利に解決できるメタルシール
を有するケ゛−ト弁を提供することを目的とするもので
あって、この発明の要旨とするところは、弁箱１におけ
る開口部を囲む内面に、鏡面加工が施されると共に炭化
チタン層２が形成され、弁箱１内には、操作軸乙により
移動されて前記開口部を囲む内面に向かって押圧される
仕切弁板４が配置され、その仕切弁板４の表面には、弁
箱１の開口部を囲む内面に対向する位置において、仕切
弁板の表面にほぼ直角な円筒面とその内側に位置する截
頭円錐面とからなる環状溝５が設けられ、その環状溝５
には鏡面加工が施されると共に炭化チタン層６が形成さ
れ、アルミ合金からなる断面中空一部切欠円形の環状シ
ール本体７とその中に嵌合収容された耐圧用螺旋状スプ
リング８とからなる環状メタルシール材９が前記環状溝
５に嵌設されていることを特徴とするメタルシールを有
するケ゛−ト弁にある。
を有するケ゛−ト弁を提供することを目的とするもので
あって、この発明の要旨とするところは、弁箱１におけ
る開口部を囲む内面に、鏡面加工が施されると共に炭化
チタン層２が形成され、弁箱１内には、操作軸乙により
移動されて前記開口部を囲む内面に向かって押圧される
仕切弁板４が配置され、その仕切弁板４の表面には、弁
箱１の開口部を囲む内面に対向する位置において、仕切
弁板の表面にほぼ直角な円筒面とその内側に位置する截
頭円錐面とからなる環状溝５が設けられ、その環状溝５
には鏡面加工が施されると共に炭化チタン層６が形成さ
れ、アルミ合金からなる断面中空一部切欠円形の環状シ
ール本体７とその中に嵌合収容された耐圧用螺旋状スプ
リング８とからなる環状メタルシール材９が前記環状溝
５に嵌設されていることを特徴とするメタルシールを有
するケ゛−ト弁にある。
次にこの発明を図示の例によって詳細に説明する。
図面はこの発明の一実施例を示すものであって、前部開
口部１０および後部開口部１１を有する金属製弁箱１に
おける前部開口部１０および後部開口部１１を囲む内面
に、鏡面加工が施されると共にイオンシレーティング処
理が施されて厚さ１〜６μの炭化チタン層２が形成され
、かつ弁箱１内には互いに対向する２枚の金属製仕切弁
板４が配置され、各仕切弁板４の表面には、弁箱１にお
ける開口部を囲む内面に対向する位置において、仕切弁
板４の表面にほぼ直角な円筒面とその円筒面の内側に位
置する截頭円錐面とからなる環状溝５が設けられ、その
環状溝５には、鏡面加工が施されると共にイオンシレー
ティング処理が施されて厚さ１°〜６μの炭化チタン層
６が形成されている。
口部１０および後部開口部１１を有する金属製弁箱１に
おける前部開口部１０および後部開口部１１を囲む内面
に、鏡面加工が施されると共にイオンシレーティング処
理が施されて厚さ１〜６μの炭化チタン層２が形成され
、かつ弁箱１内には互いに対向する２枚の金属製仕切弁
板４が配置され、各仕切弁板４の表面には、弁箱１にお
ける開口部を囲む内面に対向する位置において、仕切弁
板４の表面にほぼ直角な円筒面とその円筒面の内側に位
置する截頭円錐面とからなる環状溝５が設けられ、その
環状溝５には、鏡面加工が施されると共にイオンシレー
ティング処理が施されて厚さ１°〜６μの炭化チタン層
６が形成されている。
弁箱１の上部に固定された保持枠１２に螺杵１６の上部
が回転自在に取付けられ、その螺杵１６の上端部にはハ
ンドル１４が固定さ・れ、かつその螺杵１ろには中空操
作軸乙の上部に固定さ′れた雌ねじ部材１５が螺合され
、さらに金属製・／−ル用ベローズ１６の上端部は雌ね
じ部材１５に対し気密状態で溶接によシ固着され、また
前記ベローズ１６の下端部に気密状態で溶接により固着
されている取付金具１７は弁箱１の上端部に気密状態で
固定されている。
が回転自在に取付けられ、その螺杵１６の上端部にはハ
ンドル１４が固定さ・れ、かつその螺杵１ろには中空操
作軸乙の上部に固定さ′れた雌ねじ部材１５が螺合され
、さらに金属製・／−ル用ベローズ１６の上端部は雌ね
じ部材１５に対し気密状態で溶接によシ固着され、また
前記ベローズ１６の下端部に気密状態で溶接により固着
されている取付金具１７は弁箱１の上端部に気密状態で
固定されている。
前記操作軸６は弁箱１の上端部に貫通され、その操作軸
乙の下端部に２又状支持金具１８における横腕１９の中
央部が支軸２０を介して連結され、前記支持金具１８に
おける一対の縦腕２１の上部卦よび下部には、弁箱１の
前後の内壁によυガイドされるガイドローラ２２が取付
けられ、かつ前記各仕切弁板４の左右両側には、ビン２
６が固定され、前記各縦腕２１の中間部には上方から下
方に向かって相互に接近するように傾斜する一対の開閉
用スリット２４が設けられ、前記ピン２６は開閉用スリ
ット２４に嵌合され、さらに弁箱１内の下部には、仕切
弁板４が所定の閉止準備位置まで下降したとき、仕切弁
板４の下部に係合する下降制限用ストッパ２５が設けら
れ、前記横腕１９と各仕切弁板４との間にはばね２６が
介在され。
乙の下端部に２又状支持金具１８における横腕１９の中
央部が支軸２０を介して連結され、前記支持金具１８に
おける一対の縦腕２１の上部卦よび下部には、弁箱１の
前後の内壁によυガイドされるガイドローラ２２が取付
けられ、かつ前記各仕切弁板４の左右両側には、ビン２
６が固定され、前記各縦腕２１の中間部には上方から下
方に向かって相互に接近するように傾斜する一対の開閉
用スリット２４が設けられ、前記ピン２６は開閉用スリ
ット２４に嵌合され、さらに弁箱１内の下部には、仕切
弁板４が所定の閉止準備位置まで下降したとき、仕切弁
板４の下部に係合する下降制限用ストッパ２５が設けら
れ、前記横腕１９と各仕切弁板４との間にはばね２６が
介在され。
捷た弁箱１の前部および後部には、前部開口部１０およ
び後部開口部１１に連通ずる配管２７．２８が接続され
、弁箱１の下部には真空源に接続された排気ボート２９
が設けられている。
び後部開口部１１に連通ずる配管２７．２８が接続され
、弁箱１の下部には真空源に接続された排気ボート２９
が設けられている。
アルミ合金からなる断面中空一部切欠円形の環状シール
不休７とその中に嵌合収容された耐圧用螺旋状スゲリン
グ８とからなる環状メタルシール材９は、前記環状溝５
における円筒面に圧入嵌合されている。
不休７とその中に嵌合収容された耐圧用螺旋状スゲリン
グ８とからなる環状メタルシール材９は、前記環状溝５
における円筒面に圧入嵌合されている。
次に図示のゲート弁の作用を説明する。
ハンドル１４により線杆１６を正回転すると、操作軸６
．支持金具１８および各仕切弁板４等が開用スリット２
４の下端部にピン２６が係合した状態で、各仕切弁板４
が引上げられていく。
．支持金具１８および各仕切弁板４等が開用スリット２
４の下端部にピン２６が係合した状態で、各仕切弁板４
が引上げられていく。
前記実施例のメタルシールｋＷするゲート弁の場合は、
前記従来の圧気シール式メタルシールを有するゲート弁
に比べて、構造が簡単で小型に製作することができ、か
つ単にハンドル１４を手動回転することにより、各仕切
弁板４の昇降移動とメタルシールの開閉とを行なうこと
ができる。
前記従来の圧気シール式メタルシールを有するゲート弁
に比べて、構造が簡単で小型に製作することができ、か
つ単にハンドル１４を手動回転することにより、各仕切
弁板４の昇降移動とメタルシールの開閉とを行なうこと
ができる。
この発明を実施する場合、仕切弁板４を弁箱１の内面に
向かって進退移動させる手段としては、図示以外の任意
の手段を採用してもよい。
向かって進退移動させる手段としては、図示以外の任意
の手段を採用してもよい。
この発明によれば、弁箱１における開口部を囲む内面に
向かって押圧される仕切弁板４の表面に、弁箱１の開口
部を囲む内面に対向する位置において、仕切弁板の表面
にほぼ直角な円筒面とその内側に位置する截頭円錐面と
がうなる環状溝５が設けられ、軟質金属であるアルミ合
金からなる断面中空一部切久円形の環状／−ル不不体と
その中に嵌合収容された耐圧用螺旋状スズリング８とか
ら下部していく。各仕切弁板４の下部がストッパ２５に
突き当たった瞬間の状態では、第１図および第４図に示
すように、環状メタルシール材９が弁箱１の内面から離
反している。
向かって押圧される仕切弁板４の表面に、弁箱１の開口
部を囲む内面に対向する位置において、仕切弁板の表面
にほぼ直角な円筒面とその内側に位置する截頭円錐面と
がうなる環状溝５が設けられ、軟質金属であるアルミ合
金からなる断面中空一部切久円形の環状／−ル不不体と
その中に嵌合収容された耐圧用螺旋状スズリング８とか
ら下部していく。各仕切弁板４の下部がストッパ２５に
突き当たった瞬間の状態では、第１図および第４図に示
すように、環状メタルシール材９が弁箱１の内面から離
反している。
各仕切弁板４の下部がストッパ２５に突き当たったのち
、前記ハンドル１４によシ婆杆１６をさらに正回転する
と、操作軸６および支持金具１８が下降するので、前記
ばね２６が圧縮され、かつ開閉用スリット２４によりビ
ン２６を介して各仕切弁板４か弁箱１の内面に向がって
抑圧移動されていくので、第６図および第７図に示すよ
うに、各仕切弁板４に付属する環状メタルシール材９が
、弁箱１における前部開口部１０〉よび後部開口部１１
を囲む鏡面加工された内面に強力に圧接される。
、前記ハンドル１４によシ婆杆１６をさらに正回転する
と、操作軸６および支持金具１８が下降するので、前記
ばね２６が圧縮され、かつ開閉用スリット２４によりビ
ン２６を介して各仕切弁板４か弁箱１の内面に向がって
抑圧移動されていくので、第６図および第７図に示すよ
うに、各仕切弁板４に付属する環状メタルシール材９が
、弁箱１における前部開口部１０〉よび後部開口部１１
を囲む鏡面加工された内面に強力に圧接される。
次に前記ハンドルｉ４により線杆１３を逆回転すると、
操作軸６および支持金具１８が上昇移動するので、支持
金具１８の開閉用スリット２４によシビン２６を介して
各仕切弁板４が弁箱１の内面から離反する方向に引寄せ
られ、次いで前記間なる環状メタルシール材９が前記環
状溝５に嵌合されているので、単に仕切弁板４を弁箱１
の内面に向かって抑圧移動することにょシ、環状メタル
シール材９を、弁箱１の鏡面加工内面卦よび仕切弁板４
における環状溝５の鏡面加工面に対し、比較的広いシー
ル中で強力に圧接させて、完全にシールすることができ
、がっ弁箱１の鏡面加工内面および環状溝５の鏡面加工
面に炭化チタン層からなる硬化処理層が形成されている
ので、弁箱１および仕切弁板４における環状メタルシー
ル材圧接部が著しく強固であり、しかも前記環状メタル
シール材９は耐圧用螺旋状スゲリング８を備えていて著
しく強固であり、そのためメタルシール部の強度および
耐久性を向上させることができ、また前記従来の圧気シ
ール式メタルシールに比べて。
操作軸６および支持金具１８が上昇移動するので、支持
金具１８の開閉用スリット２４によシビン２６を介して
各仕切弁板４が弁箱１の内面から離反する方向に引寄せ
られ、次いで前記間なる環状メタルシール材９が前記環
状溝５に嵌合されているので、単に仕切弁板４を弁箱１
の内面に向かって抑圧移動することにょシ、環状メタル
シール材９を、弁箱１の鏡面加工内面卦よび仕切弁板４
における環状溝５の鏡面加工面に対し、比較的広いシー
ル中で強力に圧接させて、完全にシールすることができ
、がっ弁箱１の鏡面加工内面および環状溝５の鏡面加工
面に炭化チタン層からなる硬化処理層が形成されている
ので、弁箱１および仕切弁板４における環状メタルシー
ル材圧接部が著しく強固であり、しかも前記環状メタル
シール材９は耐圧用螺旋状スゲリング８を備えていて著
しく強固であり、そのためメタルシール部の強度および
耐久性を向上させることができ、また前記従来の圧気シ
ール式メタルシールに比べて。
構造が簡単であると共に小型、低コストで製作すること
ができる等の効果が得られる。
ができる等の効果が得られる。
図面はこの発明の一実施例を示すものであって、第１図
は解放されているメタルシールを示す縦断側面図、第２
図はゲート弁の側面図、第６図はゲート弁の一部縦断正
面図、第４図はメタルシール解放状態のゲート弁を示す
縦断側面図、第５図は第３図のＡ−Ａ線拡大断面図、第
６図は環状薄肉金属板が弁箱の内面に接触した状態を示
す縦断側面図、第７図はシール状態のメタルシールを示
す縦断側面図である。 図において、１は弁箱、２は炭化チタン層、３は操作軸
、４は仕切弁板、５は環状溝、６は炭化チタン層、７は
環状シール本体、８は耐圧用螺旋状スプリング、９は環
状メタルシール材、１０は前部開口部、１１は後部開口
部、１６は線杆、１４はハンドル、１５は雌ねじ部材、
１８は２又状支持金具、２２はガイドローラ％２６はピ
ン、２４は開閉用スリット、２５はストッパ、２９は排
気ポートである。 ５図 第７図
は解放されているメタルシールを示す縦断側面図、第２
図はゲート弁の側面図、第６図はゲート弁の一部縦断正
面図、第４図はメタルシール解放状態のゲート弁を示す
縦断側面図、第５図は第３図のＡ−Ａ線拡大断面図、第
６図は環状薄肉金属板が弁箱の内面に接触した状態を示
す縦断側面図、第７図はシール状態のメタルシールを示
す縦断側面図である。 図において、１は弁箱、２は炭化チタン層、３は操作軸
、４は仕切弁板、５は環状溝、６は炭化チタン層、７は
環状シール本体、８は耐圧用螺旋状スプリング、９は環
状メタルシール材、１０は前部開口部、１１は後部開口
部、１６は線杆、１４はハンドル、１５は雌ねじ部材、
１８は２又状支持金具、２２はガイドローラ％２６はピ
ン、２４は開閉用スリット、２５はストッパ、２９は排
気ポートである。 ５図 第７図
Claims (1)
- 弁箱１における開口部を囲む内面に、鏡面加工が施され
ると共に炭化チタン層２が形成され、弁箱１内には、操
作軸３により移動されて前記開口部を囲む内面に向かつ
て押圧される仕切弁板４が配置され、その仕切弁板４の
表面には、弁箱１の開口部を囲む内面に対向する位置に
おいて、仕切弁板の表面にほぼ直角な円筒面とその内側
に位置する截頭円錐面とからなる環状溝５が設けられ、
その環状溝５には鏡面加工が施されると共に炭化チタン
層６が形成され、アルミ合金からなる断面中空一部切欠
円形の環状シール本体７とその中に嵌合収容された耐圧
用螺旋状スプリング８とからなる環状メタルシール材９
が前記環状溝５に嵌設されていることを特徴とするメタ
ルシールを有するゲート弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15894684A JPS6138270A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | メタルシ−ルを有するゲ−ト弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15894684A JPS6138270A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | メタルシ−ルを有するゲ−ト弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6138270A true JPS6138270A (ja) | 1986-02-24 |
| JPH0143190B2 JPH0143190B2 (ja) | 1989-09-19 |
Family
ID=15682783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15894684A Granted JPS6138270A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | メタルシ−ルを有するゲ−ト弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6138270A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03107588U (ja) * | 1990-02-22 | 1991-11-06 |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP15894684A patent/JPS6138270A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03107588U (ja) * | 1990-02-22 | 1991-11-06 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0143190B2 (ja) | 1989-09-19 |
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