JPS6136717B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はガスレーザ管に係り、特にその電極構
造に関するものである。

従来、ガスレーザ管、例えばHe−Neガスレー
ザ管は第１図に示すような構造のものが知られて
いる。

即ち第１図において、細管１１はガラス等の絶
縁物からなる毛細管からなり、陽極・陰極間の唯
一の放電路を形成している。また、この細管１１
は、封入されたレーザ媒質、例えばHe−Ne混合
ガス等を放電させることにより、電気エネルギー
を光エネルギーに変換し、さらにその光を増幅さ
せる機能をもち、また、共振器構造との相対的位
置関係によつてレーザ光線の横モードを決定する
ようになつている。

また、ガスレーザ管の両端面部に配設する１対
の反射鏡１２はガラス基板に誘電体多層膜を蒸着
させた、光の損失の少ない反射鏡で、一方はほぼ
100％の反射率をもち、他方の反射鏡は１〜数％
の透過率をもち、この他方の反射鏡より、レーザ
光を取り出すようになつている。この１対の反射
鏡１２は、前記細管１１の軸に直角でかつ、各々
の反射鏡１２は、かなりよい精度（例えば0.1mm
rad.以下）で平行になる様に配設され、共振器を
構成している。

また円筒状の外囲器１３は、内部に酸化膜をほ
どこしたアルミニウムなどからなる円筒状の陰極
１４が設けられている。この陰極１４は他の導体
１８を介して、レーザ管の外囲器１３の側壁部１
９より管外に取り出した陰極端子１５に電気的に
導接されている。他方、陽極及び陽極端子（以下
陽極端子と云う）１７は外囲器１３より径の小さ
い端管１６にほぼ直角、即ち、管軸にもほぼ直角
に植設されたウエルズによつて形成されており、
前記陰極端子１５の向きと直角をなしている。

しかしながら、前述したレーザ管の陽極端子１
７を構成するウエルズの位置、および形状には次
の様な欠点がある。

すなわち、受信管やブラウン管等の様に電極端
子が平行でないため、専用ソケツトを作りにく
く、また、陽極端子１７が、レーザ管の径の細い
端管１６に設けられているために、この陽極端子
１７に外部リードを接続したとき、このリード線
で端子１７が引つぱられるなど、陽極端子の植設
部に力が加えられると、端管16の端面部に精度よ
く取り付けられた反射鏡１２の角度がずれ、レー
ザ光線の出力低下、あるいは出力不安定になる。
またリード線導接などの際にさらに強い力が端子
１７に加わる場合、端管１６を破壊する恐れや、
さらに、レーザ管の放電時の自己加熱によつて、
管軸に直角の方向、すなわち上下方向に温度差が
でき、このため熱膨張によりレーザ管に折り曲げ
の力が働く、この現象は大なり小なり、レーザ管
にとつて避けられない現象であり、極端な場合に
は、レーザ発振が停止することもある。そして前
述した様な端管１６は、特にその影響を受け易
い。従つて端管１６に陽極端子１７であるウエル
ズを立てることは、前記端管１６に非対称部分を
作ることになり、レーザ光線の出力安定度等に悪
い影響を与えるなどの欠点があつた。

本発明は前述した従来のレーザ管の諸欠点に鑑
みてなされたものであり、取り扱い易く、かつ出
力安定度の高いガスレーザ管を提供することを目
的としている。

次に本発明のガスレーザ管の１実施例を第２図
乃至第４図によつて詳細に説明する。

即ち図において細管２１はガラス等の絶縁物か
らなる毛細管であり、例えば内径1.2mmφ、長さ
がおよそ180mmの硝子製の毛細管で出来ており、
放電路を形成するために、細管の１端部は開放さ
れ、他端部には、外囲器２３の１側壁部に溶着さ
れている。また外囲器２３は内径約30mmφのガラ
スバルブからなり、前記細管２１とほぼ同軸をな
す位置関係にあり、内壁に近接するようにアルミ
ニウムなどからなる円筒状の陰極２４が設けられ
ている。そして外囲器２３本体の両端部には、外
囲器２３の径より細い端管２６が、前記外囲器２
３と同一の軸をもつように取り付けられており、
各々の端管２６の他端開放端面部には、１対の反
射鏡２２が、互いに正しく平行でかつ、前記細管
２１の内孔の軸に直角をなすように気密封着する
よう配設されている。すなわち、主として外囲器
２３、端管２６、および、反射鏡２２としてガス
レーザ管全体の気密が保たれており、その中にレ
ーザ媒質であるHeとNeの混合気体が、およそ
3Torr.の気圧で封入されている。

そして放電を起さしめる電極の１つである陰極
端子２５は、外囲気２３の、端管２６および前記
細２１を溶着している側の側壁部２９に、気密を
保持しながら管内から管外へと管軸に平行になる
向きに植設形成した金属によつて構成されてい
る。なお、前記陰極２４との電気的接続には、弾
性のある金属、例えばステンレスなどの金属によ
つて作られた陰極導入体２８が使用されている。

なお、陽極端子２７は下記する構造になつてい
る。

すなわち、前述した細管２１と外囲器の側壁部
２９との溶着部は、第２図のＡ部の拡大図第３図
からもわかるように、細管２１の一端部を脹らま
せて支持壁３０を形成し、この支持壁３０の内部
を側壁部２９の内面に溶着して一体的に接合して
あり、これらによつて端管２６の内部空間及び細
管２１の孔に連通する空間３１が形成されてい
る。そしてこの空間３１に内方端が露出し、他端
が側壁部２９の支持壁３０が接合された位置の内
側の一部を貫通して、前記陰極端子２５とほぼ平
行に管外に取りだすように植設した金属の棒によ
つて、陽極端子２７を形成している。

前記したような構造を有する本発明の実施例は
従来のガスレーザ管に較べて次の様な利点があ
る。

第１に、ガスレーザ管の比較的細い部分である
端管２６に、陽極端子のような非対称な物がない
ために従来のレーザ管に比較して、レーザ光の出
力安定度が改善される。

第２に、陽極端子２７および陰極端子２５が共
にレーザ管の比較的、堅牢な側壁部に取り付けら
れているためにガスレーザ管としての取り扱いが
容易になる。

第３に、陽極端子２７および陰極端子２５が、
互に平行であるために、この端子２５，２７を電
源と電気的に接続するソケツトが作り易くなりま
た、管軸に対し、陽極端子２７、および陰極端子
２５の距離が異なり、電極を間違えることがな
い。

第４に、従来のガスレーザ管に較べて陽極と反
射鏡２２との距離が長くなり、放電による反射鏡
２２への悪影響を受けにくくなる。

第５に、製造上、ボタンステムを作る時に、陽
極端子２７と陰極端子２５のウエルズを同時に植
設することが可能となり工程を短縮できる。

第６に、陽極端子２７が陰極端子２５及び細管
２１の孔に近い（直線距離）空間３１に露出して
いるため起動し易い利点もある。

前述の様に本実施例は、取り扱いが容易であ
り、かつ、レーザ光の出力安定度等の点で従来の
ものより優れたガスレーザ管を得ることが可能に
なつた。

次に、本発明のガスレーザ管の変形例を説明す
る。

第１に前記実施例では、陽極端子２７、および
陰極端子２５が管軸に対して180゜ずれ、かつ管
軸に、共に平行になる様に説明してきたが、角度
のずれは180゜に限定する必要はなく、陽極端子
および陰極端子が各々平行であればよい。

第２に、陽極端子、および陰極端子の一方また
は両方がスリーブ状であつてもよい。

なお、本発明は前記実施例に限定されるもので
はなく、本発明の要旨内で種々変更できることは
いうまでもない。

上述の様に本発明のガスレーザ管は陽極端子、
陰極端子を平行になるよう、比較的堅牢な側壁部
に植設させているので機械的にも特性的にも品位
の高いガスレーザ管を得ることが可能となり、そ
の工業的価値は極めて大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のガスレーザ管の断面図、第２図
は本発明のガスレーザ管の１実施例の断面図、第
３図は第２図のＡ部の拡大断面図、第４図は第２
図をＢ方向より見た平面図である。 １１，２１……細管、１２，２２……反射鏡、
１３，２３……外囲器、１４，２４……陰極、１
５，２５……陰極端子、１６，２６……端管、１
７，２７……陽極端子、１８，２８……陰極導入
体、１９，２９……側壁部、３０……支持壁、３
１……空間。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 端部に側壁部２９を有する外囲器２３と、 この側壁部２９に一体的に接合され、管軸に沿
   つて外方へ延長された端管２６と、 この端管２６の端面部に配置された反射鏡２２
   と、 前記側壁部２９に支持壁３０を介して接合保持
   され、管軸上に設けられた放電路用の細管２１
   と、 この細管２１のまわりに配設された筒状の陰極
   ２４と、 前記側壁部２９の前記支持壁３０が接合された
   位置の外側の一部を貫通し、管軸に平行に設けら
   れ、前記陰極２４に電気的に接続された陰極端子
   ２５と、 を具備するガスレーザ管において、 前記側壁部２９の前記支持壁３０が接合された
   位置の内側の一部を貫通し、管軸に平行に設けら
   れ、その内方端が前記側壁部２９、支持壁３０お
   よび細管２１の端部により形成される空間３１に
   突出された陽極端子２７を有してなることを特徴
   とするガスレーザ管。